JPH06349910A - プローブカードの針位置合わせ方法 - Google Patents
プローブカードの針位置合わせ方法Info
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- JPH06349910A JPH06349910A JP5526094A JP5526094A JPH06349910A JP H06349910 A JPH06349910 A JP H06349910A JP 5526094 A JP5526094 A JP 5526094A JP 5526094 A JP5526094 A JP 5526094A JP H06349910 A JPH06349910 A JP H06349910A
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- card
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プローブカード１の初期針位置合わせを、従
来のような手作業によることなく自動で効率的に行わせ
ることを可能とする。 【構成】 プローブカード１の探針１ａのうちの少なく
とも１体の絶対位置座標を認識して装置本体内に記憶さ
せ、ついで各探針１ａどうし間の相対位置情報を参照し
て、探針１ａの針立中心の位置を算出しその絶対位置座
標を求め、これをカード取付穴４の穴中心の絶対位置座
標と比較して、針位置の誤差を算出するものであって、
プローブカード１の取付構造に累積的に生じている最終
的な取付誤差を、各々の個別的な誤差を順次認識するこ
となく、ほぼ瞬間的に、しかも自動で認識するように構
成したもの。
来のような手作業によることなく自動で効率的に行わせ
ることを可能とする。 【構成】 プローブカード１の探針１ａのうちの少なく
とも１体の絶対位置座標を認識して装置本体内に記憶さ
せ、ついで各探針１ａどうし間の相対位置情報を参照し
て、探針１ａの針立中心の位置を算出しその絶対位置座
標を求め、これをカード取付穴４の穴中心の絶対位置座
標と比較して、針位置の誤差を算出するものであって、
プローブカード１の取付構造に累積的に生じている最終
的な取付誤差を、各々の個別的な誤差を順次認識するこ
となく、ほぼ瞬間的に、しかも自動で認識するように構
成したもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プローブカードの針位
置合わせ方法に関する。
置合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】装置本体のカード取付台に対して交換可
能に装着されるプローブカードを用いて、各種被測定物
の電気的特性を検査するようにしたプローブ測定は、従
来から種々の製造工程で採用されている。このプローブ
測定は、被測定物例えば半導体ウエハ上にマトリックス
状に成形された半導体チップの各電極に対して、プロー
ブカードの探針すなわちプローブ針を電気的に接触さ
せ、半導体チップを所定の測定装置内の回路と導通させ
て行われる。
能に装着されるプローブカードを用いて、各種被測定物
の電気的特性を検査するようにしたプローブ測定は、従
来から種々の製造工程で採用されている。このプローブ
測定は、被測定物例えば半導体ウエハ上にマトリックス
状に成形された半導体チップの各電極に対して、プロー
ブカードの探針すなわちプローブ針を電気的に接触さ
せ、半導体チップを所定の測定装置内の回路と導通させ
て行われる。
【０００３】このようなプローブ測定を行うにあたって
は、図６に示されているように、まずプローブカード１
を保持するリングインサート等からなるカード保持体２
が、プローバ装置本体のヘッドプレート３に設けられた
カード取付穴４内に装着される。そして測定の開始前
に、プローブカード１のプローブ針１ａの位置と、図示
を省略した被測定物の針接触部の位置とが相互に位置合
わせされ、測定動作の初期設定が行われるようになって
いる。
は、図６に示されているように、まずプローブカード１
を保持するリングインサート等からなるカード保持体２
が、プローバ装置本体のヘッドプレート３に設けられた
カード取付穴４内に装着される。そして測定の開始前
に、プローブカード１のプローブ針１ａの位置と、図示
を省略した被測定物の針接触部の位置とが相互に位置合
わせされ、測定動作の初期設定が行われるようになって
いる。
【０００４】この針位置合わせは、以下述べるような累
積的な取付誤差のために必要とされる。すなわち、まず
図７にも示されているように、上記カード取付穴４の穴
中心CL1 に対して、カード保持体２のリング中心CL2 が
装着時に僅かにずれてしまう。さらにこのカード保持体
２のリング中心CL2 に対して、プローブカード１のカー
ド中心CL3 が、元々ずれて取り付けられている。加えて
図８にも示されているように、プローブカード１にプロ
ーブ針１ａを針立てする場合に、上記プローブカード１
のカード中心CL3 に対して針立中心CL4 がずれてしまっ
ている。このような各取付誤差は、図９にも示されてい
るように、Ｘ方向及びＹ方向にそれぞれ累積的に生じ
る。そのため従来から、以下のような針位置と電極との
位置合わせ操作が実行されている。
積的な取付誤差のために必要とされる。すなわち、まず
図７にも示されているように、上記カード取付穴４の穴
中心CL1 に対して、カード保持体２のリング中心CL2 が
装着時に僅かにずれてしまう。さらにこのカード保持体
２のリング中心CL2 に対して、プローブカード１のカー
ド中心CL3 が、元々ずれて取り付けられている。加えて
図８にも示されているように、プローブカード１にプロ
ーブ針１ａを針立てする場合に、上記プローブカード１
のカード中心CL3 に対して針立中心CL4 がずれてしまっ
ている。このような各取付誤差は、図９にも示されてい
るように、Ｘ方向及びＹ方向にそれぞれ累積的に生じ
る。そのため従来から、以下のような針位置と電極との
位置合わせ操作が実行されている。
【０００５】針位置合わせを行う場合には、最終的にプ
ローブカード１の針立中心CL4 を、カード取付穴４の穴
中心CL1 に位置合わせすればよいこととなるが、プロー
ブカード１の針立中心CL4 は、直接的に見ることができ
ず、その絶対位置座標も直ちに認識することはできな
い。従って、従来から行われている具体的な位置合わせ
の方法としては、例えば、プローブカードの針と被測定
物とを実際に目視しながら徐々に位置合わせを行った
り、テレビカメラ等を用いてプローブ針及び電極を上下
に見てそれぞれの絶対位置座標を認識しながら行った
り、電極に針跡を付ける工程を何度か繰り返して行い、
正確な接触を得るように位置合わせすること等の方法が
ある。
ローブカード１の針立中心CL4 を、カード取付穴４の穴
中心CL1 に位置合わせすればよいこととなるが、プロー
ブカード１の針立中心CL4 は、直接的に見ることができ
ず、その絶対位置座標も直ちに認識することはできな
い。従って、従来から行われている具体的な位置合わせ
の方法としては、例えば、プローブカードの針と被測定
物とを実際に目視しながら徐々に位置合わせを行った
り、テレビカメラ等を用いてプローブ針及び電極を上下
に見てそれぞれの絶対位置座標を認識しながら行った
り、電極に針跡を付ける工程を何度か繰り返して行い、
正確な接触を得るように位置合わせすること等の方法が
ある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところがこのようなオ
ペレーターの目視等により行うようにした従来の針位置
合わせ方法では、操作が手作業となるために効率的なプ
ローブ測定を行うことができず、特に、複数種類のプロ
ーブカードを順次交換して測定を行う場合には多大な時
間を要する。また、いわゆる垂直針を備えたプローブカ
ード等のように、針接触部分を視覚的に遮蔽するプロー
ブカードを用いる場合には、上述した位置合わせのため
の目視が不可能となってしまい、針位置合わせそのもの
を行うことができない場合もある。
ペレーターの目視等により行うようにした従来の針位置
合わせ方法では、操作が手作業となるために効率的なプ
ローブ測定を行うことができず、特に、複数種類のプロ
ーブカードを順次交換して測定を行う場合には多大な時
間を要する。また、いわゆる垂直針を備えたプローブカ
ード等のように、針接触部分を視覚的に遮蔽するプロー
ブカードを用いる場合には、上述した位置合わせのため
の目視が不可能となってしまい、針位置合わせそのもの
を行うことができない場合もある。
【０００７】そこで本発明は、プローブカードの針位置
と被測定物の針接触部の位置との位置合わせを、自動で
効率的に行わせることができるようにしたプローブカー
ドの針位置合わせ方法を提供することを目的とする。
と被測定物の針接触部の位置との位置合わせを、自動で
効率的に行わせることができるようにしたプローブカー
ドの針位置合わせ方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明にかかる第１の手段は、プローブカードを保持す
るカード保持体を、装置本体のカード取付穴に装着し、
上記プローブカードに針立された複数体の探針の針立中
心と、前記カード取付穴の穴中心との位置誤差を求め、
被測定物と探針との位置合わせを行うようにしたプロー
ブカードの針位置合わせ方法において、上記カード取付
穴の穴中心の絶対位置座標を、予め装置本体内に記憶さ
せておく予備位置合わせ工程と、前記プローブカードの
探針のうちの少なくとも１体の絶対位置座標を認識して
装置本体内に記憶させる位置合わせ第１工程と、各探針
どうし間の相対位置情報を参照して、探針の針立中心を
相対位置座標として算出する位置合わせ第２工程と、前
記位置合わせ第１工程で得た探針の絶対位置座標に基づ
いて、上記位置合わせ第２工程で得た探針の針立中心の
相対位置座標を、絶対位置座標で算出する位置合わせ第
３工程と、この位置合わせ第３工程で得た探針の針立中
心の絶対位置座標を、前記予備位置合わせ工程で記憶さ
れているカード取付穴の穴中心の絶対位置座標と比較
し、両者の位置誤差を算出する位置合わせ第４工程と、
を備えた構成を有している。
本発明にかかる第１の手段は、プローブカードを保持す
るカード保持体を、装置本体のカード取付穴に装着し、
上記プローブカードに針立された複数体の探針の針立中
心と、前記カード取付穴の穴中心との位置誤差を求め、
被測定物と探針との位置合わせを行うようにしたプロー
ブカードの針位置合わせ方法において、上記カード取付
穴の穴中心の絶対位置座標を、予め装置本体内に記憶さ
せておく予備位置合わせ工程と、前記プローブカードの
探針のうちの少なくとも１体の絶対位置座標を認識して
装置本体内に記憶させる位置合わせ第１工程と、各探針
どうし間の相対位置情報を参照して、探針の針立中心を
相対位置座標として算出する位置合わせ第２工程と、前
記位置合わせ第１工程で得た探針の絶対位置座標に基づ
いて、上記位置合わせ第２工程で得た探針の針立中心の
相対位置座標を、絶対位置座標で算出する位置合わせ第
３工程と、この位置合わせ第３工程で得た探針の針立中
心の絶対位置座標を、前記予備位置合わせ工程で記憶さ
れているカード取付穴の穴中心の絶対位置座標と比較
し、両者の位置誤差を算出する位置合わせ第４工程と、
を備えた構成を有している。
【０００９】また本発明にかかる第２の手段は、プロー
ブカードを保持するインサートリングを、プローバ装置
本体のヘッドプレートに設けられたカード取付穴に装着
し、上記プローブカードに針立された複数体のプローブ
針の針立エリアの中心と、前記カード取付穴の穴中心と
の位置誤差を求め、被測定物とプローブ針との位置合わ
せを行うようにしたプローブカードの針位置合わせ方法
において、上記カード取付穴の穴中心の絶対位置座標
を、予め装置本体内に記憶させておく予備位置合わせ工
程と、前記プローブカードのプローブ針のうちの少なく
とも１体の絶対位置座標を認識してプローバ装置本体内
に記憶させる位置合わせ第１工程と、各プローブ針どう
し間の相対位置情報を参照して、プローブ針の針立中心
を相対位置座標として算出する位置合わせ第２工程と、
前記位置合わせ第１工程で得たプローブ針の絶対位置座
標に基づいて、上記位置合わせ第２工程で得たプローブ
針の針立中心の相対位置座標を、絶対位置座標で算出す
る位置合わせ第３工程と、この位置合わせ第３工程で得
たプローブ針の針立中心の絶対位置座標を、前記予備位
置合わせ工程で記憶されているカード取付穴の穴中心の
絶対位置座標と比較し、両者の位置誤差を算出する位置
合わせ第４工程と、を備えた構成を有している。
ブカードを保持するインサートリングを、プローバ装置
本体のヘッドプレートに設けられたカード取付穴に装着
し、上記プローブカードに針立された複数体のプローブ
針の針立エリアの中心と、前記カード取付穴の穴中心と
の位置誤差を求め、被測定物とプローブ針との位置合わ
せを行うようにしたプローブカードの針位置合わせ方法
において、上記カード取付穴の穴中心の絶対位置座標
を、予め装置本体内に記憶させておく予備位置合わせ工
程と、前記プローブカードのプローブ針のうちの少なく
とも１体の絶対位置座標を認識してプローバ装置本体内
に記憶させる位置合わせ第１工程と、各プローブ針どう
し間の相対位置情報を参照して、プローブ針の針立中心
を相対位置座標として算出する位置合わせ第２工程と、
前記位置合わせ第１工程で得たプローブ針の絶対位置座
標に基づいて、上記位置合わせ第２工程で得たプローブ
針の針立中心の相対位置座標を、絶対位置座標で算出す
る位置合わせ第３工程と、この位置合わせ第３工程で得
たプローブ針の針立中心の絶対位置座標を、前記予備位
置合わせ工程で記憶されているカード取付穴の穴中心の
絶対位置座標と比較し、両者の位置誤差を算出する位置
合わせ第４工程と、を備えた構成を有している。
【００１０】さらに本発明にかかる第３の手段は、プロ
ーブカードを保持するカード保持体を、装置本体のカー
ド取付穴に装着し、上記プローブカードに針立された複
数体のプローブ針の針立中心と、前記カード取付穴の穴
中心との位置誤差を求め、被測定物とプローブ針との位
置合わせを行うようにしたプローブカードの針位置合わ
せ方法において、上記プローブカードと合同な形状を有
する疑似カードをカード取付穴に装着した後、当該疑似
カードのカード中心の絶対位置座標を認識し、その絶対
位置座標を、位置合わせ前に予め装置本体内に記憶させ
ておく予備位置合わせ工程と、前記プローブカードのプ
ローブ針のうちの少なくとも１体の絶対位置座標を認識
し、その絶対位置座標を装置本体内に記憶させる位置合
わせ第１工程と、各プローブ針どうし間の相対位置情報
を参照して、プローブ針の針立中心を相対位置座標とし
て算出する位置合わせ第２工程と、前記位置合わせ第１
工程で得たプローブ針の絶対位置座標に基づいて、上記
位置合わせ第２工程で得たプローブ針の針立中心の相対
位置座標を、絶対位置座標で算出する位置合わせ第３工
程と、この位置合わせ第３工程で得たプローブ針の針立
中心の絶対位置座標を、前記予備位置合わせ工程で記憶
されている疑似カードのカード中心の絶対位置座標と比
較し、両者の位置誤差を算出する位置合わせ第４工程
と、を備えた構成を有している。
ーブカードを保持するカード保持体を、装置本体のカー
ド取付穴に装着し、上記プローブカードに針立された複
数体のプローブ針の針立中心と、前記カード取付穴の穴
中心との位置誤差を求め、被測定物とプローブ針との位
置合わせを行うようにしたプローブカードの針位置合わ
せ方法において、上記プローブカードと合同な形状を有
する疑似カードをカード取付穴に装着した後、当該疑似
カードのカード中心の絶対位置座標を認識し、その絶対
位置座標を、位置合わせ前に予め装置本体内に記憶させ
ておく予備位置合わせ工程と、前記プローブカードのプ
ローブ針のうちの少なくとも１体の絶対位置座標を認識
し、その絶対位置座標を装置本体内に記憶させる位置合
わせ第１工程と、各プローブ針どうし間の相対位置情報
を参照して、プローブ針の針立中心を相対位置座標とし
て算出する位置合わせ第２工程と、前記位置合わせ第１
工程で得たプローブ針の絶対位置座標に基づいて、上記
位置合わせ第２工程で得たプローブ針の針立中心の相対
位置座標を、絶対位置座標で算出する位置合わせ第３工
程と、この位置合わせ第３工程で得たプローブ針の針立
中心の絶対位置座標を、前記予備位置合わせ工程で記憶
されている疑似カードのカード中心の絶対位置座標と比
較し、両者の位置誤差を算出する位置合わせ第４工程
と、を備えた構成を有している。
【００１１】さらにまた本発明にかかる第４の手段は、
上記第１又は２又は３の手段の構成において、プローブ
カードの各プローブ針どうし間の相対位置情報を、被測
定物の設計情報から得て、装置本体内に記憶させる予備
位置合わせ工程を有する構成になされている。
上記第１又は２又は３の手段の構成において、プローブ
カードの各プローブ針どうし間の相対位置情報を、被測
定物の設計情報から得て、装置本体内に記憶させる予備
位置合わせ工程を有する構成になされている。
【００１２】一方、本発明にかかる第５の手段は、上記
第１又は２又は３の手段の構成において、互いに異なる
針立配置になされた複数種類のプローブカードの各カー
ド保持体を、装置本体のカード取付穴に対して交換して
装着する毎に、位置合わせ第１工程から位置合わせ第４
工程を繰り返し実行するようにした構成になされてい
る。
第１又は２又は３の手段の構成において、互いに異なる
針立配置になされた複数種類のプローブカードの各カー
ド保持体を、装置本体のカード取付穴に対して交換して
装着する毎に、位置合わせ第１工程から位置合わせ第４
工程を繰り返し実行するようにした構成になされてい
る。
【００１３】また本発明にかかる第６の手段は、上記第
１又は２又は３の手段の構成において、位置合わせ第１
工程を、回転位置θ合わせが行われた後のプローブ針の
少なくとも１体についての絶対位置座標を認識して実行
するようにした構成になされている。
１又は２又は３の手段の構成において、位置合わせ第１
工程を、回転位置θ合わせが行われた後のプローブ針の
少なくとも１体についての絶対位置座標を認識して実行
するようにした構成になされている。
【００１４】さらに本発明にかかる第７の手段は、上記
第１又は２又は３の手段の構成において、複数個の被測
定物を、同時に検査するプローブカードを用いるもので
あって、複数個の被測定物のうちの１体について位置合
わせ第１工程から位置合わせ第４工程を実行するように
した構成になされている。
第１又は２又は３の手段の構成において、複数個の被測
定物を、同時に検査するプローブカードを用いるもので
あって、複数個の被測定物のうちの１体について位置合
わせ第１工程から位置合わせ第４工程を実行するように
した構成になされている。
【００１５】さらにまた本発明にかかる第８の手段は、
上記第１又は２又は３の手段の構成において、プローブ
カードの針接触部分が、機外からの観察方向において視
覚的に遮蔽されているプローブカードを用いた構成にな
されている。
上記第１又は２又は３の手段の構成において、プローブ
カードの針接触部分が、機外からの観察方向において視
覚的に遮蔽されているプローブカードを用いた構成にな
されている。
【００１６】一方、本発明にかかる第９の手段は、上記
第８の手段の構成において、プローブカードの針が、被
測定物の針接触部と略垂直となるように延在し、プロー
ブカードの針接触部分が、機外からの観察方向において
視覚的に遮蔽されているプローブカードを用いる構成を
有している。
第８の手段の構成において、プローブカードの針が、被
測定物の針接触部と略垂直となるように延在し、プロー
ブカードの針接触部分が、機外からの観察方向において
視覚的に遮蔽されているプローブカードを用いる構成を
有している。
【００１７】
【作用】このような構成を有する各手段においては、プ
ローブカードの取付構造に累積的に生じている最終的な
取付誤差が、各々の個別的な誤差を順次認識することな
く、ほぼ瞬間的に、しかも自動で認識され、針位置合わ
せが極めて効率的に行われるようになっている。
ローブカードの取付構造に累積的に生じている最終的な
取付誤差が、各々の個別的な誤差を順次認識することな
く、ほぼ瞬間的に、しかも自動で認識され、針位置合わ
せが極めて効率的に行われるようになっている。
【００１８】また特に第７及び第８の手段においては、
プローブカードの針接触部分が目視不可能なプローブカ
ードを用いる場合であっても、針位置合わせが自動的に
行われる。
プローブカードの針接触部分が目視不可能なプローブカ
ードを用いる場合であっても、針位置合わせが自動的に
行われる。
【００１９】さらに第９の手段においては、複数個の被
測定物を、同時に検査するプローブカードを用いる場合
であっても、１つの被測定物を基準として針位置合わせ
が一層効率的に行われるようになっている。
測定物を、同時に検査するプローブカードを用いる場合
であっても、１つの被測定物を基準として針位置合わせ
が一層効率的に行われるようになっている。
【００２０】
【実施例】以下、本発明を実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。まず本発明を実施する装置例として、ウエ
ハプローバの概要を図１に基づいて説明する。なお従来
技術の欄で図６ないし図８により述べた構成物には、同
一の符号を付している。
に説明する。まず本発明を実施する装置例として、ウエ
ハプローバの概要を図１に基づいて説明する。なお従来
技術の欄で図６ないし図８により述べた構成物には、同
一の符号を付している。
【００２１】図１に示されているように、ウエハプロー
バの構成を大別すると、検査部Ａとローダ部Ｂとから構
成されており、ローダ部Ｂは、ウエハプローバの筐体Ｃ
の図示右側に配置されているとともに、前記検査部Ａ
は、上記筐体Ｃの図示左側に配置されている。上記ロー
ダ部Ｂは、被測定物としてのウエハ５を複数枚収納した
カセット５ａから１枚づつ取り出して位置合わせし、上
記検査部Ａまで搬送する機構を有しているとともに、検
査部Ａは、上記ローダ部Ｂから受け渡されたウエハ５を
プロービングするための各機構を有している。検査部Ａ
で検査された後のウエハ５は、検査部Ａから再びローダ
部Ｂに戻され、図示を省略した空のカセット内に収納さ
れるように構成されている。
バの構成を大別すると、検査部Ａとローダ部Ｂとから構
成されており、ローダ部Ｂは、ウエハプローバの筐体Ｃ
の図示右側に配置されているとともに、前記検査部Ａ
は、上記筐体Ｃの図示左側に配置されている。上記ロー
ダ部Ｂは、被測定物としてのウエハ５を複数枚収納した
カセット５ａから１枚づつ取り出して位置合わせし、上
記検査部Ａまで搬送する機構を有しているとともに、検
査部Ａは、上記ローダ部Ｂから受け渡されたウエハ５を
プロービングするための各機構を有している。検査部Ａ
で検査された後のウエハ５は、検査部Ａから再びローダ
部Ｂに戻され、図示を省略した空のカセット内に収納さ
れるように構成されている。
【００２２】上記ローダ部Ｂは、複数枚のウエハ５を移
動方向と同方向に多段構成に収納するカセット５ａが設
置される設置部６と、このカセット５ａからウエハ５を
取り出すエレベータ機構７を備えた取出アーム８と、こ
の取出アーム８により取り出されたウエハ５を前記検査
部Ａの載置台９に受け渡す回転ロボット機構１１と、を
有している。すなわち上記カセット５ａ内のウエハ５
は、取出アーム８によりカセット５ａ内から取り出さ
れ、プリアライメント（粗位置合わせ）位置まで移動さ
れる。プリアライメントが施されたウエハ５は、上記回
転ロボット機構１１に受け渡され、当該回転ロボット機
構１１の回転搬送によって正反対に位置する載置台９上
に移送される。
動方向と同方向に多段構成に収納するカセット５ａが設
置される設置部６と、このカセット５ａからウエハ５を
取り出すエレベータ機構７を備えた取出アーム８と、こ
の取出アーム８により取り出されたウエハ５を前記検査
部Ａの載置台９に受け渡す回転ロボット機構１１と、を
有している。すなわち上記カセット５ａ内のウエハ５
は、取出アーム８によりカセット５ａ内から取り出さ
れ、プリアライメント（粗位置合わせ）位置まで移動さ
れる。プリアライメントが施されたウエハ５は、上記回
転ロボット機構１１に受け渡され、当該回転ロボット機
構１１の回転搬送によって正反対に位置する載置台９上
に移送される。
【００２３】一方、前記検査部Ａの載置台９は、ウエハ
プローバの基台１２上に対して、水平Ｘ−Ｙ方向及び鉛
直Ｚ方向にそれぞれ往復移動自在に設けられているとと
もに、上記Ｚ軸周りの回転θ方向に回転移動自在に設け
られており、図示を省略した駆動制御機構によって上記
Ｘ，Ｙ，Ｚ，θの各方向に駆動される構成になされてい
る。この載置台９の移動位置は、装置本体のヘッドプレ
ート３の下面側に設置された設けられたテレビカメラ１
３を通して常時監視されており、これによりウエハ５の
位置が、ウエハプローバ内の所定の基準点に対する絶対
位置座標として認識されるように構成されている。
プローバの基台１２上に対して、水平Ｘ−Ｙ方向及び鉛
直Ｚ方向にそれぞれ往復移動自在に設けられているとと
もに、上記Ｚ軸周りの回転θ方向に回転移動自在に設け
られており、図示を省略した駆動制御機構によって上記
Ｘ，Ｙ，Ｚ，θの各方向に駆動される構成になされてい
る。この載置台９の移動位置は、装置本体のヘッドプレ
ート３の下面側に設置された設けられたテレビカメラ１
３を通して常時監視されており、これによりウエハ５の
位置が、ウエハプローバ内の所定の基準点に対する絶対
位置座標として認識されるように構成されている。
【００２４】また上記載置台９の被測定物載置面（図示
上面）には、多数の吸着口（図示省略）が開口されてお
り、上述したローダ部Ｂから受け渡された被測定物とし
てのウエハ５を負圧により吸引し固定しながら、Ｘ，Ｙ
の各軸方向及びθ回転方向にアライメント（密位置合わ
せ）を行うように当該載置台９が駆動制御される構成に
なされている。このアライメントが施された載置台９
は、検査中心まで移動される。このとき上記載置台９の
側部には、テレビカメラ１４が取り付けられており、こ
のテレビカメラ１４を通して、以下に述べるプローブカ
ード１におけるプローブ針１ａの位置が、絶対位置座標
で認識されるように構成されている。
上面）には、多数の吸着口（図示省略）が開口されてお
り、上述したローダ部Ｂから受け渡された被測定物とし
てのウエハ５を負圧により吸引し固定しながら、Ｘ，Ｙ
の各軸方向及びθ回転方向にアライメント（密位置合わ
せ）を行うように当該載置台９が駆動制御される構成に
なされている。このアライメントが施された載置台９
は、検査中心まで移動される。このとき上記載置台９の
側部には、テレビカメラ１４が取り付けられており、こ
のテレビカメラ１４を通して、以下に述べるプローブカ
ード１におけるプローブ針１ａの位置が、絶対位置座標
で認識されるように構成されている。
【００２５】一方、上記構成を有する載置台９の直上位
置には、例えば円盤形状を有するプローブカード１が、
カード保持体としてのリングインサート２を介して交換
可能に装着されている。上記リングインサート２は、装
置本体のヘッドプレート３に設けられたカード取付穴４
内に装着されている。上記プローブカード１には、前記
載置台９上のウエハ５の図示しない電極パッド（針接触
部）に電気的に接触するプローブ針１ａが、複数本にわ
たって針立てされている。本実施例におけるプローブ針
１ａには、いわゆる垂直針が用いられており、当該プロ
ーブ針１ａの各先端部分が、前記載置台９上のウエハ５
に対して、ほぼ鉛直方向に接触するように構成されてい
る。このような垂直針構成を有するプローブカード１に
おいては、プローブ針１ａが貫通している中央部分が、
ブロック体１ｂによって覆われており、したがってプロ
ーブ針１ａの針端部分すなわちウエハ５との接触部分
は、機外からの観察方向である図示上下方向において、
上記ブロック体１ｂにより視覚的に遮蔽されている。
置には、例えば円盤形状を有するプローブカード１が、
カード保持体としてのリングインサート２を介して交換
可能に装着されている。上記リングインサート２は、装
置本体のヘッドプレート３に設けられたカード取付穴４
内に装着されている。上記プローブカード１には、前記
載置台９上のウエハ５の図示しない電極パッド（針接触
部）に電気的に接触するプローブ針１ａが、複数本にわ
たって針立てされている。本実施例におけるプローブ針
１ａには、いわゆる垂直針が用いられており、当該プロ
ーブ針１ａの各先端部分が、前記載置台９上のウエハ５
に対して、ほぼ鉛直方向に接触するように構成されてい
る。このような垂直針構成を有するプローブカード１に
おいては、プローブ針１ａが貫通している中央部分が、
ブロック体１ｂによって覆われており、したがってプロ
ーブ針１ａの針端部分すなわちウエハ５との接触部分
は、機外からの観察方向である図示上下方向において、
上記ブロック体１ｂにより視覚的に遮蔽されている。
【００２６】そしてこのプローブカード１の取付構造に
おいては、前述した図６、図７、図８及び図９に示され
ているように、カード取付穴４の穴中心CL1 に対してリ
ングインサート２のリング中心CL2 が装着時に僅かにず
れており、さらにこのリングインサート２のリング中心
CL2 に対して、プローブカード１のカード中心CL3 がや
やずれて取り付けられている。さらにまたプローブカー
ド１にプローブ針１ａを針立てする場合に、上記プロー
ブカード１のカード中心CL3 に対して針立の中心CL4 が
ずれてしまっており、それらの各取付誤差が累積的に生
じている。
おいては、前述した図６、図７、図８及び図９に示され
ているように、カード取付穴４の穴中心CL1 に対してリ
ングインサート２のリング中心CL2 が装着時に僅かにず
れており、さらにこのリングインサート２のリング中心
CL2 に対して、プローブカード１のカード中心CL3 がや
やずれて取り付けられている。さらにまたプローブカー
ド１にプローブ針１ａを針立てする場合に、上記プロー
ブカード１のカード中心CL3 に対して針立の中心CL4 が
ずれてしまっており、それらの各取付誤差が累積的に生
じている。
【００２８】このようなウエハプローバにおいては、前
記載置台９上にセットされたウエハ５の電極パッドに、
プローブカード１のプローブ針１ａが正確に接触するよ
うに、針位置合わせ（ティーチング）をして初期設定が
行われる。この針位置合わせ方法に関する本発明の実施
例を次に説明する。
記載置台９上にセットされたウエハ５の電極パッドに、
プローブカード１のプローブ針１ａが正確に接触するよ
うに、針位置合わせ（ティーチング）をして初期設定が
行われる。この針位置合わせ方法に関する本発明の実施
例を次に説明する。
【００２９】まず針位置合わせを行う前の予備工程とし
て、カード取付穴４の穴中心CL1 が、例えば装置本体の
製作時等において予め位置測定され、そのカード取付穴
４の穴中心CL1 の絶対位置座標が、プローバ装置本体の
メモリ内に記憶され、読出認識可能な状態になされる。
て、カード取付穴４の穴中心CL1 が、例えば装置本体の
製作時等において予め位置測定され、そのカード取付穴
４の穴中心CL1 の絶対位置座標が、プローバ装置本体の
メモリ内に記憶され、読出認識可能な状態になされる。
【００３０】そして位置合わせの第１工程では、プロー
ブカード１のプローブ針１ａのうちの１体の位置が、載
置台９側のテレビカメラ１４を通して認識され、そのプ
ローブ針１ａの絶対位置座標が、装置本体内のメモリに
記憶される。この場合の位置認識をするプローブ針１ａ
は、少なくとも１体であればよく、１体のプローブ針に
限らず、２体、３体、…のように複数体のプローブ針の
位置を認識するようにしてもよい。
ブカード１のプローブ針１ａのうちの１体の位置が、載
置台９側のテレビカメラ１４を通して認識され、そのプ
ローブ針１ａの絶対位置座標が、装置本体内のメモリに
記憶される。この場合の位置認識をするプローブ針１ａ
は、少なくとも１体であればよく、１体のプローブ針に
限らず、２体、３体、…のように複数体のプローブ針の
位置を認識するようにしてもよい。
【００３１】次に、位置合わせの第２工程では、各プロ
ーブ針１ａどうし間の相対位置情報を参照し、プローブ
針１ａの針立エリアの中心位置CL4 が、プローブカード
１内の相対位置座標として算出される。このとき上記各
プローブ針１ａどうし間の相対位置情報は、図２に示さ
れているような針立設計情報から得る。この針立設計情
報は、ウエハ５の設計情報に基づいて各プローブ針１ａ
を針立する場合に用いたものであり、各プローブ針１ａ
の相対位置関係が表されている。そしてこの針立設計情
報は、位置合わせ前の予備工程において、プローバ装置
本体のメモリ内に記憶され、読出認識可能な状態になさ
れる。
ーブ針１ａどうし間の相対位置情報を参照し、プローブ
針１ａの針立エリアの中心位置CL4 が、プローブカード
１内の相対位置座標として算出される。このとき上記各
プローブ針１ａどうし間の相対位置情報は、図２に示さ
れているような針立設計情報から得る。この針立設計情
報は、ウエハ５の設計情報に基づいて各プローブ針１ａ
を針立する場合に用いたものであり、各プローブ針１ａ
の相対位置関係が表されている。そしてこの針立設計情
報は、位置合わせ前の予備工程において、プローバ装置
本体のメモリ内に記憶され、読出認識可能な状態になさ
れる。
【００３２】また位置合わせの第３工程では、上記第２
工程で得たプローブ針１ａの針立エリア中心位置CL4 の
相対位置座標が、絶対位置座標で求められる。この演算
は、前述の第１工程で得たプローブ針１ａの絶対位置座
標に基づいて行われる。すなわちプローブ針１ａのうち
の少なくとも１体の絶対位置座標が判明すれば、他の針
位置の絶対位置座標及び針立エリア中心位置CL4 は、上
記針立設計情報を参照して求められる。このとき針立エ
リア中心位置CL4 の位置を算出するにあたっては、例え
ば図３に示されているように、Ｘ方向及びＹ方向の両端
に配置された一対の針１ａ，１ａの両座標の中央座標を
演算することによって求められる。
工程で得たプローブ針１ａの針立エリア中心位置CL4 の
相対位置座標が、絶対位置座標で求められる。この演算
は、前述の第１工程で得たプローブ針１ａの絶対位置座
標に基づいて行われる。すなわちプローブ針１ａのうち
の少なくとも１体の絶対位置座標が判明すれば、他の針
位置の絶対位置座標及び針立エリア中心位置CL4 は、上
記針立設計情報を参照して求められる。このとき針立エ
リア中心位置CL4 の位置を算出するにあたっては、例え
ば図３に示されているように、Ｘ方向及びＹ方向の両端
に配置された一対の針１ａ，１ａの両座標の中央座標を
演算することによって求められる。
【００３３】ついで、位置合わせの第４工程では、上記
第３工程で得たプローブ針１３の針立エリア中心CL4 の
絶対位置座標と、カード取付穴１６の穴中心CL1 の絶対
位置座標とが比較され、両者の位置誤差が算出される。
このときカード取付穴１６の穴中心CL1 の絶対位置座標
は、上述したように予備工程として予めプローバの装置
本体のメモリ内に記憶されている。そしてこれにより、
中心CL1 からCL4 まで累積的に生じている取付誤差が求
められる。
第３工程で得たプローブ針１３の針立エリア中心CL4 の
絶対位置座標と、カード取付穴１６の穴中心CL1 の絶対
位置座標とが比較され、両者の位置誤差が算出される。
このときカード取付穴１６の穴中心CL1 の絶対位置座標
は、上述したように予備工程として予めプローバの装置
本体のメモリ内に記憶されている。そしてこれにより、
中心CL1 からCL4 まで累積的に生じている取付誤差が求
められる。
【００３４】このように本実施例方法によれば、プロー
ブカード１の取付構造における累積的な最終誤差が、極
めて効率的に認識される。すなわち途中における個別的
な誤差、具体的には中心CL1 とCL2 との誤差、中心CL2
とCL3 との誤差及び中心CL3とCL4 との誤差を順次認識
することなく、最終的な中心CL1 とCL4 との間の取付誤
差が、ほぼ瞬間的に、しかも自動で認識される。
ブカード１の取付構造における累積的な最終誤差が、極
めて効率的に認識される。すなわち途中における個別的
な誤差、具体的には中心CL1 とCL2 との誤差、中心CL2
とCL3 との誤差及び中心CL3とCL4 との誤差を順次認識
することなく、最終的な中心CL1 とCL4 との間の取付誤
差が、ほぼ瞬間的に、しかも自動で認識される。
【００３５】そして上述のようにプローブカード１のプ
ローブ針１ａの各針位置の絶対位置座標が求められれ
ば、その求められた針位置の絶対位置座標に基づいて測
定基準位置のオフセット量が初期設定され、その初期設
定値によりインデックス移動が行われることによって、
以後のプローブ検査動作（プロービング）が実行される
こととなる。
ローブ針１ａの各針位置の絶対位置座標が求められれ
ば、その求められた針位置の絶対位置座標に基づいて測
定基準位置のオフセット量が初期設定され、その初期設
定値によりインデックス移動が行われることによって、
以後のプローブ検査動作（プロービング）が実行される
こととなる。
【００３６】なおプローブ検査時において、載置台９上
に搭載されたウエハ５のセット位置が各ウエハ毎に異な
ることに対しては、例えば特開平２−２２４２６０号公
報に記載されているような自動位置合わせが行われる。
すなわちまずウエハ５に配列されている各半導体チップ
の配列方向が、載置台９の移動方向に合わせられ、その
ときの角度を基準としてウエハ５が回転させられる。こ
れによってプローブ針１ａの方向に、半導体チップの電
極配列方向が合わせられる。またこれと同時にウエハ５
上のパターンが検知されて半導体チップの配列方向が自
動的に決定され、予め記憶された基準パターンのうちの
適合するものが検知される。そしてその検出位置から針
合わせの位置までの補正位置座標に沿ってウエハを移動
させることにより、半導体チップの電極とプローブ針１
ａの針とが自動的に位置合わせされるようになってい
る。
に搭載されたウエハ５のセット位置が各ウエハ毎に異な
ることに対しては、例えば特開平２−２２４２６０号公
報に記載されているような自動位置合わせが行われる。
すなわちまずウエハ５に配列されている各半導体チップ
の配列方向が、載置台９の移動方向に合わせられ、その
ときの角度を基準としてウエハ５が回転させられる。こ
れによってプローブ針１ａの方向に、半導体チップの電
極配列方向が合わせられる。またこれと同時にウエハ５
上のパターンが検知されて半導体チップの配列方向が自
動的に決定され、予め記憶された基準パターンのうちの
適合するものが検知される。そしてその検出位置から針
合わせの位置までの補正位置座標に沿ってウエハを移動
させることにより、半導体チップの電極とプローブ針１
ａの針とが自動的に位置合わせされるようになってい
る。
【００３７】また前述した針位置合わせは、装置本体の
カード取付穴４に対してプローブカード１の交換が行わ
れる毎に実行される。すなわち互いに異なる針立配置を
有する複数種類のプローブカード１は、それぞれを保持
しているリングインサート２ごとに交換されるが、その
リングインサート２の交換を行った際には、上述した第
１工程から第４工程の位置合わせが繰り返し実行される
ようになっている。
カード取付穴４に対してプローブカード１の交換が行わ
れる毎に実行される。すなわち互いに異なる針立配置を
有する複数種類のプローブカード１は、それぞれを保持
しているリングインサート２ごとに交換されるが、その
リングインサート２の交換を行った際には、上述した第
１工程から第４工程の位置合わせが繰り返し実行される
ようになっている。
【００３８】一方、上記実施例においては、針位置合わ
せの予備工程で、カード取付穴４の穴中心CL1 の絶対位
置座標が、プローバ装置本体のメモリ内に予め記憶され
ているが、このような記憶・格納の予備工程を行わない
場合には、図４に示されているような疑似カード２１が
用いられる。この疑似カード２１は、上述したプローブ
カード１と合同な形状を有する、いわゆるダミーカード
を構成するものであって、ガラス等の所定の透明体を上
記プローブカード１と合同な例えば円盤状に形成されて
おり、表面上に刻設された十字状の基準線２１ａ，２１
ａのクロス点によって中心位置２１ｂが示されている。
せの予備工程で、カード取付穴４の穴中心CL1 の絶対位
置座標が、プローバ装置本体のメモリ内に予め記憶され
ているが、このような記憶・格納の予備工程を行わない
場合には、図４に示されているような疑似カード２１が
用いられる。この疑似カード２１は、上述したプローブ
カード１と合同な形状を有する、いわゆるダミーカード
を構成するものであって、ガラス等の所定の透明体を上
記プローブカード１と合同な例えば円盤状に形成されて
おり、表面上に刻設された十字状の基準線２１ａ，２１
ａのクロス点によって中心位置２１ｂが示されている。
【００３９】そして針位置合わせの前、すなわちプロー
ブカード１の装着前に、上記疑似カード２１がカード取
付穴４内に装着され、その疑似カード２１に表記された
中心位置２１ｂの位置が、例えばテレビカメラ１４を通
して検出され、その絶対位置座標が装置本体内のメモリ
に記憶・格納される。このような疑似カード２１を用い
た場合には、プローブカード１の中心位置CL3 が絶対位
置座標として認識されるため、このプローブカード１の
中心位置CL3 に基づいて、上記実施例と同様な位置合わ
せが可能となる。
ブカード１の装着前に、上記疑似カード２１がカード取
付穴４内に装着され、その疑似カード２１に表記された
中心位置２１ｂの位置が、例えばテレビカメラ１４を通
して検出され、その絶対位置座標が装置本体内のメモリ
に記憶・格納される。このような疑似カード２１を用い
た場合には、プローブカード１の中心位置CL3 が絶対位
置座標として認識されるため、このプローブカード１の
中心位置CL3 に基づいて、上記実施例と同様な位置合わ
せが可能となる。
【００４０】さらに本発明は、図５に示されているよう
な所謂マルチレイアウトの半導体チップ３０に対しても
同様に適用することができる。このものは、ウエハ５上
にマトリックス状に成形された半導体チップ３０が、複
数個取り配置（マルチレイアウト）されており、これに
対応するようにしてプローブカードの針立てが行われれ
るとによって複数個の半導体チップを同時に検査するよ
うに構成されている。すなわちこの場合のプローブ針の
針配列は、上記複数個取り配置の半導体チップ３０の各
電極パッドの配列と一対一の関係となるように対応され
ており、ウエハプローバの制御部には、上記半導体チッ
プ３０のチップサイズや、複数個取り配置（マルチレイ
アウト）の個数及び配列マトリックス等、半導体チップ
３０に関する各種データが予め格納され蓄えられてい
る。この半導体チップ３０に関する各種データは、プロ
ーブ針の針配列に対して一対一の配置関係にそのまま置
き換えられるものである。
な所謂マルチレイアウトの半導体チップ３０に対しても
同様に適用することができる。このものは、ウエハ５上
にマトリックス状に成形された半導体チップ３０が、複
数個取り配置（マルチレイアウト）されており、これに
対応するようにしてプローブカードの針立てが行われれ
るとによって複数個の半導体チップを同時に検査するよ
うに構成されている。すなわちこの場合のプローブ針の
針配列は、上記複数個取り配置の半導体チップ３０の各
電極パッドの配列と一対一の関係となるように対応され
ており、ウエハプローバの制御部には、上記半導体チッ
プ３０のチップサイズや、複数個取り配置（マルチレイ
アウト）の個数及び配列マトリックス等、半導体チップ
３０に関する各種データが予め格納され蓄えられてい
る。この半導体チップ３０に関する各種データは、プロ
ーブ針の針配列に対して一対一の配置関係にそのまま置
き換えられるものである。
【００４１】そしてプローブカードを針位置合わせする
にあたっては、上記各データを利用して、複数個の半導
体チップ３０のうちの適当な１個３０ａにおける中心位
置３０ｂと、それに対応するプローブカードの中心位置
を合わせるように操作が行われる。
にあたっては、上記各データを利用して、複数個の半導
体チップ３０のうちの適当な１個３０ａにおける中心位
置３０ｂと、それに対応するプローブカードの中心位置
を合わせるように操作が行われる。
【００４２】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変形可能であるというのはいうまでもない。例え
ば、半導体チップの複数個取り配置（マルチレイアウ
ト）は、本実施例のものに限られることはなく、各種複
数個取りの配置に対しても本発明は同様に適用すること
ができる。さらに本発明は、ウエハプローバの針位置合
わせに限定して適用されるものではなく、プローブカー
ドを用いてプローブ測定を行うようにした他の全ての針
位置合わせ方法に対しても、同様に適用することができ
る。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変形可能であるというのはいうまでもない。例え
ば、半導体チップの複数個取り配置（マルチレイアウ
ト）は、本実施例のものに限られることはなく、各種複
数個取りの配置に対しても本発明は同様に適用すること
ができる。さらに本発明は、ウエハプローバの針位置合
わせに限定して適用されるものではなく、プローブカー
ドを用いてプローブ測定を行うようにした他の全ての針
位置合わせ方法に対しても、同様に適用することができ
る。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
ローブカードの初期針位置合わせを、従来のような手作
業にによることなく自動で行わせることができ、プロー
ブ測定の効率化を図ることができる。特に垂直針を備え
たプローブカード等のように、プローブカードの針接触
部分が機外から観察し得ない場合であっても、針位置合
わせを良好に実行することができる。
ローブカードの初期針位置合わせを、従来のような手作
業にによることなく自動で行わせることができ、プロー
ブ測定の効率化を図ることができる。特に垂直針を備え
たプローブカード等のように、プローブカードの針接触
部分が機外から観察し得ない場合であっても、針位置合
わせを良好に実行することができる。
【図１】本発明を実施するための装置例としてのウエハ
プローバの構造例を表した側面説明図である。
プローバの構造例を表した側面説明図である。
【図２】プローブカードの針立設計情報を表した説明図
である。
である。
【図３】プローブカードの針立状態と針立中心を表した
縦断面説明図である。
縦断面説明図である。
【図４】本発明の針位置合わせ方法に用いるダミーカー
ドの構成を表した外観斜視図である。
ドの構成を表した外観斜視図である。
【図５】ウエハ上にマトリックス状に成形された半導体
チップの複数個取り配置（マルチレイアウト）の一例を
表した平面説明図である。
チップの複数個取り配置（マルチレイアウト）の一例を
表した平面説明図である。
【図６】プローブカードの取付部分を拡大して表した縦
断面説明図である。
断面説明図である。
【図７】プローブカードの取付部分を拡大して表した平
面説明図である。
面説明図である。
【図８】プローブカードとその針立エリアを表した平面
説明図である。
説明図である。
【図９】プローブカード取付における累積的位置誤差を
Ｘ，Ｙの２方向で表した線図である。
Ｘ，Ｙの２方向で表した線図である。
１ プローブカード １ａ プローブ針（探針） ２ リングインサート（カード保持体） ４ カード取付穴 ５ ウエハ（被測定物） ９ 載置台 １４ テレビカメラ ２１ ダミーカード
Claims (9)
- 【請求項１】 プローブカードを保持するカード保持体
を、装置本体のカード取付穴に装着し、 上記プローブカードに針立された複数体の探針の針立中
心と、前記カード取付穴の穴中心との位置誤差を求め、 被測定物と探針との位置合わせを行うようにしたプロー
ブカードの針位置合わせ方法において、 上記カード取付穴の穴中心の絶対位置座標を、予め装置
本体内に記憶させておく位置合わせ予備工程と、 前記プローブカードの探針のうちの少なくとも１体の絶
対位置座標を認識して装置本体内に記憶させる位置合わ
せ第１工程と、 各探針どうし間の相対位置情報を参照して、探針の針立
中心を相対位置座標として算出する位置合わせ第２工程
と、 前記位置合わせ第１工程で得た探針の絶対位置座標に基
づいて、上記位置合わせ第２工程で得た探針の針立中心
の相対位置座標を、絶対位置座標で算出する位置合わせ
第３工程と、 この位置合わせ第３工程で得た探針の針立中心の絶対位
置座標を、前記予備位置合わせ工程で記憶されているカ
ード取付穴の穴中心の絶対位置座標と比較し、両者の位
置誤差を算出する位置合わせ第４工程と、を備えている
ことを特徴とするプローブカードの針位置合わせ方法。 - 【請求項２】 プローブカードを保持するインサートリ
ングを、プローバ装置本体のヘッドプレートに設けられ
たカード取付穴に装着し、 上記プローブカードに針立された複数体のプローブ針の
針立エリアの中心と、前記カード取付穴の穴中心との位
置誤差を求め、 被測定物とプローブ針との位置合わせを行うようにした
プローブカードの針位置合わせ方法において、 上記カード取付穴の穴中心の絶対位置座標を、予め装置
本体内に記憶させておく予備位置合わせ工程と、 前記プローブカードのプローブ針のうちの少なくとも１
体の絶対位置座標を認識してプローバ装置本体内に記憶
させる位置合わせ第１工程と、 各プローブ針どうし間の相対位置情報を参照して、プロ
ーブ針の針立中心を相対位置座標として算出する位置合
わせ第２工程と、 前記位置合わせ第１工程で得たプローブ針の絶対位置座
標に基づいて、上記位置合わせ第２工程で得たプローブ
針の針立中心の相対位置座標を、絶対位置座標で算出す
る位置合わせ第３工程と、 この位置合わせ第３工程で得たプローブ針の針立中心の
絶対位置座標を、前記予備位置合わせ工程で記憶されて
いるカード取付穴の穴中心の絶対位置座標と比較し、両
者の位置誤差を算出する位置合わせ第４工程と、 を備えたことを特徴とするプローブカードの針位置合わ
せ方法。 - 【請求項３】 プローブカードを保持するカード保持体
を、装置本体のカード取付穴に装着し、 上記プローブカードに針立された複数体のプローブ針の
針立中心と、前記カード取付穴の穴中心との位置誤差を
求め、 被測定物とプローブ針との位置合わせを行うようにした
プローブカードの針位置合わせ方法において、 上記プローブカードと合同な形状を有する疑似カードを
カード取付穴に装着した後、当該疑似カードのカード中
心の絶対位置座標を認識し、その絶対位置座標を、位置
合わせ前に予め装置本体内に記憶させておく予備位置合
わせ工程と、 前記プローブカードのプローブ針のうちの少なくとも１
体の絶対位置座標を認識し、その絶対位置座標を装置本
体内に記憶させる位置合わせ第１工程と、 各プローブ針どうし間の相対位置情報を参照して、プロ
ーブ針の針立中心を相対位置座標として算出する位置合
わせ第２工程と、 前記位置合わせ第１工程で得たプローブ針の絶対位置座
標に基づいて、上記位置合わせ第２工程で得たプローブ
針の針立中心の相対位置座標を、絶対位置座標で算出す
る位置合わせ第３工程と、 この位置合わせ第３工程で得たプローブ針の針立中心の
絶対位置座標を、 前記予備位置合わせ工程で記憶されている疑似カードの
カード中心の絶対位置座標と比較し、両者の位置誤差を
算出する位置合わせ第４工程と、 を有することを特徴とするプローブカードの針位置合わ
せ方法。 - 【請求項４】 請求項１又は２又は３記載のプローブカ
ードの針位置合わせ方法において、 プローブカードにおける各プローブ針どうし間の相対位
置情報を、被測定物の設計情報から得て、装置本体内に
記憶させる予備位置合わせ工程を有することを特徴とす
るプローブカードの針位置合わせ方法。 - 【請求項５】 請求項１又は２又は３記載のプローブカ
ードの針位置合わせ方法において、 互いに異なる針立配置になされた複数種類のプローブカ
ードの各カード保持体を、装置本体のカード取付穴に対
して交換して装着する毎に、位置合わせ第１工程から位
置合わせ第４工程を繰り返し実行するようにしたことを
特徴とするプローブカードの針位置合わせ方法。 - 【請求項６】 請求項１又は２又は３記載のプローブカ
ードの針位置合わせ方法において、 位置合わせ第１工程を、回転位置θ合わせが行われた後
のプローブ針の少なくとも１体についての絶対位置座標
を認識して実行するようにしたことを特徴とするプロー
ブカードの針位置合わせ方法。 - 【請求項７】 請求項１又は２又は３記載のプローブカ
ードの針位置合わせ方法において、 複数個の被測定物を、同時に検査するプローブカードを
用いるものであって、複数個の被測定物のうちの１体に
ついて位置合わせ第１工程から位置合わせ第４工程を実
行するようにしたことを特徴とするプローブカードの針
位置合わせ方法。 - 【請求項８】 請求項１又は２又は３記載のプローブカ
ードの針位置合わせ方法において、 プローブカードの針接触部分が、機外からの観察方向に
おいて視覚的に遮蔽されているプローブカードを用いる
ことを特徴とするプローブカードの針位置合わせ方法。 - 【請求項９】 請求項８記載のプローブカードの針位置
合わせ方法において、 プローブカードの針が、被測定物の針接触部と略垂直と
なるように延在し、プローブカードの針接触部分が、機
外からの観察方向において視覚的に遮蔽されているプロ
ーブカードを用いることを特徴とするプローブカードの
針位置合わせ方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5526094A JPH06349910A (ja) | 1993-04-15 | 1994-02-28 | プローブカードの針位置合わせ方法 |
| KR1019940007944A KR100262901B1 (ko) | 1993-04-15 | 1994-04-15 | 프로우브장치에 있어서의 침위치 고정방법 및 프로우브방법 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11223793 | 1993-04-15 | ||
| JP5-112237 | 1993-04-15 | ||
| JP5526094A JPH06349910A (ja) | 1993-04-15 | 1994-02-28 | プローブカードの針位置合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349910A true JPH06349910A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=26396151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5526094A Pending JPH06349910A (ja) | 1993-04-15 | 1994-02-28 | プローブカードの針位置合わせ方法 |
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| KR (1) | KR100262901B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113805025A (zh) * | 2020-06-01 | 2021-12-17 | 均豪精密工业股份有限公司 | 光电检测系统与检测晶粒方法 |
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-
1994
- 1994-02-28 JP JP5526094A patent/JPH06349910A/ja active Pending
- 1994-04-15 KR KR1019940007944A patent/KR100262901B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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|---|---|
| KR100262901B1 (ko) | 2000-09-01 |
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