JPS6184029A - 半導体検査装置 - Google Patents
半導体検査装置Info
- Publication number
- JPS6184029A JPS6184029A JP20529884A JP20529884A JPS6184029A JP S6184029 A JPS6184029 A JP S6184029A JP 20529884 A JP20529884 A JP 20529884A JP 20529884 A JP20529884 A JP 20529884A JP S6184029 A JPS6184029 A JP S6184029A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- wafer
- probe
- semiconductor
- tester
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェハー状態の半導体装置を検査する半導体
検査装置に関するものである・〔従来の技術〕 従来、半導体ウェハーの検査時に使用される検査装置は
、半導体ウェハー上に作製されたペレットと呼ばれる単
位ＩＣ回路に、プローブカードの探針を立て、これを通
して入力データを加え、ＩＣ回路の出力データをもって
、該ＩＣ回路が所望の動作をするかどうかを確認し、も
し不良の場合は、ペレットに打点針或いはンーザー光等
のマーキングペンによるマーキングを施し、良品のペレ
ットと判別可能な状態とするものであった。
検査装置に関するものである・〔従来の技術〕 従来、半導体ウェハーの検査時に使用される検査装置は
、半導体ウェハー上に作製されたペレットと呼ばれる単
位ＩＣ回路に、プローブカードの探針を立て、これを通
して入力データを加え、ＩＣ回路の出力データをもって
、該ＩＣ回路が所望の動作をするかどうかを確認し、も
し不良の場合は、ペレットに打点針或いはンーザー光等
のマーキングペンによるマーキングを施し、良品のペレ
ットと判別可能な状態とするものであった。
ところで、通常の半導体ウェハーの検査で使用されるプ
ローブカードは、おおむね第２図（ａ） 、 （ｂ）に
示すようにプリント基板２の内周縁に複数の探針１，１
．・・・を備えたもので、半導体ウェハー上に作製され
たペレットと接触する探針の部分はその先端が数μｍか
ら数十μｍと小さく、又、針と針との位置精度も数μｍ
と、非常に精度の高いものとなっている。
ローブカードは、おおむね第２図（ａ） 、 （ｂ）に
示すようにプリント基板２の内周縁に複数の探針１，１
．・・・を備えたもので、半導体ウェハー上に作製され
たペレットと接触する探針の部分はその先端が数μｍか
ら数十μｍと小さく、又、針と針との位置精度も数μｍ
と、非常に精度の高いものとなっている。
一方、マーキングペン３を備えたマーキング装置４は、
第３図に示す様に、プローブカード５の複数の探針５ａ
、５ａ・・・先端に形成される中央の空間を通して打点
したり、レーザーによって焼点を付けたりするものであ
る。
第３図に示す様に、プローブカード５の複数の探針５ａ
、５ａ・・・先端に形成される中央の空間を通して打点
したり、レーザーによって焼点を付けたりするものであ
る。
マーキング装置の調整不良や、半導体ウェハー上に作製
されたペレットのサイズが小さい場合に、プローブカー
ドの針にマーキングペンが接触して該針に損傷や汚染を
与えてしまうといった欠点があった。これは、従来のマ
ーキング時期が１ベレツトのテストが終了した時点で次
のペレットに移動する前に行なわれる為によるものであ
る。又、従来の半導体ウェハーの検査装置に於いては、
半導体ウェハーの検査を２種類以上のテストデータによ
り、２回以上のテストを行ない、前記した２種類以上の
テスト結果の種々の組み合わせによってマーキングする
ことが不可能であった。
されたペレットのサイズが小さい場合に、プローブカー
ドの針にマーキングペンが接触して該針に損傷や汚染を
与えてしまうといった欠点があった。これは、従来のマ
ーキング時期が１ベレツトのテストが終了した時点で次
のペレットに移動する前に行なわれる為によるものであ
る。又、従来の半導体ウェハーの検査装置に於いては、
半導体ウェハーの検査を２種類以上のテストデータによ
り、２回以上のテストを行ない、前記した２種類以上の
テスト結果の種々の組み合わせによってマーキングする
ことが不可能であった。
本発明は、上記した半導体テストシステムのマーキング
装置によるプローブカードの損傷や汚染を防止し、かつ
、半導体ウェハーのテストにおいて、２種項以上のテス
トの結果の組み合わせにょリマーキング用の新しいデー
タ全作成し、前記マーキング用のデータによって、半導
体ウェハー上のペレットにマーキングすることが可能な
半導体検査装置を提供することを目的とする。
装置によるプローブカードの損傷や汚染を防止し、かつ
、半導体ウェハーのテストにおいて、２種項以上のテス
トの結果の組み合わせにょリマーキング用の新しいデー
タ全作成し、前記マーキング用のデータによって、半導
体ウェハー上のペレットにマーキングすることが可能な
半導体検査装置を提供することを目的とする。
本発明は移動送りされる半導体ウェハー上のペレットに
接触させたプローブカードの複数探針を通したデータの
授受により２種類以上のテストを行い、半導体ウェハー
に対するペレットの位置座標及びそれに従属する良否判
定データの記憶を行 パう半導体テスタと、該テスタに
よる２種類以上のテスト結果の組合せデータに基づいて
マーキングベンにて不良ペレットにマーキングをｍｆマ
マ−ング装置とを有し、プローブカードの探針と、マー
キング装置のマーキングペンとをウエハーノ進行方向に
沿ってその前後に配設したことを特徴とする半導体検査
装置である。
接触させたプローブカードの複数探針を通したデータの
授受により２種類以上のテストを行い、半導体ウェハー
に対するペレットの位置座標及びそれに従属する良否判
定データの記憶を行 パう半導体テスタと、該テスタに
よる２種類以上のテスト結果の組合せデータに基づいて
マーキングベンにて不良ペレットにマーキングをｍｆマ
マ−ング装置とを有し、プローブカードの探針と、マー
キング装置のマーキングペンとをウエハーノ進行方向に
沿ってその前後に配設したことを特徴とする半導体検査
装置である。
以下に、本発明の実施例を図により説明する。
第１図（ａ） 、 （ｂ）において、本発明装置は移動
送りされる半導体ウェハー上のペレットに接触させたプ
ローブカード５の複数の探針５ａ＋５ａ・・・を通した
データの授受により２種類以上のテスト’を行ない、半
導体ウェハーに対するペレットの位置座標及びそれに従
属する良否判定データの記憶を行う半導体テスタ６と、
該テスタ６による２種類以上のテスト結果の組合せデー
タに基づいてマーキングペン７ａにて不良ペレットにマ
ーキングを施すマーキング装置７とを有する。さらにプ
ローブカード５の探針５ａ、！：マーキングペン７ａと
をウェハーの進行方向に沿って装置本体の上部機体８の
下面に、前後に設置し、上部機体８に対し相対的に上下
及び左右動する下部機体９の上面に半導体ウェハー搭載
用ウェハーステージ１０ｔ−設装置する。
送りされる半導体ウェハー上のペレットに接触させたプ
ローブカード５の複数の探針５ａ＋５ａ・・・を通した
データの授受により２種類以上のテスト’を行ない、半
導体ウェハーに対するペレットの位置座標及びそれに従
属する良否判定データの記憶を行う半導体テスタ６と、
該テスタ６による２種類以上のテスト結果の組合せデー
タに基づいてマーキングペン７ａにて不良ペレットにマ
ーキングを施すマーキング装置７とを有する。さらにプ
ローブカード５の探針５ａ、！：マーキングペン７ａと
をウェハーの進行方向に沿って装置本体の上部機体８の
下面に、前後に設置し、上部機体８に対し相対的に上下
及び左右動する下部機体９の上面に半導体ウェハー搭載
用ウェハーステージ１０ｔ−設装置する。
実施的において、まず、第１図（ａ）に示すよりにウェ
ハーステージ１０上に半導体ウェハー１１ヲセソトし、
上下部機体８，９を相対的に変位させて、プローブカー
ド５の探針５ａの真下にウェハー１１上のペレットを移
動さぞ、次に機体９を上昇させてペレットに探針５ａを
接触させる。この状態のままで、テスタ６からプローブ
カードの探針５ａを通してペレットにデータの授受を行
ない、テスタ６にて２種類以上のテストデータにより２
種類以上のテストヲ行なって、半導体ウェハーに対する
ペレットの位置座標（以下、マツプという）及びそれに
従属する良否判定データの記憶を行なう。
ハーステージ１０上に半導体ウェハー１１ヲセソトし、
上下部機体８，９を相対的に変位させて、プローブカー
ド５の探針５ａの真下にウェハー１１上のペレットを移
動さぞ、次に機体９を上昇させてペレットに探針５ａを
接触させる。この状態のままで、テスタ６からプローブ
カードの探針５ａを通してペレットにデータの授受を行
ない、テスタ６にて２種類以上のテストデータにより２
種類以上のテストヲ行なって、半導体ウェハーに対する
ペレットの位置座標（以下、マツプという）及びそれに
従属する良否判定データの記憶を行なう。
半導体ウェハーに対するテスト終了後、第１図（ｂ）に
示すように下部機体９を下降させてプローブカードの探
針をペレットからはなし、該下部機体９にて該ペレット
をマーキング装置７のマーキングペン７ａの下方に移動
させる。テスタ６は２種類以上のテスト結果の種々の組
合せにより不良品がある場合に不良品データを出力し、
その出力に基づいてマーキング装置７のマーキングベン
７ａにて不良ペンノドにマーキングを施す。
示すように下部機体９を下降させてプローブカードの探
針をペレットからはなし、該下部機体９にて該ペレット
をマーキング装置７のマーキングペン７ａの下方に移動
させる。テスタ６は２種類以上のテスト結果の種々の組
合せにより不良品がある場合に不良品データを出力し、
その出力に基づいてマーキング装置７のマーキングベン
７ａにて不良ペンノドにマーキングを施す。
尚、半導体テスタば、ブロービング時にマツプとこれに
従属する良否判定データを記憶できるものであれば、何
なるものであってもよい。
従属する良否判定データを記憶できるものであれば、何
なるものであってもよい。
本発明は以上説明したように、半導体ウニノ・−に対す
るベレットの位置座標と、これに従属するベレットの良
否判定データを一時記憶し、プローブカード外に装着さ
れたマーキング装置によりマーキングを行なうようにし
たため、プローブカードに損傷や汚染を与えることを防
止できる。また、ブロービングとマーキングを分離動作
することで、１半導体ウェハーに対し、２種類以上のテ
ストを行ない、それぞれの結果の組み合わせにより、新
たなマーキングデータを作成してマーキングを行なうこ
とが可能とな９、かつ、テスターの不良時やベレットに
対するプローブカードの目合せ不良時のマーキング防止
にも役立つ効果を有するものである。
るベレットの位置座標と、これに従属するベレットの良
否判定データを一時記憶し、プローブカード外に装着さ
れたマーキング装置によりマーキングを行なうようにし
たため、プローブカードに損傷や汚染を与えることを防
止できる。また、ブロービングとマーキングを分離動作
することで、１半導体ウェハーに対し、２種類以上のテ
ストを行ない、それぞれの結果の組み合わせにより、新
たなマーキングデータを作成してマーキングを行なうこ
とが可能とな９、かつ、テスターの不良時やベレットに
対するプローブカードの目合せ不良時のマーキング防止
にも役立つ効果を有するものである。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の実施例を示したも
ので、（ａ）はテスト状態（プロービング状態）、（ｂ
） １４マーキング状態のウェハーとプローブカード及
びマーキング装置の位置関係を示す図、第２図（ａ）
、 （ｂ）は半導体基板上に作製されたＩＣ回路のテス
トに使用される。プローブカードを示すそれぞれ正面図
、側面図、第３図はプローブカードとマーキング装置の
打点針との従来の装置に於ける、位置関係の一例を示す
図である。 ５・・・プローブカード ５ａ・・・探針６・・・半
導体テスタ ７・・・マーキング装置７ａ・・マー
キングペン １１・・・ウェハー特許量ｊ幀人 日
本電気株式会社 代理人 弁理士 萱 野 ＋（１，、エ、
１一つ）
ので、（ａ）はテスト状態（プロービング状態）、（ｂ
） １４マーキング状態のウェハーとプローブカード及
びマーキング装置の位置関係を示す図、第２図（ａ）
、 （ｂ）は半導体基板上に作製されたＩＣ回路のテス
トに使用される。プローブカードを示すそれぞれ正面図
、側面図、第３図はプローブカードとマーキング装置の
打点針との従来の装置に於ける、位置関係の一例を示す
図である。 ５・・・プローブカード ５ａ・・・探針６・・・半
導体テスタ ７・・・マーキング装置７ａ・・マー
キングペン １１・・・ウェハー特許量ｊ幀人 日
本電気株式会社 代理人 弁理士 萱 野 ＋（１，、エ、
１一つ）
Claims (1)
- （１）移動送りされる半導体ウェハー上のペレットに接
触させたプローブカードの複数の探針を通したデータの
授受により２種類以上のテストを行ない、半導体ウェハ
ーに対するペレットの位置座標及びそれに従属する良否
判定データの記憶を行う半導体テスタと、該テスタによ
る２種類以上のテスト結果の組合せデータに基づいてマ
ーキングペンにて不良のペレットにマーキングを施すマ
ーキング装置とを有し、プローブカードの探針とマーキ
ング装置のマーキングペンとをウェハーの進行方向に沿
つてその前後に配設したことを特徴とする半導体検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20529884A JPS6184029A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 半導体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20529884A JPS6184029A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 半導体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184029A true JPS6184029A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16504646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20529884A Pending JPS6184029A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 半導体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184029A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350033A (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-02 | Tokyo Electron Ltd | プロ−バ |
| JPH01112744A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプローバ |
| JPH02143542A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Nec Corp | Ｉｃへのグレード別マーキング方法 |
| JPH02165649A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | Nec Corp | プローブカード |
| JPH02270341A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-11-05 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
-
1984
- 1984-09-29 JP JP20529884A patent/JPS6184029A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350033A (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-02 | Tokyo Electron Ltd | プロ−バ |
| JPH01112744A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプローバ |
| JPH02270341A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-11-05 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JPH02143542A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Nec Corp | Ｉｃへのグレード別マーキング方法 |
| JPH02165649A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | Nec Corp | プローブカード |
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