WO2000045433A1

WO2000045433A1 - Mecanisme de maintien de contacteur, et mecanisme de changement automatique dudit contacteur

Info

Publication number: WO2000045433A1
Application number: PCT/JP2000/000442
Authority: WO
Inventors: Shinji Iino; Junichi Hagihara; Kiyoshi Takekoshi
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 1999-01-29
Filing date: 2000-01-28
Publication date: 2000-08-03
Also published as: KR20010024959A; KR100563343B1; JP2000286313A; JP4346752B2; US6590381B1

Description

明細書

コンタクタの保持機構及びコンタクタの自動交換機構

技術分野

本発明は、検査装置におけるコンタクタの保持機構及びコンタクタの自動交換機構に関する。更に詳しくは、超高集積化した半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す。）等の被処理体の電気的特性を検査する際に用いられるコンタクタの保持機構及びコンタクタの自動交換機構に関する。

背景技術

従来の検査装置（例 . プローブ装置）は、例えば図 1 0 及び図 1 1 に示される。この検査装置（ 1 0 0 ) は、ウェハ w を搬送する間にウェハ Wをプリァライメントするローダ室 1 と、このローダ室 1 からウェハ w を受け取って電気的特性検査行うプローバ室 2 とを備えている。ローダ室 1 にはピンセット 3 及びサブチャック 4 が設けられる。ピンセット 3 によりウェハ Wが搬送される間に、サブチャック 4 において、ォリエンテーションフラットを基準にしてウェハ Wはプリァラィメントされる。また、プローバ室 2 にはメインチャック 5 及びァライメント機構 6 が設けられる。ウェハ w を載置したメインチャック 5 は、 X、 Y及び 0 方向に移動しな力 S ら、ァライメント機構 6 と協働して、ウェハ w をメインチャック 5 の上方のプローブカード 7 のプローブ 7 Aに対してァライメントする。メインチャック 5 力方向に上昇し、プローブ 7 Aはウェハ _w上に形成された集積回路の電極に電気的に接触する。テストヘッド T を介してウェハ W上に形成された集積回路の電気的特性が検査される。

プローブ力一ド 7 は、プローバ室 2 のへッドプレート 8 に装着されたパフォーマンスボードに対して着脱可能に取り付けられている。プローブカード 7 は、例えばタングステンヮィヤーからなる複数のプローブ 7 A と、

これらのプローブ 7 A を支持する枠状の支持部（図示せず）と、この支持部が固定され且つ各プローブ 7 Aにそれぞれ接続されたプリント配線を有するプリント配線基板とを備えている。プローブカード 7 は、ウェハ Wの種類に応じて交換され、使用される。

発明の開示

従来のプローブカード 7 は、コンタクタであるプローブ 7

Aの他に、大面積のプリント配線基板等のボードを有するため、プローブカード ₇ は大きい。今後、デバイスの高集積化が進み、プローブ針の数が増加するに伴って、プローブカード 7 は益々大型化し、大重量化する。このため、ウェハの種類毎にプローブカード 7 を自動交換することが益々難しくなる。

プローブ 7 A とプリント配線基板の配線との間の物理的特性の違いや配線長の影響により、検査精度が低下する虞がある。最近では、集積回路の電極パッドが狭ピッチ化するに対応するために、バンプ型のコンタクタが開発されつつある。しかし、該コンタクタの交換方法等の取り扱いについてはいまだ未開発であり、今後の課題である。

本発明は、上記課題を解決するためになされた。本発明は、バンプ型等のプローブが多数形成されたコンタクタ自体を着脱可能に保持することができると共に、検査精度を高めることができるコンタクタの保持機構を提供することを目的としてレ、る。

また、本発明は、コンタクタの保持機構に対してコンタクタを自動的に交換し、検査のスループットを高めることができるコンタクタの自動交換機構を提供することを目的としている。

本発明の第一の観点に従って、コンタクタ、ボードに固定された枠体、該枠体の内側に該コンタクタを保持するための複数のラッチ機構、該ラッチ機構で保持された上記コンタクタを、真空吸着力により該枠体内に固定するための吸着固定機構、を備えた、検査装置におけるコンタクタの保持機構が提供される。

このコンタクタの保持機構において、該ボードは、検査装置のパフォーマンスボードであることが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該枠体はリング状の枠体であることが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該ラッチ機構は、ラツチボールと、該ラツチボールを弾力的に支持する弾性部材とを有し、該コンタクタは、その周面に、該ラッチボールと係合するための複数の凹部を有する、ことが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該ラッチ機構は、突出及び待避され得るラッチ部材と、該ラッチ部材を突出及び待避させるラッチ操作機構とを有し、該コンタクタは、その周面に、該ラツチ部材と係合するための複数の係合部を有する、ことが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該コンタクタは、その周面に複数の鈎状突起を有し、該ラッチ機構は、該コンククタの該鈎状突起に係合するラッチ部材と、該ラッチ部材の該係合を解放するラッチ操作部材とを具備する、ことが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、上記ラツチ機構は、上記コンタクタをその下面で支持するラツチ部材と、該ラッチ部材を該コンタクタの下面から退避させて、上記コンタク夕の支持を解放するラッチ操作部材とを有する、ことが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的接続するための、該枠体内に設けられたインターフェースボードを有する、ことが好ましい。

本発明の第二の観点に従って、

コンタクタを着脱可能に保持する保持機構、

該保持機構との間で該コンタクタを受け渡しする受け渡し機構、

該受け渡し機構は、移動可能に設けられたすくなくとも一つのアーム、該アームに設けられた少なくとも一つの該コンタクタを着脱可能に保持する保持部を有する、を具備する検査装置におけるコンタクタの自動交換機構が提供される。このコンタクタの保持機構は、上記第一の観点に従って提供されるコンタクタの保持機構である、ことが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該受け渡し機構におけるアームは、旋回及び昇降可能に設けられている、ことが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該受け渡し機構における保持部は、コンタクタを真空吸着力により着脱可能に保持する、ことが好ましい。

このコンタクタの保持機構において、該受け渡し機構における保持部は、その旋回方向に従って円弧状に複数配置されている、ことが好ましい。

本願発明の第三の観点に従って、コンタクタ、ノ、。フォーマンスボードに固定された枠体を有するコンタクタを保持するための手段、該枠体の内側に該コンタクタを保持するための複数のラツチ手段、該ラツチ手段で保持された上記コンタクタを、真空吸着力により該枠体内に固定するための吸着固定手段、を備えた、検査装置におけるコンタクタの保持機構が提供される。

本願発明の第四の観点に従って、

下記を具備するコンタクタの保持機構、

パフォーマンスボードに固定されたリング状の枠体、該枠体の内側に該コンタクタを保持するためのラッチ機構、

該ラッチ機構で保持された上記コンタクタを、真空吸着力により該枠体内に固定するための吸着固定機構、前記パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的接続するための、前記枠体内に設けられたインターフエースボード、

及び、下記を具備するコンタクタの自動交換機構、

前記保持機構との間で該コンタクタを受け渡しするための、旋回及び昇降可能に設けられたアームと、前記アームに設けられた少なくとも一つの、該コンタクタを真空吸着力により着脱可能に保持する保持部とを有する受け渡し機構、を具備する、コンタクタの自動交換機構が提供される。

図面の簡単な説明

添付した図面は、明細書の一部と連携しかつ一部を構成し本発明の好適な実施例を図示する。そして、該図面は上記で記述した一般的な記述と以下に記述する好適な実施例に関する詳細な説明とにより、本発明の説明に資するものである。

図 1 は、本発明の保持機構の一実施形態の要部を破断して示す側面図である。

図 2 は、図 1 に示される保持機構と受け渡し機構を拡大して示す断面図である。

図 3 A は、自動交換機構における受け渡し機構の動作を説明するための平面図である。

図 3 B は、図 3 Aの自動交換機構を示す側面図である。

図 4 は、本発明の自動交換機構の他の実施形態を示す断面図である。

図 5 は、本発明の自動交換機構の他の実施形態を示す断面図である。図 6 は、本発明の自動交換機構の他の実施形熊の受け渡し機構を示す平面図である。

図 7 A , B は、本発明の保持機構の他の実施形熊を示す図であり、図 7 A は、保持機構によりコンタクタが保持された状態を示す要部断面図である。図 7 B は、図 7 A に示される保持機構によりコンタクタが保持された状態を模式的に示す下方からの平面図である。

図 8 A， B は、本発明の保持機構の他の実施形熊の要部の動作を示す図であり、図 8 Aは保持機構によりコンタクタが保持される直前の状態の一部を破断して示す側面図である。図 8 B は、図 8 Aの矢印 B方向の平面図である。

図 9 A， B， Cは、本発明の保持機構の他の実施形態の要部の動作を示す図であり、図 9 Aは保持機構によりコンタクタが保持される直前の状態の一部を破断して示す側面図である。図 9 B は、図 9 Aの矢印 B方向の断面図、図 9 C は、保持機構からコンタクタが外された状態を示す図である。

図 1 0 は、従来の検査装置の一例を示す部分断面図である図 1 1 は、図 1 0 に示された検査装置の内部を示す平面図である。

発明を実施するための最良の形態

以下、図 1 〜図 9 に示される実施形態に基づいて本発明が説明される。各図において、説明の便宜上、検査装置の本体の説明は省略され、本発明の要部のみが図示される。

本実施形態のコンタクタの保持機構（以下、単に「保持機構」と称す。） 1 0 の例が、図 1 及び図 2 に示される。コンタクタ 1 2 を収容し、保持する枠体 1 1 は、ボード（例 . プローブ装置のノフォーマンスボード） P に固定される。この枠体 1 1 は、コンタクタの外形に合わせて、リング状とされることが好ましい。この枠体 1 1 の内周面には、複数のラッチ機構 1 3 が取り付けられる。このラッチ機構は、枠体 1 1 の内側に収容されるコンタクタ 1 2 を保持する。ラッチ機構 1 3 により保持されたコンタクタ 1 2 は、吸着固定機構 1 4 により形成される真空吸着力により、枠体 1 1 内に固定される。インターフェースボード 1 5 は、吸着固定機構 1 4 により固定されたコンタクタ 1 2 の複数の端子電極（図示せず）とパフォーマンスボード P とを電気的に接続する。コンタクタ 1 2 のプローブ 1 2 A とウェハ W上に形成されたデバイスの電極パッド（図示せず）とは電気的に接触する。インタ一フェースボード 1 5 、ノヽ。フォーマンスボード P及びプローブリング R とを介して、該デバイスとテストへッド T とは電気的に導通し、デバイスの電気的特性が検査される。インターフェースボード 1 5 の周縁部は、図 2 に示されるように、枠体 1 1 の内周面に形成された段部 1 1 Aにより支持されることができる。

上記コンタクタ 1 2 は、図 2 に示されるように、複数のプローブ 1 2 A と、窒化ァノレミニゥム等のセラミックスで数 1 O m m角に形成された本体 1 2 B と、本体 1 2 B の上面に各プローブ 1 2 Aにそれぞれ接続された端子電極（図示せず）とを有してレ、る。プローブ 1 2 Aは本体 1 2 B にマトリックス状に配列されることができる。プローブ 1 2 Aは、例えば C V D法等によりデバイスの電極パッドに対応してバンプ状に形成されることができる。このプローブ 1 2 A は、電極パッドが今後狭ピッチ化される場合にも、対応できる。本体 1 2 B の周面にはラッチ機構 1 3 に対応する複数の凹部 1 2 C が形成されている。

上記ラッチ機構 1 3 は、図 2 に示されるように、枠体 1 1 の内周面に周方向等間隔に取り付けられることができる。ラツチ機構は、コンタクタ 1 2 の周面に形成された複数の凹部 1 2 C に弾力的に嵌合するラッチボール 1 3 A と、これらのラッチボール 1 3 Aをそれぞれ弾力的に支持するスプリング 1 3 B とを有することができる。このラッチボール 1 3 Aは必ずしもポールでなくとも良く、凹部 1 2 C に嵌合する突起であればよい。枠体 1 1 内へコンタクタ 1 2 が揷入され、コンタクタ 1 2 の凹部 1 2 C 力 Sラッチボーノレ 1 3 A の位置に到達した時点で、ラッチボール 1 3 A は凹部 1 2 C に弾力的に嵌合すると共に、コンタクタ 1 2 の端子電極はインターフエースボード 1 5 に圧接され、テストへッド T と導通された状態になる。

上記吸着固定機構 1 4 は、枠体 1 1 の周面を貫通する貫通孔 1 1 B と、該貫通孔 1 1 B に連結具 1 4 A を介して接続された真空ポンプ 1 1 C を有することができる。真空ポンプによってコンタクタ 1 2 が装着された枠体 1 1 内の空気を排気することにより形成される真空吸着力は、ラッチ機構 1 3 と協働してコンタクタ 1 2 を枠体 1 1 内に確実に保持する。真空排気ライン 1 1 D は、真空ポンプから大気へ切り換えらることにより、枠体 1 1 力らコンタクタ 1 2 を取り外す時に、枠体 1 1 とコンタクタ 1 2 間の空間は常圧に戻される。保持体 1 1 内が常圧に戻された状態においても、コンタクタ 1 2 はラッチ機構 1 3 により保持されてレ、るため、コンタクタ 1 2 は落下しない。

本実施形熊のコンタクタの自動交換機構（以下、単に「自動交換機構」と称す。） 2 0 は、図 2 及び図 3 A， B に示されるように、上記保持機構 1 0 と、受け渡し機構 1 6 とを備えることができる。受け渡し機構 1 6 により、コンタクタ 1 2 は保持機構 1 0 まで搬送され、保持機構 1 0 との間でコンタクタ 1 2 は自動的に交換されることができる。保持機構 1 0 は上述されていることから、受け渡し機構 1 6 のみ説明される。受け渡し機構 1 6 は、移動可能なアーム 1 8 と、該ァームに設けられたコンタクタ 1 2 を保持する保持部 1 7 とを具備する。該アームは旋回及び昇降可能とされることができ該アームはアーム駆動部 1 9 (図 1 3 B参照）により旋回及び昇降される。

吸着保持部 1 7 は、コンタクタ 1 2 の周緑部を支持する枠状突起 1 7 A と、枠状突起 1 7 A の上面のシール部材 1 7 B とにより形成されることができる。コンタクタ 1 2 のプロ一ブ 1 2 Aは枠状突起 1 7 A内の空間に収まり、傷つかないようにされている。アーム 1 8 は枠状突起 1 7 Aの内側中央で開口する排気通路 1 8 Aを有し、この排気通路 1 8 Aは真空ポンプ 1 8 C に接続されている。コンタクタ 1 2 が保持機構 1 0 へ引き渡される時には、排気通路 1 8 Aは大気へ切り換えられ、枠状突起 1 7 A とコンタクタ 1 2 間の空間は常圧に戻されることにより、真空吸着力は解消される。吸着保持部 1 7 上にコンタクタ 1 2 が載せられた状態で、真空ポンプを駆動することにより、コンタクタ 1 2 は枠状突起 1 7 A上に固定され、真空排気ラインを大気に開放することによりコンタクタ 1 2 は枠状突起 1 7 Aから取り外し自在にされる。

上記アーム駆動部 1 9 は、例えば図 3 A， B に示されるように、アーム 1 8 の基端部に連結された駆動ロッド 1 9 A とこの駆動ロッド 1 9 Aを旋回及び昇降させる駆動源 1 9 B とを有することができる。アーム駆動部 1 9 は、検査装置本体内の隅角部に配設されることができる。コンタクタ 1 2 を交換する際には、図示しない制御装置の制御下で、アーム 1 8 の先端部分に形成された吸着保持部 1 7 は保持機構 1 0 の真下まで旋回される。この位置でアーム 1 8 は昇降されることにより、保持機構 1 0 との間でコンタクタ 1 2 は受け渡される。

以上の装置の動作が説明される。コンタクタ 1 2 が検査装置に装着される場合、自動交換機構 2 0 の吸着保持部 1 7 上にコンタクタ丄 2 は載置される。制御装置の制御下で、受け渡し機構 1 6 の真空ポンプが駆動され、コンタクタ 1 2 と枠状突起 1 7 A とにより形成された空間の空気は排気され、真空吸着力が形成される。この真空吸着力により、枠状突起 1 7 A内にコンタクタ 1 2 は保持される。この際、コンタクタ 1 2 はシール部材 1 7 B 上に押し付けられ、枠状突起 1 7 A 内の空間は減圧状態に維持され、コンタクタ 1 2 は吸着保持部 1 7 上に確実に固定される。

図 3 Aに示されるように、制御装置の制御下で、アーム駆動部 1 9 により駆動ロッド 1 9 A及びアーム 1 8 は反時計方向へ回転される。保持部 1 7 は、検査装置の正面側の実線位置から保持機構 1 0 の真下の破線位置まで旋回され、この位置で停止される。アーム 1 8 は上昇されて、コンタクタ 1 2 は保持機構 1 0 の保持体 1 1 内に挿入され、ラッチ機構 1 3 によりコンタクタ 1 2 は保持され、駆動ロッド 1 9 Aは停止される。

制御装置の制御下で、受け渡し機構 1 6 の真空ポンプ 1 8 Cが停止され、コンタク夕 1 2 と枠状突起 1 7 Aにより形成された空間が大気に開放されることにより、コンタクタ 1 2 は保持部 1 7 から取り外し自在にされる。一方、保持機構 1 0 の真空ポンプが駆動されることにより、枠体 1 1 内の空気は排気され減圧される。これによりコンタク夕 1 2 は枠体 1 1 内に吸着固定される。受け渡し機構 1 6 のアーム 1 8 が下降され、該アーム 1 8 は保持機構 1 0 から離れ、初期位置に復帰する。検查装置 1 0 0 において、ウェハ Wの電気的特性が検査される。検査中は保持機構 1 0 の真空ポンプは駆動し続けることにより、コンタクタ 1 2 を確実に固定することが望ましい。

種類の異なるウェハを検査する場合には、使用済みのコンタクタ 1 2 は次のコンタクタ 1 2 と交換される。受け渡し機構 1 6 が上述したように稼動し、保持部 1 7 が検查装置正面側から保持機構 1 0 の真下まで移動する。アーム 1 8 が上昇し、保持部 1 7 にコンタクタ 1 2 が接触した状態で、真空ポンプが駆動され、コンタクタ 1 2 は保持部 1 7 に真空吸着される。枠体 1 1 内が大気に開放されると、コンタクタ 1 2 はラッチ機構 1 3 のみにより保持された状態になる。受け渡し機構 1 6 により、コンタクタ 1 2 は吸着保持部 1 7 に保持される。アーム 1 8 が下降し、保持機構 1 0 から外れる。ァーム駆動部 1 9 によりアーム 1 8 は時計方向へ旋回され初期位置に戻される。受け渡し機構 1 6 の吸着保持部 1 7 に次のコンタクタ 1 2 が装着される。受け渡し機構 1 6 は、保持機構 1 0 にコンタクタ 1 2 を渡し、自動交換を終了して、アーム 1 8 は初期位置に戻される。

以上説明されたように、本実施形態の保持機構 1 0 は、パフォーマンスボード P に取り付けられた枠体 1 1 と、この枠体 1 1 の内周面に設けられたラッチ機構 1 3 と、このラッチ機構 1 3 で保持されたコンタクタ 1 2 を真空吸着力により保持する吸着固定機構 1 4 とを備えている。この結果、今後主流となるバンプ型コンタクタ 1 2 は着脱可能に保持されることができ、コンタク夕 1 2 の自動交換が実現されることができる。コンタクタ 1 2 力らテストへッド T までの配線長が従来と比較して格段に短いため、コンタクタ 1 2 とテストへッド T間の配線長による影響は低減されることができ、検査精度は高められることができる。

本実施形態のラッチ機構 1 3 は、保持体 1 1 内周面の周方向等間隔に取り付けられることができる。ラッチ機構 1 3 はコンタクタ 1 2 の周面に形成された複数の凹部 1 2 C に対して弾力的に嵌合するラッチボール 1 3 A と、これらのラッチボール 1 3 Aをそれぞれ弾力的に支持するスプリング 1 3 B とを有する簡単な構造で、コンタクタ 1 2 は枠体 1 1 に着脱自在に保持されることができる。万一の場合でも、コンタクタ 1 2 の落下は確実に防止されることができる。

本実施形態において、パフォーマンスボード P とコンタクタ 1 2 とを接続するインターフェースボード 1 5 を保持体 1 1 内に設けることにより、コンタクタ 1 2 はノ、°フォーマンスボード P に確実に接続されることができ、テストへッド T とウェハ Wとを確実に接続することができる。

本実施形態の自動交換機構 2 0 は、コンタクタ 1 2 を吸着保持する吸着保持部 1 7 と、受け渡し機構 1 6 を具備することにより、保持機構 1 0 のコンタクタ 1 2 を簡単に自動交換することができ、検査のスループットを高めることができる図 4 及び図 5 には、本発明の他の実施形態が示される。図 4 に示される保持機構及び自動交換機構は、図 1 及び図 2 に示されるインターフェースボード 1 5 が省略されている。図 5 に示される保持機構及び自動交換機構は、受け渡し機構 1 6 の構造を異にする以外は、図 1 〜図 3 に示される実施形態に準じて構成されている。

図 5 に示される吸着保持部 1 7 の枠状突起 1 7 Aの内周面には段部 1 7 B が形成されている。枠状突起 1 7 Aの開口はコンタクタ 1 2 を受け入れる大きさに形成され、段部 1 7 D 上にコンタクタ 1 2 は支持される。この段部 1 7 D にはシール部材 1 7 C が設けられることが好ましい。このシール部材 1 7 C により、コンタクタ 1 2 を真空吸着する時の気密が保持される。これら両実施形態においても、図 1 〜 3 の実施形態と同様の作用効果が奏されることができる。

図 6 には、同時に複数（例えば、 3 枚）のコンタクタ 1 2 を保持する受け渡し機構 1 6 が示される。この受け渡し機構 1 6 においては、同図に示されるように、例えば 3 個所の吸着保持部 1 7 が円弧状のプレート上に円弧に沿って配置される。円弧状プレートの幅方向の中心を通る線（中心線） C はコンタクタ 1 2 の中心が旋回する軌跡と一致される。この中心線 C上に 3 箇所の吸着保持部 1 7 が配置される。この配置は、互いに等間隔を空けた配置とされることが好ましい。この結果、アーム 1 8 が旋回することにより、各コンタクタ 1 2 は、保持機構の真下に位置され、常に図 3 Aの破線で示されたように一定の向きになる。このように複数の吸着保持部 1 7 を設けることにより、一台の受け渡し機構 1 6 は複数のコンタクタ 1 2 を一括保持することができ、複数のコンタクタ 1 2 は人手を介することなく連続的且つ自動的に交換されることができ、検査のスループットの更なる向上を達成することができる。尚、吸着保持部 1 7 自体は図 1 〜図 5 に示すものに準じて構成されている。

図 7 には、本発明のコンタクタの保持機構の他の実施形態が示される。本実施形熊の保持機構 3 0 は、図 7 A， B に示されるように、プローブ装置のパフォーマンスボード P に固定された保持体 3 1 と、この保持体 3 1 に取り付けられてコンタクタ 3 2 をその周囲から保持するラッチ機構 3 3 と、このラッチ機構 3 3 で保持されたコンタクタ 3 2 を真空吸着力により固定する吸着固定機構 3 4 と、この吸着固定機構 3 4 で固定されたコンタクタ 3 2 とノ《フォーマンスボード P との接続を中継するインターフェースボード 3 5 とを備える。コンタクタ 3 2 はインターフェースボード 3 5 を介してノ、 "フォ一マンスボード P と電気的に接続される。本実施形態及び以下の実施形態におけるパフォーマンスボード P及びィンターフェースボード 3 5 はいずれも上記実施形態のものと同様に構成されることができる。

上記保持体 3 1 は、図 7 Aに示されるように、その中央に大きな開口部を有するリング状のプレートであることができる。この開口部にはインターフェースボード 3 5 が配置されることができる。この保持体 3 1 には後述するラッチ機構 3 3 が取り付けられる。上記コンタクタ 3 2 は、図 7 A に示されるように、複数のプローブ 3 2 A と、これらのプローブ 3 2 Aがマトリックス状に形成されたコンタクタ本体 3 2 B とコンタクタ本体 3 2 B の上面に形成された端子電極 3 2 じとを有している。プローブ 3 2 Aは、例えば C V D法等の手法により、デバイスの電極パッドの配置に対応して配置されたノくンプ構造とされることができる。この構造によれば、今後狭ピッチ化されるデバイスの電極パッドにも対応可能であるコンタクタ本体 3 2 B は枠体 3 2 D と一体化されて形成される。この枠体 3 2 D上面の外周緑部には、コンタクタ 3 2 を保持体 3 1 に装着するための、保持体 3 1 の位置決め孔 3 1 B に嵌入する複数の位置決め用突起 3 2 E が形成され。これらの位置決め用突起 3 2 E は互いに周方向に等間隔を空けて配置されている。

ラッチ機構 3 3 は、上記保持体 3 1 内にコンタクタ 3 2 を一時的に保持するために用いられる。このラッチ機構 3 3 は図 7 A , B に示されるように、コンタクタ 3 2 の周面に形成された複数の突起 3 2 F と係合するラッチ部材 3 3 A と、これらのラッチ部材 3 3 Aを突起 3 2 F カゝら退避させるラッチ操作部材 3 3 B とを有している。コンタクタは、複数の突起 3 2 F がラッチ部材 3 3 A に係合することにより保持され、ラッチ部材 3 3 Aを突起 3 2 F 力ら退避させることにより、該保持は解放される。ラッチ部材 3 3 Aは、同図 B に示されるように、スプリングコィノレを内蔵したシリンダ 3 3 C に装着される。ラッチ部材 3 3 Aは、スプリングによって常にシリンダ 3 3 C の外方へ付勢されている。このラッチ部材 3 3 A とラッチ操作部材 3 3 B は例えばワイヤー 3 3 D を介して連結されることができる。コンタクタ 3 2 を保持体 3 1 に装着する時には、ラッチ操作部材 3 3 B によりシリンダ 3 3 C からラッチ部材 3 3 Aは突出させらる。コンタクタ 3 2 を保持体 3 1 カゝら外す時には、ラッチ操作部材 3 3 B によりシリンダ 3 3 C 内へラッチ部材 3 3 Aは引き込まれる。同図に示されるラッチ操作部材 3 3 B は、手動式である。このラッチ操作部材 3 3 B は、自動化されることもできる。 3 3 E はヮィヤーを導くガイドローラである。

上記吸着固定機構 3 4 は、保持体 3 1 及びパフォーマンスボード P を貫通する貫通孔 3 4 Aに連結具 3 4 B を介して接続された真空ポンプ 3 4 E と、上記コンタクタ 3 2 の枠体 3

2 Dの上面に取り付けられた断面舌状のシール部材 3 4 C とを有している。この吸着固定機構 3 4 は、コンタクタ 3 2 がラッチ機構 3 3 により保持体 3 1 に保持され、シール部材 3 4 C が保持体 3 1 に接触した時点で、作動を開始することができる。吸着固定機構 3 4 の真空排気ライン 3 4 D は、真空ポンプから大気へ切り換えられるように構成され得る。コンタクタ 3 2 が取り外されるとき、真空排気ラインは大気側に切り換えられる。

従って、本実施形態の保持機構 3 0 において、コンタクタ

3 2 が交換されるときには、図 3 〜図 6 に示される自動交換機構に準じて構成された自動交換機構が使用されることができる。自動交換機構により、コンタクタ 3 2 は保持機構 3 0 の真下まで搬送される。コンタクタ 3 2 は保持体 3 1 まで持ち上げられ、シール部材 3 4 C が保持体 3 1 と接触した時点で、ラッチ機構 3 3 は稼動する。ラッチ部材 3 3 Aはワイヤ一 3 3 D によりシリンダ 3 3 C 力ら突出させられ、突起 3 2 F と係合し、コンタクタ 3 2 の落下が防止される。吸着固定機構 3 4 が作動し、コンタクタ 3 2 は保持体 3 1 側に強く吸引され、コンタクタの端子電極とインターフェースボード 3 5 とが電気的に確実に接続され、検査できる状態になる。検査終了後に、コンタクタ 3 2 が交換される時には、逆の操作でコンタクタ 3 2 は交換される。本実施形態においても、上記各実施形態と同様の作用効果が奏される。

図 8 は、本発明の他の実施形態が示される。本実施形態の保持機構は、図 7 に示される機構と比較して、ラッテ機構が相違する、本実施形態の保持機構 4 0 におけるラッチ機構 4 3 は、図 8 Aに示されるように、枠体（保持体） 4 1 に取り付けられたラッチ部材 4 3 A と、ラッチ操作部材 4 3 B とを有してレ、る。ラッチ部材 4 3 Aは、コンタク夕 4 2 の周面に形成された複数の鈎状突起 4 2 F と係合する。ラツチ操作部材 4 3 B は、ラッチ部材 4 3 Aを鈎状突起 4 2 F カゝら退避させてコンタクタ 4 2 を解放する。

ラツチ部材 4 3 Aは同図 B に示されるように先端に鈎部を有する幅広のプレート状部材であり得る。プレート状部材の基端は保持体 4 1 に形成された四部 4 1 C にピンにより結合されている。同図 A , Β に示されるラッチ部材 4 3 Α の下部近傍の両側は、スプリング 4 3 C により保持体 4 1 に連結され、これらのスプリング 4 3 C は、ラッチ部材 4 3 Α の鈎部を保持体 4 1 側へ弾力的に付勢する。このラッチ部材 4 3 A の先端部とラツチ操作部材がワイヤー 4 3 D を介して連結される。ラッチ操作部材を介してラッチ部材 4 3 A の先端はスプリング 4 3 C のバネ力に杭して保持体 4 1 カゝら引き離される。ラッチ部材 4 3 A の鈎部先端は、テーパ面とされ、コンタクタ 4 2 の鈎状突起 4 2 Fが進入し易い構造である。

本実施形態の場合には、図 8 Aの矢印 X で示されるように自動交換機構によりコンタクタ 4 2 は保持体まで持ち上げられる。コンタクタ 4 2 の鈎状突起 4 2 F はラッチ部材 4 3 A の先端のテーパ面と保持体 4 1 で作る凹部中を上昇する。ラツチ部材 4 3 Aはスプリング 4 3 C のバネ力に杭して同図の矢印 Y方向へ押し広げられる。ラッチ部材 4 3 Aが鈎状突起 4 2 F とラッチ部材 4 3 A の鈎部を越えると、スプリング 4 3 C の働きで両者 4 2 F と 4 3 Aは係合し、コンタクタ ⁴ 2 の落下は防止される。吸着固定機構（図 7 A参照）が作動し、コンタクタ 4 2 は保持体 4 1 に対して固定され、検査できる状態になる。保持体 4 1 カゝらコンタクタ 4 2 を取り外す時に、ラッチ操作部材を手動操作することにより、ワイヤ— 4 3 D を介してラッチ部材 4 3 A の先端部は保持体 4 1 から引き離される。鈎状突起 4 2 F 力 Sラッチ部材 4 3 A の鈎部から解放された後、自動交換機構によりコンタクタ 4 2 は保持体 4 1 力、ら取り外される。

図 9 には更に他のラツチ機構が示される。本実施形態の保持機構 5 0 におけるラッチ機構は、図 9 A， B に示されるように、コンタクタ 5 2 を下面から支持するための側面形状が L字状のラッチ部材 5 3 A と、ラッチ操作部材 5 3 B とを有している。ラッチ操作部材 5 3 B は、これらのラッチ部材 5 3 Aをコンタクタ 5 2 の下面力ら退避させることにより、コンタクタ 5 2 を解放する。ラッチ部材 5 3 Aは同図 A， B に示されるように側面形状が L字状の幅広のプレート状部材で有り得る。枠体（保持体） 5 1 はコンタクタ 5 2 側に向けて突出する支持部 5 1 Aを有する。この支持部 5 1 Aにラッチ部材 5 3 Aは L字状の角でピン結合される。このピン結合部にはパネ部材（図示せず）が装着される。このパネ部材により、ラッチ部材 5 3 Aは同図 A の矢印 X方向へ常に付勢される。ラッチ部材 5 3 Aの一端には、ワイヤ一 5 3 D により、ラッチ操作部材が連結される。このラッチ操作部材により、ワイヤ一 5 3 D は同図 C の矢印 Y方向へ引っ張られる。スプリングのパネ力に抗して、同図の矢印 X ' 方向へラッチ部材 5 3 Aは起こされ、ラッチ部材 5 3 Aの他端が水平になった状態で、コンタクタ 5 2 を支持する。図 9 A， B， C において、 5 1 B は、ワイヤー 5 3 D を通すために保持体 5 1 に形成された孔である。

本実施形熊において、自動交換機構によりコンタクタ 5 2 は保持体 5 1 まで持ち上げられ、ラッチ操作部材によりラッチ部材 5 3 Aは起こされ、コンタクタ 5 2 の外周縁部はラッチ部材 5 3 Aにより支持され、コンタクタ 5 2 の落下は防止される。吸着固定機構により、コンタクタ 5 2 は保持体 5 1 に固定され、検査できる状態になる。コンタクタ 5 2 を交換する場合には、ラッチ操作部材によりワイヤ一 5 3 D は緩められる。ラッチ部材 5 3 Aは図 9 Aの矢印 X 方向へ回転してコンタクタ 5 2 から外れ、最終的に同図 Cの状態にされる。本発明は、上記各実施形態に何等制限されるものではない本発明の構成要素は必要に応じて適宜設計変更されることができる。

請求項 1 乃至 8 に記載された発明によれば、例えばバンプ型等のプローブが多数形成されたコンタクタは着脱可能に保持されることができると共に、検査精度が高められることができるコンタクタの保持機構が提供される。

また、請求項 9 乃至 1 4 に記載された発明によれば、コンタクタの保持機構に対して、コンタクタを自動的に装着及び取り外しすることができ、検査のスループットを高めることができるコンタクタの自動交換機構が提供される。

さらなる特徴及び変更は、当該技術分野の当業者には着想されるところである。それ故に、本発明はより広い観点に立つものであり、特定の詳細な及びここに開示された体表的な実施例に限定されるものではない。従って、添付されたタレームに定義された広い発明概念及びその均等物の解釈と範囲において、そこから離れること無く、種々の変更をおこなうことができる。

Claims

請求の範囲 .

1 . コンタクタ、

ボードに固定された枠体、

該枠体の内側に該コンタクタを保持するための複数のラッチ機構、

該ラッチ機構で保持された上記コンタクタを、真空吸着力により該枠体内に固定するための吸着固定機構、

を備えたことを特徴とする、検査装置におけるコンタクタの保持機構。

2 . 該ボードは、検査装置のパフォーマンスボードである、請求項 1 のコンタクタの保持機構。

3 . 該枠体はリング状の枠体である、請求項 1 のコンタクタの保持機構。

4 . 前記ラッチ機構は、ラッチボールと、該ラッチボールを弾力的に支持する弾性部材とを有し、

該コンタクタは、その周面に、該ラッチボールと係合するための複数の凹部を有する、

請求項 1 のコンタクタの保持機構。

5 . 前記ラッチ機構は、突出及び待避され得るラッチ部材と、該ラツチ部材を突出及び待避させるラツチ操作機構とを有し、

該コンタクタは、その周面に、該ラッチ部材と係合するための複数の係合部を有する、

請求項 1 のコンタクタの保持機構。

6 . 前記コンタクタは、その周面に複数の鈎状突起を有し前記ラッチ機構は、前記コンタクタの該鈎状突起に係合するラツチ部材と、該ラツチ部材の前記係合を解放するラツチ操作部材とを具備する、

請求項 1 のコンタクタの保持機構。

7 . 上記ラッチ機構は、上記コンタクタをその下面で支持するラッチ部材と、前記ラツチ部材を該コンタクタの下面から退避させて、上記コンタク夕の支持を解放するラツチ操作部材とを有する、請求項 1 のコン夕クタの保持機構。

8 . 前記パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的接続するための、前記枠体内に設けられたィンターフエースボードを有する、請求項 2 〜請求項 7 のいずれか 1 のコンタクタの保持機構。

9 . コンタクタを着脱可能に保持する保持機構、

前記保持機構との間で該コンタクタを受け渡しする受け渡し機構、該受け渡し機構は、下記を有する：

移動可能に設けられたすくなくとも一つのアーム；前記アームに設けられた少なくとも一つの、該コンタクタを着脱可能に保持する保持部、

を具備する、検査装置におけるコンタクタの自動交換機構。

1 0 . 前記保持機構は請求項 1 のコンタクタの保持機構である、請求項 9 のコンタクタの自動交換機構。

1 1 . 前記受け渡し機構におけるアームは、旋回及び昇降可能に設けられている、請求項 9 のコンタクタの自動交換機構

1 2 . 前記受け渡し機構における保持部は、コンタクタを真空吸着力により着脱可能に保持する、請求項 9 のコンタクタの自動交換機構。

1 3 . 前記受け渡し機構における保持部は、その旋回方向に従って円弧状に複数配置されている、請求項 9 のコンタクタの自動交換機構。

1 4 . コンタクタ、

ノ、。フォーマンスボードに固定された枠体を有するコンタクタを保持するための手段、

該枠体の内側に該コンタクタを保持するための複数のラッチ手段、

該ラツチ手段で保持された上記コンタクタを、真空吸着力により該枠体内に固定するための吸着固定手段、

1 5 . 下記を具備するコンタクタの保持機構：

ノ、。フォーマンスボードボ一ドに固定されたリング状の枠体、

該枠体の内側に該コンタクタを保持するためのラッチ機構、

前記パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的接続するための、前記枠体内に設けられたィンターフエースボード、

下記を具備するコンタクタの自動交換機構

前記保持機構との間で該コンタクタを受け渡しするための、旋回及び昇降可能に設けられたアームと、前記アームに設けられた少なくとも一つの、該コンタクタを真空吸着力により着脱可能に保持する保持部とを有する受け渡し機構、を具備することを特徴とするコンタクタの自動交換機構。