JP3927936B2 - 枚葉式洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載のウエハー洗浄装置の構造を図5に示す。
この洗浄装置は、処理タンク101の壁100を通って挿入された伸張プローブ104を備えている。該プローブ104は、容器の一方の外端部に片持ち支持されている。プローブ104と処理タンク壁100との間に挟持された適当なOリング102は、処理タンク101に適正なシールを与えている。ハウジング120内に収納された熱伝導部材は、音響的にかつ機械的にプローブ104に結合されている。
更に、ハウジング120内に収納された圧電型トランスデューサは、熱伝導部材に音響的に結合されている。
この洗浄装置12は、一側に処理液3を導入する導入側通路5と他側にウエット処理後の処理液3を排出する排出側通路6とを備え、導入側通路5と排水側通路6との間に被処理物1に対し導入側通路5から導入した処理液3をガイドしつつ振動を与えながら被処理物1をウエット処理する振動ガイド部材2を備えたウエット処理本体15を有している。
また、振動ガイド部材2と被処理物1とを所定間隙に維持し、間隙に処理液3を保持させる位置調整部材4が設けられており、かつ振動ガイド部材2は振動子7を備えていて、振動ガイド部材2の被処理物側と反対の外面に振動子7が形成され、振動ガイド部材2の内部に超音波振動子7からの振動を振動ガイド部材2の被処理物の外面に伝える液11を備えている。
この現象を避けるため、1MHz以上の超音波を用いて、キャビテーションの発生率低下と超音波周波数を洗浄対象物である半導体ウエハーや液晶ガラス基板の固有振動数から遠ざける方法も用いられている。この場合、洗浄対象物がパターン形成前の半導体ウエハーであったり、或いはパターンが半導体ウエハー面から出ておらず埋没している場合などは、その汚れ具合によっては1MHz以下の低い周波数が洗浄に適している場合がある。
ところが、上記洗浄装置に用いている超音波の周波数は、全て単一周波数であって、洗浄対象物に応じて自在に対応することができない。
請求項1記載の発明は、被洗浄物の一面を支持する支持部材と、支持部材に支持された被洗浄物の他面に対向配置される振動素子と、該振動素子と被洗浄物との間に洗浄液を供給する液供給ノズルと、前記支持部材を前記振動素子面に対し平行移動させる駆動部材と、前記振動素子を超音波振動させる超音波発振器とを備え、前記支持部材に支持された被洗浄物を移動させながら振動素子を超音波振動させて介在する洗浄液により被洗浄物面を洗浄する枚葉式洗浄装置であって、
前記支持部材を上部が円板状に形成された回転テーブルで構成するとともに、前記振動素子を、前記回転テーブルの中心部から周辺部に至る長さの複数個の直方体に形成するとともに並列に配置し、かつそれぞれの振動素子が異なる振動数で振動するようにしたことを特徴としている。
また、パターンを形成した半導体ウエハーや繊細な表面構造の洗浄対象物を洗浄するときには、高い周波数の超音波振動を用いて洗浄する。場合によって、低い周波数の超音波振動を低出力にて併用することもでき、洗浄対象物の表面にダメージを与えないで効果的な洗浄がおこなえる。このように、一台で種々の工程の洗浄に対応することができ、省スペース化にも役立つといえる。
この枚葉式洗浄装置20は、図に示すように、上部が円板状に形成された回転テーブル22を有しており、該回転テーブル22の中心部下側には回転軸24が固定されていて、該回転軸24はモータ26の軸に連結されている。
回転テーブル22の表面には、洗浄対象物である半導体ウエハーWの直径より若干小さい直径の円環28が、回転テーブル22と同心状に取り付けられていて、その上に洗浄するための半導体ウエハーWが載置されるようになっている。
例えば、CMP(Chemical Mechanical Polishing)後洗浄のように、研磨剤又は研磨屑を取り除きたいときなど剥離する力が必要となり、低周波の超音波洗浄が必要となる。また、パターン形成後にこのような平坦化処理をした場合、低周波ではパターン剥離の可能性があれば、超音波発振器34からの出力を低周波を低く、高周波を強くして対応させることができる。
また、今日のようにパターンが微細になっている場合には、例えば2MHzの高周波を強く発振させ、大きなパーティクル除去用に低周波の超音波800kHzを若干投入させる方法もある。
22 回転テーブル
24 回転軸
26 モータ
28 円環
30 超音波振動子
32 筐体
34 超音波発振器
36 液供給ノズル
38 洗浄液
40 液膜
Claims (3)
- 被洗浄物の一面を支持する支持部材と、支持部材に支持された被洗浄物の他面に対向配置される振動素子と、該振動素子と被洗浄物との間に洗浄液を供給する液供給ノズルと、前記支持部材を前記振動素子面に対し平行移動させる駆動部材と、前記振動素子を超音波振動させる超音波発振器とを備え、前記支持部材に支持された被洗浄物を移動させながら振動素子を超音波振動させて介在する洗浄液により被洗浄物面を洗浄する枚葉式洗浄装置であって、
前記支持部材を上部が円板状に形成された回転テーブルで構成するとともに、前記振動素子を、前記回転テーブルの中心部から周辺部に至る長さの複数個の直方体状に形成するとともに並列に配置し、かつそれぞれの振動素子が異なる振動数で振動するようにしたことを特徴とする枚葉式洗浄装置。 - 前記超音波発振器は、異なる周波数を出力することができると共に、出力の強弱も調整自在に構成されていることを特徴とする請求項1記載の枚葉式洗浄装置。
- 前記異なる周波数の周波数には、800kHz、2MHzの2つを含むことを特徴とする請求項1又は2記載の枚葉式洗浄装置。
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