JP2011220691A - プローブカードの検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査装置は、プローブカードを着脱可能に受けるカード受け部を有するカード台と、前記カード受け部に配置されたプローブカードと電気的に接続可能に前記カード台の上方に配置された接続装置と、前記カード台と前記接続装置とを相寄り相離れる方向へ移動させて、前記カード台と前記接続装置との電気的な接続及びその切り離しを行う駆動装置とを含む。前記駆動装置は、前記カード台に支持されたシリンダ及び該シリンダに対し昇降される昇降ロッドを備える昇降機構と、前記昇降ロッドに取り付けられて、前記ヘッド装置の前記下面を解除可能に吸着する吸着具とを含む。
【選択図】図1
Description
12 プローブカード
14 プローブ基板
16 プローブ
18 フレーム
20 カード台
22 接続装置
24 テスタユニット
26 第1の駆動装置
28 第2の駆動装置
30 ステージ
32 圧力センサ
34 カード受け部
36 ベース板
38 第1の接続部材
40 接続器
42 接続器台
42a 位置決め穴
44 昇降機構
44a シリンダ
44b 昇降ロッド
48 吸着具
50 連結具
54 連結桿
56 結合部材
58 嵌合部材
60 基準ブロック
60a ベース
60b 位置決めピン
62 ユニット台
64 テスタユニット
66 第2の配線部材
68 支柱
70 ブラケット
72 ガイド台
74 Xスライダ
76 Yスライダ
78 昇降機構
80 連結具
82,84 位置決めピン
86,88 位置決め穴
Claims (8)
- プローブカードを着脱可能に受けるカード受け部を有するカード台と、
前記カード受け部に配置されたプローブカードと電気的に接続可能に前記カード台の上方に配置された接続装置と、
前記カード台と前記接続装置とを相寄り相離れる方向へ移動させて、前記カード台と前記接続装置との電気的な接続及びその切り離しを行う駆動装置とを含み、
前記駆動装置は、前記カード台に支持されたシリンダ及び該シリンダに対し昇降される昇降ロッドを備える昇降機構と、前記昇降ロッドに取り付けられて、前記ヘッド装置の前記下面を解除可能に吸着する吸着具とを含む、プローブカードの検査装置。 - 前記昇降機構は、前記昇降ロッドが前記シリンダから上方へ突出する状態に前記カード台に支持されたシリンダ機構を含む、プローブカードの検査装置。
- 前記吸着具は、互いに交差する少なくとも2つの軸線の周りに角度的回転可能に前記昇降ロッドに取り付けられている、請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記駆動装置は、さらに、互いに交差する少なくとも2つの軸線の周りに角度的回転可能に前記吸着具を前記昇降ロッドに連結する連結具を含む、請求項1,2及び3のいずれか1項に記載の検査装置。
- さらに、前記カード台に支持された基準ブロックであって、前記接続装置に下方から受け入れられて、前記プローブカードと前記接続装置との少なくとも二次元的な相対的位置を決める位置決めピンを備える基準ブロックを含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置。
- さらに、前記カード台の下方に配置されたステージと、該ステージに支持されたセンサであって、前記プローブカードのプローブの先端に接触される接触端子を有し、かつ該接触端子と該接触端子に接触されたプローブとの間に作用する圧力に対応する電気信号を発生するセンサとを含み、前記ステージは、前記センサを前記プローブカードに対し三次元的に移動させる、請求項1から5のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記プローブカードは、針先を有する複数のプローブと、該プローブが針先を下方とされた状態に配置された基板であって、前記プローブに電気的に接続可能の複数の第1の接続部を上面に有すると共に、前記プローブの針先を下方に露出させる開口を中央領域に有する基板とを備え、
前記接続装置は、前記第1の接続部に解除可能に押圧される複数の第2の接続部と、該第2の接続部の一部が露出された下面とを備える、請求項1から6のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記接続装置は、前記プローブカードに電気的に接続可能の複数の第1の接続部材を有する接続器と、該接続器を前記プローブカードの上方となる状態に支持する支持台であって、前記駆動装置により前記カード台に対し昇降される支持台とを備える、請求項1から7のいずれか1項に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010086398A Pending JP2011220691A (ja) | 2010-04-02 | 2010-04-02 | プローブカードの検査装置 |
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JP (1) | JP2011220691A (ja) |
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