JPH0575178B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ウエハプローバにおいてプローブ
カードを自動交換するために好適に用いたプロー
ブカードアダプタに係り、特に種類の異なるプロ
ーブカードに対応するためにプローブカードアダ
プタに関する。

［従来の技術］ ウエハプローバは被測定体例えば半導体ウエハ
に多数形成されたチツプの各電極とプローブカー
ドの針とを位置決め接続して各チツプの電気的特
性を測定するための装置である。プローブカード
は被測定体であるウエハの種類に応じて交換され
るが、従来プローブカードはウエハプローバの取
付部にネジ等によつて固定されており、その交換
や精度調整に多くの時間を要していた。このよう
なプローブカードの交換に伴なう作業負担の軽減
および作業時間の短縮を図るためプローブカード
の取付側の接点をポゴピンとすると共にプローブ
カード及びその取付部に係合手段を設け、プロー
ブカードを自動交換する方法が実現している。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このようなプローブカード自動
交換を行う場合、プローブカードとしては取付部
側と対応するサイズのものしか使用できない。す
なわち、例えば120ピンのプローブカードを用い
るウエハプローバにあつては、70ピンのプローブ
カードを使えなかつた。

本発明はこのようなプローブカード自動交換時
の問題点を解消するためになされたもので、種類
の異なるプロープカードでも自動交換可能にする
プローブカードアダプタを提供することを目的と
する。更に、本発明はプローブカードを装着した
後回転する手段を備えたプローブカードアダプタ
を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するために本発明のプロ
ーブカードアダプタはプローブカード取付部に配
設された端子ピンに対応して接続端子が設けられ
た外側リングと、前記接続端子と電気的に接続さ
れ且つプローブカードが接続される端子部を有す
る内側リングとから成り、前記内側リングは前記
外側リングに対し回転可能であることを特徴とす
る。

［実施例］ 次に、本発明の一実施例を図面に基き説明す
る。まず、第１図に示すようにウエハプローバ１
は被試験体であるウエハ２を搭載する測定ステー
ジ３と、プローブカード４を装着するプローブカ
ード取付部としてのインサートリング５とを備え
ており、公知の搬送手段及び位置決め手段によつ
てウエハ２を収納部より搬送し、位置決めした後
測定ステージ３をXY方向に駆動しつつウエハ２
の各チツプとプローブカード４のプローブ針６と
を接触させてテスタ７に接続されたテストヘツド
８により各種測定を行う。

インサートリング５は第２図（下方より見た斜
視図）に示すように後述のプローブカードホルダ
ー９を位置決めするためのガイドピン１０及びテ
ストヘツドと電気的に接続される端子ピン１１が
備えられている。端子ピン１１はポゴピンで構成
され例えば120ピンのプローブカード（200mmφ）
に対応して同心円状に複数個配設されており、
120ピンのプローブカード４の端子部１２を圧接
させることにより電気的接触を得ることができ
る。また、インサートリング５の外周に近接して
プローブカードホルダー９を着脱する手段が設け
られている。この着脱手段についてはプローブカ
ード自動交換用のプローバにおいて公知であるの
で省略する。プローブカードホルダー９（以下、
ホルダ９と略称する。）はプローブカード４又は
プローブカードアダプタ１２を保持するもので上
述のインサートリング５に対応してガイドピン１
０と係合するガイド孔１３及びインサートリング
５の着脱手段に係合される係合手段を有してい
る。ホルダ９には所定の大きさのプローブカード
４例えば120ピンのプローブカード（200mmφ）
が、ネシ等によつて装着され、これより小さい大
きさ例えば70ピンのプローブカード（135mmφ）
は本発明のプローブカードアダプタを介して装着
される。

次に本発明のプローブカードアダプタ（以下、
アダプタと略称する）について説明する。第３図
ａ及びｂに示す実施例においてプローブカードア
ダプタ１４は所定サイズのプローブカード４（例
えば200mmφのプローブカード）と同サイズの外
周をもつ外側リング１５のプローブカード４より
小さいサイズのプローブカード４′（例えば135mm
φのプローブカード）が取付けられる内側リング
１５から成り、外側リング１６にはプローブカー
ド４と同様にインサートリング５の端子ピン１１
に対応して同心円状に接続端子１７が設けられて
いる。接続端子１７はプリントパターン等によつ
て設けることができる。外側リング１５はその内
周に沿つて立上がり部１５ａが形成されており、
この立ち上がり部１５ａが内側リング１６が嵌合
される。

内側リング１６に外側リング１５の接続端子１
７と電気的に接続され且つ（小さいサイズ０）プ
ローブカード４′の接続端子と対応する端子鵜１
８が配設される。プローブカード４′はその接続
端子からこの端子部１８と合うようにネジ等によ
つて内側リング１６に固定される。接続端子１７
と端子部１８との電気的接続は例えば内側及び外
側リング内と内部配設及びリード線１９によつて
なされる。

更に内側リング１６は第４図に示すようにその
一部にクラツク２０が形成されており、外側リン
グ（第４図においては省略してある）を貫通して
設けられた駆動軸２１に取付けられたピニオン２
２がこのラツク２０に係合し、駆動軸２１を回転
させることにより内側リング１６を回転させる。
これにより内側リング１６に装着されたプローブ
カード４′の位置を微調整して、プローブカード
４′の取付誤差をなくすことができる。

駆動軸２１はステツプモータ等の駆動源（図示
せず）によつて駆動され、遠隔操作すことができ
る。

このように構成されるアダプタ１４はまずその
内側リング１６ちプローブカード４′をネジ等に
よつて固定した後、大きいサイズのプローカード
４と全く同様にホルダ９に固定する。この時、ホ
ルダ９のネジ穴はプローブカード又はアダプタ１
４の回転方向の調整が可能なように長穴になつて
おり、アダプタ１４取付時に予めプローブカード
４′の位置を粗調整を行つておく。このようにホ
ルダ９に固定されたプローブカード４′及びアダ
プタ１４（以下プローブカードセツトという）は
通常のプローブカード４と同様に自動交換するこ
とができる。簡単に説明すると、プローブカード
収納部に収納されたプローブカードセツトはハン
ドリングアーム等と搬送手段によつてブローバの
インサートリング５下に搬送され、インサートリ
ング５のガイドピン１０とホルダ９のガイド孔１
３とを位置合わせした後、公知の着脱手段及び係
止手段によつてインサートリング５に装着され
る。そしてウエハ測定に際して内側リング１６を
回転させることによりウエハとプローブカード
4′の針６との位置を微調整する。この場合、内側
リング１６と外側リング１５の各端子はリード線
１９によつて接続されているので、微調節時の内
側リング１６の回転（通常1゜以下）を許容するこ
とができる。

内側リング１６と外側リング１５との電気的接
続は本実施例のようにリード線１９を用いるので
はなく、例えば第５図に示すように外側リング１
５と内側リング１６が接触する部分に、例えば外
側リングの立上り部１５ａの内側と内側リング１
６外周に面して接続端子２３，２４を設けてもよ
い。この場合、少なくとも一方の端子を楕円形な
どの円周方向に細長い形状にすれば、内側リング
１６が被調整時に回転しても電気的接続を保つこ
とができる。

また、本実施例において内側リング１６の回転
手段としてラツクアンドピニオンを採用したが本
発明はこれに限定されるものではない。

［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明のプ
ローブカードアダプタを用いることにより種々の
サイズのプローブカードを自動交換用プローバに
適用することができる。

また、内側リングに回転手段を設けたことによ
りプローブカードをアダプタに取り付けた時の位
置精度の誤差をなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプローブカードアダプタが適
用されるウエハローバの概略図、第２図はプロー
ブカード取付部及びプローブカードの斜視図、第
３図ａ及びｂはそれぞれ本発明のプローブカード
アダプタの一実施例を示す斜視図及び断面図、第
４図は内側リングの回転手段の一実施例を示す
図、第５図は本発明のプローブカードアダプタの
別の実施例を示す図である。 １……ウエハプローバ、５……インサートリン
グ（プローブカード取付部）、１１……端子ピン、
１４……プローブカードアダプタ、１５……外側
リング、１６……内側リング、１７……外側リン
グの接続端子、１８……内側リングの端子部、２
０……ラツク（回転手段）、２１……ピニオン
（回転手段）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ プローブカード取付部に配設された端子ピン
   に対応して接続端子が設けられた外側リングと、
   前記接続端子と電気的に接続され且つプローブカ
   ードが接続される端子部を有する内側リングとか
   ら成り、前記内側リングは前記外側リングに対し
   回転可能であることを特徴とするプローブカード
   アダプタ。