JPH0158938U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158938U JPH0158938U JP15495987U JP15495987U JPH0158938U JP H0158938 U JPH0158938 U JP H0158938U JP 15495987 U JP15495987 U JP 15495987U JP 15495987 U JP15495987 U JP 15495987U JP H0158938 U JPH0158938 U JP H0158938U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- support plate
- washer
- attached
- guide
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 16
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係るプローブカードの位置決
め機構の一実施例を示す断面図、第２図は本考案
に係るプローブカードの位置決め機構のプローブ
カードの平面図、第３図はプローブカードにワツ
シヤを固定する工具の概念図、第４図は該工具に
ウエハを取り付ける位置決めゲージである。 １０……プローブカード、１１……段付孔、１
２……ワツシヤ、１３……探針、２０……マザー
ボード、２１……ガイド、２３……支持板、Ｌ…
…プローブカードの略中心を通る直線。
め機構の一実施例を示す断面図、第２図は本考案
に係るプローブカードの位置決め機構のプローブ
カードの平面図、第３図はプローブカードにワツ
シヤを固定する工具の概念図、第４図は該工具に
ウエハを取り付ける位置決めゲージである。 １０……プローブカード、１１……段付孔、１
２……ワツシヤ、１３……探針、２０……マザー
ボード、２１……ガイド、２３……支持板、Ｌ…
…プローブカードの略中心を通る直線。
Claims (1)
- プローバに取り付けられた支持板と、支持板に
取り付けられるプローブカードとを具備しており
、前記プローブカードはその略中心を通る直線上
に少なくとも２つの段付孔が開設され、この段付
孔には若干小さめのワツシヤが嵌入されており、
一方支持板には前記ワツシヤに対応したガイドが
突設されており、このガイドに前記ワツシヤを挿
入することにより、プローブカードの複数本の探
針の先端が支持板に対し所定の位置になるべくワ
ツシヤとプローブカードとの関係位置を調整し接
着剤で固定して構成されたことを特徴とするプロ
ーブカードの位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15495987U JPH034031Y2 (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15495987U JPH034031Y2 (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158938U true JPH0158938U (ja) | 1989-04-13 |
| JPH034031Y2 JPH034031Y2 (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=31432151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15495987U Expired JPH034031Y2 (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034031Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP15495987U patent/JPH034031Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH034031Y2 (ja) | 1991-02-01 |
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