CN114472252B - 测试探针清洁方法的探针固定方法 - Google Patents
测试探针清洁方法的探针固定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114472252B CN114472252B CN202210126254.2A CN202210126254A CN114472252B CN 114472252 B CN114472252 B CN 114472252B CN 202210126254 A CN202210126254 A CN 202210126254A CN 114472252 B CN114472252 B CN 114472252B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- probe
- test
- cleaning
- test probe
- adjusting bolt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 252
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 222
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 153
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 88
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 64
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 41
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 32
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 31
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 21
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 13
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 9
- 230000009471 action Effects 0.000 description 26
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 230000035508 accumulation Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000013100 final test Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B08B1/165—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
本发明测试探针清洁方法的探针固定方法涉及半导体技术领域；具体为：调节待清洁的测试探针相对应的基座本体上的第一调节螺栓和第二调节螺栓，同时顺时针旋转第一调节螺栓和逆时针旋转第二调节螺栓，并旋转相同圈数，使第一丝杠螺母沿着第一调节螺栓的轴向方向拉动第一限位夹片向基座本体外移动一定距离，同时使第二丝杠螺母沿着第二调节螺栓的轴向方向拉动第二限位夹片向基座本体外移动与第一限位夹片等量的距离，第一限位夹片和第二限位夹片上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针的外壁相抵靠，以对测试探针进行固定；本发明应用于测试探针清洁方法，能够有效代替人工清洁，保证了清洁质量和测试效率。
Description
本申请是发明专利申请《测试探针清洁方法及摩阻刮除、粘性吸附和探针固定方法》的分案申请。
原案申请日：2020-11-28。
原案申请号：2020113656141。
原案发明名称：测试探针清洁方法及摩阻刮除、粘性吸附和探针固定方法。
技术领域
本发明测试探针清洁方法的探针固定方法涉及半导体技术领域。
背景技术
半导体制造的最后一个制程为测试，测试制程可分为初步测试与最终测试，其主要目的除了发现半导体组件的瑕疵之外，也将依规格划分半导体组件的等级。在测试半导体组件例如芯片的过程中，探针会与半导体组件上的接脚，例如锡球，进行电性接触，以测试该半导体组件的相关电性能，以及评估其功能是否正常，但是由于待测芯片底面的锡球是由金属材料所制成，在重复测试过程中，探针尖端在反复接触锡球后，锡球上的金属氧化物及其它有机材料会堆积在探针尖端。当这些杂质累积一定数量时，需要及时清理，否则会影响探针尖端的特性，使得测试结果变得不准确，甚至沉积严重时还需更换整个测试插座上的测试探针，现有应用较为广泛的探针的探头多为梅花状，尤其是四爪梅花探针应用及其广泛，针对四爪梅花探头的清洁工作主要存在以下问题：
第一、主要清洁方式为人工利用刷子进行清洁，存在清洁质量参差不齐，会影响测试结果；
第二、即使采用人工清洁，需要将测试插座从测试基座上拆下，在将探针从测试插座中拆卸分离，然后清理，待清理完成后，在逐一安装，会造成生产线停运，影响测试效率和产出；
第三、如何针对梅花探头的形状，将沉积在梅花探头棱角端面的杂质去除；
第四、如何将清除的杂质灰尘彻底从探头上清除，以保持探头的测试结果的准确性。
发明内容
为了克服现有技术中的上述不足，本发明提供了一种测试探针清洁方法，用以解决现有的如何有效代替人工清洁和如何将探头彻底清洁干净的问题。
本发明的技术方案：
一种测试探针清洁装置，包括清洁构件、夹持构件、测试插座、测试基座和测试探针；所述清洁构件上方设置有夹持构件，所述清洁构件下方设置有测试插座，所述测试插座安装在测试基座上，所述夹持构件能够通过传动机械臂移动控制测试插座上方的清洁构件，能够使清洁构件移动至测试插座内，并与测试插座内的测试探针的探头贴合抵靠，以完成对测试探针的先刮除累积杂质，再将杂质灰尘从测试插座内吸附清除的工作；
所述清洁构件包括套管、密封片、安装板、限位片、活塞、主动梯形齿轮、从动梯形齿轮、传动杆、移动片、弹性件、刮除件、螺纹套筒、传动轴、固定片、清洁软胶、复位弹簧和输出长轴；所述套管通过密封片阵列设置在安装板下端面上，上层限位片与密封片之间可移动设置有活塞，活塞下端的主动梯形齿轮和从动梯形齿轮相啮合，所述从动梯形齿轮两端对称设置有传动杆，传动杆的一端与活塞的一端相连，传动杆的另一端穿过两个限位片与移动片上端面相连，移动片下端面通过弹性件陈列设置有多个刮除件，所述从动梯形齿轮通过螺纹套筒转动设置在下层限位片上，所述传动轴上端穿过螺纹套筒并与螺纹套筒相配合，传动轴的另一端与固定片相连接，所述固定片下端设置有清洁软胶，位于两个限位片之间的传动轴上设置有复位弹簧，所述传动电机设置在一侧的套管侧壁上，传动电机的输出端与输出长轴相连，所述输出长轴穿过阵列设置的套管，套管内的从动梯形齿轮设置在输出长轴上，所述刮除件能够通过活塞进行上下往复运动，并通过弹性件使刮除件的下端面与测试探针的探头的梅花尖端相抵靠，以对梅花尖端上累积的杂质进行刮除，所述清洁软胶能够将清洁的杂质、灰尘进行粘吸在清洁软胶表面，进而从测试插座内将杂质灰尘清除。
优选的，所述夹持构件包括夹持本体、空气管路、密封板；所述夹持本体内腔下部设置有吸附口，夹持本体内部设有空气管路，所述空气管路的吸气端至吸附口，夹持本体能够通过空气管路下端的吸附口提供吸气，以吸取清洁构件，将清洁构件吸附于夹持本体下端的密封板上，所述夹持本体两端对称开有若干个定位孔。
优选的，所述测试基座包括基座本体、第一限位夹片、第二限位夹片、第一丝杠螺母、第二丝杠螺母、第一调节螺栓、第二调节螺栓和定位销；所述基座本体侧壁对称开有条形通孔，第一限位夹片和第二限位夹片活动设置在条形通孔内，所述第一限位夹片的左端与第一丝杠螺母相连接，所述第二限位夹片与第二丝杠螺母相连接，所述第一调节螺栓穿过第一丝杠螺母转动设置在基座本体的左端侧壁上，所述第二调节螺栓穿过第二丝杠螺母转动设置在基座本体的右端侧壁上，所述定位销对称设置在基座本体上端，并与所述的定位孔相配合，所述第一限位夹片和第二限位夹片上均阵列开有圆形通孔，测试探针的梅花探头能够穿过圆形通孔，设置在测试基座本体内，测试插座安装于基座本体上。
优选的，所述套管侧壁上开有进气孔，进气孔位于活塞和上层限位片之间，所述进去孔与进气管相连。
优选的，所述移动片中央开有通孔，传动轴穿过移动片中央的通孔与固定片上端面相连接。
优选的，所述套管的内径与测试探针的外径相匹配。
优选的，所述第一限位夹片和第二限位夹片上均阵列开有圆形通孔的内径于测试探针的外径相匹配。
一种测试探针清洁装置的夹持构件，包括夹持本体、空气管路、密封板；所述夹持本体内腔下部设置有吸附口，夹持本体内部设有空气管路，所述空气管路的吸气端至吸附口，夹持本体能够通过空气管路下端的吸附口提供吸气，以吸取清洁构件，将清洁构件吸附于夹持本体下端的密封板上，所述夹持本体两端对称开有若干个定位孔。
一种测试探针清洁装置的测试基座，包括基座本体、第一限位夹片、第二限位夹片、第一丝杠螺母、第二丝杠螺母、第一调节螺栓、第二调节螺栓；所述基座本体侧壁对称开有两组条形通孔，第一限位夹片和第二限位夹片活动设置在两组条形通孔内，所述第一限位夹片的左端与第一丝杠螺母相连接，所述第二限位夹片与第二丝杠螺母相连接，所述第一调节螺栓穿过第一丝杠螺母转动设置在基座本体的左端侧壁上，所述第二调节螺栓穿过第二丝杠螺母转动设置在基座本体的右端侧壁上，所述定位销对称设置在基座本体上端，并与所述的定位孔相配合，所述第一限位夹片和第二限位夹片上均阵列开有圆形通孔，测试探针的梅花探头能够穿过圆形通孔，设置在测试基座本体内，测试插座安装于基座本体上。
一种测试探针清洁方法，包括以下步骤：
步骤a、探针固定、调节待清洁的测试探针相对应的基座本体上对称设置的第一调节螺栓和第二调节螺栓，同时顺时针旋转第一调节螺栓和逆时针旋转第二调节螺栓，并旋转相同的圈数，第一调节螺栓和第一丝杠螺母的螺纹作用，使第一丝杠螺母沿着第一调节螺栓的轴向方向拉动第一限位夹片向基座本体外移动一定距离，同时第二调节螺栓与第二丝杠螺母的螺纹作用，使第二丝杠螺母沿着第二调节螺栓的轴向方向拉动第二限位夹片向基座本体外移动与第一限位夹片等量的距离，第一限位夹片和第二限位夹片上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，发生相对位移的圆形通孔的侧壁发生错位，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针的外壁相抵靠，以对测试探针进行固定；
步骤b、吸附安装、通过对夹持本体内部设置的空气管路进行吸气，并通过吸附口形成对清洁构件的吸力作用，以将清洁构件吸附于密封板的底面；
步骤c、对准调节、通过控制传动机械臂将吸附安装完成的清洁构件置于测试插座的正上方，并将测试基座上的定位销与夹持本体上开有的定位孔相对应，并通过控制传动机械臂推动夹持构件带动清洁构件向下移动，使定位销插入定位孔内，同时使测试探针插入对应的套管内，使套管的最低端与测试探针的梅花探头的下端面介于同一水平面上，以完成对准调节工作；
步骤d、摩阻刮除、通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行输入气体，以增加密封片和活塞之间的密闭空间的气压，在压力的作用下推动活塞向下移动，向下移动的活塞推动传动杆克服复位弹簧的弹力作用，进而带动移动片向下移动，向下移动的移动片通过弹性件推动刮除件向下移动，向下移动的刮除件与梅花探头的上端面棱角处相对应，并在弹性件的弹力的作用下，使刮除件的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下移动，待移动至梅花探头的底部时，再通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行吸气，以减小密封片和活塞之间的密闭空间的气压，在压力的作用下拉动活塞向上移动，向上移动的活塞和复位弹簧的弹力作用带动传动杆向上移动，进而带动移动片向上移动，向上移动的移动片通过弹性件推动刮除件向上移动，并在弹性件的弹力的作用下，使刮除件的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向上移动，待完成预设的往复的次数后，完成摩阻刮除，此时通过对密封片和活塞之间的气压控制，并通过传动杆、移动片使刮除件与测试探针分离，此时停止对进气管输入或输出气体；
步骤e、粘性吸附、启动套管侧壁上设置的传动电机顺时针转动，传动电机通输出长轴带动主动梯形齿轮顺时针转动，顺时针转动的主动梯形齿轮通过从动梯形齿轮带动螺纹套筒逆时针转动，逆时针转动的螺纹套筒的内螺纹和传动轴的外螺纹的作用，带动传动轴向下运动，向下运动的传动轴通过固定片带动清洁软胶向下运动至与测试探针的上端面相抵靠，清洁软胶在与测试探针的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，发生形变的清洁软胶，能够充分适应测试探针的梅花探头上端面的复杂的棱角端面，将梅花探头上端面的杂质和灰尘完全粘在清洁软胶的表面上，调节套管传动电机逆时针转动，传动电机通输出长轴带动主动梯形齿轮逆时针转动，逆时针转动的主动梯形齿轮通过从动梯形齿轮带动螺纹套筒转动顺时针转动，顺时针转动的螺纹套筒的内螺纹和传动轴的外螺纹的作用，带动传动轴向上运动，向上运动的传动轴通过固定片带动清洁软胶相上运动至与测试探针的上端面相分离，以完成粘性吸附清洁工作。
优选的，在一种测试探针清洁装置上实现。
一种测试探针清洁方法的摩阻刮除方法，通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行输入气体，以增加密封片和活塞之间的密闭空间的气压，在压力的作用下推动活塞向下移动，向下移动的活塞推动传动杆克服复位弹簧的弹力作用，进而带动移动片向下移动，向下移动的移动片通过弹性件推动刮除件向下移动，向下移动的刮除件与梅花探头的上端面棱角处相对应，并在弹性件的弹力的作用下，使刮除件的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下移动，待移动至梅花探头的底部时，再通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行吸气，以减小密封片和活塞之间的密闭空间的气压，在压力的作用下拉动活塞向上移动，向上移动的活塞和复位弹簧的弹力作用带动传动杆向上移动，进而带动移动片向上移动，向上移动的移动片通过弹性件推动刮除件向上移动，并在弹性件的弹力的作用下，使刮除件的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向上移动，待完成预设的往复的次数后，完成摩阻刮除，此时通过对密封片和活塞之间的气压控制，并通过传动杆、移动片使刮除件与测试探针分离，此时停止对进气管输入或输出气体。
优选的，在一种测试探针清洁装置上实现。
一种测试探针清洁方法的粘性吸附方法，启动套管侧壁上设置的传动电机顺时针转动，传动电机通输出长轴带动主动梯形齿轮顺时针转动，顺时针转动的主动梯形齿轮通过从动梯形齿轮带动螺纹套筒逆时针转动，逆时针转动的螺纹套筒的内螺纹和传动轴的外螺纹的作用，带动传动轴向下运动，向下运动的传动轴通过固定片带动清洁软胶向下运动至与测试探针的上端面相抵靠，清洁软胶在与测试探针的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，发生形变的清洁软胶，能够充分适应测试探针的梅花探头上端面的复杂的棱角端面，将梅花探头上端面的杂质和灰尘完全粘在清洁软胶的表面上，调节套管传动电机逆时针转动，传动电机通输出长轴带动主动梯形齿轮逆时针转动，逆时针转动的主动梯形齿轮通过从动梯形齿轮带动螺纹套筒转动顺时针转动，顺时针转动的螺纹套筒的内螺纹和传动轴的外螺纹的作用，带动传动轴向上运动，向上运动的传动轴通过固定片带动清洁软胶相上运动至与测试探针的上端面相分离，以完成粘性吸附清洁工作。
优选的，在一种测试探针清洁装置上实现。
一种测试探针清洁方法的探针固定方法，调节待清洁的测试探针相对应的基座本体上对称设置的第一调节螺栓和第二调节螺栓，同时顺时针旋转第一调节螺栓和逆时针旋转第二调节螺栓，并旋转相同的圈数，第一调节螺栓和第一丝杠螺母的螺纹作用，使第一丝杠螺母沿着第一调节螺栓的轴向方向拉动第一限位夹片向基座本体外移动一定距离，同时第二调节螺栓与第二丝杠螺母的螺纹作用，使第二丝杠螺母沿着第二调节螺栓的轴向方向拉动第二限位夹片向基座本体外移动与第一限位夹片等量的距离，第一限位夹片和第二限位夹片上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，发生相对位移的圆形通孔的侧壁发生错位，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针的外壁相抵靠，以对测试探针进行固定。
优选的，在一种测试探针清洁装置上实现。
本发明的有益效果为：
第一、所述夹持构件能够通过传动机械臂移动控制测试插座上方的清洁构件，能够使清洁构件移动至测试插座内，并与测试插座内的测试探针的探头贴合抵靠，以完成对测试探针的先刮除累积杂质，再将杂质灰尘从测试插座内吸附清除的工作，即能将沉积的杂质有效彻底刮除，同时又能将清除的杂质灰尘彻底从测试探针表面有效清除，同时无需将安装测试探针从测试插座内拆除卸下，即可有效清除，大大提高了工作效率。
第二、通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行输入或输出气体，以增加或减小密封片和活塞之间的密闭空间的气压，推动活塞向下或上移动，进而通过弹性件的弹力的作用下，使刮除件的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下或向上移动，待完成预设的往复的次数后，完成摩阻刮除，以实现往复运动以对探针尖端于待测锡球等待测物反复接触，在探针尖端形成的杂质进行有效的刮除，在反复刮除的过程中，能够有效的将沉积在测试探针的梅花探头上的杂质清除，即解决了需要人工拆卸分离后清洗，又保证测试探针的探头的特性，使测量结果更加准确，保证了测试的准确度和测试良率。
第三、启动套管侧壁上设置的传动电机顺时针转动，传动电机通输出长轴带动主动梯形齿轮顺时针转动，通过从动梯形齿轮带动螺纹套筒转动，进而带动传动轴向下运动，向下运动的传动轴通过固定片带动清洁软胶向下运动至与的上端面相抵靠，清洁软胶在与的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，发生形变的清洁软胶，能充分适应测试探针的梅花探头上端面的复杂的棱角端面，将梅花探头上端面的杂质和灰尘完全粘在清洁软胶的表面上，能够有效的将存留堆积在梅花探头的底部，经过刮除构件清理后的杂质和灰尘完全吸附，使清洁工作更加干净彻底，进一步保证了测试探针的特性，使测量结果更加精准有效。
第四、通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行输入气体，推动活塞带动移动片向下移动时，此时未启动传动电机转动，有清洁软胶处于测试探针的正上方，并未与测试探针相接触，此时充分保证了刮除件将测试探针梅花探头上的沉积的杂质有效清除，待刮除完毕后，通过控制和之间的密封腔室的气压变小，使向上移动的活塞带动刮除件向上移动，至与梅花探头完全分离，以通过传动电机控制清洁软胶向下移动与测试探针的梅花端面相抵靠，完成粘性吸附提供必要条件，以实现先对探针沉积的杂质先刮除，再通过粘性吸附，并且二者相互不干扰，大大提高了工作效率，并将沉积的灰尘杂质彻底清除，克服传统的人工通过刷子执行清洁动作清洁和通过器械进行微小的摩擦导致沉积的杂质清除不彻底导致的测量结果不准确，即代替的人工清洁，同时又保证了测试效率和产出。
第五、通过第一限位夹片和第二限位夹片相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，发生相对位移的圆形通孔的侧壁发生错位，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针的外壁相抵靠，以对测试探针进行固定，保证了对测试探针的梅花探头清洁过程中，测试探针在压力的作用下，避免发生向下的位移，保持充分的稳定，以保证刮除摩阻刮除和粘性吸附的效果。
附图说明
图1为一种测试探针清洁装置的整体安装示意图；
图2为一种测试探针清洁装置的工作示意图；
图3为清洁构件的主视图；
图4为套管内部结构的主视图；
图5为套管内部结构的侧视图；
图6为对接、刮除、吸附的工作示意图；
图7为测试基座未固定时的主视图；
图8为测试基座固定时的主视图；
图9为夹持构件的整体示意图。
图中：1-清洁构件、1-1-套管、1-2-密封片、1-3-安装板、1-4-限位片、1-5-活塞、1-6-主动梯形齿轮、1-7-从动梯形齿轮、1-8-传动杆、1-9-移动片、1-10-弹性件、1-11-刮除件、1-12-螺纹套筒、1-13-传动轴、1-14-固定片、1-15-清洁软胶、1-16-复位弹簧、1-17-输出长轴、2-夹持构件、2-1-夹持本体、2-2-吸附口、2-3-空气管路、2-4-密封板、2-5-定位孔、3-测试插座、4-测试基座、4-1-基座本体、4-3-第一限位夹片、4-4-第二限位夹片、4-5-第一丝杠螺母、4-6-第二丝杠螺母、4-7-第一调节螺栓、4-8-第二调节螺栓、4-9-定位销、5-测试探针。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明具体实施方式作进一步详细描述。
具体实施方式一
以下是本发明一种测试探针清洁装置的具体实施方式。
本实施方式下的测试探针清洁装置，如图1-9所示，该测试探针清洁装置包括清洁构件1、夹持构件2、测试插座3、测试基座4和测试探针5；所述清洁构件1上方设置有夹持构件2，所述清洁构件1下方设置有测试插座3，所述测试插座3安装在测试基座4上，所述夹持构件2能够通过传动机械臂移动控制测试插座3上方的清洁构件1，能够使清洁构件1移动至测试插座3内，并与测试插座3内的测试探针5的探头贴合抵靠，以完成对测试探针5的先刮除累积杂质，再将杂质灰尘从测试插座3内吸附清除的工作，即能将沉积的杂质有效彻底刮除，同时又能将清除的杂质灰尘彻底从测试探针表面有效清除；
所述清洁构件1包括套管1-1、密封片1-2、安装板1-3、限位片1-4、活塞1-5、主动梯形齿轮1-6、从动梯形齿轮1-7、传动杆1-8、移动片1-9、弹性件1-10、刮除件1-11、螺纹套筒1-12、传动轴1-13、固定片1-14、清洁软胶1-15、复位弹簧1-16和输出长轴1-17；所述套管1-1通过密封片1-2阵列设置在安装板1-3下端面上，上层限位片1-4与密封片1-2之间可移动设置有活塞1-5，活塞1-5下端的主动梯形齿轮1-6和从动梯形齿轮1-7相啮合，所述从动梯形齿轮1-7两端对称设置有传动杆1-8，传动杆1-8的一端与活塞1-5的一端相连，传动杆1-8的另一端穿过两个限位片1-4与移动片1-9上端面相连，移动片1-9下端面通过弹性件1-10陈列设置有多个刮除件1-11，所述从动梯形齿轮1-7通过螺纹套筒1-12转动设置在下层限位片1-4上，所述传动轴1-13上端穿过螺纹套筒1-12并与螺纹套筒1-12相配合，传动轴1-13的另一端与固定片1-14相连接，所述固定片1-14下端设置有清洁软胶1-15，位于两个限位片1-4之间的传动轴1-13上设置有复位弹簧1-16，所述传动电机设置在一侧的套管1-1侧壁上，传动电机的输出端与输出长轴1-17相连，所述输出长轴1-17穿过阵列设置的套管1-1，套管1-1内的从动梯形齿轮1-7设置在输出长轴1-17上，所述刮除件1-11能够通过活塞1-5进行上下往复运动，并通过弹性件1-10使刮除件1-11的下端面与测试探针5的探头的梅花尖端相抵靠，以对梅花尖端上累积的杂质进行刮除，所述清洁软胶1-15能够将清洁的杂质、灰尘进行粘吸在清洁软胶1-15表面，进而从测试插座3内将杂质灰尘清除。
本实施方式中所针对的测试探针5的探头为梅花状探头，并且实施方式主要针对应用量较大的四爪梅花探头，可针对测试探针5的探头的梅花状的爪数，相应对应生产相对应的爪数即可；
套管1-1上端设置的密封片1-2和内部设置的可活动的活塞1-5，形成密封腔室，并通过进气管对套管1-1侧壁上开有的进气孔进行输入或输出气体，以控制密封腔室内的气压变化，以推动活塞向下或是向上移动；
通过进气管对套管1-1上端侧壁上开有的进气孔进行输入气体，以增加密封片1-2和活塞1-5之间的密闭空间的气压，在压力的作用下推动活塞1-5向下移动，向下移动的活塞1-5推动传动杆1-8克服复位弹簧1-16的弹力作用，进而带动移动片1-9向下移动，向下移动的移动片1-9通过弹性件1-10推动刮除件1-11向下移动，向下移动的刮除件1-11与梅花探头的上端面棱角处相对应，并在弹性件1-10的弹力的作用下，使刮除件1-11的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下移动，待移动至梅花探头的底部时，再通过进气管对套管1-1上端侧壁上开有的进气孔进行吸气，以减小密封片1-2和活塞1-5之间的密闭空间的气压，在压力的作用下拉动活塞1-5向上移动，向上移动的活塞1-5和复位弹簧1-16的弹力作用带动传动杆1-8向上移动，进而带动移动片1-9向上移动，向上移动的移动片1-9通过弹性件1-10推动刮除件1-11向上移动，并在弹性件1-10的弹力的作用下，使刮除件1-11的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向上移动，待完成预设的往复的次数后，完成摩阻刮除，此时通过对密封片1-2和活塞1-5之间的气压控制，并通过传动杆1-8、移动片1-9使刮除件1-11与测试探针5分离，此时停止对进气管输入或输出气体，以实现往复运动以对探针尖端于待测锡球等待测物反复接触，在探针尖端形成的杂质进行有效的刮除，在反复刮除的过程中，能够有效的将沉积在测试探针5的梅花探头上的杂质清除，即解决了需要人工拆卸分离后清洗，又保证测试探针5的探头的特性，达到了既提高了工作效率，随时工作，随时清洁，又使测量结果更加准确，保证了测试的准确度和测试良率；
所述刮除件1-11与测试探针5相抵靠的下端面设置有清洁片，所述清洁片可有市面购得，如日本、美国制造的精密清洁片；
启动套管1-1侧壁上设置的传动电机顺时针转动，传动电机通输出长轴1-17带动主动梯形齿轮1-6顺时针转动，顺时针转动的主动梯形齿轮1-6通过从动梯形齿轮1-7带动螺纹套筒1-12逆时针转动，逆时针转动的螺纹套筒1-12的内螺纹和传动轴1-13的外螺纹的作用，带动传动轴1-13向下运动，向下运动的传动轴1-13通过固定片1-14带动清洁软胶1-15向下运动至与测试探针5的上端面相抵靠，清洁软胶1-15在与测试探针5的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，发生形变的清洁软胶1-15，能够充分适应测试探针5的梅花探头上端面的复杂的棱角端面，将梅花探头上端面的杂质和灰尘完全粘在清洁软胶1-15的表面上，能够有效的将存留堆积在梅花探头的底部，经过刮除构件清理后的杂质和灰尘完全吸附，进一步保证了测试探针5的特性，使测量结果更加精准有效，调节套管1-1传动电机逆时针转动，传动电机通输出长轴1-17带动主动梯形齿轮1-6逆时针转动，逆时针转动的主动梯形齿轮1-6通过从动梯形齿轮1-7带动螺纹套筒1-12转动顺时针转动，顺时针转动的螺纹套筒1-12的内螺纹和传动轴1-13的外螺纹的作用，带动传动轴1-13向上运动，向上运动的传动轴1-13通过固定片1-14带动清洁软胶1-15相上运动至与测试探针5的上端面相分离；
通过进气管对套管1-1上端侧壁上开有的进气孔进行输入气体，推动活塞带动移动片1-9向下移动时，此时未启动传动电机转动，有清洁软胶1-15处于测试探针5的正上方，并未有测试探针5相接触，此时充分保证了刮除件1-11将测试探针5梅花探头上的沉积的杂质有效清除，待刮除完毕后，通过控制1-2和1-5之间的密封腔室的气压变小，使向上移动的活塞1-5带动刮除件1-11向上移动，至与梅花探头完全分离，以通过传动电机控制清洁软胶1-15向下移动与测试探针5的梅花端面相抵靠，完成粘性吸附提供必要条件，以实现先对探针沉积的杂质先刮除，再通过粘性吸附，并且二者相互不干扰，大大提高了工作效率，并将沉积的灰尘杂质彻底清除，克服传统的人工通过刷子执行清洁动作清洁和通过器械进行微小的摩擦导致沉积的杂质清除不彻底导致的测量结果不准确；
同时多个测试探针5的探头进行清洁是，一个测试探针5的测试探头对应一个套管1-1，保证了清洁工作独立进行，相互不影响。
所述套管1-1侧壁上开有进气孔，进气孔位于活塞1-5和上层限位片1-4之间，所述进去孔与进气管相连。
所述移动片1-9中央开有通孔，传动轴1-13穿过移动片1-9中央的通孔与固定片1-14上端面相连接。
所述套管1-1的内径与测试探针5的外径相匹配。
所述刮除件1-11的尺寸大小，可根据与测试探针5的探头相抵靠的锡球的大小和作用位置，并根据梅花探头的尺寸进行生产，梅花探头在清除时，相对应的探头决定了相应的刮除件1-11的形状，本实施方式所采取的是应用较为广泛的四爪梅花探头，相应的刮除件1-11的形状为倒“V”形，以充分配合梅花探头的棱角端面。
具体实施方式二
以下是本发明一种测试探针清洁装置的测试基座的具体实施方式。
需要说明的是，本实施方式下的一种测试探针清洁装置的测试基座，既可以单独实施，即作为一种测试探针清洁装置的一个零件单独存在，又可以对实施方式一所述的一种测试探针清洁装置做进一步限定。
本实施方式下的测试探针清洁装置的测试基座，如图1、2、7、8所示，该探针清洁装置的测试基座包括基座本体4-1、第一限位夹片4-3、第二限位夹片4-4、第一丝杠螺母4-5、第二丝杠螺母4-6、第一调节螺栓4-7、第二调节螺栓4-8；所述基座本体4-1侧壁对称开有两组条形通孔，第一限位夹片4-3和第二限位夹片4-4活动设置在两组条形通孔内，所述第一限位夹片4-3的左端与第一丝杠螺母4-5相连接，所述第二限位夹片4-4与第二丝杠螺母4-6相连接，所述第一调节螺栓4-7穿过第一丝杠螺母4-5转动设置在基座本体4-1的左端侧壁上，所述第二调节螺栓4-8穿过第二丝杠螺母4-6转动设置在基座本体4-1的右端侧壁上，所述定位销4-9对称设置在基座本体4-1上端，并与所述的定位孔2-5相配合，所述第一限位夹片4-3和第二限位夹片4-4上均阵列开有圆形通孔，测试探针5的梅花探头能够穿过圆形通孔，设置在测试基座本体4-1内，测试插座3安装于基座本体4-1上。
所述第一限位夹片4-3和第二限位夹片4-4上均阵列开有圆形通孔的内径于测试探针5的外径相匹配。
调节待清洁的测试探针5相对应的基座本体4-1上对称设置的第一调节螺栓4-7和第二调节螺栓4-8，同时顺时针旋转第一调节螺栓4-7和逆时针旋转第二调节螺栓4-8，并旋转相同的圈数，第一调节螺栓4-7和第一丝杠螺母4-5的螺纹作用，使第一丝杠螺母4-5沿着第一调节螺栓4-7的轴向方向拉动第一限位夹片4-3向基座本体4-1外移动一定距离，同时第二调节螺栓4-8与第二丝杠螺母4-6的螺纹作用，使第二丝杠螺母4-6沿着第二调节螺栓4-8的轴向方向拉动第二限位夹片4-4向基座本体4-1外移动与第一限位夹片4-3等量的距离，第一限位夹片4-3和第二限位夹片4-4上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，发生相对位移的圆形通孔的侧壁发生错位，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针5的外壁相抵靠，以对测试探针5进行固定，保证了对测试探针5的梅花探头清洁过程中，测试探针5在压力的作用下，避免发生向下的位移，保持充分的稳定，以保证刮除摩阻刮除和粘性吸附的效果；
过控制传动机械臂将吸附安装完成的清洁构件1置于测试插座3的正上方，并将测试基座4上的定位销4-9与夹持本体2-1上开有的定位孔2-5相对应，并通过控制传动机械臂推动夹持构件2带动清洁构件1向下移动，使定位销4-9插入定位孔2-5内，实现准确对接。
具体实施方式三
以下是本发明一种测试探针清洁装置的夹持构件的具体实施方式。
需要说明的是，本实施方式下的一种测试探针清洁装置的夹持构件，既可以单独实施，即作为一种测试探针清洁装置的一个零件单独存在，又可以对实施方式一所述的一种测试探针清洁装置做进一步限定。
本实施方式下的测试探针清洁装置的夹持构件，如图1、2、9所示，该探针清洁装置的夹持构件包括夹持本体2-1、空气管路2-3、密封板2-4；所述夹持本体2-1内腔下部设置有吸附口2-2，夹持本体2-1内部设有空气管路2-3，所述空气管路2-3的吸气端至吸附口2-2，夹持本体2-1能够通过空气管路2-3下端的吸附口2-2提供吸气，以吸取清洁构件1，将清洁构件1吸附于夹持本体2-1下端的密封板2-4上，所述夹持本体2-1两端对称开有若干个定位孔2-5。
通过吸持固定，能够使充分的利用检测时的原有驱动装置，不需要在多提供驱动构件，大大节省的清洁成本，同时使资源最大化利用，由于夹持构件的结构及其控制方式与现有的芯片针测试机的吸持装置相类似，故不再阐述。
具体实施方式四
以下是本发明一种测试探针清洁方法的具体实施方式。
本实施方式下的一种测试探针清洁方法，包括以下步骤：
步骤a、探针固定、调节待清洁的测试探针5相对应的基座本体4-1上对称设置的第一调节螺栓4-7和第二调节螺栓4-8，同时顺时针旋转第一调节螺栓4-7和逆时针旋转第二调节螺栓4-8，并旋转相同的圈数，第一调节螺栓4-7和第一丝杠螺母4-5的螺纹作用，使第一丝杠螺母4-5沿着第一调节螺栓4-7的轴向方向拉动第一限位夹片4-3向基座本体4-1外移动一定距离，同时第二调节螺栓4-8与第二丝杠螺母4-6的螺纹作用，使第二丝杠螺母4-6沿着第二调节螺栓4-8的轴向方向拉动第二限位夹片4-4向基座本体4-1外移动与第一限位夹片4-3等量的距离，第一限位夹片4-3和第二限位夹片4-4上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，发生相对位移的圆形通孔的侧壁发生错位，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针5的外壁相抵靠，以对测试探针5进行固定；
步骤b、吸附安装、通过对夹持本体2-1内部设置的空气管路2-3进行吸气，并通过吸附口2-2形成对清洁构件1的吸力作用，以将清洁构件1吸附于密封板2-4的底面；
步骤c、对准调节、通过控制传动机械臂将吸附安装完成的清洁构件1置于测试插座3的正上方，并将测试基座4上的定位销4-9与夹持本体2-1上开有的定位孔2-5相对应，并通过控制传动机械臂推动夹持构件2带动清洁构件1向下移动，使定位销4-9插入定位孔2-5内，同时使测试探针5插入对应的套管1-1内，使套管1-1的最低端与测试探针5的梅花探头的下端面介于同一水平面上，以完成对准调节工作；
步骤d、摩阻刮除、通过进气管对套管1-1上端侧壁上开有的进气孔进行输入气体，以增加密封片1-2和活塞1-5之间的密闭空间的气压，在压力的作用下推动活塞1-5向下移动，向下移动的活塞1-5推动传动杆1-8克服复位弹簧1-16的弹力作用，进而带动移动片1-9向下移动，向下移动的移动片1-9通过弹性件1-10推动刮除件1-11向下移动，向下移动的刮除件1-11与梅花探头的上端面棱角处相对应，并在弹性件1-10的弹力的作用下，使刮除件1-11的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下移动，待移动至梅花探头的底部时，再通过进气管对套管1-1上端侧壁上开有的进气孔进行吸气，以减小密封片1-2和活塞1-5之间的密闭空间的气压，在压力的作用下拉动活塞1-5向上移动，向上移动的活塞1-5和复位弹簧1-16的弹力作用带动传动杆1-8向上移动，进而带动移动片1-9向上移动，向上移动的移动片1-9通过弹性件1-10推动刮除件1-11向上移动，并在弹性件1-10的弹力的作用下，使刮除件1-11的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向上移动，待完成预设的往复的次数后，完成摩阻刮除，此时通过对密封片1-2和活塞1-5之间的气压控制，并通过传动杆1-8、移动片1-9使刮除件1-11与测试探针5分离，此时停止对进气管输入或输出气体；
步骤e、粘性吸附、启动套管1-1侧壁上设置的传动电机顺时针转动，传动电机通输出长轴1-17带动主动梯形齿轮1-6顺时针转动，顺时针转动的主动梯形齿轮1-6通过从动梯形齿轮1-7带动螺纹套筒1-12逆时针转动，逆时针转动的螺纹套筒1-12的内螺纹和传动轴1-13的外螺纹的作用，带动传动轴1-13向下运动，向下运动的传动轴1-13通过固定片1-14带动清洁软胶1-15向下运动至与测试探针5的上端面相抵靠，清洁软胶1-15在与测试探针5的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，发生形变的清洁软胶1-15，能够充分适应测试探针5的梅花探头上端面的复杂的棱角端面，将梅花探头上端面的杂质和灰尘完全粘在清洁软胶1-15的表面上，调节套管1-1传动电机逆时针转动，传动电机通输出长轴1-17带动主动梯形齿轮1-6逆时针转动，逆时针转动的主动梯形齿轮1-6通过从动梯形齿轮1-7带动螺纹套筒1-12转动顺时针转动，顺时针转动的螺纹套筒1-12的内螺纹和传动轴1-13的外螺纹的作用，带动传动轴1-13向上运动，向上运动的传动轴1-13通过固定片1-14带动清洁软胶1-15相上运动至与测试探针5的上端面相分离，以完成粘性吸附清洁工作，使清洁更加干净彻底。
具体实施方式五
以下是本发明一种测试探针清洁方法的摩阻刮除方法的具体实施方式。
需要说明的是，本实施方式下的一种测试探针清洁方法的摩阻刮除方法，可以单独实施，即作为一种测试探针清洁方法的一个关键步骤单独存在。
本实施方式下的一种测试探针清洁方法的摩阻刮除方法，通过进气管对套管1-1上端侧壁上开有的进气孔进行输入气体，以增加密封片1-2和活塞1-5之间的密闭空间的气压，在压力的作用下推动活塞1-5向下移动，向下移动的活塞1-5推动传动杆1-8克服复位弹簧1-16的弹力作用，进而带动移动片1-9向下移动，向下移动的移动片1-9通过弹性件1-10推动刮除件1-11向下移动，向下移动的刮除件1-11与梅花探头的上端面棱角处相对应，并在弹性件1-10的弹力的作用下，使刮除件1-11的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下移动，待移动至梅花探头的底部时，再通过进气管对套管1-1上端侧壁上开有的进气孔进行吸气，以减小密封片1-2和活塞1-5之间的密闭空间的气压，在压力的作用下拉动活塞1-5向上移动，向上移动的活塞1-5和复位弹簧1-16的弹力作用带动传动杆1-8向上移动，进而带动移动片1-9向上移动，向上移动的移动片1-9通过弹性件1-10推动刮除件1-11向上移动，并在弹性件1-10的弹力的作用下，使刮除件1-11的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向上移动，待完成预设的往复的次数后，完成摩阻刮除，此时通过对密封片1-2和活塞1-5之间的气压控制，并通过传动杆1-8、移动片1-9使刮除件1-11与测试探针5分离，此时停止对进气管输入或输出气体。
具体实施方式六
以下是本发明一种测试探针清洁方法的粘性吸附方法的具体实施方式。
需要说明的是，本实施方式下的一种测试探针清洁方法的粘性吸附方法，可以单独实施，即作为一种测试探针清洁方法的一个关键步骤单独存在。
本实施方式下的一种测试探针粘性吸附清洁方法，启动套管1-1侧壁上设置的传动电机顺时针转动，传动电机通输出长轴1-17带动主动梯形齿轮1-6顺时针转动，顺时针转动的主动梯形齿轮1-6通过从动梯形齿轮1-7带动螺纹套筒1-12逆时针转动，逆时针转动的螺纹套筒1-12的内螺纹和传动轴1-13的外螺纹的作用，带动传动轴1-13向下运动，向下运动的传动轴1-13通过固定片1-14带动清洁软胶1-15向下运动至与测试探针5的上端面相抵靠，清洁软胶1-15在与测试探针5的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，发生形变的清洁软胶1-15，能够充分适应测试探针5的梅花探头上端面的复杂的棱角端面，将梅花探头上端面的杂质和灰尘完全粘在清洁软胶1-15的表面上，调节套管1-1传动电机逆时针转动，传动电机通输出长轴1-17带动主动梯形齿轮1-6逆时针转动，逆时针转动的主动梯形齿轮1-6通过从动梯形齿轮1-7带动螺纹套筒1-12转动顺时针转动，顺时针转动的螺纹套筒1-12的内螺纹和传动轴1-13的外螺纹的作用，带动传动轴1-13向上运动，向上运动的传动轴1-13通过固定片1-14带动清洁软胶1-15相上运动至与测试探针5的上端面相分离，以完成粘性吸附清洁工作。
具体实施方式七
以下是本发明一种测试探针清洁装置的探针固定方法的具体实施方式。
需要说明的是，本实施方式下的一种测试探针清洁方法的探针固定方法，可以单独实施，即作为一种测试探针清洁方法的一个关键步骤单独存在。
本实施方式下的一种用于清洁测试探针的固定方法，调节待清洁的测试探针5相对应的基座本体4-1上对称设置的第一调节螺栓4-7和第二调节螺栓4-8，同时顺时针旋转第一调节螺栓4-7和逆时针旋转第二调节螺栓4-8，并旋转相同的圈数，第一调节螺栓4-7和第一丝杠螺母4-5的螺纹作用，使第一丝杠螺母4-5沿着第一调节螺栓4-7的轴向方向拉动第一限位夹片4-3向基座本体4-1外移动一定距离，同时第二调节螺栓4-8与第二丝杠螺母4-6的螺纹作用，使第二丝杠螺母4-6沿着第二调节螺栓4-8的轴向方向拉动第二限位夹片4-4向基座本体4-1外移动与第一限位夹片4-3等量的距离，第一限位夹片4-3和第二限位夹片4-4上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，发生相对位移的圆形通孔的侧壁发生错位，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针5的外壁相抵靠，以对测试探针5进行固定。
以上实施方式只是对本专利的示例性说明，并不限定它的保护范围，本领域技术人员还可以对其局部进行改变，只要没有超出本专利的精神实质，都在本专利的保护范围内。
Claims (1)
1.测试探针清洁方法的探针固定方法，在测试探针清洁装置上实现，应用于测试探针清洁方法，所述测试探针清洁方法包括以下步骤：步骤a、探针固定；步骤b、吸附安装；步骤c、对准调节；步骤d、摩阻刮除；步骤e、粘性吸附；其特征在于：所述测试探针清洁方法的探针固定方法，调节待清洁的测试探针（5）相对应的基座本体（4-1）上对称设置的第一调节螺栓（4-7）和第二调节螺栓（4-8），同时顺时针旋转第一调节螺栓（4-7）和逆时针旋转第二调节螺栓（4-8），并旋转相同的圈数，第一调节螺栓（4-7）和第一丝杠螺母（4-5）的螺纹作用，使第一丝杠螺母（4-5）沿着第一调节螺栓（4-7）的轴向方向拉动第一限位夹片（4-3）向基座本体（4-1）外移动一定距离，同时第二调节螺栓（4-8）与第二丝杠螺母（4-6）的螺纹作用，使第二丝杠螺母（4-6）沿着第二调节螺栓（4-8）的轴向方向拉动第二限位夹片（4-4）向基座本体（4-1）外移动与第一限位夹片（4-3）等量的距离，第一限位夹片（4-3）和第二限位夹片（4-4）上相对应的圆形通孔的侧壁发生相对位移，发生相对位移的圆形通孔的侧壁发生错位，并与设置在对应的圆形通孔内的测试探针（5）的外壁相抵靠，以对测试探针（5）进行固定；
所述测试探针清洁装置包括清洁构件（1）、夹持构件（2）、测试插座（3）、测试基座（4）和测试探针（5）；所述清洁构件（1）上方设置有夹持构件（2），所述清洁构件（1）下方设置有测试插座（3），所述测试插座（3）安装在测试基座（4）上，所述夹持构件（2）能够通过传动机械臂移动控制测试插座（3）上方的清洁构件（1），能够使清洁构件（1）移动至测试插座（3）内，并与测试插座（3）内的测试探针（5）的探头贴合抵靠，以完成对测试探针（5）的先刮除累积杂质，再将杂质灰尘从测试插座（3）内吸附清除的工作；
所述清洁构件包括套管（1-1）、密封片（1-2）、安装板（1-3）、限位片（1-4）、活塞（1-5）、主动梯形齿轮（1-6）、从动梯形齿轮（1-7）、传动杆（1-8）、移动片（1-9）、弹性件（1-10）、刮除件（1-11）、螺纹套筒（1-12）、传动轴（1-13）、固定片（1-14）、清洁软胶（1-15）、复位弹簧（1-16）和输出长轴（1-17）；所述套管（1-1）通过密封片（1-2）阵列设置在安装板（1-3）下端面上，活塞（1-5）下端的主动梯形齿轮（1-6）和从动梯形齿轮（1-7）相啮合，所述从动梯形齿轮（1-7）两端对称设置有传动杆（1-8），传动杆（1-8）的一端与活塞（1-5）的一端相连，传动杆（1-8）的另一端穿过两个限位片（1-4）与移动片（1-9）上端面相连，移动片（1-9）下端面通过弹性件（1-10）陈列设置有多个刮除件（1-11），所述从动梯形齿轮（1-7）通过螺纹套筒（1-12）转动设置在下层限位片（1-4）上，所述传动轴（1-13）上端穿过螺纹套筒（1-12）并与螺纹套筒（1-12）相配合，传动轴（1-13）的另一端与固定片（1-14）相连接，所述固定片（1-14）下端设置有清洁软胶（1-15），位于两个限位片（1-4）之间的传动轴（1-13）上设置有复位弹簧（1-16），传动电机设置在一侧的套管（1-1）侧壁上，传动电机的输出端与输出长轴（1-17）相连，所述输出长轴（1-17）穿过阵列设置的套管（1-1），套管（1-1）内的从动梯形齿轮（1-7）设置在输出长轴（1-17）上，所述刮除件（1-11）能够通过活塞（1-5）进行上下往复运动，并通过弹性件（1-10）使刮除件（1-11）的下端面与测试探针（5）的探头的梅花尖端相抵靠，以对梅花尖端上累积的杂质进行刮除，所述清洁软胶（1-15）能够将清洁的杂质、灰尘进行粘吸在清洁软胶（1-15）表面，进而从测试插座（3）内将杂质灰尘清除。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210126254.2A CN114472252B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法的探针固定方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011365614.1A CN112462104B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法 |
| CN202210126254.2A CN114472252B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法的探针固定方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011365614.1A Division CN112462104B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114472252A CN114472252A (zh) | 2022-05-13 |
| CN114472252B true CN114472252B (zh) | 2023-03-24 |
Family
ID=74809350
Family Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011365614.1A Active CN112462104B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法 |
| CN202210126256.1A Active CN114405887B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法的摩阻刮除方法 |
| CN202210126254.2A Active CN114472252B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法的探针固定方法 |
| CN202210126255.7A Active CN114414862B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法的粘性吸附方法 |
Family Applications Before (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011365614.1A Active CN112462104B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法 |
| CN202210126256.1A Active CN114405887B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法的摩阻刮除方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210126255.7A Active CN114414862B (zh) | 2020-11-28 | 2020-11-28 | 测试探针清洁方法的粘性吸附方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (4) | CN112462104B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113624936B (zh) * | 2021-09-15 | 2024-04-09 | 黑龙江省鸡西生态环境监测中心 | 一种水质分析仪 |
| CN115144810B (zh) * | 2022-08-31 | 2022-11-15 | 深圳市睿智通科技有限公司 | 一种智能电表测试装置及方法 |
| CN116298123B (zh) * | 2023-03-20 | 2023-10-17 | 安徽瑞柏新材料有限公司 | 一种具有自清洁功能的醋酸甲酯纯度检测装置 |
| CN117432609B (zh) * | 2023-10-31 | 2024-05-03 | 四川图林科技有限责任公司 | 一种半球谐振陀螺的真空抽气设备和封装方法 |
| CN117772645B (zh) * | 2024-02-28 | 2024-04-30 | 灏讯电缆连接器制造(常州)有限公司 | 一种快速切换式检测设备及其工作方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1496482A (zh) * | 2001-12-25 | 2004-05-12 | ס�ѵ�����ҵ��ʽ���� | 接触探头 |
| CN1643065A (zh) * | 2002-01-18 | 2005-07-20 | 佛姆费克托公司 | 用于清洗测试探针的设备和方法 |
| CN208758223U (zh) * | 2018-07-05 | 2019-04-19 | 黄河科技学院 | 用于计算机键盘细缝的清理气囊 |
| CN109985753A (zh) * | 2019-02-21 | 2019-07-09 | 深圳市珍木舍家具有限公司 | 基于温度全方位除漆的卫浴柜喷漆用的漆雾吸除水幕装置 |
Family Cites Families (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69832010T2 (de) * | 1997-07-24 | 2006-07-13 | Mitsubishi Denki K.K. | Prüfspitze für Halbleiterschaltungen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| JPH1187438A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | プローブ先端のクリーニング部材ならびにクリーニング方法、および半導体ウェーハのテスト方法 |
| JP3842468B2 (ja) * | 1998-12-08 | 2006-11-08 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブの清掃方法及び装置 |
| JP2001313317A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Ando Electric Co Ltd | プローブの清掃方法及び清掃装置 |
| US6817052B2 (en) * | 2001-11-09 | 2004-11-16 | Formfactor, Inc. | Apparatuses and methods for cleaning test probes |
| US6813804B2 (en) * | 2002-06-06 | 2004-11-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for cleaning probe card contacts |
| KR20040004892A (ko) * | 2002-07-06 | 2004-01-16 | 삼성전자주식회사 | 프로빙 시스템의 테스트 프로브 세정장치 및 세정방법 |
| JP2004305936A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | プローブピン洗浄装置 |
| JP2004317272A (ja) * | 2003-04-16 | 2004-11-11 | Japan Electronic Materials Corp | プローブ先端クリーニング部材、プローブクリーニング装置及びプローブ先端クリーニング方法 |
| JP5027468B2 (ja) * | 2006-09-15 | 2012-09-19 | 日本ミクロコーティング株式会社 | プローブクリーニング用又はプローブ加工用シート、及びプローブ加工方法 |
| TWI322720B (en) * | 2007-04-25 | 2010-04-01 | Advanced Semiconductor Eng | Mechanism and method for automatic cleaning test interface of ic test socket |
| CN101249630B (zh) * | 2008-03-25 | 2011-03-30 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 集成电路测试插座的测试接口的自动清洁机构及清洁方法 |
| JP2012198024A (ja) * | 2009-07-31 | 2012-10-18 | Wit Co Ltd | テストプローブ用のクリーニングパッドおよびテストプローブのクリーニング方法 |
| CN202256598U (zh) * | 2011-09-27 | 2012-05-30 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 具有探针清洁功能的点测机 |
| US9138121B2 (en) * | 2012-03-07 | 2015-09-22 | Byron Keith Baarsch | Scraper attachment for sponges |
| JP2014032035A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-02-20 | Sheru Electronics Kk | プローブクリーニング装置およびその方法 |
| JP2014181962A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Fujitsu Ltd | プローブピン及び電極のクリーニング機構、並びにクリーニング方法 |
| TWM461144U (zh) * | 2013-03-29 | 2013-09-01 | Fittech Co Ltd | 探針清潔裝置 |
| NL2011710C2 (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-04 | F G J Lammertink Beheer B V | Device for cleaning a stylus of a measuring probe. |
| CN103878150B (zh) * | 2014-03-05 | 2016-02-24 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 探针的清洁方法及探针清洁装置 |
| CN204479617U (zh) * | 2015-03-11 | 2015-07-15 | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 | 用于芯片大规模量产测试的测试连接座 |
| JP6556612B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2019-08-07 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| CN205263143U (zh) * | 2015-12-29 | 2016-05-25 | 苏州韬盛电子科技有限公司 | 一种用于探针的夹持板 |
| JP6874583B2 (ja) * | 2017-08-02 | 2021-05-19 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
| US10627426B2 (en) * | 2018-03-12 | 2020-04-21 | Aculon Inc. | Method and kit for cleaning and coating a tip of a test probe utilized in a test system for an integrated circuit package |
| CN110389243B (zh) * | 2018-04-18 | 2022-05-06 | 台湾中华精测科技股份有限公司 | 探针卡装置 |
| JP7129261B2 (ja) * | 2018-07-27 | 2022-09-01 | キオクシア株式会社 | 試験装置 |
| CN208568871U (zh) * | 2018-08-10 | 2019-03-01 | 浙江金连接科技有限公司 | 一种测试探针用磷青铜套筒 |
| CN210094480U (zh) * | 2019-03-20 | 2020-02-21 | 江苏三麦食品机械有限公司 | 一种起酥机的刮面机构 |
| KR102174493B1 (ko) * | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 리노공업주식회사 | 프로브 크리너 |
| CN210876421U (zh) * | 2019-09-03 | 2020-06-30 | 丁娟 | 一种led芯片光电性检测清针设备 |
| CN110743875A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-02-04 | 宁波镇海合冰能源技术有限公司 | 一种天然气管道内部清洗设备 |
| CN210879375U (zh) * | 2019-11-15 | 2020-06-30 | 申雕数控仿真技术(青岛)有限公司 | 一种义齿雕刻夹具 |
-
2020
- 2020-11-28 CN CN202011365614.1A patent/CN112462104B/zh active Active
- 2020-11-28 CN CN202210126256.1A patent/CN114405887B/zh active Active
- 2020-11-28 CN CN202210126254.2A patent/CN114472252B/zh active Active
- 2020-11-28 CN CN202210126255.7A patent/CN114414862B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1496482A (zh) * | 2001-12-25 | 2004-05-12 | ס�ѵ�����ҵ��ʽ���� | 接触探头 |
| CN1643065A (zh) * | 2002-01-18 | 2005-07-20 | 佛姆费克托公司 | 用于清洗测试探针的设备和方法 |
| CN208758223U (zh) * | 2018-07-05 | 2019-04-19 | 黄河科技学院 | 用于计算机键盘细缝的清理气囊 |
| CN109985753A (zh) * | 2019-02-21 | 2019-07-09 | 深圳市珍木舍家具有限公司 | 基于温度全方位除漆的卫浴柜喷漆用的漆雾吸除水幕装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114414862B (zh) | 2023-03-14 |
| CN114472252A (zh) | 2022-05-13 |
| CN114414862A (zh) | 2022-04-29 |
| CN114405887A (zh) | 2022-04-29 |
| CN112462104A (zh) | 2021-03-09 |
| CN112462104B (zh) | 2022-03-04 |
| CN114405887B (zh) | 2022-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114472252B (zh) | 测试探针清洁方法的探针固定方法 | |
| CN112462109B (zh) | 一种测试探针清洁装置及其夹持构件和测试基座 | |
| WO2015043312A1 (zh) | 清洁装置及具有清洁装置的直线涂布机 | |
| CN113334418B (zh) | 一种机械手智能机器人夹取装置 | |
| CN115673036B (zh) | 一种钢板开料前压形校直装置 | |
| CN113561070B (zh) | 一种光学镜片制造加工系统 | |
| CN207372892U (zh) | 一种可自适应跟随钢钉的打磨装置 | |
| CN108723907A (zh) | 一种玻璃套筒内部抛光装置 | |
| CN208450155U (zh) | 锅具内壁清洗装置 | |
| CN116352291A (zh) | 激光切割机及电子芯片加工系统 | |
| CN113175567B (zh) | 一种耐高温柔性金属软管及制造方法 | |
| CN109967412A (zh) | 一种导光板擦拭机构 | |
| CN213504580U (zh) | 等温炉网带刮料装置 | |
| CN211134888U (zh) | 一种自动清洁玻璃泡壳的装置 | |
| CN103908195A (zh) | 真空吸尘器及其过滤装置的清理方法 | |
| CN112547592A (zh) | 一种计算机自动除尘装置 | |
| CN110756539A (zh) | 一种自动清洁玻璃泡壳的装置 | |
| CN208928738U (zh) | 一种环保型吹扫汽车零配件表面碎屑的装置 | |
| CN220635592U (zh) | 一种扇叶清洁装置 | |
| CN219128787U (zh) | 一种高温废气活性炭吸附处理装置 | |
| CN219541207U (zh) | 稀有金属压延材制备用涂覆装置 | |
| CN211612023U (zh) | 一种激光雕刻机的吸尘装置 | |
| CN220479622U (zh) | 一种在线隔膜表面除尘装置 | |
| CN117046770B (zh) | 一种针对空调产线的高效清洁装置 | |
| CN214767108U (zh) | 一种计算机自动除尘装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 215000 Suzhou Industrial Park, Suzhou City, Jiangsu Province, No. 200 Xingpu Road, 5 # 101, 102, 201, 202 Patentee after: Suzhou Fatedi Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 215000 Suzhou Industrial Park, Suzhou City, Jiangsu Province, No. 200 Xingpu Road, 5 # 101, 102, 201, 202 Patentee before: FTDEVICE TECHNOLOGY (SUZHOU) CO.,LTD. Country or region before: China |