JP7005378B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態における洗浄装置の構成を説明する。図1は、実施の形態における洗浄装置100の構成を概略的に示す図である。なお、図1は、後述する洗浄槽10について側方から観察した図に対応する。
次に本実施の形態における洗浄装置100の動作および効果を説明する。ウエハ12の洗浄の際、薬液循環槽14の薬液内槽15には、洗浄液11として薬液が供給される。薬液は、洗浄の目的に応じた薬液、つまりウエハ12表面から除去する対象物に応じた薬液が選択される。例えば、ウエハ12の表面に存在する有機物からなるパーティクルの除去が目的の場合、アンモニアおよび過酸化水素水の混合液が、薬液内槽15に供給される。薬液内槽15からオーバーフローした薬液は、薬液外槽16で回収される。以下、図示は省略するが、回収された薬液は、例えば、薬液外槽16の底部に設けられた回収口からフィルトレーション部にてフィルタリングされ、温調部を経て薬液内槽15の底部に設けられた供給口から、再び薬液内槽15に供給される。バスケット17に収容されたウエハ12は、洗浄用の薬液が循環する薬液内槽15に浸漬される。
以上をまとめると、実施の形態における洗浄装置100は、洗浄槽10と、2以上の異なる周波数の超音波を発振する複数の振動子20と、を備える。複数の振動子20は、隣り合う振動子が発振する周波数が異なるように配列されて、洗浄槽10の内部に設けられる。本実施の形態において、被洗浄ウエハは、図1に示されるウエハ12である。
Claims (6)
- 洗浄槽と、
前記洗浄槽の内側に、入れ子に収容される薬液槽と、
前記薬液槽の下方かつ前記洗浄槽の底部に設けられ、2以上の異なる周波数の超音波を発振する複数の振動子と、
前記複数の振動子をランダムに揺動する駆動装置と、を備え、
前記複数の振動子は、平面視において、隣り合う振動子が発振する周波数が異なるように配列されかつ前記薬液槽の外縁部よりも内側に収められている、洗浄装置。 - 各前記振動子の配列方向は、前記洗浄槽の内側において洗浄液に浸漬される被洗浄ウエハの表面に対して垂直な方向である請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記2以上の異なる周波数にそれぞれ対応する信号を、前記2以上の異なる周波数の前記超音波を発振する前記複数の振動子にそれぞれ供給する複数の発振器をさらに備える請求項1または請求項2に記載の洗浄装置。
- 前記薬液槽は、
洗浄液を排出する排出口を含む薬液外槽と、
前記洗浄液が供給される供給口を含み、前記薬液外槽の内側に入れ子に収容された薬液内槽と、を含み、
前記複数の振動子は、平面視において、前記薬液内槽の外縁部よりも内側に収められている、請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 少なくとも1つの貫通穴を有する設置面を含み、前記複数の振動子を覆うように設けられた設置台を、さらに備え、
前記薬液槽は、前記設置台の前記設置面に載置される、請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記超音波は、メガソニックである、請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の洗浄装置。
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