JPS6218675U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のプローブカードの一実施例の
要部断面図、第２図は同実施例のプローブの動作
説明図である。第３図ａ〜ｃは本考案の他の実施
例の部分図で、ａは２本のプローブの部分側面図
、ｂは部分底面図、ｃは１本のプローブの部分斜
視図である。第４図ａ，ｂは本考案の更に他の実
施例の部分図で、ａは部分底面図、ｂは１本のプ
ローブの部分斜視図である。第５図は一般のプロ
ーブカードの概略斜視図、第６図はこのプローブ
カードの部分断面図、第７図は従来のプローブの
動作説明図である。 １……プローブカード本体、２……プローブ、
２ａ，２ｂ，２ｃ……第１、第２、第３部分。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 中央部に透孔を有するプローブカード本体
   と、一端部がこのプローブカード本体に固定され
   他端部が前記透孔に臨むように配備されているプ
   ローブとを備えてなるプローブカードにおいて、
   前記プローブは前記プローブカード本体の主面に
   実質的に平行な第１部分と、該第１部分の先端か
   ら前記主面に対して所定角度を持つて延在する第
   ２部分と、該第２部分の先端から前記主面に実質
   的に垂直に延在する第３部分とを備えていること
   を特徴とするプローブカード。 (2) 前記プローブは前記第３部分上に平坦面を
   備えていることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第(1)項記載のプローブカード。 (3) 前記プローブは前記プローブカード本体か
   ら複数個突設されており、各プローブの各第３部
   分は該プローブが被測定物によつて前記プローブ
   カード本体側に変位されたとき前記平坦面が相互
   に衝合するように構成されていることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第(2)項記載のプロー
   ブカード。