JPS62121376A - テストヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業、１−の利用分野］ この発明はＩＣ検査システムのテストヘッドに関し、さ
らに詳細には、ＩＣウェハの検査のためのプローハと結
合される構成のテストヘッドに関する。

［従来の技術］ ウェハ段階のＩＣ（この明細−子ではＩＣウェハと称す
る）の検査を意図したＩＣ検査システムの場合、テスト
ヘッドはプローパに結合される。このプローバにはＩＣ
ウェハと接触する探触子（プローブ）が多数設けられて
おり、テストヘッド側からの駆動信号はその探触子を通
じてＩＣウェハに伝達され、ＩＣウェハからの信号は探
触子を介してテストヘッドへ伝達される。

テストヘッドとプローバとの結合のために、テストヘッ
ド側にコンタクトボード（一般にリング形状）が備えら
れ、プローバ側にはスプリングピンコンタクトリングが
備えられている。このコンタクトリングのコンタクトと
スプリングピンコンタクトリングのスプリングピンコン
タクトとが押し付けられて引圧に電気的に接続される。

さて、テストヘッドをプローバに結合する場合、コンタ
クトボードのコンタクトとスプリングピンコンタクトリ
ングのスプリングピンコンタクトとが正しく接触するよ
うに、相対的に位置合わせする必°Ｕがある。その位置
合わせのために、スプリングビンコンタクトリングには
ガイドポストが植設され、コンタクトボード側にそのガ
イドポストを受けるガイドポスト受けか設けられている
。

［解決しようとする問題点］ このようなＩＣＮ査ンステムのデバッグを行う場合、Ｉ
Ｃウェハを用いるよりも、パッケージング済みの完成し
たＩＣ（以下、甲にＩＣと称する）を用いるほうが都合
がよい。

そのためには、ＩＣを挿着できるソケットを有する適当
な冶具を、一時的にテストヘッドのコンタクトボードに
位置合わせして装着できると好都合である。ＩＣをソケ
ットに手差しして検査を行いたい場合にも、同様である
。

しかし、従来のテストヘッドは、そのような治具を容易
に装着できる構造とはなっていないため、テストヘッド
のコンタクトボードおよびパフォーマンスポードを交換
しなければならないなどの不都合があった。

［発明の［１的コ この発明の１」的は、テストヘッドの構造を格別複雑に
することなく、そのようなデバッグまたはＩＣの丁、差
し検査のための冶具の装着および取り外しを容易に行い
得るようにしたテストへノドを提供することにある。

［問題点を解決するためのＬ段］ この［１的を達成するために、この発明によれば、ブロ
ーμとの結合のためにブローバ側のガイドポストを受け
るガイドポスト受けを備えるテストヘッドにおいて、ガ
イドポスト受けのガイドポストとの非係合部に治具取付
用のねじ穴が形成される。

［作用］ 冶具側にガイドポスト受けに対応させて取付ねじを設け
ておくだけで、その取付ねじとねじ穴との螺合によって
、冶具の取付および取り外しを容易に行うことができる
。

また、そのねじ穴はガイドポスト受けのガイドポストと
の非係合部に形成されるから、冶具側にガイドポス］・
受けに対応させたガイドポストを設け、それをガイドポ
スト受けに嵌合させることができるため、冶具とコンタ
クトボードなどとの位置合わせも支障なく行うことがで
きる。

しかも、治具取付用のねじ穴は、テストヘッドにノＬか
ら設けられているガイドポスト受けに形成されるもので
あって、テストへノドの構造は格別複雑化することがな
い。

［実施例］ 以ド、図面を参照して、この発明の一実施例について説
明する。

第１図は、この発明によるテストヘッドの治具装着状態
を示す一部断面正面図である。この図において、１０は
テストヘッドであり、従来と同様のパフォーマンスボー
ド１２とコンタクトボード１４を有する。パフォーマン
スポード１２は図示しない筐体にねじなどによって固着
される。

コンタクトボード１４はリング状の平面形状であって、
その表面（図中では１−而）には多数のコンタクト（図
示せず）が形成されている。その各コンタクトはケーブ
ルなとによってパフォーマンスポード１２の接続パッド
に接続されているが、その配線の様ｒ−は図示されてい
ない。

コンタクトボード１４の２箇所に、プローバ側のガイド
ポストを受けるためのガイドポスト受け１６かナンド１
７、によって締め付は固定されている。このガイドポス
ト受け１６は、有底の円筒形状であって、ガイドポスト
との非係合部であるところの底部１８Ａに、治具取付用
のねじ穴１６Ｂが形成されている。

コンタクトボード１６はその面方向（パフォーマンスポ
ード１２と・ｔｔ行な方向）について、パフォーマンス
ポード１２に対して所定ｈ１だけ移動「ｊ■能となるよ
うに、可撓性支持具１８によって３箇所以−Ｌでパフォ
ーマンスポード１２に支持されている。

この可撓性支持具１８は一対の端部材２０Ａ。

２０Ｂの間にばね材などから作られたコイル２２を介在
させ、そのコイル２２の内部を通過させた線条２４（こ
こでは多心電線）の各端を接着などの方法によって端部
材２ＯＡ、２０Ｂに固着することにより、コイル２２を
１−分に圧縮させた状態に保持するように端部材２ＯＡ
、２０Ｂを引き寄せた構造である。このような構造のｉ
Ｊ挟外性支持具１８、全体として剛体に近（なり、伸縮
は殆ど不ｒｉＪ能であるが、横方向の力を加えることに
よりある程度の曲げ変形がＩＩＪ能であり、しかも曲げ
た状態で力を除くと直線状態に復旧する性質がある。

コンタクトボード１４の裏面には、リング部材３０がね
じなとによって固着されており、そのねじ穴に可撓性支
持具１８の一方の端部材２ＯＡのねじ部（図示せず）が
螺合固定せしめられている。

他方の端部材２０Ｂのねじ部は、スペーサ３４の内部ね
じ穴に螺合固定され、このスペーサ３４はねじ３６によ
ってパフォーマンスボード１２に固定されている。

第３図は、テストヘッド１０のブローμに結合した状態
を示す概略正面図である。この図において、４０はブロ
ーμであって、プローブカード４４、スプリングピンコ
ンタクトリング４６、マーカ４８などを備えている。

プローブカード４４には、そのド面に多数の探触Ｊ’−
４２が放射状に設けられており、上面の外周部には各探
触ｒと電気的に接続されたコンタクトが配列形成されて
いる。

スプリングピンコンタクトリング４６の円周部には、そ
の１−ドにｉ′１通するごとく多数のスプリングピンコ
ンタクト４７が設けられており、またテストヘッド１０
側の各ガイドポスト受け１６に対応したガイドポスト４
９が設けられている。各スプリングピンコンタクト４７
の一ド端は、プローブカード４４の対応したコンタクト
と接触している。

テストヘッド１０は１一方よりブローμ４０に結合され
、図示の結合状態となる。この結合時に、ガイドポスト
４９とガイドポスト受け１６とが嵌合し、コンタクトボ
ード１４とスプリングピンコンタクｌ−ＩＪソング８．
！：の相対位置が合わせられる。

ここで、このテストヘッド１０では、コンタクトボード
１４は可撓性支持具１８によってパフォーマンスポード
１２に支持されており、その面方向にある程度移動Ｉｌ
ｌ能となっている。したがって、テストヘッド１０とブ
ローμ４０との位置出しをそれほど高精度に行わなくて
も、その位置ずれはコンタクトボード１４の面方向の移
動によって吸収されるため、ガイドポスト４９およびガ
イドポスト受け１６に無理な力が作用せず、その破損や
激しい摩耗を防市できる。そして、コンタクトボード１
４とスプリングピンコンタクトリング４６との正常な位
置合わせがなされ、各スプリングピンコンタクト４７の
１１端がコンタクトボード１４の下面の対応コンタクト
（図示せず）に正しく接触せしめられる。

なお、ブローμ４０との結合状態において、可撓性支持
具１８にコンタクトボード１４などの重１１１がかかる
が、その前型は線条体２４によって支えられるため、コ
イル２２の伸びは１：ｉ（視できる程度である。

１１ｔび第１図において、１００は治具である。この冶
具１００は、ＩＣ（完ｊ戊品）を用いてＩＣ検沓ンステ
ムのデバッグを行う場合や、ＩＣの手差し検査を行う場
合に、図示のようにテストヘッド１０に装着される。

冶Ｌ−↓１００は、スプリングピンコンタクトリング１
０２の［−面に、押さえリング１０６を介して締め付は
リング１０８によりソケットボード１０４を押し付は固
定してなるものである。

スプリングピンコンタクトリング１０２は全体としてリ
ング形状であり、多数のスプリングピンコンタクト（図
示せず）が１・、ドに貫通するごとく配設されている。

ソケットボード１０４はＩＣを挿着できるソケット１１
０が搭載された基板であり、ソケット１１０の端ｒ・と
配線されたコンタクト（図示せず）が裏面に形成されて
いる。その各コンタクトは、スプリングピンコンタクト
リング１０２の対応したスプリングピンコンタクトの上
端に接触せしめられる。そのような接触を正しく行わせ
るために、スプリングピンコンタクトリング１０２の−
［−而の３箇所に位置決めピン１１２が植設されており
、それに対応した位置決め穴がソケットボード１０４に
穿たれている。

スプリングピンコンタクトリング１０２には支持板１１
３が４箇所に固着されており、それぞれの上端部にロー
ラ１１４が回転自在に軸支されている。

第２図は、押さえリング１０６および締め付はリング１
０８の組立体の概略斜視図である。この図にツバされる
ように、押さえリング１０６の裏面（図中では１−而）
に弧状溝１１６が４箇所に形成されている。各弧状溝１
１Ｂには弧状穴１１７が形成され、その弧状穴１１７を
通じて、ねじ１１８により押さえリング１０６は締め付
はリング１０８と相対的に回転ｉげ能に結合されている
。押さえリング１０６にはまた、４箇所に切欠き１２０
が形成されている。

締め付はリング１０８の外周面には、カム溝１２２が形
成されている。各カム溝１２２は傾斜面１２２Ａと切欠
き都１２２Ｂを有する。

＋１ｒび第１図において、スプリングピンコンタクトリ
ング１０２には、−Ｌ下に貫通したねじ穴１３０が２箇
所に形成されている。このねじ穴１３０には、−ド方よ
りガイドポスト１３２が螺着されている。このガイドポ
スト１３２には、取付ねじ１３４が進退可能かつ回転可
能に挿着されている。

この取付ねじ１３４の１一端には嫡子部１３４が設けら
れており、またド端にはねじＦｌ＜　１３４　Ｂが設け
られている。

冶具１００のテストへ、ド１０への装着、取り外しにつ
いて説明する。

まず、治具１００の分解状（６）において（その分解に
ついては後述する）、ガイドポスト１３２の先端をガイ
ドポスト受け１６に合わせてスプリングピンコンタクト
リング１０２を押しドげる。そうすると、ガイドポスト
１３２がガイドポスト受け１６に嵌入し、スプリングピ
ンコンタクトリン　　４グ１０２とコンタクトボード１
４との相対位置が正しく合わせられ、スプリングピンコ
ンタクトリング１０２の各スプリングピンコンタクトの
下端と、それに対応するコンタクトボード１４のコンタ
クトとが接触する。

次に、嫡子部１３４Ａを持って取付ねじ１３４を回し、
ねじ部１３４Ｂをガイドポスト受け１６の取付用ねじ穴
１６Ｂにねじ込む。嫡子部１３４Ａがスプリングピンコ
ンタクトリング１０２の上面に係１１二するまで取付ね
じ１３４を回せば、スプリングピンコンタクトリング１
０２はコンタクトボード１４に固定される。

その後、ソケットボード１０４を、その位置決め穴と位
置決めピン１１２によって位置決めして、スプリングピ
ンコンタクトリング１０２に載置する。そして、押さえ
リング１０６の切欠き１２０を支持板１１３に一致させ
、かつ締め付はリング１０８のカム溝１２２の切欠き部
１２２Ｂをローラ１１４に一致させて、押さえリング１
０６と締め付はリング１０８の組立体を押しドげる。そ
うすると、ローラ１１４がカム溝１２２に入り込む。

ついで締め付はリング１０８を時計回り方向に回転させ
ると、ローラ１１４と傾斜面１２２Ａとの係合によって
、締め付はリング１０８はさらに押しドげられ、その結
果、押さえリング１０６とスプリングピンコンタクトリ
ング１０２の間にソケットボード１０４が挟圧固定され
る。これて治具ｌＯＯの装着は完了である。

なお、押さえリング１０６は切欠き１２０で支持板１１
３に係１１ユされるため、締め付はリング１０８の回転
中に回転しない。したがって、ソケットボード１０４に
傷がつきにくい。

このようにしてテストへノド１０に冶ｇｔｏ。

を取り付ければ、ソケット１１０にＩＣを挿入してＩＣ
検査システムのデバツグを行うことかできる。また、Ｉ
Ｃをソケット１１Ｏに手差しして検査することもできる
。

冶具１００を取り外すには、まず締め付はリング１０８
を反時計回り方向に回して引き上げる。

次にソケットボード１０４を取り外す。最後に取り付け
ねじ１３４を逆方向に回して、ねじ部１３４Ｂを取付用
ねじ穴１８Ｂより脱出させてスプリングピンコンタクト
リング１０２を取り外す。

以−１−１一実施例について説明したが、この発明はそ
れたけに限定されることない。

例えば、ガイドポスト受けの構造、取付位置、取付方法
を適宜変形し得る。

また、コンタクトボードを省き、パフォーマンスボード
を直接的にプローバと結合させることもでき、その場合
、パフォーマンスボードにガイドポスト受けを設けてよ
い。

冶具の構造も適宜変形してよいものである。

これ以外にも、この発明のＩ旨から逸脱しない範囲内で
種々の変形が緩さけるものである。

［発明の効果コ 以−Ｌの説明から明らかなように、この発明は、プロー
バとの結合のためにプローバ側のガイドポストを受ける
ガイドポスト受けを備えるテストへ、ノドにおいて、ガ
イドポスト受けのガイドポストとの非係合部に治具取付
用のねじ穴を形成するものであるから、冶具側にガイド
ポスト受けに対応させて取付ねじを設けておくだけで、
その取付ねじとねし穴との螺合によって、冶具の取付お
よび取り外しを容易に行うことができ、また、そのねじ
穴は、ガイドポスト受けのガイドポストとの非係合部に
形成されるから、冶具側にガイドポスト受けに対応させ
たガイドポストを設け、それをガイドポスト受けに嵌合
させることができるため、冶具とコンタクトボードなど
との位置合わせも支障なく行うことができ、さらに治具
取付用のねし穴は、テストへ、ドに元から設けられてい
るガイドポスト受けに形成されるものであって、テスト
ヘッドの構造は格別廖り１Ｆ化することがない、などの
効果を達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるテストヘッドおよび冶具を示す
一部断面の概略正面図、第２図は押さえリングと締め付
はリングの組立体の概略斜視図、第３図はプローバに結
合した状態のテストヘッドを示す概略正面図である。 １０・・・テストヘッド、１２・・・パフォーマンスポ
ード、１４・・・コンタクトボード、１６・・・ガイド
ポスト受け、１６Ａ・・・取付用ねじ穴、４０・・・プ
ローパ、４９・・・ガイドポスト、１００・・・治Ｍ、
１０２・・・スプリングビンコンタクトリング、１０４
・・・ソケットボード、１０６・・・押さえリング、１
０８・・・締め付はリング、１１４・・・ローラ、１３
２・・・ガイドポスト、１３４・・・取付ねじ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）プローバとの結合のためにプローバ側のガイドポ
   ストを受けるガイドポスト受けを備えるテストヘッドに
   おいて、ガイドポスト受けのガイドポストとの非係合部
   に治具取付用のねじ穴が形成されていることを特徴とす
   るテストヘッド。
2. （２）ガイドポスト受けは全体として有底の円筒状であ
   って、その底部に治具取付用のねじ穴が形成されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のテストヘ
   ッド。