JP3729476B2 - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板洗浄装置に関し、より特定的には、基板(半導体ウエハ、液晶表示装置用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基板等)の表面に付着したパーティクルを除去するための基板洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、基板の表面に付着したパーティクルを取り除く場合、例えばアンモニア水、希塩酸、過酸化水素水などの薬液中に基板を浸すなど、基板を化学的に処理することによってパーティクルを除去する(エッチング)。また、例えば基板に向けて超音波振動を照射することにより基板からパーティクルを脱離させるなど、基板を物理的に処理することによってパーティクルを除去することも行われる。ここで、超音波振動は、1〜数MHz程度の周波数を有する音波である。
【0003】
図4は、エッチングと超音波振動照射とを併せて行うような従来の基板洗浄装置の要部の一例を示す図(鉛直方向に沿った断面図)である。図4において、従来の基板洗浄装置には、外槽40が設けられ、さらに、外槽40の内部に処理槽41が設けられる。外槽40は、樹脂製であり、処理槽41は、石英でできている。外槽40と処理槽41との間には、超音波振動を伝搬させるための伝搬水42が注入されている。処理槽41の内部には、基板43を支持する3本の基板ガイド44が設けられている。各基板ガイド44は、石英でできている。
【0004】
図5は、図4の基板ガイド44を示す斜視図である。図5に示すように、各基板ガイド44の上面には、基板43の端部と互いに嵌合されるような、例えば50本の溝44aが刻まれている。
【0005】
処理槽41の内部は、薬液45で満たされており、そこには、互いに平行に設けられた3本の基板ガイド44で支持されることによって、50枚の基板43が所定の間隔で、垂直に立てて収納されている。外槽40の底面には、超音波振動子46が設けられる。超音波振動子46は、図示しない高周波電源によって駆動されることにより、超音波振動を発生する。
【0006】
上記のように構成された従来の基板洗浄装置について、以下、その動作を説明する。
図示しない高周波電源によって駆動されることにより、超音波振動子46が例えば1MHzの超音波振動を発生する。発生された超音波振動は、伝搬水42を介して処理槽41に達する。そして、処理槽41を透過した後、薬液45を介して基板43に到達する。
【0007】
基板43の表面では、到達した超音波振動の作用によって、基板43に強固に付着していたパーティクルが薬液45の作用も相まって、基板43から脱離する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、図4の装置では、基板43を薬液45に浸し、さらに、基板43に向けて超音波振動を照射することによって、強固に付着したパーティクルをも脱離させるようにしているので、薬液45のみによる洗浄に比べ、高い洗浄力があるといえる。
【0009】
しかしながら、図4の装置には、次のような問題点がある。すなわち、基板43を支持している基板ガイド44によって超音波振動の伝搬が部分的に妨げられ、その結果、基板43には、図6に示すような、超音波振動が到達しない領域60ができる。この、基板ガイド44の陰に相当する領域60については、上記の高い洗浄能力が発揮されない。
【0010】
なお、上記の、基板ガイド44の陰の問題は、図4の装置のような、薬液45と超音波振動とによって洗浄を行う従来の基板洗浄装置に限らず、例えば、図4の装置において、処理槽41内を薬液45でなく純水で満たしたような、超音波振動のみによる洗浄を行うような従来の基板洗浄装置にも同様に存在するのはいうまでもない。
【0011】
それゆえに、本発明の目的は、基板に、それを支持する基板ガイドの陰が生じないよう、基板の全面に対してむらなく超音波振動を照射でき、その結果、基板に付着したパーティクルをまんべんなく除去できるような基板洗浄装置を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第1の発明は、 液中に浸された基板を超音波振動によって洗浄することにより、当該基板の表面に付着したパーティクルを除去する基板洗浄装置であって、
基板を液中に収納して処理するための処理槽と、
処理槽内で基板を支持するとともに、基板の端部と嵌合する溝が刻みこまれた基板ガイドと、
基板ガイドの内部に設けられ、超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、
基板ガイドの内部に設けられ、超音波振動発生手段を冷却する冷却手段とを備える。
【0013】
上記のように、第1の発明では、基板を支持する基板ガイドから超音波振動が出力されるので、従来と異なり、基板上には、超音波振動の到達しないような、基板ガイドの陰が生じることがない。よって、基板に付着したパーティクルをまんべんなく除去できる。
【0015】
また、第1の発明では、超音波振動発生手段を冷却するので、超音波振動発生手段の耐用年数が長くなる。また、超音波振動発生手段が高温の環境下に置かれても、超音波振動発生手段自身が発熱しても、超音波振動発生手段に故障が生じることが少なくなる。
【0016】
第2の発明は、第1の発明において、処理槽は、基板を化学的に処理して洗浄するための薬液で満たされ、
薬液は、当該薬液が化学的に最も活性であるような温度に保たれていることを特徴としている。
また、第3の発明は、第2の発明において、基板ガイドの内部に、その長手方向に沿って、超音波発生手段および冷却手段がそれぞれ設けられていることを特徴としている。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板洗浄装置の要部を示す図(鉛直方向に沿った断面図)である。図1において、基板洗浄装置には、外槽10が設けられ、外槽10の内部にさらに処理槽11が設けられる。外槽10は、例えば樹脂製であり、処理槽11は、例えば石英でできている。処理槽11の内部には、基板12を支持する例えば3本の基板ガイド13〜15が互いに平行に設けられている。
【0018】
図2は、図1の基板ガイド13を示す斜視図である。図2に示すように、基板ガイド13は、例えば中空の円筒形状を有し、その素材は、例えば石英である。基板ガイド13の上部には、基板12の端部と互いに嵌合されるような、例えば50本の溝13aが刻まれている。基板ガイド13の内部には、その長手方向に沿って、超音波振動子20と冷却水管21とが設けられる。超音波振動子20は、例えばピエゾ振動子であり、図示しない高周波電源によって駆動されることにより、超音波振動を発生する。冷却水管21は、図示しない冷却装置に接続され、そこで冷却された冷却水が冷却水管21内を循環している。図1の基板ガイド14および15は、例えば図5に示したものと同様の形状を有し、やはり石英でできている。
【0019】
処理槽11の内部は、例えばアンモニア水、希塩酸、過酸化水素水などの薬液16で満たされている。薬液16は、その種類にもよるが、例えばアンモニア/過酸化水素水の場合、高い脱離作用を得るために、化学的に最も活性であるような摂氏90度前後に保たれている。そこにさらに自身の振動による発熱も加わると、超音波振動子20が高温に耐えられずに故障することがある。そこで、図1の装置では、基板ガイド13の内部に冷却水管21を設け、超音波振動子20を冷却している。なお、薬液16が高温に保たれていなくても、冷却によって、超音波振動子20の耐用年数が長くなるという効果が得られる。
【0020】
処理槽11の内部には、図2および3に示したような3本の基板ガイド13〜15に支持されることによって、例えば50枚の基板12が所定の間隔で、垂直に立てて収納される。収納された各基板12の表面には、多数のパーティクル(微細粒子)が付着している。図1の基板洗浄装置は、基板12を化学的および物理的に処理して、これらパーティクルを基板12の表面から脱離させる。以下、その処理動作を説明する。
【0021】
図示しない高周波電源によって駆動されることにより、超音波振動子20が例えば1MHzの超音波振動を発生する。発生された超音波振動は、基板ガイド13の壁面を透過し、さらに薬液16を介して基板12に到達する。
【0022】
基板12の表面では、薬液16の作用と相まって、到達した超音波振動の作用によって、強固に付着していたパーティクルの多くが基板12から脱離する。
【0023】
以上の動作において、図1の装置では、基板ガイド13に超音波振動子20を設けたため、図3に示すように、従来の装置と異なり、基板12上には基板ガイド14および15の陰30および31が存在しない。このようにして超音波振動が基板12にむらなく照射された結果、基板12に付着したパーティクルがまんべんなく除去される。
【0024】
また、図1の装置では、従来の装置と異なり、超音波振動子20と基板12との間に伝搬水や処理槽の壁面が介在しないため、反射や吸収による超音波振動のパワーロスが小さく、従って洗浄能力が高い。
【0025】
なお、図1の装置のように基板ガイド13に超音波振動子20を設ける代わりに、超音波振動子20が併せて基板ガイド13の役割を果たしてもよい。すなわち、超音波振動子20に基板12の端部と互いに嵌合されるような溝を刻み、超音波振動子20自体で基板12を支持する。その場合、図1の装置と異なり、超音波振動子20と基板12との間に基板ガイド13の壁面が存在しないため、超音波振動のパワーロスがさら小さく、従って洗浄能力がより高い。
【0026】
また、図1の装置において、処理槽11の内部を薬液16で満たす代わりに、純水で満たしてもよい。その場合、超音波振動のみによる洗浄を行うことになるため、洗浄能力が図1の装置より相対的に低くなる。しかし、同様の従来の洗浄装置と比較すれば、基板12上に基板ガイド13〜15の陰が存在しないため付着したパーティクルがまんべんなく除去されるという効果、および超音波振動子20と基板12との間の介在物が少なくパワーロスが小さいため洗浄能力が高いという効果は得られる。なお、図1の装置において、処理槽11の内部を純水で満たす場合、前工程等で基板に付着してそこに残留していた薬液が純水中に拡散されるため、前述したようなパーティクルをむらなく除去する効果の他に、薬液をむらなく基板から除去する効果もある。
【0027】
このように、本実施形態によれば、基板ガイド13に超音波振動子20を設けたり、超音波振動子20に基板ガイド13の役割も兼ねさせるなど、様々な手法により基板ガイド13に超音波振動子20の機能を持たせることによって、基板12上に、それを支持する基板ガイド13〜15の陰が生じないよう、むらなく超音波振動を照射でき、その結果、基板12に付着したパーティクルをまんべんなく除去できる。
【0028】
なお、図1の装置において、基板ガイド13に超音波振動子20を設ける代わりに、基板ガイド14および15に超音波振動子20を設けてもよい。これによって、基板12に付着したパーティクルに対して、互いに異なる方向の振動を与えることができ、洗浄能力が高まる。さらにその際、基板ガイド14側の超音波振動子20と基板ガイド15側の超音波振動子20とを所定の時間ずつ交互に振動させたり、あるいは、基板ガイド14側からの超音波振動の周波数と、基板ガイド15側からの超音波振動の周波数とを互いに異なる値に設定したりすることによって、さらに洗浄能力が高まることも期待できる。
【0029】
また、図1の装置では、基板ガイド13〜15を何本設けても、また処理槽11の内部のどの位置に設けても、基板ガイド13〜15の陰が基板12にかかることはないので、処理槽11の設計の自由度が大きい。本実施形態では、主として基板ガイド13〜15の陰について議論したが、設計の自由度が増した結果としての様々な効果も期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る基板洗浄装置の要部を示す図(鉛直方向に沿った断面図)である。
【図2】図1の基板ガイド13を示す斜視図である。
【図3】図1の基板12上に生じる基板ガイド14および15の陰を示す図である。
【図4】従来の基板洗浄装置の要部の一例を示す図(鉛直方向に沿った断面図)である。
【図5】図4の基板ガイド44を示す斜視図である。
【図6】図4の基板43上に生じる基板ガイド44の陰を示す図である。
【符号の説明】
10 外槽
11 処理槽
12 基板
13〜15 基板ガイド
16 薬液
20 超音波振動子
21 冷却水管
Claims (3)
- 液中に浸された基板を超音波振動によって洗浄することにより、当該基板の表面に付着したパーティクルを除去する基板洗浄装置であって、
前記基板を液中に収納して処理するための処理槽と、
前記処理槽内で前記基板を支持するとともに、基板の端部と嵌合する溝が刻みこまれた基板ガイドと、
前記基板ガイドの内部に設けられ、超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、
前記基板ガイドの内部に設けられ、前記超音波振動発生手段を冷却する冷却手段とを備える、基板洗浄装置。 - 前記処理槽は、前記基板を化学的に処理して洗浄するための薬液で満たされ、
前記薬液は、当該薬液が化学的に最も活性であるような温度に保たれていることを特徴とする、請求項1に記載の基板洗浄装置。 - 前記基板ガイドの内部に、その長手方向に沿って、前記超音波発生手段および前記冷却手段がそれぞれ設けられていることを特徴とする、請求項2に記載の基板洗浄装置。
Priority Applications (1)
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JP35590197A JP3729476B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 基板洗浄装置 |
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JP35590197A JP3729476B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 基板洗浄装置 |
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JPH11179304A JPH11179304A (ja) | 1999-07-06 |
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- 1997-12-24 JP JP35590197A patent/JP3729476B2/ja not_active Expired - Fee Related
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