JPH037953Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH037953Y2 JPH037953Y2 JP18681185U JP18681185U JPH037953Y2 JP H037953 Y2 JPH037953 Y2 JP H037953Y2 JP 18681185 U JP18681185 U JP 18681185U JP 18681185 U JP18681185 U JP 18681185U JP H037953 Y2 JPH037953 Y2 JP H037953Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- card
- probe
- setting mask
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 31
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
この考案は半導体の製造過程において、ウエハ
上に形成された半導体チツプを中間工程において
検査するプロービングマシンに使用されるプロー
ブカードに関するものである。 プローブカードは中央の孔に多数の接触針が固
定され、その針先端が半導体チツプの電極パッド
に正確に接触して、半導体チツプの性能検査を行
うためのものである。本考案はこのプローブカー
ドの製作の際に使用される治具装置に関するもの
である。
上に形成された半導体チツプを中間工程において
検査するプロービングマシンに使用されるプロー
ブカードに関するものである。 プローブカードは中央の孔に多数の接触針が固
定され、その針先端が半導体チツプの電極パッド
に正確に接触して、半導体チツプの性能検査を行
うためのものである。本考案はこのプローブカー
ドの製作の際に使用される治具装置に関するもの
である。
プロービングマシンにはプローブカードの位
置、方向等の調整を行う装置が設けられ、顕微鏡
で観察しながらプローブカードに付設されている
針先と半導体チツプのパツドとの相対位置関係を
正確に合わせる作業が必要であつた。これは同一
品種のカードであつても、該カード交換の際、そ
の都度この位置合わせが必要とされていた。
置、方向等の調整を行う装置が設けられ、顕微鏡
で観察しながらプローブカードに付設されている
針先と半導体チツプのパツドとの相対位置関係を
正確に合わせる作業が必要であつた。これは同一
品種のカードであつても、該カード交換の際、そ
の都度この位置合わせが必要とされていた。
上記のごとく、プローブカードを交換する場
合、微細なチツプの電極パツドと該プローブカー
ドに付設された接触針とを整合させることは、面
倒でかつ時間を要する作業であつた。これはプロ
ーブカードがすべて手作業で製作されるため、半
導体チツプのパツドと接触針の位置関係は整合さ
れていても、カード上に付設される接触針と該カ
ードとの相対位置関係が微妙に異なり、各カード
でバラツキが生じていた。
合、微細なチツプの電極パツドと該プローブカー
ドに付設された接触針とを整合させることは、面
倒でかつ時間を要する作業であつた。これはプロ
ーブカードがすべて手作業で製作されるため、半
導体チツプのパツドと接触針の位置関係は整合さ
れていても、カード上に付設される接触針と該カ
ードとの相対位置関係が微妙に異なり、各カード
でバラツキが生じていた。
上記従来技術の欠点に鑑み、本考案は、プロー
ブカード製作に使用される治具としてのベースボ
ード上に、プロービングマシンのプローブカード
取り付け位置に設けられているプローブカードの
位置、方向を規制する基準ピンと同一の関係位置
に基準ピンを付設し、該基準ピンに案内されて、
測定すべき半導体のチツプの電極パツドと整合す
るパターンが予め形成してあるセツテングマスク
をセツトし、該セツテングマスク上に該基準ピン
に案内されて、製作すべきプローブカードを整合
させ、半導体のチツプの電極パツドとプローブカ
ードの接触針を整合付設させることにより、上記
問題点を解決したものである。
ブカード製作に使用される治具としてのベースボ
ード上に、プロービングマシンのプローブカード
取り付け位置に設けられているプローブカードの
位置、方向を規制する基準ピンと同一の関係位置
に基準ピンを付設し、該基準ピンに案内されて、
測定すべき半導体のチツプの電極パツドと整合す
るパターンが予め形成してあるセツテングマスク
をセツトし、該セツテングマスク上に該基準ピン
に案内されて、製作すべきプローブカードを整合
させ、半導体のチツプの電極パツドとプローブカ
ードの接触針を整合付設させることにより、上記
問題点を解決したものである。
【作用】
ベースボード上の基準ピンに案内されて、セツ
テングマスクを取り付けしたのち、その上面より
接触針を取り付けるべきプローブカードを基準ピ
ンに案内されてセツトする。これにより、セツテ
ングマスクとプローブカードが位置決めされ、プ
ローブカード上に接触針を該セツテングマスクの
電極パツドのパターンに整合させ付設すれば良
い。本考案により製作されたプローブカードはプ
ローブカード上の針先の位置、方向はすべて同一
にセツトされた状態となる。
テングマスクを取り付けしたのち、その上面より
接触針を取り付けるべきプローブカードを基準ピ
ンに案内されてセツトする。これにより、セツテ
ングマスクとプローブカードが位置決めされ、プ
ローブカード上に接触針を該セツテングマスクの
電極パツドのパターンに整合させ付設すれば良
い。本考案により製作されたプローブカードはプ
ローブカード上の針先の位置、方向はすべて同一
にセツトされた状態となる。
第１図及び第２図において、カードの製作に際
して、治具であるベースボード１の上に基準とな
る上部に小径部を有する二本の基準ピン２，３を
立て、この基準ピンに測定すべき半導体チツプの
電極パツドと整合するパターンが予め形成してあ
るセツテングマスク４を基準ピンに案内する二つ
の孔４ａを通して取り付ける。そして基準ピン
２，３の小径部に接触針を付設しようとするプロ
ーブカード５を基準ピンに案内する二つの孔５ａ
を通し、プローブカード５がセツテングマスク４
から定間隔を取るように装着し、接触針６を前記
セツテングマスク４の半導体チツプの電極パツド
４ｂに合わせて順次付設する。なおプロービング
マシン（図示しない）のプローブカード取り付け
位置には、この基準ピン２，３と正確に同じ位置
関係に基準ピンを設けて置くものである。
して、治具であるベースボード１の上に基準とな
る上部に小径部を有する二本の基準ピン２，３を
立て、この基準ピンに測定すべき半導体チツプの
電極パツドと整合するパターンが予め形成してあ
るセツテングマスク４を基準ピンに案内する二つ
の孔４ａを通して取り付ける。そして基準ピン
２，３の小径部に接触針を付設しようとするプロ
ーブカード５を基準ピンに案内する二つの孔５ａ
を通し、プローブカード５がセツテングマスク４
から定間隔を取るように装着し、接触針６を前記
セツテングマスク４の半導体チツプの電極パツド
４ｂに合わせて順次付設する。なおプロービング
マシン（図示しない）のプローブカード取り付け
位置には、この基準ピン２，３と正確に同じ位置
関係に基準ピンを設けて置くものである。
プローブカードを本考案の治具を使用し製作す
れば、その基準ピン２，３によつて接触針の位置
が規制されるので、これをプロービングマシンの
カード取り付け位置の基準ピンに合わせて装着す
れば自動的に正確な位置にセツトされる。 従つてカードの取り付け調整機構を別途に必要
とせず、全体を簡略化することが可能であると共
に、カードの交換操作を簡単にして合理化するこ
とができる。
れば、その基準ピン２，３によつて接触針の位置
が規制されるので、これをプロービングマシンの
カード取り付け位置の基準ピンに合わせて装着す
れば自動的に正確な位置にセツトされる。 従つてカードの取り付け調整機構を別途に必要
とせず、全体を簡略化することが可能であると共
に、カードの交換操作を簡単にして合理化するこ
とができる。
第１図は本考案装置の分解斜視図、第２図はプ
ローブカード製作状態を示す断面図である。 １……ベースボード、２，３……基準ピン、４
……セツテングマスク、４ｂ……パツド、５……
プローブカード、６……接触針。
ローブカード製作状態を示す断面図である。 １……ベースボード、２，３……基準ピン、４
……セツテングマスク、４ｂ……パツド、５……
プローブカード、６……接触針。
Claims (1)
- プローブカードの製作並びにプローブカードの
針先位置調整に使用される治具において、プロー
ビングマシンのプローブカード取り付け位置に設
けられたカードの位置、方向を規制する基準ピン
と同一の関係位置に、上部に小径部を有する２本
の治具用基準ピンを有するベースボードと、この
基準ピンに案内されて装着され、かつ中央に半導
体チツプの電極パツドと整合するパターンが予め
形成されているセツテイングマスクとを有し、上
記基準ピンの小径部は差し込まれたプローブカー
ドがセツテイングマスクから定間隔を取るように
規制されたプローブカードの製作装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18681185U JPH037953Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18681185U JPH037953Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294634U JPS6294634U (ja) | 1987-06-17 |
| JPH037953Y2 true JPH037953Y2 (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=31136708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18681185U Expired JPH037953Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH037953Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP18681185U patent/JPH037953Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6294634U (ja) | 1987-06-17 |
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