JP5391130B2 - プローブカードの検査装置 - Google Patents
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Description
12 プローブカード
14 プローブ基板
16 プローブ
18 フレーム
20 カード台
22 接続装置
24 回路装置
26 第1の駆動装置
28 第2の駆動装置
30 ステージ
32 圧力センサ
34 カード受け部
36 ベース板
38 第1の接続部材
40 接続器
42 接続器台
42a 位置決め穴
44 昇降機構
44a シリンダ
44b 昇降ロッド
48 吸着具
50 連結具
54 連結桿
56 結合部材
58 嵌合部材
60 基準ブロック
60a ベース
60b 位置決めピン
62 ユニット台
64 テスタユニット
66 第2の配線部材
68 支柱
70 ブラケット
72 ガイド台
74 Xスライダ
76 Yスライダ
78 昇降機構
80 連結具
82,84 位置決めピン
86,88 位置決め穴
Claims (10)
- プローブカードを着脱可能に受けるカード受け部を有するカード台と、
前記カード受け部に配置されたプローブカードに電気的に接続可能に前記カード台の上方に配置された接続装置と、
前記接続装置に電気的に接続可能に前記接続装置の上方に配置された回路装置であって、前記プローブカードに対する試験信号の受け渡しを、前記接続装置を介して行う回路装置と、
前記カード台と前記接続装置とを相寄り相離れる方向へ移動させて、前記カード台と前記接続装置との接続及びその切り離しを行う第1の駆動装置と、
前記接続装置と前記回路装置とを相寄り相離れる方向へ移動させて、前記接続装置と前記回路装置との接続及びその切り離しを行う第2の駆動装置とを含む、プローブカードの検査装置。 - 前記第1の駆動装置は、前記カード台と前記接続装置とを連結するジャッキを含み、
前記第2の駆動装置は、前記カード台に移動不能に支持されたガイド台と、該ガイド台にX方向へ移動可能に支持されたXスライダと、該XスライダにY方向へ移動可能に支持されたYスライダと、該Yスライダに支持されて、前記回路装置を前記カード台に対し昇降させる昇降機構とを備える、請求項1に記載の検査装置。 - さらに、前記プローブカードと前記接続装置との相対的位置決めをする複数の第1の位置決めピンと、前記プローブカードと前記回路装置との相対的位置決めをする複数の第2の位置決めピンとを含む、請求項1又は2に記載の検査装置。
- 各第1の位置決めピンは、前記カード台に上方へ延びる状態に配置されており、前記接続装置は、前記第1の位置決めピンを受け入れる第1の位置決め穴を有する、請求項3に記載の検査装置。
- 各第2の位置決めピンは前記カード台に上方へ延びる状態に配置されており、前記回路装置は前記第2の位置決めピンを受け入れる第2の位置決め穴を有する、請求項3及び4のいずれか1項に記載の検査装置。
- さらに、前記接続装置と前記回路装置との相対的位置決めをする複数の第3の位置決めピンを含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の検査装置。
- 各第3の位置決めピンは前記接続装置に上方へ延びる状態に配置されており、前記回路装置は前記第3の位置決めピンを受け入れる第3の位置決め穴を有する、請求項6に記載の検査装置。
- さらに、前記カード台の下方に配置されたステージと、該ステージに支持されたセンサであって、前記プローブカードのプローブの先端に接触される接触端子を有し、かつ該接触端子と該接触端子に接触されたプローブとの間に作用する圧力に対応する電気信号を発生するセンサとを含み、前記ステージは、前記センサを前記プローブカードに対し三次元的に移動させる、請求項1から7のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記プローブカードは、針先を有する複数のプローブと、該プローブが針先を下方とされた状態に配置された基板であって、これの上面に前記プローブに電気的に接続された複数の第1の接続部を上面に有する基板とを備え、
前記接続装置は、前記第1の接続部に解除可能に押圧される複数の第2の接続部と、該第2の接続部に電気的に接続された複数の第3の接続部と、前記第2の接続部の一部が露出された下面と、前記第3の接続部の一部が露出された上面とを備え、
前記回路装置は、前記第3の接続部に解除可能に押圧される複数の第4の接続部と、該第4の接続部材の一部が露出された下面とを備える、請求項1から8のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記接続装置は、前記プローブカードに電気的に接続可能の複数の第1の接続部材を有する接続器と、該接続器が前記プローブカードの上方となる状態に支持する接続器台であって、前記第1の駆動装置により前記カード台に対し昇降される接続器台とを備え、
前記回路装置は、前記接続装置に電気的に接続可能の複数の第2の配線部材を有するユニット台と、該ユニット台に支持された少なくとも1つのテスタユニットであって、前記試験信号の受け渡しを行うテスタユニットとを備える、請求項1から9のいずれか1項に記載の検査装置。
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