JPH01282831A - Ｔａｂｉｃのハンドリング装置 - Google Patents
Ｔａｂｉｃのハンドリング装置Info
- Publication number
- JPH01282831A JPH01282831A JP63113194A JP11319488A JPH01282831A JP H01282831 A JPH01282831 A JP H01282831A JP 63113194 A JP63113194 A JP 63113194A JP 11319488 A JP11319488 A JP 11319488A JP H01282831 A JPH01282831 A JP H01282831A
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- JP
- Japan
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- probe card
- contact
- positions
- probe
- detector
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 62
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＴＡＢ （工ａｐｅΔｕｔｏｍａｔｅｄ旦ｏ
ｎｄｉｎｇＳｙｓｔｅｍ） Ｉ Ｃの電気的測定を行う
ハンドリング装置に関する。
ｎｄｉｎｇＳｙｓｔｅｍ） Ｉ Ｃの電気的測定を行う
ハンドリング装置に関する。
従来、この種のＴＡＢ ＩＣの電気的測定を行うハン
ドリング装置は、第３図に示すように、左側に供給リー
ル部１、右側に収納リール部１４、中央部にプローブカ
ード３（コンタクトプローブ４）と顕微鏡１５、プロー
ブカード３と搬送ローラ（左）２ａとの間に検出器１１
、プローブカード３の搬送四−ラ（右）２ｂとの間にマ
ーキング部１３、より構成されていた。そして、まず、
顕微鏡１５を使い、プローブカード３上のコンタクトプ
ローブ４とＩＣ５０上の電極パッド部との位置合わせを
行ない、次に、ＩＣ５０を左から右方向に流しながら、
検出器１１において、ＩＣの有無及びＩＣの電極パッド
部の位置検出を行ない、そのデータをプローブカード３
まで保持し、測定時に、そのデータを使い、測定を行う
か否か、及びＩＣ５０の送り方向についてのみの一方向
の位置補正を行ない、それから、ＩＣ押さえ１２でＩＣ
５０をプローブカード３上のコンタクトプローブ４に押
し付け、電気的接触を取り（プローブカード３は、図示
されていない測定器と電気的に接続されている）測定を
行なう。それから、測定が終了すると、ＩＣ押さえ１２
を上昇させ、ＩＣ５Ｑを右方向に搬送し、測定結果に従
い、マーキング部１３において、マーキングを行ない、
収納リール１４に収納する。
ドリング装置は、第３図に示すように、左側に供給リー
ル部１、右側に収納リール部１４、中央部にプローブカ
ード３（コンタクトプローブ４）と顕微鏡１５、プロー
ブカード３と搬送ローラ（左）２ａとの間に検出器１１
、プローブカード３の搬送四−ラ（右）２ｂとの間にマ
ーキング部１３、より構成されていた。そして、まず、
顕微鏡１５を使い、プローブカード３上のコンタクトプ
ローブ４とＩＣ５０上の電極パッド部との位置合わせを
行ない、次に、ＩＣ５０を左から右方向に流しながら、
検出器１１において、ＩＣの有無及びＩＣの電極パッド
部の位置検出を行ない、そのデータをプローブカード３
まで保持し、測定時に、そのデータを使い、測定を行う
か否か、及びＩＣ５０の送り方向についてのみの一方向
の位置補正を行ない、それから、ＩＣ押さえ１２でＩＣ
５０をプローブカード３上のコンタクトプローブ４に押
し付け、電気的接触を取り（プローブカード３は、図示
されていない測定器と電気的に接続されている）測定を
行なう。それから、測定が終了すると、ＩＣ押さえ１２
を上昇させ、ＩＣ５Ｑを右方向に搬送し、測定結果に従
い、マーキング部１３において、マーキングを行ない、
収納リール１４に収納する。
上述した従来のＴＡＢ ＩＣの電気的測定を行うハン
ドリング装置は、プローブカードとＩＣの電極パッド部
との位置合わせを顕微鏡を使い、予め、行なっておくが
、実際の選別時には、ＩＣの電極パッド部の位置をプロ
ーブカードとは別の位置にある検出器により検出し、そ
のデータを基にＩＣをプローブカードまで搬送し、位置
合わせを行なっていたので、位置合わせを行なったＩＣ
の電極パッド部とプローブカード上のコンタクトプロー
ブとの間に位置ずれを生じる（特に、搬送方向と直角の
方向については、位置補正不可能である）という欠点が
あった。
ドリング装置は、プローブカードとＩＣの電極パッド部
との位置合わせを顕微鏡を使い、予め、行なっておくが
、実際の選別時には、ＩＣの電極パッド部の位置をプロ
ーブカードとは別の位置にある検出器により検出し、そ
のデータを基にＩＣをプローブカードまで搬送し、位置
合わせを行なっていたので、位置合わせを行なったＩＣ
の電極パッド部とプローブカード上のコンタクトプロー
ブとの間に位置ずれを生じる（特に、搬送方向と直角の
方向については、位置補正不可能である）という欠点が
あった。
本発明のＴＡＢ ＩＣのハンドリング装置は、ＴＡＢ
ＩＣの電気的測定に用いるハンドリング装置におい
て、多数の電極パッド部を有するＴＡＢＩＣと、測定器
と電気的に接続されているプローブカードとを同一の位
置検出器で検出し、プローブカードを移動させる機構部
又はＴＡＢ ＩＣ及びプローブカードを移動させる機
構部により位置の合わせ込みを行うことを特徴とする。
ＩＣの電気的測定に用いるハンドリング装置におい
て、多数の電極パッド部を有するＴＡＢＩＣと、測定器
と電気的に接続されているプローブカードとを同一の位
置検出器で検出し、プローブカードを移動させる機構部
又はＴＡＢ ＩＣ及びプローブカードを移動させる機
構部により位置の合わせ込みを行うことを特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例Ｉの概略正面図である。第
１図に示すように、左側に測定前のＴＡＢＩＣ５０の巻
かれた供給リール部１、右側に測定器のＩＣ５０を巻き
取る収納リール部１４、中央部にプローブカード３（コ
ンタクトプローブ４）とＩＣ押さえ１２を設ける。そし
て、プローブカード３の下に、プローブカードを動かす
機構部と、ＩＣの有無、及びＩＣの電極パッド部とプロ
ーブカードの位置を検出する検出器１１を、プローブカ
ード３と搬送ローラ（右）２ｂとの間にマーキング部１
３を設ける。プローブカード３を動かす機構部は、上か
ら順に、θ調整ステージ５、θ調整ステージ５をガイド
するθステージガイド６、その下に、Ｙ軸調整スーテジ
７、Ｙ軸調整ステージ７をガイドするＹ軸ステージガイ
ド８、更にその下に、Ｘ軸調整ステージ９、Ｘ軸調整ス
テージ９をガイドするＸ軸ステージガイド１０より、構
成され、プローブカード３をＸ、Ｙ、 θ方向に動か
すことが出来るようになっている。
１図に示すように、左側に測定前のＴＡＢＩＣ５０の巻
かれた供給リール部１、右側に測定器のＩＣ５０を巻き
取る収納リール部１４、中央部にプローブカード３（コ
ンタクトプローブ４）とＩＣ押さえ１２を設ける。そし
て、プローブカード３の下に、プローブカードを動かす
機構部と、ＩＣの有無、及びＩＣの電極パッド部とプロ
ーブカードの位置を検出する検出器１１を、プローブカ
ード３と搬送ローラ（右）２ｂとの間にマーキング部１
３を設ける。プローブカード３を動かす機構部は、上か
ら順に、θ調整ステージ５、θ調整ステージ５をガイド
するθステージガイド６、その下に、Ｙ軸調整スーテジ
７、Ｙ軸調整ステージ７をガイドするＹ軸ステージガイ
ド８、更にその下に、Ｘ軸調整ステージ９、Ｘ軸調整ス
テージ９をガイドするＸ軸ステージガイド１０より、構
成され、プローブカード３をＸ、Ｙ、 θ方向に動か
すことが出来るようになっている。
供給リール部１に測定前のＩＣ５０を供給し、搬送ロー
ラ（左）２ａにより、ＩＣ５０をプローブカード３まで
送る。プローブカード３までＩＣ５０が送られると、検
出器１１により、ＩＣの有無を検出する（ＩＣが無い場
合は、ＩＣＩケ分送られる）。次に、同検出器１１によ
り、ＩＣの電極パッド部とプローブカード３上のコンタ
クトプローブ４との位置を検出する。もし、この時、Ｉ
Ｃの電極パッド部とプローブカード上のコンタクトプロ
ーブとの間に位置ズレがある場合は、プローブカード３
の下に接続されている機構部を動かし、位置の合わせ込
みを行なう。第２図は、ＩＣ５０の電極パッド部５４と
プローブカード３上のコンタクトプローブ４との位置が
合わせ終わった所である（第２図において、チップ５１
．ワイヤ５２゜パターン５３．電極パッド部５４．搬送
用ガイド穴５５．フィルム部５６は、ＩＣ５０構成要素
である）。そして、ＩＣ押さえ１２を下降させ、ＩＣ５
０をプローブカード３上のコンタクトプローブ４に接触
させ、電気的接続を取る。この時、ＩＣの電極パッド部
とプローブカード上のフンタクトプローブとの間に位置
のズレが生じている場合は、ＩＣ押さえ１２を一端、上
昇させ、再度、位置の合わせ込みを行なった後、ＩＣ押
さえ１２を下降させ、ＩＣの電極パッド部とプローブカ
ード上のコンタクトプローブとの接触を取る。このよう
にして、完全な接続を行なう。プローブカード３は、図
示されていない測定器に接続されており、この状態で、
ＩＣ５０の電気的測定を行なう。測定が終了（測定結果
は、マーキング部１３まで記憶されている）すると、Ｉ
Ｃ５０を１ヶ送り、次のＩＣの位置合わせを行なった後
、測定を行なう。測定が終了したＩＣ５０は、マーキン
グ部１３まで送られ、測定結果に応じたマーキングがＩ
Ｃ５０に行なわれる。マーキングの終了したＩＣ５０は
、搬送ローラ（右）２ｂを通り、収納リール部１４に巻
き取られる。
ラ（左）２ａにより、ＩＣ５０をプローブカード３まで
送る。プローブカード３までＩＣ５０が送られると、検
出器１１により、ＩＣの有無を検出する（ＩＣが無い場
合は、ＩＣＩケ分送られる）。次に、同検出器１１によ
り、ＩＣの電極パッド部とプローブカード３上のコンタ
クトプローブ４との位置を検出する。もし、この時、Ｉ
Ｃの電極パッド部とプローブカード上のコンタクトプロ
ーブとの間に位置ズレがある場合は、プローブカード３
の下に接続されている機構部を動かし、位置の合わせ込
みを行なう。第２図は、ＩＣ５０の電極パッド部５４と
プローブカード３上のコンタクトプローブ４との位置が
合わせ終わった所である（第２図において、チップ５１
．ワイヤ５２゜パターン５３．電極パッド部５４．搬送
用ガイド穴５５．フィルム部５６は、ＩＣ５０構成要素
である）。そして、ＩＣ押さえ１２を下降させ、ＩＣ５
０をプローブカード３上のコンタクトプローブ４に接触
させ、電気的接続を取る。この時、ＩＣの電極パッド部
とプローブカード上のフンタクトプローブとの間に位置
のズレが生じている場合は、ＩＣ押さえ１２を一端、上
昇させ、再度、位置の合わせ込みを行なった後、ＩＣ押
さえ１２を下降させ、ＩＣの電極パッド部とプローブカ
ード上のコンタクトプローブとの接触を取る。このよう
にして、完全な接続を行なう。プローブカード３は、図
示されていない測定器に接続されており、この状態で、
ＩＣ５０の電気的測定を行なう。測定が終了（測定結果
は、マーキング部１３まで記憶されている）すると、Ｉ
Ｃ５０を１ヶ送り、次のＩＣの位置合わせを行なった後
、測定を行なう。測定が終了したＩＣ５０は、マーキン
グ部１３まで送られ、測定結果に応じたマーキングがＩ
Ｃ５０に行なわれる。マーキングの終了したＩＣ５０は
、搬送ローラ（右）２ｂを通り、収納リール部１４に巻
き取られる。
上記実施例は、ＩＣの電極パッド部とプローブカード上
のコンタクトプローブとの間の位置合わせを行なう時に
、プローブカードのみ移動したがプローブカードの移動
に加え、ＩＣ自信の移動も合わせて行なうようにするこ
ともできる。
のコンタクトプローブとの間の位置合わせを行なう時に
、プローブカードのみ移動したがプローブカードの移動
に加え、ＩＣ自信の移動も合わせて行なうようにするこ
ともできる。
以上説明したように本発明は、ＴＡＢ ＩＣの電気的
測定を行うハンドリング装置において、ＩＣの電極パッ
ド部とプローブカード上のコンタクトプローブとの位置
をプローブカード下方に設けた１つの検出器でおのおの
の位置検出を行ない、検出したＩＣの電極パッド部とプ
ローブカード上のコンタクトプローブとの位置を自動的
に合わせ込む機構部とを設ける事により、ＩＣの電極パ
ッド部とプローブカード上のコンタクトプローブとの位
置を完全に合わせ込む事ができ、コンタクト不良のない
測定を行なえるという効果がある。
測定を行うハンドリング装置において、ＩＣの電極パッ
ド部とプローブカード上のコンタクトプローブとの位置
をプローブカード下方に設けた１つの検出器でおのおの
の位置検出を行ない、検出したＩＣの電極パッド部とプ
ローブカード上のコンタクトプローブとの位置を自動的
に合わせ込む機構部とを設ける事により、ＩＣの電極パ
ッド部とプローブカード上のコンタクトプローブとの位
置を完全に合わせ込む事ができ、コンタクト不良のない
測定を行なえるという効果がある。
第１図は、本発明の一実施例を示す概略正面図、第２図
は第１図における検出器の検出像図、第３図は従来のハ
ンドリング装置の概略正面図である。 １・・・・・・供給リール部逓、２ａ、２ｂ・・・・・
・搬送ローラ（左）、（右）、３・・・・・・プローブ
カード、４・・・・・・コンタクトプローブ、５・・・
・・・θ調整ステージ、６・・・・・・θステージガイ
ド、７・・・・・・Ｘ軸調整ステージ、８・・・・・・
Ｙ軸ステージガイド、９・・・・・・Ｘ軸調整ステージ
、１０・・・・・・Ｘ軸ステージガイド、１１・・・・
・・検出器、１２・・・・・・ＩＣ押え、１３・・・・
・・マーキング部、１４・・・・・・収納リール部、１
５・・・・・・顕微鏡、５０・・・・・・ＩＣ，５１・
・・・・・チップ、５２・・・・・・ワイヤ、５３・・
・・・・パターン、５４・・・・・・電極パッド部、５
５・・・・・・搬送用ガイド穴、５６・・・・・・フィ
ルム部。 代理人 弁理士 内 原 音 第２回 ｌイ丼給す−ノム部 ２筋３回
は第１図における検出器の検出像図、第３図は従来のハ
ンドリング装置の概略正面図である。 １・・・・・・供給リール部逓、２ａ、２ｂ・・・・・
・搬送ローラ（左）、（右）、３・・・・・・プローブ
カード、４・・・・・・コンタクトプローブ、５・・・
・・・θ調整ステージ、６・・・・・・θステージガイ
ド、７・・・・・・Ｘ軸調整ステージ、８・・・・・・
Ｙ軸ステージガイド、９・・・・・・Ｘ軸調整ステージ
、１０・・・・・・Ｘ軸ステージガイド、１１・・・・
・・検出器、１２・・・・・・ＩＣ押え、１３・・・・
・・マーキング部、１４・・・・・・収納リール部、１
５・・・・・・顕微鏡、５０・・・・・・ＩＣ，５１・
・・・・・チップ、５２・・・・・・ワイヤ、５３・・
・・・・パターン、５４・・・・・・電極パッド部、５
５・・・・・・搬送用ガイド穴、５６・・・・・・フィ
ルム部。 代理人 弁理士 内 原 音 第２回 ｌイ丼給す−ノム部 ２筋３回
Claims (1)
- ＴＡＢ ＩＣの電気的測定に用いるハンドリング装置
において、多数の電極パッド部を有するＴＡＢ ＩＣと
、測定器と電気的に接続されているプローブカードとを
同一の位置検出器で検出し、プローブカードを移動させ
る機構部又は、ＴＡＢＩＣ及びプローブカードを移動さ
せる機構部により位置の合わせ込みを行うことを特徴と
するＴＡＢ ＩＣのハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63113194A JPH01282831A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | Ｔａｂｉｃのハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63113194A JPH01282831A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | Ｔａｂｉｃのハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01282831A true JPH01282831A (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=14605935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63113194A Pending JPH01282831A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | Ｔａｂｉｃのハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01282831A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001013185A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-01-19 | Hugle Electronics Inc | 帯電分布測定装置 |
| KR20020046981A (ko) * | 2000-12-13 | 2002-06-21 | 나까무라 쇼오 | 프로브 카드와 태브(ｔａｂ)를 위한 위치 결정 장치 |
| WO2004068154A1 (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Japan Engineering Co.,Ltd. | Ｔｃｐハンドリング装置および当該装置における位置ずれ補正方法 |
| KR100737281B1 (ko) * | 2005-07-22 | 2007-07-09 | 니혼엔지니어링 가부시키가이샤 | Ｔｃｐ 핸들링 장치 및 해당 장치에서의 위치 어긋남 보정방법 |
-
1988
- 1988-05-09 JP JP63113194A patent/JPH01282831A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001013185A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-01-19 | Hugle Electronics Inc | 帯電分布測定装置 |
| KR20020046981A (ko) * | 2000-12-13 | 2002-06-21 | 나까무라 쇼오 | 프로브 카드와 태브(ｔａｂ)를 위한 위치 결정 장치 |
| WO2004068154A1 (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Japan Engineering Co.,Ltd. | Ｔｃｐハンドリング装置および当該装置における位置ずれ補正方法 |
| KR100737281B1 (ko) * | 2005-07-22 | 2007-07-09 | 니혼엔지니어링 가부시키가이샤 | Ｔｃｐ 핸들링 장치 및 해당 장치에서의 위치 어긋남 보정방법 |
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