KR0132639Y1 - 웨이퍼 검사용 클램핑장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 생산장비중 패턴이 형성된 웨이퍼의 이상유무를 검사하기 위한 웨이퍼검사용 클램핑장치에 관한 것으로, 중공되게 형성되며 상기 웨이퍼 가장자리부분이 놓여져 지지될 수 있도록 그 내주연부가 단턱지게 형성된 밑판; 상기 밑판과 동일형상을 가지고 그의 상단부에 장착되며, 단턱부에 결합되어 웨이퍼를 눌러줄 수 있도록 그 내주연부에 격자형상으로 돌출된 집게편이 다수 구비된 상판; 상기 밑판과 상판을 연결하며, 상기 상판이 힌지핀을 중심으로 상하 회동되도록 하는 연결편을 제공하여 웨이퍼가 고정된 클램프를 손쉽게 들고 이상유무를 장시간 검사할 수 있고, 다른 작업자에게도 건네주기가 용이하므로서 에이퍼 클램피에 따른 기존의 파손 및 긁힘등을 방지하여 경제적 손실을 절감할 수 있는 효과가 있다.
Description
제1도는 본 고안에 의한 웨이퍼 검사용 클램핑장치의 일실시예 구성도.
제2도는 본 고안에 의한 밑판의 구성도.
제3도는 본 고안에 의한 상판의 구성도.
제4a도 및 제4b도는 제1도의 A부 및 B부의 요부상세도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 밑판 1a : 제1연장편
1b : 단턱부 2 : 손잡이
3 : 상판 3a : 집게편
4 : 연결편 5 : 텐션스프링
6 : 힌지핀
본 고안은 반도체 생산장비중 패턴이 형성된 웨이퍼의 이상유무를 검사하기 위한 웨이퍼 검사용 클램핑장치에 관한 것이다.
일반적으로, 감광막이 코팅된 웨이퍼는 노광장비인 스텝퍼에서 노광공정을 수행하여 소정패턴을 형성한다.
그리고, 상기 패턴이 형성된 웨이퍼는 주위의 여러가지 불안전한 환경요소로 인한 파티클등의 발생요인이 있는지의 이상유무를 판단하기 위하여 작업자가 소정의 핀셋과 같은 공구등으로 잡고 들어올려 확인하게 되는데, 이때 상기 핀섹등의 공구로 웨이퍼를 잡아 지지하는 부분이 가장자리이기 때문에 이상유무를 장시간동안 자세하게 관찰하기가 매우 힘들고, 또한, 작업자의 부주의로 인해 상기 웨이퍼를 놓치거나 웨이퍼를 잡기위한 공구의 날카로움에 의해 긁힘이 발생할 소지가 다발하는 문제점을 내포하고 있었다.
따라서, 본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 패턴이 형성된 웨이퍼의 이상유무를 검사시 웨이퍼의 가장자리부분만을 안정적으로 고정하여 작업자가 손쉽게 검사할 수 있도록 한 웨이퍼 검사용 클램핑장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 스텝퍼장비의 노광공정에 의해 패턴이 형성된 웨이퍼를 검사하기 위한 웨이퍼 클램핑장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 가장자리부분이 놓여져 지지될 수 있도록 내주연부에 단턱부가 형성된 웨이퍼 지지수단; 상기 웨이퍼 지지수단의 대향부에 장착되며, 상기 단턱부에 결합되어 웨이퍼를 줄러줄 수 있도록 내주연부에 집게편이 다수 구비된 고정수단; 및 상기 웨이퍼 지지수단과 고정수단을 연결하는 연결수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 클램핑장치를 제공한다.
이하, 첨부된 제1도 내지 제4도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.
제1도는 본 고안에 의한 웨이퍼 검사용 클램핑장치의 일실시예 구성도, 제2도는 본 고안에 의한 밑판의 구성도, 제3도는 본 고안에 의한 상판의 구성도, 제4a도 및 제4b도는 제1도의 A부 및 B부의 요부상세도로서, A부는 측단면도, B부는 밑판과 상판의 결합에 따른 상세구성도를 나타낸다.
도면에서 1은 밑판, 1a는 제1연장편, 1b는 단턱부, 2는 손잡이, 3은 상판, 3a는 집게편, 4는 연결편, 5는 텐션스프링, 6은 힌지핀을 각각 나타낸 것이다.
도면에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 검사용 클램핑장치는 패턴이 형성된 웨이퍼의 가장자리부분을 확실히 잡아 지지하기 위한 것으로, 상기 웨이퍼 고정을 위한 클램프는 웨이퍼의 가장자리를 받쳐주기위한 밑판(1)과, 상기 밑판(1)의 상단부에 장착되어 상기 웨이퍼의 가장자리를 눌러 잡아줄 수 있도록 하는 상판(3)으로 크게 나뉘는데, 여기서 상기 밑판(1)은 일측부가 개방된 소정크기의 링형상으로 형성되며, 타측부에 소정크기만큼 외측으로 연장된 제1연장편(1a)이 일체로 구비되되, 상기 제1연장편(1a)의 단부에는 소정크기의 손잡이(2)가 끼워져 장착된다.
또한, 상기 밑판(1)의 내주연부에는 소정크기로 단턱진 단턱부(1b)가 형성되어 상기 웨이퍼의 가장자리부분이 놓여져 지지될 수 있도록 한다.
그리고, 상기 밑판(1)의 상부에 대향하는 상기 상판(3)은 밑판(1)과 동일한 외형을 가지되, 제2연장편(3a)이 소정각만큼 상측으로 향하도록 형성되며, 상기 제2연장편(3a) 하면에는 소정간격을 두고 고정부가 형성된다.
또한, 상기 상판(3)의 내주연부에는 격자형상으로 돌출된 집게편(3b)이 소정간격마다 다수 구비되어 상기 밑판(1)의 단턱부(1b)에 포개져 결합되므로서 웨이퍼를 가압하여 고정할 수 있도록 한다.
여기서, 상기 밑판(1)에 장착되는 상판(3)은 집게형상으로 결합되는 구조를 제시하고 있는 바, 상기 밑판(1)의 제1연장편(1a)상에는 소정크기의 연결편(4)이 구비되며, 상기 연결편(4)에는 제2연장편(3a)에 형성된 고정부가 끼워져 힌지핀(6)에 의해 지지되도록 한다.
이때, 상기 힌지편(6)에는 제1연장편(1a)의 상면과 제2연장편(3a)의 하면에 접하도록 텐션스프링(5)이 구비되어 상기 밑판(1)으로 부터 상판(3)이 회동하면서 웨이퍼를 가압할 수 있도록 한 것이다.
따라서, 상기 웨이퍼의 가장자리부분을 밑판의 단턱부와 상판의 집게편에 의해 고정되도록 하고, 손잡이로 들고 패턴의 이상유무를 면밀히 관찰할 수 있는 것이다.
상기와 같이 구성되어 작용하는 본 고안은 웨이퍼가 고정된 클램프를 손쉽게 들고 이상유무를 장시간 검사할 수 있고, 다른 작업자에게도 건네주기가 용이하므로서 웨이퍼 클램핑에 따른 파손이나 긁힘등을 방지하여 경제적 손실을 절감할 수 있는 효과가 있다.
Claims (2)
- 스텝퍼장비의 노광공정에 의해 패턴이 형성된 웨이퍼를 검사하기 위한 웨이퍼 클램핑장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 가장자리부분이 놓여저 지지될 수 있도록 내주연부에 단턱부가 형성된 웨이퍼 지지수단; 상기 웨이퍼 지지수단의 대향부에 장착되며, 상기 단턱부에 결합되어 웨이퍼를 눌러줄 수 있도록 내주연부에 집게편이 다수 구비된 고정수단; 및 상기 웨이퍼 지지수단과 고정수단을 연결하는 연결수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 클램핑장치.
- 제1항에 있어서, 상기 연결수단이 상기 웨이퍼 지지수단과 고정수단의 연결부위를 관통하는 힌지핀과, 상기 힌지핀에 감겨지며 양단부가 웨이퍼 지지수단의 상면과 고정수단의 하면에 각각 접하여, 상기 고정수단의 집게편에 가압력을 제공된 텐션스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 클램핑장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940035965U KR0132639Y1 (ko) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 웨이퍼 검사용 클램핑장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940035965U KR0132639Y1 (ko) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 웨이퍼 검사용 클램핑장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960025428U KR960025428U (ko) | 1996-07-22 |
| KR0132639Y1 true KR0132639Y1 (ko) | 1999-02-01 |
Family
ID=19402900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940035965U KR0132639Y1 (ko) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 웨이퍼 검사용 클램핑장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0132639Y1 (ko) |
-
1994
- 1994-12-26 KR KR2019940035965U patent/KR0132639Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960025428U (ko) | 1996-07-22 |
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