JP2012163529A - 接触子及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の接触子は、互いに対向して設けられた2つの基板の各電極にそれぞれ接触して各電極間を電気的に接続するポゴピンと、当該ポゴピンの外周を囲繞して設けられ当該ポゴピンを支持すると共に上記2つの基板にそれぞれ当接して各基板間を設定間隔に維持する外側筒とを備えて構成した。また、検査装置の接続ユニットの各ポゴピン挿入穴に、上記接触子を備えた。
【選択図】 図2
Description
上記実施形態では、接触子28の外側筒52を各グランドパターン56,57の接触手段として用いたが、信号線として用いてもよい。具体的には、図6に示すように、テストヘッド配線基板25の各電極54の周囲に、外側筒52の上端部が電気的に接触する環状の電極58を設け、プローブカード配線基板43の電極55の周囲に、外側筒52の下端部が電気的に接触する環状の電極59を設ける。これにより、外側筒52をポゴピン50と並列に設けた信号線として使用する。
Claims (3)
- 互いに対向して設けられた2つの基板の各電極にそれぞれ接触して各電極間を電気的に接続するポゴピンと、
当該ポゴピンの外周を囲繞して設けられ当該ポゴピンを支持すると共に上記2つの基板にそれぞれ当接して各基板間を設定間隔に維持する外側筒と
を備えて構成されたことを特徴とする接触子。 - 請求項1に記載の接触子において、
上記ポゴピンと上記外側筒との間に介在してこれらの間を絶縁する中間筒がさらに設けられ、
上記外側筒が、導電性材料で構成され、上記2つの基板に上記各電極と別に設けられた他の電極にそれぞれ接触して、上記ポゴピンと並列に、各電極間を電気的に接続することを特徴とする接触子。 - テスター側のテストヘッドに取り付けられる接続ユニットと、当該接続ユニットに取り付けられるプローブカードとを備え、当該プローブカードの上記テストヘッド側を真空引きして負圧により上記プローブカードを吸着して上記接続ユニット側にコンタクトさせる検査装置において、
上記接続ユニットが、複数のポゴピンが挿入されて支持されるポゴピン挿入穴を複数有し、
上記各ポゴピン挿入穴に、上記請求項1又は2に記載の接触子を備えたことを特徴とする検査装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014107509A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Advantest Corp | プローブ装置、試験装置、及び、プローブ方法 |
JP2014130125A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-07-10 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード及び検査装置 |
JP2015014555A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
WO2019049482A1 (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-14 | 株式会社エンプラス | 電気接続用ソケット |
WO2021106304A1 (ja) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | 株式会社ヨコオ | 治具 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62123568U (ja) * | 1986-01-29 | 1987-08-05 | ||
JPH02115175U (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 | ||
JPH03205843A (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-09 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JP2007178196A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子ホルダおよび導電性接触子ユニット |
JP2009295686A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Micronics Japan Co Ltd | プロービング装置 |
-
2011
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62123568U (ja) * | 1986-01-29 | 1987-08-05 | ||
JPH02115175U (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 | ||
JPH03205843A (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-09 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JP2007178196A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子ホルダおよび導電性接触子ユニット |
JP2009295686A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Micronics Japan Co Ltd | プロービング装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014130125A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-07-10 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード及び検査装置 |
JP2014107509A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Advantest Corp | プローブ装置、試験装置、及び、プローブ方法 |
JP2015014555A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
WO2019049482A1 (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-14 | 株式会社エンプラス | 電気接続用ソケット |
WO2019049481A1 (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-14 | 株式会社エンプラス | 電気接続用ソケット |
JPWO2019049482A1 (ja) * | 2017-09-08 | 2020-10-22 | 株式会社エンプラス | 電気接続用ソケット |
JPWO2019049481A1 (ja) * | 2017-09-08 | 2020-10-22 | 株式会社エンプラス | 電気接続用ソケット |
JP7125408B2 (ja) | 2017-09-08 | 2022-08-24 | 株式会社エンプラス | 電気接続用ソケット |
JP7125407B2 (ja) | 2017-09-08 | 2022-08-24 | 株式会社エンプラス | 電気接続用ソケット |
WO2021106304A1 (ja) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | 株式会社ヨコオ | 治具 |
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