JP4407944B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
3a…対向面
3b…側壁面
5…処理液ノズル(処理液供給手段)
7…超音波ノズル(超音波付与手段)
13…チャック回転駆動機構(基板回転手段)
17…チャックピン(基板保持手段)
33…遮断板回転駆動機構(振動部材回転手段)
D…(基板の被処理面の)平面サイズ
SP…(基板の被処理面と振動部材の対向面とで挟まれた)空間
W…基板
Wf…(基板の)被処理面
Claims (12)
- 基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
超音波振動を伝播可能な材料で形成されるとともに、前記基板保持手段に保持された基板の被処理面と対向可能な対向面を有し、該対向面を前記被処理面から離間対向された振動部材と、
前記基板の被処理面と前記振動部材の対向面とで挟まれた空間に処理液を供給することで該空間に前記処理液を液密状態に溜める処理液供給手段と、
超音波振動が伝播した液を吐出する超音波ノズルを有し、該超音波ノズルから吐出した液を前記振動部材の対向面を除く非対向面に当てる超音波付与手段と
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
超音波振動を伝播可能な材料で形成されるとともに、前記基板保持手段に保持された基板の被処理面と対向可能な対向面を有し、該対向面を前記被処理面から離間対向された振動部材と、
前記基板の被処理面と前記振動部材の対向面とで挟まれた空間に処理液を供給することで該空間に前記処理液を液密状態に溜める処理液供給手段と、
前記振動部材の対向面を除く非対向面に超音波振動が伝播した液を当てる超音波付与手段と
を備え、前記超音波振動が伝播した液の前記振動部材の非対向面への入射方向は略水平であることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
超音波振動を伝播可能な材料で形成されるとともに、前記基板保持手段に保持された基板の被処理面と対向可能な対向面を有し、該対向面を前記被処理面から離間対向された振動部材と、
前記基板の被処理面と前記振動部材の対向面とで挟まれた空間に処理液を供給することで該空間に前記処理液を液密状態に溜める処理液供給手段と、
前記振動部材の対向面を除く非対向面に超音波振動が伝播した液を当てる超音波付与手段と
を備え、前記基板対向面に対してほぼ垂直に立ち上がった側壁面を前記非対向面とし、前記超音波振動が伝播した液は前記側壁面に対して略垂直に当たることを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板保持手段を回転させることで基板を回転させる基板回転手段をさらに備える請求項1ないし3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記振動部材の対向面は前記基板の被処理面の平面サイズと同等以上の大きさの平面サイズを有する請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記振動部材を回転させる振動部材回転手段をさらに備える請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記振動部材は石英で形成される請求項1ないし6のいずれかに記載の基板処理装置。
- 超音波振動を伝播可能な材料で形成された振動部材の一面を基板対向面として基板の被処理面に対向配置する振動部材配置工程と、
前記基板の被処理面と前記振動部材の対向面とで挟まれた空間に処理液を供給することで前記処理液による液密状態を形成する液密形成工程と、
前記振動部材の対向面を除く非対向面に、超音波ノズルから吐出させた超音波振動が伝播した液を当てる超音波付与工程と
を備えたことを特徴とする基板処理方法。 - 超音波振動を伝播可能な材料で形成された振動部材の一面を基板対向面として基板の被処理面に対向配置する振動部材配置工程と、
前記基板の被処理面と前記振動部材の対向面とで挟まれた空間に処理液を供給することで前記処理液による液密状態を形成する液密形成工程と、
前記振動部材の対向面を除く非対向面に超音波振動が伝播した液を当てる超音波付与工程と
を備え、
前記非対向面に対し前記超音波振動が伝播した液を略水平に入射させることを特徴とする基板処理方法。 - 超音波振動を伝播可能な材料で形成された振動部材の一面を基板対向面として基板の被処理面に対向配置する振動部材配置工程と、
前記基板の被処理面と前記振動部材の対向面とで挟まれた空間に処理液を供給することで前記処理液による液密状態を形成する液密形成工程と、
前記振動部材の対向面を除く非対向面に超音波振動が伝播した液を当てる超音波付与工程と
を備え、
前記基板対向面に対してほぼ垂直に立ち上がった側壁面を前記非対向面とし、前記超音波振動が伝播した液を前記側壁面に対して略垂直に当てることを特徴とする基板処理方法。 - 前記超音波付与工程において、基板を回転させながら前記振動部材の非対向面に超音波振動が伝播した液を当てる請求項8ないし10のいずれかに記載の基板処理方法。
- 前記超音波付与工程において、前記振動部材を回転させながら前記振動部材の非対向面に超音波振動が伝播した液を当てる請求項8ないし11のいずれかに記載の基板処理方法。
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