JP2000286313A - コンタクタの保持機構及びコンタクタの自動交換機構 - Google Patents

コンタクタの保持機構及びコンタクタの自動交換機構

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のプローブカード７は大面積のプリント
配線基板７Ｂ等のボードを有するため、ＩＣチップの高
集積化が促進されプローブ針が増加するとプローブカー
ド自体は益々大型化し、ウエハの種類毎のプローブカー
ド７の自動交換が益々難しくなる。また、プローブ針７
Ａとプリント配線基板７Ｂの配線間の物理的特性の違い
や配線長の影響により、検査精度が低下する。 【解決手段】 本発明のコンタクタの自動交換機構２０
は、コンタクタを着脱自在に保持する保持機構１０と、
この保持機構１０との間でコンタクタ１２の受け渡しを
行う受け渡し機構１６とを備え、受け渡し機構１６は、
コンタクタ１２を吸着保持する吸着保持部１７と、この
吸着保持部１７を先端部分に有すると共に旋回及び昇降
可能なアーム１８と、このアーム１８を旋回、昇降させ
るアーム駆動部１９を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンタクタの保持
機構及びコンタクタの自動交換機構に関し、更に詳しく
は、超高集積化した半導体ウエハ（以下「ウエハ」と称
す。）等の被処理体の電気的特性検査を行う際に用いら
れるコンタクタの保持機構及びコンタクタの自動交換機
構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のプローブ装置等の検査装
置は、例えば図１０、図１１に示すように、ウエハＷを
搬送すると共にウエハＷをプリアライメントするローダ
室１と、このローダ室１からウエハＷを受け取って電気
的特性検査行うプローバ室２とを備えて構成されてい
る。ローダ室１にはピンセット３及びサブチャック４が
配設され、ピンセット３でウエハＷを搬送する間にサブ
チャック４においてオリエンテーションフラットを基準
にしてウエハＷをプリアライメントするようにしてあ
る。また、プローバ室２にはメインチャック５及びアラ
イメント機構６が配設され、ウエハＷを載置したメイン
チャック５がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動しながらアラ
イメント機構６によりウエハＷをメインチャック５上方
のプローブカード７のプローブ７Ａに対してアライメン
トし、ウエハＷとプローブ７Ａとを電気的に接触させ、
テストヘッドＴを介してウエハＷの電気的特性検査を行
うようにしてある。
【０００３】プローブカード７はプローバ室２のヘッド
プレート８に装着されたパフォーマンスボードに対して
着脱可能に取り付けられている。プローブカード７は、
例えばタングステンワイヤーからなる複数のプローブ７
Ａと、これらのプローブ７Ａを支持する枠状の支持部
（図示せず）と、この支持部が固定され且つ各プローブ
７Ａにそれぞれ接続されたプリント配線を有するプリン
ト配線基板とを備えている。そして、プローブカード７
はウエハＷの種類に応じて交換し、使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブカード７はコンタクタであるプローブ７Ａの他
に、大面積のプリント配線基板等のボードを有するた
め、それ自体大きなものであり、況して今後デバイスの
高集積化が促進されプローブ針が増加するとプローブカ
ード７自体は益々大型化、大重量化し、ウエハの種類毎
のプローブカード７の自動交換が益々難しくなる。しか
も、コンタクタであるプローブ７Ａとプリント配線基板
の配線間の物理的特性の違いや配線長の影響により、検
査精度が低下する虞がある。そこで、最近では例えば狭
ピッチ化した電極パッドに対応したバンプ型のコンタク
タが開発されつつあるが、その交換方法等の取り扱いに
ついては未だ未開発で今後の課題になっている。
【０００５】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、例えばバンプ型等のプローブが多数形成さ
れたコンタクタ自体を着脱可能に保持することができる
と共に検査精度を高めることができるコンタクタの保持
機構を提供することを目的としている。また、本発明
は、コンタクタの保持機構に対してコンタクタを自動的
に交換することができ、ひいては検査のスループットを
高めることができるコンタクタの自動交換機構を提供す
ることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のコンタクタの保持機構は、検査装置のパフォーマンス
ボードに取り付けられた保持体と、この保持体に取り付
けられてコンタクタを周囲から保持する複数のラッチ機
構と、これらのラッチ機構で保持された上記コンタクタ
を真空吸着する固定機構とを備えたことを特徴とするも
のである。
【０００７】また、本発明の請求項２に記載のコンタク
タの保持機構は、請求項１に記載の発明において、上記
ラッチ機構は、上記コンタクタの周面に形成された複数
の凹部に対して弾力的に嵌合するラッチボールと、これ
らのラッチボールをそれぞれ弾力的に支持する弾性部材
とを有することを特徴とするものである。
【０００８】また、本発明の請求項３に記載のコンタク
タの保持機構は、請求項１に記載の発明において、上記
ラッチ機構は、上記コンタクタの周面に形成された複数
の係合部まで突出して係合するラッチ部材と、これらの
ラッチ部材を上記係合部からそれぞれ退避させて上記コ
ンタクタを解放するラッチ操作部材とを有することを特
徴とするものである。
【０００９】また、本発明の請求項４に記載のコンタク
タの保持機構は、請求項１に記載の発明において、上記
ラッチ機構は、上記コンタクタの周面に形成された複数
の鈎状突起を上記保持体との間にそれぞれ受け入れて上
記鈎状突起と弾力的に係合するラッチ部材と、これらの
ラッチ部材を上記鈎状突起から退避させて上記コンタク
タを解放するラッチ操作部材とを有することを特徴とす
るものである。
【００１０】また、本発明の請求項５に記載のコンタク
タの保持機構は、請求項１に記載の発明において、上記
ラッチ機構は、上記コンタクタを下面から支持するラッ
チ部材と、これらのラッチ部材を上記コンタクタの下面
から退避させて上記コンタクタを解放するラッチ操作部
材とを有することを特徴とするものである。
【００１１】また、本発明の請求項６に記載のコンタク
タの保持機構は、請求項１または請求項２に記載の発明
において、上記パフォーマンスボードと上記コンタクタ
を導通するインターフェースボードを上記保持体内に設
けたことを特徴とするものである。
【００１２】また、本発明の請求項７に記載のコンタク
タの自動交換機構は、検査装置のパフォーマンスボード
に固定され且つコンタクタを着脱可能に保持する保持機
構と、この保持機構との間で上記コンタクタを受け渡し
する受け渡し機構とを備え、上記保持機構は、保持体
と、この保持体の内周面に取り付けられてコンタクタを
保持するラッチ機構と、このラッチ機構で保持された上
記コンタクタを真空吸着する固定機構とを有し、また、
上記受け渡し機構は、少なくとも１枚の上記コンタクタ
を吸着保持する保持部と、この保持部を先端部分に有し
且つ旋回及び昇降可能に設けられたアームとを有するこ
とを特徴とするものである。
【００１３】また、本発明の請求項８に記載のコンタク
タの自動交換機構は、請求項７に記載の発明において、
上記保持部は、その旋回方向に従って円弧状に形成され
た保持体上に複数配置されてなることを特徴とするもの
である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図９に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。尚、各図では検査装置の
本体を省略し、本発明の要部のみを図示してある。本実
施形態のコンタクタの保持機構（以下、単に「保持機
構」と称す。）１０は、例えば図１、図２に示すよう
に、プローブ装置のパフォーマンスボードＰに固定され
たリング状の保持体１１と、この保持体１１の内周面に
取り付けられてコンタクタ１２を周囲から保持する複数
のラッチ機構１３と、これらのラッチ機構１３で保持さ
れたコンタクタ１２を真空吸着する吸着固定機構１４
と、この吸着固定機構１４で固定されたコンタクタ１２
の複数の端子電極（図示せず）とパフォーマンスボード
Ｐとの接続を中継するインターフェースボード１５とを
備え、コンタクタ１２のプローブ１２Ａとウエハ（図示
せず）とが電気的に接触し、インターフェースボード１
５、パフォーマンスボードＰ及びポゴピンリングＲを介
してテストヘッドＴとウエハのデバイス間で電気的に導
通し、デバイスの電気的特性検査を実施する。尚、イン
ターフェースボード１５は、図２に示すように、保持体
１１の内周面に形成された段部１１Ａで周縁部が支持さ
れている。
【００１５】上記コンタクタ１２は、図２に示すよう
に、例えば複数のプローブ１２Ａと、これらのプローブ
１２Ａがマトリックス状に配列された且つ窒化アルミニ
ウム等のセラミックスで数１０ｍｍ角に形成された本体
１２Ｂと、本体１２Ｂの上面に各プローブ１２Ａとそれ
ぞれ接続された端子電極（図示せず）とを有している。
プローブ１２Ａは例えばデバイスの電極パッドに対応し
てＣＶＤ法等の手法によりバンプ状に形成され、今後狭
ピッチ化しても対応できるようになっている。また、本
体１２Ｂの周面にはラッチ機構１３に対応する複数の凹
部１２Ｃが形成されている。
【００１６】上記ラッチ機構１３は、図２に示すよう
に、例えば保持体１１内周面の周方向等間隔に取り付け
られ且つコンタクタ１２の周面に形成された複数の凹部
１２Ｃに対して弾力的に嵌合するラッチボール１３Ａ
と、これらのラッチボール１３Ａをそれぞれ弾力的に支
持するスプリング１３Ｂとを有し、保持体１１内へコン
タクタ１２を挿入すると、コンタクタ１２の凹部１２Ｃ
がラッチボール１３Ｂに到達した時点でラッチボール１
３Ｂが凹部１２Ｃと弾力的に嵌合すると共にコンタクタ
１２の端子電極がインターフェースボード１５に圧接し
てテストヘッドＴと導通可能な状態になる。
【００１７】上記吸着固定機構１４は保持体１１の周面
を貫通する貫通孔１１Ｂに連結具１４Ａを介して接続さ
れた図示しない真空ポンプを有し、真空ポンプによって
コンタクタ１２が装着された保持体１１内の空気を排気
することでラッチ機構１３と協働してコンタクタ１２を
保持体１１で確実に保持する。また、真空排気ラインは
大気へ切り換えられるようになっており、保持体１１か
らコンタクタ１２を取り外す時に真空排気ラインを大気
に開放し、保持体１１とコンタクタ１２間にできる空間
を常圧に戻せるようになっている。保持体１１内が常圧
に戻ってもラッチ機構１３でコンタクタ１２を保持して
いるためコンタクタ１２が落下することはない。
【００１８】一方、本実施形態のコンタクタの自動交換
機構（以下、単に「自動交換機構」と称す。）２０は、
図２及び図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、上記保持
機構１０と、この保持機構１０との間でコンタクタ１２
の受け渡しを行う受け渡し機構１６とを備え、受け渡し
機構１６を介してコンタクタ１２を保持機構１０まで搬
送し、保持機構１０との間でコンタクタ１２を自動的に
交換することができる。保持機構１０については上述し
たため、受け渡し機構１６について説明する。受け渡し
機構１６は、コンタクタ１２を吸着保持する吸着保持部
１７と、この吸着保持部１７を先端部分に有すると共に
旋回及び昇降可能なアーム１８と、このアーム１８を旋
回、昇降させるアーム駆動部１９（図３参照）を有して
いる。
【００１９】上記吸着保持部１７はコンタクタ１２の周
縁部を支持する枠状突起１７Ａとして形成され、枠状突
起１７Ａの上面には全周に渡ってシール部材１７Ｂが取
り付けられている。そして、コンタクタ１２のプローブ
１２Ａは枠状突起１７Ａ内の空間に収まり、傷つかない
ようになっている。また、アーム１８には枠状突起１７
Ａの内側中央で開口する排気通路１８Ａが形成され、こ
の排気通路１８Ａには真空ポンプ（図示せず）に接続さ
れている。また、排気通路１８Ａは大気へ切り換えられ
るようになっており、コンタクタ１２を保持機構１０へ
引き渡す時に真空排気ラインを大気に開放し、枠状突起
１７Ａとコンタクタ１２間にできる空間を常圧に戻せる
ようになっている。従って、吸着保持部１７上にコンタ
クタ１２を載せて真空ポンプが駆動するとコンタクタ１
２は枠状突起１７Ａ上に固定され、真空排気ラインを大
気に開放するとコンタクタ１２は枠状突起１７Ａから取
り外し自在になる。
【００２０】上記アーム駆動部１９は、例えば図３の
（ａ）、（ｂ）に示すように、アーム１８の基端部に連
結された駆動ロッド１９Ａと、この駆動ロッド１９Ａを
旋回及び昇降させる駆動源（図示せず）とを有し、例え
ば検査装置本体内の隅角部に配設されている。そして、
コンタクタ１２を交換する際に図示しない制御装置の制
御下でアーム１８の先端部分に形成された吸着保持部１
７を検査装置本体の正面から保持機構１０の真下まで旋
回させ、この位置でアーム１８を昇降させて保持機構１
０との間でコンタクタ１２を受け渡す。
【００２１】次に、動作について説明する。コンタクタ
１２を検査装置に装着する場合には、まず自動交換機構
２０の吸着保持部１７上にコンタクタ１２を載置する。
次いで、制御装置の制御下で受け渡し機構１６の真空ポ
ンプが駆動し、コンタクタ１２で閉じた枠状突起１７Ａ
内の空気を真空排気し、枠状突起１７Ａ上にコンタクタ
１２を真空吸着する。この際、コンタクタ１２はシール
部材１７Ｂに押し付けられ、枠状突起１７Ａ内の減圧状
態が保持され、コンタクタ１２は吸着保持部１７上に確
実に固定される。
【００２２】引き続き、制御装置の制御下でアーム駆動
部１９が駆動して駆動ロッド１９Ａが図３の（ａ）に示
すように反時計方向へ回転し、吸着保持部１７がアーム
１８を介して検査装置の正面側の実線位置から保持機構
１０の真下である破線位置まで旋回し、この位置で停止
する。その後、アーム１８が上昇してコンタクタ１２が
保持機構１０の保持体１１内に進入し、ラッチ機構１３
でコンタクタ１２が保持されると、駆動ロッド１９Ａが
停止する。
【００２３】次いで、制御装置の制御下で受け渡し機構
１６の真空ポンプが停止し、コンタクタ１２で閉じた枠
状突起１７Ａ内を大気に開放するとコンタクタ１２が吸
着保持部１７において取り外し自在になる一方、保持機
構１０の真空ポンプが駆動してコンタクタ１２の保持体
１１内の空気を排気して減圧する。これによりコンタク
タ１２は吸着保持部１７側から保持体１１側へ吸着固定
される。引き続き、受け渡し機構１６のアーム１８が下
降して保持機構１０から離れ、初期位置まで復帰する。
その後、検査装置が駆動してウエハの電気的特性検査を
実施する。検査中は保持機構１０の真空ポンプは駆動し
続け、コンタクタ１２を確実に固定しておくことが好ま
しい。
【００２４】検査終了後、種類の異なるウエハの検査を
行う場合には、使用済みのコンタクタ１２を次のコンタ
クタ１２と交換する。それには受け渡し機構１６が上述
したように駆動し、吸着保持部１７が検査装置正面側か
ら保持機構１０の真下まで移動する。引き続き、アーム
１８が上昇し吸着保持部１７とコンタクタ１２が接触し
た後真空ポンプが駆動してコンタクタ１２を吸着保持部
１７で真空吸着する。更に、吸着固定機構１４が作動し
て保持体１１内を大気に開放すると、コンタクタ１２は
ラッチ機構１３だけで保持された状態になる。この状態
で受け渡し機構１６が駆動してアーム１８が下降する
と、コンタクタ１２は吸着保持部１７で保持された状態
で保持機構１０から外れる。次いで、アーム駆動部１９
を介してアーム１８が時計方向へ旋回して初期位置まで
戻る。その後、受け渡し機構１６の吸着保持部１７に次
のコンタクタ１２を装着した後、受け渡し機構１６を介
して保持機構１０にこのコンタクタ１２を装着してその
自動交換を終了し、初期位置まで戻る。
【００２５】以上説明したように本実施形態によれば、
保持機構１０は、パフォーマンスボードＰに取り付けら
れた保持体１１と、この保持体１１の内周面に取り付け
られてコンタクタ１２を保持するラッチ機構１３と、こ
のラッチ機構１３で保持されたコンタクタ１２を真空吸
着する吸着固定機構１４とを備えているため、今後主流
となるバンプ型コンタクタ１２自体を着脱可能に保持す
ることができ、コンタクタ１２の自動交換を実現でき
る。また、コンタクタ１２からテストヘッドＴまでの配
線長が従来と比較して格段に短いため、コンタクタ１２
とテストヘッドＴ間の配線長による影響を低減すること
ができ、検査精度を高めることができる。
【００２６】また、本実施形態によれば、ラッチ機構１
３は、保持体１１内周面の周方向等間隔に取り付けられ
且つコンタクタ１２の周面に形成された複数の凹部１２
Ｃに対して弾力的に嵌合するラッチボール１３Ａと、こ
れらのラッチボール１３Ａをそれぞれ弾力的に支持する
スプリング１３Ｂとを有する構造にしたため、簡単な構
造でコンタクタ１２を保持体１１において着脱自在に保
持することができ、万一の場合でもコンタクタ１２の落
下を確実に防止することができる。
【００２７】また、本実施形態によれば、パフォーマン
スボードＰとコンタクタ１２を導通するインターフェー
スボード１５を保持体１１内に設けたため、コンタクタ
１２をパフォーマンスボードＰに対して確実に接触させ
ることができ、ひいてはテストヘッドＴとの導通を確実
なものにすることができる。
【００２８】また、本実施形態によれば、コンタクタ１
２を吸着保持する吸着保持部１７と、この吸着保持部１
７を先端部分に有すると共に旋回及び昇降可能に設けら
れたアーム１８とを有する受け渡し機構１６を設けて自
動交換機構２０を構成したため、保持機構１０との間で
コンタクタ１２を簡単に自動交換することができ、検査
のスループットを高めることができる。
【００２９】また、図４、図５はそれぞれ本発明の他の
実施形態を示す図である。図４に示す保持機構及び自動
交換機構の場合には、同図からも明らかなように図１、
図２に示すインターフェースボード１５を省略した以外
は図１〜図３に示す実施形態と同様に構成されている。
一方、図５に示す保持機構及び自動交換機構の場合に
は、受け渡し機構１６の構造を異にする以外は図１〜図
３に示す実施形態に準じて構成されている。図５に示す
吸着保持部１７の枠状突起１７Ａの内周面には段部１７
Ｂが形成されている。段部１７ＡＢより上側の開口はコ
ンタクタ１２を受け入れる大きさに形成され、段部１７
Ｂにおいてコンタクタ１２を支承するようになってい
る。この段部１７Ｂにはシール部材１７Ｃが取り付けら
れ、このシール部材１７Ｃを介してコンタクタ１２を真
空吸着時の気密を保持するようにしてある。これら両実
施形態においても上記実施形態と同様の作用効果を期す
ることができる。
【００３０】また、図６は同時に複数（例えば、３枚）
のコンタクタ１２を保持する受け渡し機構１６を示す概
略図である。この受け渡し機構１６は同図に示すように
例えば３箇所の吸着保持部１７が円弧状に形成されたプ
レート上に円弧に沿って配置されている。そして、円弧
状プレートの幅方向の中心を通る線（中心線）Ｃはコン
タクタ１２の中心の旋回軌跡と一致するようになってい
る。そして、この中心線Ｃ上に３箇所の吸着保持部１７
が互いに等間隔を空けて配置されている。そのため、ア
ーム１８が旋回すると各コンタクタ１２はいずれも保持
機構の真下の位置で常に図３の（ａ）の破線で示した一
定の向きになる。このように複数の吸着保持部１７を設
けることにより、受け渡し機構１６によって複数のコン
タクタ１２を一括保持し、複数のコンタクタ１２を人手
を介することなく連続的且つ自動的に交換することがで
き、検査のスループットの更なる向上を達成することが
できる。尚、吸着保持部１７自体は図１〜図５に示すも
のに準じて構成されている。
【００３１】また、図７は本発明のコンタクタの保持機
構の他の実施形態を示す図である。本実施形態の保持機
構３０は、図７の（ａ）、（ｂ）に示すように、プロー
ブ装置のパフォーマンスボードＰに固定された保持体３
１と、この保持体３１に取り付けられてコンタクタ３２
を周囲から保持するラッチ機構３３と、このラッチ機構
３３で保持されたコンタクタ３２を真空吸着する吸着固
定機構３４と、この吸着固定機構３４で固定されたコン
タクタ３２とパフォーマンスボードＰとの接続を中継す
るインターフェースボード３５とを備え、コンタクタ３
２がインターフェースボード３５を介してパフォーマン
スボードＰと電気的に導通自在になっている。本実施形
態及び以下の実施形態におけるパフォーマンスボードＰ
及びインターフェースボード３５はいずれも上記実施形
態のものと同様に構成されている。
【００３２】上記保持体３１は、図７の（ａ）に示すよ
うに、中央が大きく開口したリング状のプレートとして
形成され、この開口部にインターフェースボード３５が
配置されている。この保持体３１の外周には後述するラ
ッチ機構３３が取り付けられている。上記コンタクタ３
２は、図７の（ａ）に示すように、複数のプローブ３２
Ａと、これらのプローブ３２Ａがマトリックス状に形成
されたコンタクタ本体３２Ｂと、コンタクタ本体３２Ｂ
の上面に形成された端子電極３２Ｃとを有している。プ
ローブ３２Ａは例えばデバイスの電極パッドに対応して
ＣＶＤ法等の手法によりバンプ状に形成され、今後狭ピ
ッチ化しても対応できるものである。また、コンタクタ
本体３２Ｂは枠体３２Ｄと一体化して形成されている。
この枠体３2Ｄ上面の外周縁部にはコンタクタ３２を保
持体３１に装着する際に保持体３１の位置決め孔３１Ｂ
に嵌入する複数の位置決め用突起３２Ｅが形成され、こ
れらの位置決め用突起３２Ｅは互いに周方向に等間隔を
空けて配置されている。
【００３３】上記保持体３１においてコンタクタ３２を
一時的に保持する場合にはラッチ機構３３が用いられ
る。このラッチ機構３３は、図７の（ａ）、（ｂ）に示
すように、コンタクタ３２の周面に形成された複数の突
起３２Ｆと係合してコンタクタ３２を係止するラッチ部
材３３Ａと、これらのラッチ部材３３Ａを突起３２Ｆか
らそれぞれ退避させてコンタクタ３２を解放するラッチ
操作部材３３Ｂとを有している。ラッチ部材３３Ａは、
同図の（ｂ）に示すように、スプリングコイルを内蔵し
たシリンダ３３Ｃに装着され、スプリングによって常に
シリンダ３３Ｃの外方へ付勢されている。このラッチ部
材３３Ａとラッチ操作部材３３Ｂは例えばワイヤー３３
Ｄを介して連結され、コンタクタ３２を保持体３１に対
して装着する時にはラッチ操作部材３３Ｂを介してシリ
ンダ３３Ｃからタッチ部材３３Ａを突出させ、コンタク
タ３２を保持体３１から外す時にはラッチ操作部材３３
Ｂを介してシリンダ３３Ｃ内へラッチ部材３３Ａを引き
込むようにしてある。同図に示すラッチ操作部材３３Ｂ
は手動式のものであるが、自動化することもできる。
尚、３３Ｅはワイヤーを導くガイドローラである。
【００３４】上記吸着固定機構３４は、保持体３１及び
パフォーマンスボードＰを貫通する貫通孔３４Ａに連結
具３４Ｂを介して接続された真空ポンプ（図示せず）
と、上記コンタクタ３２の枠体３２Ｄの上面に取り付け
られた断面舌状のシール部材３４Ｃとを有している。こ
の吸着固定機構３４は、コンタクタ３２がラッチ機構３
３を介して保持体３１に保持され、シール部材３４Ｃが
保持体３１に接触した時点で作動するようにしてある。
吸着固定機構３４の真空排気ラインは大気へ切り換えら
れるようになっており、コンタクタ３２を取り外す時に
真空排気ラインを大気側に開放するようになっている。
【００３５】従って、本実施形態の保持機構３０におい
てコンタクタ３２を交換する時には図３〜図６に示す自
動交換機構に準じて構成された自動交換機構を用いるこ
とができる。即ち、自動交換機構を用いてコンタクタ３
２を保持機構３０の真下まで搬送した後、コンタクタ３
２を保持体３１まで持ち上げ、シール部材３４Ｃが保持
体３１と接触した時点でラッチ機構３３を操作する。こ
の操作によりラッチ部材３３Ａがワイヤー３３Ｄを介し
てシリンダ３３Ｃから突出して突起３２Ｆと係合し、コ
ンタクタ３２の落下を防止する。引き続き、吸着固定機
構３４が作動すると、コンタクタ３２を保持体３１側に
強く吸引し、コンタクタの端子電極とインターフェース
ボード３５とが電気的に確実に接続され、検査が可能な
状態になる。検査終了後にコンタクタ３２を交換する時
には逆の操作でコンタクタ３２を交換する。本実施形態
においても上記各実施形態と同様の作用効果を期するこ
とができる。
【００３６】図８は本発明の他の実施形態を示す図で、
本実施形態の保持機構は図７に示すものとはラッチ機構
を異にする。即ち、本実施形態の保持機構４０における
ラッチ機構４３は、図８の（ａ）に示すように、保持体
４１に取り付けられてコンタクタ４２の周面に形成され
た複数の鈎状突起４２Ｆを受け入れてこれらと係合する
ラッチ部材４３Ａと、これらのラッチ部材４３Ａを鈎状
突起４２Ｆから退避させてコンタクタ４２を解放するラ
ッチ操作部材（図示してないが図７の（ｂ）と同様のも
のが用いられる）とを有している。ラッチ部材４３Ａは
同図の（ｂ）に示すように先端に鈎部を有する幅広のプ
レート状部材として形成され、その基端が保持体４１に
形成された凹部４１Ｃにピン結合されている。また、同
図の（ａ）、（ｂ）に示すようにラッチ部部材４３Ａの
下部近傍の両側がスプリング４３Ｃを介して保持体４１
とそれぞれ連結され、これらのスプリング４３Ｃを介し
てラッチ部材４３Ａの鈎部を保持体４１側へ弾力的に付
勢している。このラッチ部材４３Ａの先端部とラッチ操
作部材がワイヤー４３Ｄを介して連結され、ラッチ操作
部材を介してラッチ部材４３Ａの先端をスプリング４３
Ｃのバネ力に抗して保持体４１から引き離すようにして
ある。尚、ラッチ部材４３Ａの鈎部先端にはテーパ面が
形成され、コンタクタ４２の鈎状突起４２Ｆが進入し易
いようになっている。
【００３７】従って、本実施形態の場合には、図８の
（ａ）の矢印Ｘで示すように自動交換機構を介してコン
タクタ４２を保持体まで持ち上げると、コンタクタ４２
の鈎状突起４２Ｆがラッチ部材４３Ａ先端のテーパ面と
保持体４１で作る凹部を介して上昇し、ラッチ部材４３
Ａをスプリング４３Ｃのバネ力に抗して同図の矢印Ｙ方
向へ押し広げ、鈎状突起４２Ｆとラッチ部材４３Ａの鈎
部を越えるとスプリング４３Ｃの働きで両者４２Ｆ、４
３Ａが係合し、コンタクタ４２の落下を防止する。その
後は、吸着固定機構（図示してないが図７の（ａ）と同
様のものが用いられる）が作動し、コンタクタ４２が保
持体４１に対して固定され、検査が可能な状態になる。
保持体４１からコンタクタ４２を取り外す時にラッチ操
作部材を手動操作すると、ワイヤー４３Ｄを介してラッ
チ部材４３Ａの先端部を保持体４１から引き離し、鈎状
突起４２Ｆをラッチ部材４３Ａの鈎部から解放した後、
自動交換機構を介してコンタクタ４２を保持体４１から
取り外す。
【００３８】図９は更に他のラッチ機構を示す図であ
る。本実施形態の保持機構５０におけるラッチ機構は、
図９の（ａ）、（ｂ）に示すように、コンタクタ５２を
下面から支持する、側面形状がＬ字状のラッチ部材５３
Ａと、これらのラッチ部材５３Ａをコンタクタ５２の下
面から退避させてコンタクタ５２を解放するラッチ操作
部材（図示してないが図７の（ｂ）と同様のものが用い
られる）とを有している。ラッチ部材５３Ａは同図の
（ａ）、（ｂ）に示すように側面形状がＬ字状の幅広の
プレート状部材として形成されている。保持体５１には
コンタクタ５２側に向けて突出する支持部５１Ａが形成
され、この支持部５１Ａにラッチ部材５３ＡがＬ字状の
角でピン結合されている。このピン結合部にはバネ（図
示せず）が装着され、このバネ部材を介してラッチ部材
５３Ａを同図の（ａ）の矢印Ｘ方向へ常に付勢してい
る。また、ラッチ部材５３Ａの一端にはワイヤー５３Ｄ
を介してラッチ操作部材が連結され、このラッチ操作部
材を介してワイヤー５３Ｄを同図の（ｃ）の矢印Ｙ方向
へ引っ張ってスプリングのバネ力に抗して同図の矢印
Ｘ’方向へラッチ部材５３Ａを起こし、ラッチ部材５３
Ａの他端が水平になった状態でコンタクタ５２を支持す
る。尚、図９の（ａ）〜（ｃ）において、５１Ｂはワイ
ヤー５３Ｄを通すために保持体５１に形成された孔であ
る。
【００３９】従って、本実施形態の場合には、自動交換
機構を介してコンタクタ５２を保持体５１まで持ち上げ
ると、ラッチ操作部材を操作してラッチ部材５３Ａを起
こしてコンタクタ５２の外周縁部を支持し、コンタクタ
５２の落下を防止する。その後は、吸着固定機構（図示
してないが図７の（ａ）と同様のものが用いられる）が
作動し、コンタクタ４２が保持体４１に対して固定さ
れ、検査が可能な状態になる。コンタクタ５２を交換す
る場合にはラッチ操作部材を介してワイヤー５３Ｄを緩
めると、ラッチ部材５３Ａは図９の（ａ）の矢印Ｘ方向
へ回転してコンタクタ５２から外れ、最終的に同図の
（ｃ）で状態になる。
【００４０】尚、本発明は上記各実施形態に何等制限さ
れるものではなく、本発明の構成要素は必要に応じて適
宜設計変更することができる。
【００４１】
【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項６に記載の発
明によれば、例えばバンプ型等のプローブが多数形成さ
れたコンタクタ自体を着脱可能に保持することができる
と共に検査精度を高めることができるコンタクタの保持
機構を提供することができる。
【００４２】また、本発明の請求項７及び請求項８に記
載の発明によれば、コンタクタの保持機構に対してコン
タクタを自動的に交換することができ、ひいては検査の
スループットを高めることができるコンタクタの自動交
換機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の保持機構の一実施形態の要部を破断し
て示す側面図である。
【図２】図１に示す保持機構と受け渡し機構を拡大して
示す断面図である。
【図３】（ａ）は自動交換機構の受け渡し機構の動作を
説明するための平面図、（ｂ）（ａ）に示す自動交換機
構を示す側面図である。
【図４】本発明の自動交換機構の他の実施形態を示す図
２相当図である。
【図５】本発明の自動交換機構の更に他の実施形態を示
す図２相当図である。
【図６】本発明の自動交換機構の他の実施形態の受け渡
し機構を示す平面図である。
【図７】本発明の保持機構の他の実施形態を示す図で、
（ａ）は保持機構でコンタクタを保持した状態を示す要
部断面図、（ｂ）は（ａ）に示す保持機構でコンタクタ
を保持した状態を模式的に示す下方からの平面図であ
る。
【図８】本発明の保持機構の他の実施形態の要部の動作
を示す図で、（ａ）は保持機構でコンタクタを保持する
直前の状態の一部を破断して示す側面図、（ｂ）は
（ａ）の矢視Ｂ方向の平面図である。
【図９】本発明の保持機構の他の実施形態の要部の動作
を示す図で、（ａ）は保持機構でコンタクタを保持する
直前の状態の一部を破断して示す側面図、（ｂ）は
（ａ）の矢視Ｂ方向の断面図、（ｃ）は保持機構からコ
ンタクタを外した状態を示す（ａ）に相当する図であ
る。
【図１０】従来の検査装置の一例を示す部分断面図であ
る。
【図１１】図１０に示す検査装置の内部を示す平面図で
ある。
【符号の説明】
１０、３０、４０、５０ 保持機構 １１、３１、４１、５１ 保持体 １２、３２、４２、５２ コンタクタ １３、３３、４３、５３ ラッチ機構 １３Ａ ラッチボール １３Ｂ スプリング（弾性部材） １４、３４ 吸着固定機構 １５ インターフェースボード １６ 受け渡し機構 １７ 吸着保持部 １８ アーム ３３Ａ、４３Ａ、５３Ａ ラッチ部材 ３３Ｂ ラッチ操作部材
フロントページの続き (72)発明者 竹腰 清 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AA16 AC05 AC06 AE03 2G032 AA00 AF02 AF03 AL00 4M106 AA02 BA01 DD10 DD23 DD30 9A001 BB05 JZ45 LL05

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 検査装置のパフォーマンスボードに取り
    付けられた保持体と、この保持体に取り付けられてコン
    タクタを周囲から保持する複数のラッチ機構と、これら
    のラッチ機構で保持された上記コンタクタを真空吸着す
    る固定機構とを備えたことを特徴とするコンタクタの保
    持機構。
  2. 【請求項２】 上記ラッチ機構は、上記コンタクタの周
    面に形成された複数の凹部に対して弾力的に嵌合するラ
    ッチボールと、これらのラッチボールをそれぞれ弾力的
    に支持する弾性部材とを有することを特徴とする請求項
    １に記載のコンタクタの保持機構。
  3. 【請求項３】 上記ラッチ機構は、上記コンタクタの周
    面に形成された複数の係合部まで突出して係合するラッ
    チ部材と、これらのラッチ部材を上記係合部からそれぞ
    れ退避させて上記コンタクタを解放するラッチ操作部材
    とを有することを特徴とする請求項１に記載のコンタク
    タの保持機構。
  4. 【請求項４】 上記ラッチ機構は、上記コンタクタの周
    面に形成された複数の鈎状突起を上記保持体との間にそ
    れぞれ受け入れて上記鈎状突起と弾力的に係合するラッ
    チ部材と、これらのラッチ部材を上記鈎状突起から退避
    させて上記コンタクタを解放するラッチ操作部材とを有
    することを特徴とする請求項１に記載のコンタクタの保
    持機構。
  5. 【請求項５】 上記ラッチ機構は、上記コンタクタを下
    面から支持するラッチ部材と、これらのラッチ部材を上
    記コンタクタの下面から退避させて上記コンタクタを解
    放するラッチ操作部材とを有することを特徴とする請求
    項１に記載のコンタクタの保持機構。
  6. 【請求項６】 上記パフォーマンスボードと上記コンタ
    クタを導通するインターフェースボードを上記保持体内
    に設けたことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれ
    か１項に記載のコンタクタの保持機構。
  7. 【請求項７】 検査装置のパフォーマンスボードに固定
    され且つコンタクタを着脱可能に保持する保持機構と、
    この保持機構との間で上記コンタクタを受け渡しする受
    け渡し機構とを備え、上記保持機構は、保持体と、この
    保持体の内周面に取り付けられてコンタクタを保持する
    ラッチ機構と、このラッチ機構で保持された上記コンタ
    クタを真空吸着する固定機構とを有し、また、上記受け
    渡し機構は、少なくとも１枚の上記コンタクタを吸着保
    持する保持部と、この保持部を先端部分に有し且つ旋回
    及び昇降可能に設けられたアームとを有することを特徴
    とするコンタクタの自動交換機構。
  8. 【請求項８】 上記保持部は、その旋回方向に従って円
    弧状に形成された保持体上に複数配置されてなることを
    特徴とする請求項７に記載のコンタクタの自動交換機
    構。
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