JP5789206B2 - ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 - Google Patents
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Description
5(g)×3000/1000=15(kg)
となるように外側空間27及び内側空間28の圧力が調整される。
15(kgf)×9.8/(π×(330/2)2)=0.00172(MPa)
=1.72(kPa)となる。
14 検査室
18 ウエハ検査用インターフェース
20 プローブカード
21 固定リング
23 チャックトップ
24 外側シールリング
24B 接触部
25 プローブ
26 内側シールリング
26B,26C 接触部
27 外側空間
28 内側空間
29 外側減圧経路
30 内側減圧経路
41a〜41c ウエハ吸着溝
44 ウエハ吸着経路
45 大気開放溝
48 大気開放経路
Claims (10)
- ウエハに対向する面に多数のプローブが配置されたプローブカードと、
該プローブカードの外周を保持する保持部材と、
前記ウエハを挟んで前記プローブカードに対向する台状のチャック部材と、
前記保持部材及び前記チャック部材のいずれとも当接することによって前記保持部材、前記プローブカード及び前記チャック部材によって囲まれた第1の空間を密封する第1のシール部材と、
前記プローブカード及び前記ウエハのいずれとも当接することによって前記プローブカード及び前記ウエハによって囲まれた第2の空間を前記第1の空間から密封する第2のシール部材と、
前記第1の空間を減圧する第1の減圧経路と、
前記第2の空間を減圧する第2の減圧経路とを備え、
前記第2の空間は前記第1の空間に内包され、前記ウエハは前記第2の空間内に配置されることを特徴とするウエハ検査用インターフェース。 - 前記チャック部材は、前記ウエハを載置するウエハ載置面と、該ウエハ載置面に開口し、該ウエハ載置面と前記ウエハとの隙間を減圧して前記ウエハを前記ウエハ載置面に吸着させるウエハ吸着経路と、前記ウエハ載置面における前記ウエハ吸着経路の開口位置よりも外側に開口し、大気に連通する大気開放経路とを有することを特徴とする請求項1記載のウエハ検査用インターフェース。
- 前記第1の減圧経路と前記第2の減圧経路とが合流することを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ検査用インターフェース。
- 前記ウエハ吸着経路は、前記ウエハ載置面に設けられた環状の吸着溝を有し、前記大気開放経路は、前記吸着溝と同心円状の大気開放溝を有し、前記大気開放溝は前記吸着溝の外側に設けられていることを特徴とする請求項2記載のウエハ検査用インターフェース。
- 前記第1の減圧経路は、前記第1の空間を−1kPa乃至−50kPaに減圧し、前記ウエハ吸着経路は、前記ウエハと前記ウエハ載置面との隙間を−60kPa乃至−80kPaに減圧することを特徴とする請求項2又は4記載のウエハ検査用インターフェース。
- 前記第2のシール部材は圧縮方向に柔軟性を有することを特徴とする請求項1乃至5のずれか1項に記載のウエハ検査用インターフェース。
- 前記プローブカードにおける前記第2のシール部材が当接する部分には凹部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のウエハ検査用インターフェース。
- 前記第2のシール部材は、前記ウエハに当接する部分及び前記プローブカードに当接する部分の少なくとも1つが前記第2の空間とは反対側に傾斜していることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のウエハ検査用インターフェース。
- ウエハに形成された半導体デバイスの電気的特性を検査する検査室と、該検査室への前記ウエハの搬出入を行う搬送機構とを備えるウエハ検査装置において、
前記検査室はウエハ検査用インターフェースを有し、
該ウエハ検査用インターフェースは、ウエハに対向する面に多数のプローブが配置されたプローブカードと、該プローブカードの外周を保持する保持部材と、前記ウエハを挟んで前記プローブカードに対向する台状のチャック部材と、前記保持部材及び前記チャック部材のいずれとも当接することによって前記保持部材、前記プローブカード及び前記チャック部材によって囲まれた第1の空間を密封する第1のシール部材と、前記プローブカード及び前記ウエハのいずれとも当接することによって前記プローブカード及び前記ウエハによって囲まれた第2の空間を前記第1の空間から密封する第2のシール部材と、前記第1の空間を減圧する第1の減圧経路と、前記第2の空間を減圧する第2の減圧経路とを備え、前記第2の空間は前記第1の空間に内包され、前記ウエハは前記第2の空間内に配置されることを特徴とするウエハ検査装置。 - 前記チャック部材は、前記ウエハを載置するウエハ載置面と、該ウエハ載置面に開口し、該ウエハ載置面と前記ウエハとの隙間を減圧して前記ウエハを前記ウエハ載置面に吸着させるウエハ吸着経路と、前記ウエハ載置面における前記ウエハ吸着経路の開口位置よりも外側に開口し、大気に連通する大気開放経路とを有することを特徴とする請求項9記載のウエハ検査装置。
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US6373271B1 (en) * | 1999-12-29 | 2002-04-16 | Motorola, Inc. | Semiconductor wafer front side pressure testing system and method therefor |
JP2002110751A (ja) | 2000-10-03 | 2002-04-12 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の検査装置および製造方法 |
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