JPS6294635U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6294635U JPS6294635U JP18681285U JP18681285U JPS6294635U JP S6294635 U JPS6294635 U JP S6294635U JP 18681285 U JP18681285 U JP 18681285U JP 18681285 U JP18681285 U JP 18681285U JP S6294635 U JPS6294635 U JP S6294635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- card
- fixing jig
- probe card
- mounting device
- clamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 2
Description
第1図は本考案のプローブカード固定治具にプ
ローブカードを取り付けた状態の平面図、第2図
はプローブカード取付部に取り付けた状態を示す
の断面図。 1:カード取付部、2,3:位置規制用ピン、
4:プローブカード固定治具、5,6,8,9:
クランパ、7:プローブカード、10:触針。
ローブカードを取り付けた状態の平面図、第2図
はプローブカード取付部に取り付けた状態を示す
の断面図。 1:カード取付部、2,3:位置規制用ピン、
4:プローブカード固定治具、5,6,8,9:
クランパ、7:プローブカード、10:触針。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) プロービングマシンのプローブカード取付
装置に於いて、プローブカードをクランパにより
固定したカード固定治具をプロービングマシンの
カード取付部に取り付け固定するものであつて、
該カード取付部にはカード固定治具を固定するク
ランパを設けると共に該カード固定治具の取付位
置規制手段を設けたことを特徴とするプローブカ
ードの取付装置。 (2) 取付位置規制手段が、固定治具に設けた位
置決め孔に嵌合するピンである実用新案登録請求
の範囲第1項記載のプローブカードの取付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985186812U JPH0338833Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985186812U JPH0338833Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6294635U true JPS6294635U (ja) | 1987-06-17 |
JPH0338833Y2 JPH0338833Y2 (ja) | 1991-08-15 |
Family
ID=31136710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985186812U Expired JPH0338833Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0338833Y2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007155735A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Feinmetall Gmbh | 被験電気部品を検査するための電気的接触装置および電気的検査装置 |
WO2007077743A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nhk Spring Co., Ltd. | プローブカード |
EP2128630A1 (en) * | 2007-03-14 | 2009-12-02 | NHK Spring CO., LTD. | Probe card |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4849958U (ja) * | 1971-10-14 | 1973-06-30 | ||
JPS55125639A (en) * | 1979-03-23 | 1980-09-27 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus |
JPS601840A (ja) * | 1983-06-20 | 1985-01-08 | Nec Corp | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
JPS60143372U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | 株式会社東芝 | 半導体素子の電気特性測定装置 |
JPS60206149A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toshiba Corp | ウエハの試験装置 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP1985186812U patent/JPH0338833Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4849958U (ja) * | 1971-10-14 | 1973-06-30 | ||
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007155735A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Feinmetall Gmbh | 被験電気部品を検査するための電気的接触装置および電気的検査装置 |
WO2007077743A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nhk Spring Co., Ltd. | プローブカード |
EP2128630A1 (en) * | 2007-03-14 | 2009-12-02 | NHK Spring CO., LTD. | Probe card |
EP2128630A4 (en) * | 2007-03-14 | 2014-05-14 | Nhk Spring Co Ltd | PROBE CARD |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0338833Y2 (ja) | 1991-08-15 |
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