KR100632032B1 - 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 ｄｃ 검사장비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 DC 검사장비를 개시한다.

이를 위한 본 발명은 소자의 종류에 따라 다른 프로브 카드를 사용해 웨이퍼의 DC 파라메트릭을 측정하기 위해서 본체로부터 개폐 가능한 헤드 스테이지 저면에 다수의 핀홀이 형성된 도너츠 형상의 내측 링을 구비하며, 내측 링과 동일한 형상 및 크기로 형성되고 핀홀과 대응하는 다수의 돌출핀이 형성된 프로브 카드를 구비하는 DC 검사장비에 있어서, 내측 링으로부터 프로브 카드를 분리하거나 결합할 때 작업자가 프로브 카드만을 손으로 쥐기 편리하도록 내측 링의 외주면 일단에 분리 가이드를 형성함으로써 프로브 카드를 교체할 때 작업자의 피로도와 프로브 카드의 훼손율을 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Description

프로브 카드 분리 가이드를 구비한 ＤＣ 검사장비{DC TEST EQUIPMENT WITH GUIDE FOR SEPARATING PROBE CARD}

도 1은 일반적인 DC 검사장비를 도시한 개략 사시도,

도 2는 종래기술에 따른 헤드 스테이지가 개방된 상태를 도시한 개략 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 헤드 스테이지가 개방된 상태를 도시한 개략 사시도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 ; 헤드 스테이지 11 ; 내측 링

12 ; 핀홀 13 ; 분리 가이드

본 발명은 DC 검사장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 DC 파라메트릭 측정에 필요한 프로브 카드를 탈부착할 때 프로브 카드의 파손을 방지하기 위해 내측링 일단에 프로브 카드를 용이하게 분리할 수 있도록 하는 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 DC 검사장비에 관한 것이다.

일반적으로 DC(Direct Current) 검사장비는 웨이퍼의 DC 파라메트릭을 측정 하기 위한 것으로, 장치에 대한 개괄적인 구성이 도 1에 도시되어 있으며, 도 2는 종래기술에 따른 헤드 스테이지의 개방된 상태를 도시한 개략 사시도이다.

도시된 바와 같이, 종래의 DC 검사장비는 본체(1)의 일단에 웨이퍼의 이송 및 로딩을 위한 엘리베이터 장치(2)와 로딩 장치(3)가 마련되어 있으며, 본체(1) 내부에는 프로브 카드를 장착하기 위한 내측 링(4)이 마련되어 있으며, 내측 링(4)은 본체(1)의 상면에 개폐 가능하도록 마련된 헤드 스테이지(5)의 저면에 마련되어 있다.

내측 링(4)은 도너츠 형상을 이루며, 다수의 핀홀(6), 대략 60개 정도가 형성되어 있으며, 프로브 카드에는 이 핀홀(6)과 대응되도록 작고 얇은 돌출핀이 형성되어 서로 결합된다.

한편, 웨이퍼의 DC 파라메트릭을 측정하기 위해서는 웨이퍼에 형성된 소자의 종류에 따라 다른 프로브 카드를 사용해야 하며, 이를 위해서는 본체(1) 내부에 장착된 프로브 카드를 교체해야 한다.

종래에는 프로브 카드를 교체하기 위해서 먼저 헤드 스테이지(5)의 가장자리에 체결된 스크류를 푼 후 헤드 스테이지(5)의 일단을 들어올려 헤드 스테이지(5)의 저면이 노출되도록 개방한다. 프로브 카드는 헤드 스테이지(5) 저면에 장착되어 있으므로 프로브 카드를 작업자가 손으로 쥐고 잡아당겨 분리한다.

그런데 프로브 카드나 내측 링(4) 주변에는 얇은 전선들이 배치되어 있으며, 대략 60개 가량되는 프로브 카드의 작고 얇은 돌출핀이 촘촘하게 내측 링(4)의 핀홀(6)에 끼워져 있으며, 프로브 카드와 내측 링(4)의 크기가 똑같아 상당한 힘을 가해야하며 균등하게 잡아당겨야 분리가능하다.

이처럼 종래의 구조는 프로브 카드를 분리하는데 필요한 힘을 가하기에 매우 불편한 내부 구조를 이루고 있어 어느 일측으로 편중된 힘이 무리하게 가해져 프로브 카드가 파손되거나 돌출핀이 손상될 우려가 항상 존재했다. 따라서, 사용자는 손바닥으로 프로브 카드를 완전히 감싼 상태로 분리작업을 하고 있지만 이와 같은 작업이 계속 반복됨에 따라 작업자의 피로도와 프로브 카드의 훼손율이 지속적으로 증가되는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명은 이와같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 헤드 스테이지로부터 프로브 카드를 분리 및 결합하는데 필요한 힘을 가하기에 편리하도록 내측 링 일단에 분리 가이드를 형성하여 작업자의 피로도와 프로브 카드의 훼손율을 감소시킬 수 있는 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 DC 검사장비를 제공하는데 그 목적이 있다.

이와같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 소자의 종류에 따라 다른 프로브 카드를 사용해 웨이퍼의 DC 파라메틱을 측정하기 위해서 본체로부터 개폐 가능한 헤드 스테이지 저면에 다수의 핀홀이 형성된 도너츠 형상의 내측 링을 구비하며, 내측 링과 동일한 형상 및 크기로 형성되고 핀홀과 대응하는 다수의 돌출핀이 형성된 프로프 카드를 구비하는 DC 검사장비에 있어서, 내측 링으로부터 프로브 카드를 분리하거나 결합할 때 작업자가 프로브 카드만을 손으로 쥐기 편리하도록 내측 링의 외주연 일단에 분리 가이드가 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 헤드 스테이지가 개방된 상태를 도시한 개략 사시도이다.

본 발명에 따른 DC 검사장비의 헤드 스테이지는 본체의 상면에 개폐 가능하도록 설치되며, 내측 링은 헤드 스테이지의 저면에 마련된다.

내측 링(11)은 도너츠 형상을 이루며, 내측 링(11) 테두리를 따라 대략 60개 가량의 핀홀(12)이 원형으로 형성된 구조를 갖는다.

프로브 카드는 도면상 미도시되어 있으나, 대략 내측 링(11)과 형상 및 크기가 동일하며 내측 링(11)의 핀홀(12)과 대응하는 작고 얇은 돌출핀이 다수개 형성된다.

따라서, 프로브 카드의 돌출핀이 핀홀(12)에 삽입되어 서로 결합된다.

한편, 웨이퍼의 DC 파라메트릭을 측정하기 위해서는 앞서 언급한 바와 같이, 웨이퍼에 형성된 소자의 종류에 따라 다른 프로브 카드를 사용해야 하며, 이를 위해서는 헤드 스테이지(10)에 프로브 카드를 수시로 교체해야 한다.

이와 같은 프로브 카드의 교체작업을 위해 본 발명에서는 헤드 스테이지(10)로부터 프로브 카드를 분리 및 결합하는데 필요한 힘을 가하기에 편리하도록 내측 링(11)의 외주면에 오목한 홈 형상으로 형성되는 분리 가이드(13)가 마련된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 분리 가이드(13)는 내측 링(11) 외주면의 직경상에 2개 형성되는 것이 바람직하다.

이와 같이 프로브 카드를 용이하게 분리 및 결합하기 위한 분리 가이드(13)가 마련된 DC 검사장비는 프로브 카드를 교체할 때 작업자의 손가락이 분리 가이드(13)에 위치하도록 하면 내측 링(11)은 분리 가이드(13)에 의해 잡히지 않고 프로브 카드만이 손가락에 잡히게 되어 쉽게 분리할 수 있다.

따라서, 작업자의 피로도 감소와 프로브 카드의 훼손을 방지할 수 있게 되며, 장비의 가동정지 시간을 최소화하여 장비 가동률을 극대화 할 수 있게 된다.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시키지 않고 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 내측 링 일단에 분리 가이드를 형성함으로써 프로브 카드를 교체할 때 작업자의 피로도와 프로브 카드의 훼손율을 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (3)

1. 소자의 종류에 따라 다른 프로브 카드를 사용해 웨이퍼의 DC 파라메트릭을 측정하기 위해서 본체로부터 개폐 가능한 헤드 스테이지 저면에 다수의 핀홀이 형성된 도너츠 형상의 내측 링을 구비하며, 내측 링과 동일한 형상 및 크기로 형성되고 핀홀과 대응하는 다수의 돌출핀이 형성된 프로브 카드를 구비하는 DC 검사장비에 있어서,

   상기 내측 링으로부터 상기 프로브 카드를 분리하거나 결합할 때 작업자가 상기 프로브 카드만을 손으로 쥐기 편리하도록 상기 내측 링의 외주면에 분리 가이드를 형성하는 것을 특징으로 하는 DC 검사장비.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 분리 가이드는 상기 내측 링의 외주면으로부터 오목한 홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 DC 검사장비.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 분리 가이드는 상기 내측링의 외주면의 직경상에 2개 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 DC 검사장비.

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