JP7262990B2 - 電気的接続装置 - Google Patents
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Description
以下では、本発明に係る電気的接続装置の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、実施形態に係る検査装置(以下では、テスターとも呼ぶ。)の主要な構成を示す構成図である。図2は、実施形態に係る検査装置側にプローブカードを接続する接続構成を説明する説明図である。なお、以下では、図1中の上下方向に従って「上」、「下」を言及する。
検査ステージ26は、Xステージ、Yステージ、Zステージ及びθステージを組み合わせて構成されている。検査ステージ26の上部には、チャックトップ27が設けられている。
支持部材22は、配線基板23の上面に配置されるものであり、配線基板23の姿勢を安定化させるものである。支持部材22の中央部には、固定部212が設けられており、この固定部212を介してテストヘッド21に固定される。
配線基板23は、テストヘッド21の下面に設けられるテストヘッド配線基板である。
接続ユニット24は、後述するプローブカード25の各プローブ(プローブ針)42の上端部と、配線基板23の下面の複数の端子部231との間を電気的に接続させるための部材である。また、接続ユニット24は、後述するプローブ基板255の上面に配置される複数のアンカー251及び複数の支持部233の位置に、複数の支持部233のそれぞれを貫通させる複数の貫通穴を有する。接続ユニット24は、ポゴピンブロック30と、ポゴピンブロック支持部33とを有する。
図5(A)は、実施形態に係るプローブカード25の上面252の構成を示す平面図であり、図5(B)は、実施形態に係るプローブカード25の側面図である。
次に、プローブ基板255の上面253に設けられるアンカー251の配置について、図1、図5及び図6を参照しながら説明する。
図7のFEM解析結果より、条件4に従って、20個のアンカー251及び支持部233を図6のように配置させることがプローブカード25の変位差を小さくすることが確認できた。
以上のように、この実施形態によれば、複数のアンカー及び各アンカーの上面に支持される複数の支持部を、プローブ基板の上面の所定位置に配置して、支持部材の下面の円形ザグリ加工部に形成される格子状の平坦当接部に当接させることにより、プローブカードの変形(例えば撓み)を抑えながら、ポゴピン等の接続端子の数を増加させることができる。その結果、検査装置を用いた測定DUT数を増加させることができる。
Claims (5)
- 平坦部を下面領域に有する支持部材と、該支持部材の下面側に設けられた配線基板とを有して、検査装置側に接続される電気的接続装置であって、
前記配線基板の下面側に設けられ、複数の接続端子を有する接続ユニットと、
前記接続ユニットの下面側に設けられ、被検査体と電気的に接触する複数のプローブと前記複数の接続端子との間を電気的に接続させるプローブ基板と、
前記プローブ基板の上面に配置されたものであり、それぞれの上面が前記プローブ基板の水平性基準面となる複数のアンカーと、
前記配線基板及び前記接続ユニットの貫通孔を介して、前記プローブ基板の前記各アンカーと前記支持部材の前記平坦部との間をそれぞれ支持する複数の支持部と
を備え、
前記複数のアンカー及び前記複数の支持部は、
正方形の各頂点と、
2つの長辺のそれぞれが、前記正方形の一方の対向する頂点のそれぞれを通る第1の長方形の各頂点と、
2つの長辺のそれぞれが、前記正方形の他方の対向する頂点のそれぞれを通る第2の長方形の各頂点と、
前記正方形の対角線の交点を中心として、前記第1の長方形及び第2の長方形を包囲する大きさの直径を有する仮想円上に、互いに等間隔に位置する複数箇所と
に配置され、
前記支持部材の下面中央部に設けた円形の内側に、前記平坦部を格子状に形成し、それ以外の前記円形の内側をザグリ加工して凹ませた複数のザグリ部を有する円形ザグリ加工部を有し、
前記正方形と前記第1の長方形と前記第2の長方形の各頂点に位置する前記各アンカーは、前記円形ザグリ加工部の格子状に形成された前記平坦部の位置と対応する位置に配置され、
前記仮想円の直径は、前記円形ザグリ加工部の外周円の直径よりも短く形成される
ことを特徴とする電気的接続装置。 - 前記複数のアンカー及び前記複数の支持部のうち、前記仮想円上に配置される前記アンカー及び前記支持部は、前記円形ザグリ加工部の外周のわずかに内側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記円形ザグリ加工部の外周の径寸法が、円板状の被検査体の外径寸法と同じ又はほぼ同じであることを特徴とする請求項2に記載の電気的接続装置。
- 前記第1の長方形及び前記第2の長方形の各長辺の長さが、前記正方形の対角線の長さの2倍程度であることを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記複数のアンカーのそれぞれが高さ調整可能なものであることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の電気的接続装置。
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