JP7129261B2 - 試験装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る試験装置1の概略的な構成を示す模式図である。図1に示す試験装置1は、チャンバー10と、プローブカード20と、テストヘッド30と、エアーチューブ40と、支持台50と、屑受け部材60と、移動機構70と、を備える。
変形例1について説明する。上述した第1実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図5(a)は、変形例2に係る試験装置1bを用いた試験対象物100の試験状態を示す模式図である。図5(b)は、試験装置1bを用いたプローブ22のクリーニング状態を示す模式図である。
図6は、変形例3に係る屑受け部材60の構造を簡略的に示す模式図である。屑受け部材60以外の構成については、第1実施形態または変形例1、2と同様であるので詳細な説明を省略する。
図7(a)は、第2実施形態に係る試験装置2の概略的な構成を示す模式図である。図7(b)は、図7(a)に示す点線領域の拡大図である。なお、上述した第1実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図8(a)は、変形例4に係る試験装置2aを用いた試験対象物100の試験状態を示す模式図である。図8(b)は、試験装置2aを用いてプローブ22をクリーニングする前の準備状態を示す模式図である。
図10(a)は、第3実施形態に係る試験装置3を用いた試験対象物100の試験状態を示す模式図である。図10(b)は、試験装置3を用いたプローブ22のクリーニング状態を示す模式図である。図11は、図10(b)に示す点線領域の拡大図である。なお、上述した第1実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
Claims (8)
- チャンバーと、
前記チャンバー内で露出したプローブを有するプローブカードと、
前記チャンバー内で試験対象物を支持する支持台と、
前記試験対象物が前記プローブに接触する試験位置と、前記試験対象物が前記プローブから水平方向に離れたクリーニング位置との間で前記支持台を移動させる移動機構と、
前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記プローブカードを通じて前記チャンバー内に第1ドライエアーを導入するエアーチューブと、を備え、
前記支持台が前記試験位置に配置されているときに前記エアーチューブが前記プローブカードを通じて前記チャンバー内に第2ドライエアーを導入し、前記第2ドライエアーの流量は、前記第1ドライエアーの流量よりも小さい、試験装置。 - 前記支持台と一体または前記支持台から離れて設けられた屑受け部材をさらに備え、
前記移動機構は、前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記屑受け部材を前記プローブの下方に配置させる、請求項1に記載の試験装置。 - 前記屑受け部材は、前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記プローブに対向する表面に、粘着シートを有する、請求項2に記載の試験装置。
- 前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記プローブの下方で静電気を発生させる静電気発生器をさらに備える、請求項1に記載の試験装置。
- 前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記プローブが浸漬する液体を貯留する容器と、
前記液体を超音波振動させる超音波発生器と、をさらに備える、請求項1に記載の試験装置。 - チャンバーと、
前記チャンバー内で露出したプローブを有するプローブカードと、
前記チャンバー内で試験対象物を支持する支持台と、
前記試験対象物が前記プローブに接触する試験位置と、前記試験対象物が前記プローブから水平方向に離れたクリーニング位置との間で前記支持台を移動させる移動機構と、
前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記プローブの下方で静電気を発生させる静電気発生器と、
を備え、
前記静電気発生器は、前記支持台に支持された前記試験対象物と前記プローブカードとの間で前記水平方向に延伸および短縮することが可能な一対の伸縮部材と、前記一対の伸縮部材の先端にそれぞれ設けられた一対の板状部材と、を有し、
前記試験対象物が前記クリーニング位置に配置されているときに前記一対の板状部材をこすり合わせることによって前記静電気を発生させる、試験装置。 - チャンバーと、
前記チャンバー内で露出したプローブを有するプローブカードと、
前記チャンバー内で試験対象物を支持する支持台と、
前記試験対象物が前記プローブに接触する試験位置と、前記試験対象物が前記プローブから水平方向に離れたクリーニング位置との間で前記支持台を移動させる移動機構と、
前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記プローブが浸漬する液体を貯留する容器と、
前記液体を超音波振動させる超音波発生器と、
前記支持台と一体に設けられた蓋部材と、
を備え、
前記蓋部材は、前記支持台が前記試験位置に配置されているときに前記容器の上端開口を塞ぎ、前記支持台が前記クリーニング位置に配置されているときに前記上端開口を開放する、試験装置。 - 前記液体が揮発性液体である、請求項7に記載の試験装置。
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