CN116047247A - 一种探针卡分析仪 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种探针卡分析仪，属于半导体设备领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构，机座位于翻转板下方设置有检测机构，检测机构包括用于与探针接触的传感器组，机座设置有用于控制检测机构沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构，检测机构连接于Z轴位移机构，机座位于翻转板上方设置有第一放大观察件，机座设置有用于供第一放大观察件滑移的调位机构。本申请具有提高探针的检测效率的作用。

Description

一种探针卡分析仪

技术领域

本申请涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种探针卡分析仪。

背景技术

随着半导体技术的不断进步，半导体设备的功能和质量也在逐步提升，半导体技术中较为关键的是晶圆，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆的质量决定了半导体芯片的质量，因此在晶圆生产中需要对晶圆进行检测，探针卡正是用于检测晶圆。

探针卡的针与晶圆电极接触，以进行电学测试，从而筛选出芯片的不良品。探针卡分析仪是探针卡制造过程中的关键仪器，在制作探针卡时，需要检测探针卡的针与针之间的相对位置关系、针尖的直径大小和导电性、针尖压力的检测；另外，探针卡多次扎入晶圆后，探针表面会被磨损，影响探针测试晶圆的准确性。因此为了保持探针的效果，需要对探针卡进行相应的性能检测，检测合格之后才能正常使用。

目前关于探针的检测通常是通过显微镜观察探针外观，即针与针之间的相对位置关系的检测，通过控制传感器的触点与探针相对移动并接触来检测探针性能，即针尖压力和导电性能等数据的检测，由此需要外观检测设备和性能检测设备分别对相应项目进行检测，使得探针卡需要在不同检测设备上安装与拆卸，操作繁琐。

发明内容

为了提高探针的检测效率，本申请提供一种探针卡分析仪。

本申请提供的一种探针卡分析仪采用如下的技术方案：

一种探针卡分析仪，包括机座，所述机座设置有用于安装探针卡的翻转板，所述机座设置有用于使所述翻转板升降的升降机构和用于使所述翻转板旋转的旋转机构，所述机座位于所述翻转板下方设置有检测机构，所述检测机构包括用于与探针接触的传感器组，所述机座设置有用于控制所述检测机构沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构，所述检测机构连接于Z轴位移机构，所述机座位于所述翻转板上方设置有第一放大观察件，所述机座设置有用于供所述第一放大观察件滑移的调位机构。

通过采用上述技术方案，安装探针卡时，探针朝上设置，不仅便于安装，而且可以利用第一放大观察件检查探针在探针卡上的扎针情况，然后升降机构升高翻转板，留出供翻转板旋转的空间，旋转机构旋转翻转板使探针朝下，调位机构使得翻转板的升高和旋转不受第一放大观察件的阻碍，升降机构再将翻转板复位，Z轴位移机构带动传感器组升高并与探针接触，利用传感器组测得探针的性能数据，X轴位移机构和Y轴位移机构带动传感器组对不同的探针检测，从而仅通过一台设备便可以对探针进行多个项目检测，并且通过翻转和升降实现检测项目的快速切换，提高检测效率。

可选的，所述升降机构包括设置于所述机座的升降导轨、滑移式连接于所述升降导轨的升降板以及用于驱动所述升降板滑移的升降驱动件，所述旋转机构连接于所述升降板，所述翻转板连接于所述旋转机构。

通过采用上述技术方案，升降导轨提供导向作用，升降板在升降驱动件的驱动下实现翻转板的升降，留出供翻转板旋转的空间。

可选的，所述旋转机构包括连接于所述升降板的旋转臂和转动连接于所述旋转臂的旋转座，所述翻转板连接于所述旋转座。

通过采用上述技术方案，旋转臂连接于升降板，实现旋转机构随升降板的升降而升降，当有足够的旋转空间时翻转板可以立刻进行旋转，提高切换检测项目的速率，提高检测效率。

可选的，所述旋转臂开设有安装腔，所述旋转座设有转动连接于所述安装腔的转动台，所述旋转臂连接有柔性垫块，所述柔性垫块设有销柱，所述旋转座开设有供所述销柱滑移式连接的滑槽，所述滑槽沿所述旋转座的转动路径设置，所述柔性垫块开设有定位孔，所述旋转座设有卡接于所述定位孔的定位球。

通过采用上述技术方案，转动台与安装腔的转动配合，销柱与滑槽的滑移配合，提高翻转板转动的稳定性，定位球与定位孔的卡接配合可以在翻转板不需要转动时保持翻转板稳定不动，以便进行检测。

可选的，所述旋转臂设有两个且分别连接于所述翻转板的相对两端，所述旋转座背离所述旋转臂的一面设有支撑台，所述支撑台连接于所述翻转板背离探针卡的探针的一面。

通过采用上述技术方案，旋转臂从翻转板的相对两端进行旋转支撑，提高翻转板翻转过程和检测过程的稳定性，支撑台可以在翻转板受力面的背面对翻转板进行支撑，提高检测时探针的稳定性。

可选的，所述检测机构还包括检测安装座，所述传感器组包括安装于所述检测安装座的压力传感器和电导传感器，所述压力传感器的触点和电导传感器的触点均用于与探针接触，所述检测安装座开设有供所述压力传感器的触点和电导传感器的触点伸出的检测孔。

通过采用上述技术方案，压力传感器可以测试探针的力学性能，电导传感器可以测试探针的电流导通能力，配合检测机构沿坐标系X轴和Y轴的移动使相应的传感器对相应的探针进行检测，并且检测安装座可以保护压力传感器和电导传感器，减少探针与压力传感器和电导传感器除触点以外的部位的相互干扰。

可选的，所述检测安装座安装有第二放大观察件，所述第二放大观察件位于所述压力传感器与电导传感器之间，所述检测安装座开设有观察孔，所述第二放大观察件通过所述观察孔观察探针的针尖。

通过采用上述技术方案，在Z轴位移机构的作用下，第二放大观察件可以近距离观察探针的针尖部位，从而更好的判别探针存在的瑕疵。

可选的，所述Y轴位移机构包括沿Y轴滑动的底板，所述Z轴位移机构包括可转动式安装于所述底板的调节丝杠、用于驱动所述调节丝杠转动的Z轴驱动件、螺纹连接于所述调节丝杠的调节移位块、固定于所述底板的调节滑轨、固定于所述调节移位块且滑移式连接于所述调节滑轨的斜面支撑块、固定于所述底板的固定板、沿Z轴方向滑移式连接于所述固定板的升降滑块以及固定于所述升降滑块的斜面升降块，所述斜面升降块的斜面与斜面支撑块的斜面滑移式连接，所述检测机构安装于所述斜面升降块。

通过采用上述技术方案，调节丝杠带动调节移位块移动，实现斜面支撑块的移动，在斜面支撑块以及升降滑块的引导下，斜面升降块升降，实现检测机构沿沿Z轴方向升降。

可选的，所述调位机构包括调位滑轨、滑移式连接于所述调位滑轨的移动块以及连接于所述移动块的连接组件，所述调位滑轨沿平行于所述翻转板转动轴线的方向延伸，所述第一放大观察件与所述连接组件连接。

通过采用上述技术方案，调位滑轨和移动块使得第一放大观察件可以移动，便于观察探针卡上不同部位的探针，且使得翻转板升降和翻转时不会受到第一放大观察件的阻碍。

可选的，所述连接组件包括连接于所述移动块的固定块、穿设且滑移式连接于所述固定块的导向杆、连接于所述导向杆的连接块、连接于所述连接块的升降柱、套设且滑移式连接于所述升降柱的升降筒以及螺纹连接于所述升降筒且抵接于所述升降柱侧壁的锁紧件，所述第一放大观察件与所述升降筒连接。

通过采用上述技术方案，进一步调节第一放大观察件观察探针卡的部位，并调节第一放大观察件与探针卡的距离，以调节观察范围。

综上所述，本申请具有以下有益效果：

1、本申请可以在检测探针时，探针卡受翻转板承托，此时探针朝上设置，利用第一放大观察件检查探针在探针卡上的扎针情况，然后升降机构升高翻转板，留出供翻转板旋转的空间，旋转机构旋转翻转板使探针朝下，调位机构使得翻转板的升高和旋转不受第一放大观察件的阻碍，升降机构再将翻转板复位，Z轴位移机构带动传感器组升高并与探针接触，利用传感器组测得探针的性能数据，X轴位移机构和Y轴位移机构带动传感器组对不同的探针检测，从而仅通过一台设备便可以对探针进行多个项目检测，并且通过翻转和升降实现检测项目的快速切换，提高检测效率。

2、本申请的检测机构设有压力传感器、电导传感器和第二放大观察件，不仅可以对探针的力学性能和导电性能进行检测，还可以进一步近距离观察探针的外观，简化检测步骤，提高检测效率。

附图说明

图1是本申请实施例的立体结构图。

图2是本申请实施例的另一角度的立体结构图。

图3是本申请实施例的旋转臂和旋转座的爆炸结构图。

图4是本申请实施例的旋转臂和旋转座的另一角度的爆炸结构图。

图5是图1中A的局部放大图。

图6是本申请实施例的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构的爆炸结构图。

图7是本申请实施例的Z轴位移机构的剖面结构图。

图8是本申请实施例的检测机构的立体结构图。

附图标记说明：

1、机座；11、底座；12、固定导轨柱；13、横向固定座；14、上显微镜；15、调位机构；151、调位滑轨；152、移动块；153、固定块；154、导向杆；155、连接块；156、升降柱；157、升降筒；158、锁紧螺栓；159、把手；2、翻转板；21、固定环；3、升降机构；31、升降导轨；32、移动导轨板；33、电缸；34、升降板；35、加强座；36、加强板；37、加固板；4、旋转机构；41、连接臂；42、旋转臂；43、旋转座；431、转动台；432、滑槽；433、定位球；44、支撑台；45、柔性垫块；451、安装孔；452、销柱；453、定位孔；5、滑板；51、X轴驱动件；52、X轴丝杠；53、X轴移位块；54、X轴滑轨；55、X轴滑块；6、底板；61、Y轴驱动件；62、Y轴丝杠；63、Y轴移位块；64、Y轴滑轨；65、Y轴滑块；7、Z轴位移机构；71、Z轴驱动件；72、调节丝杠；73、调节移位块；74、斜面支撑块；75、固定板；76、升降滑块；77、斜面升降块；78、竖直滑轨；79、斜面滑轨；710、斜面滑块；8、检测机构；81、检测安装座；811、上座板；812、下座板；813、安装柱；82、检测孔；83、观察孔；84、压力传感器；85、电导传感器；86、下显微镜。

具体实施方式

以下结合附图1-8对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种探针卡分析仪。如图1所示，一种探针卡分析仪包括机座1，机座1内固定有底座11，底座11设置有升降机构3、X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构7，Z轴位移机构7连接有检测机构8，升降机构3连接有旋转机构4，旋转机构4连接有翻转板2，翻转板2位于检测机构8上方，翻转板2用于安装探针卡，检测机构8对探针卡的探针性能进行检测。

翻转板2的中部开设有安装口，安装口的侧壁固定有固定环21，固定环21通过夹具固定探针卡，具体的，探针卡以探针朝上设置的方向安装，便于检测人员在俯身安装探针卡的同时能够看清楚探针的位置，尽量避免在安装的过程中误触探针而导致探针损坏。

机座1的一侧竖直固定安装有固定导轨柱12，固定导轨柱12设置有两个，两个固定导轨柱12的顶部共同固定连接有横向固定座13，横向固定座13的顶面设置有调位机构15，调位机构15连接有第一放大观察件，第一放大观察件具体为上显微镜14，调位机构15可以调节上显微镜14的位置。

调位机构15包括调位滑轨151、移动块152和连接组件，调位滑轨151设置有两条且沿X轴方向延伸，移动块152的两侧分别滑移式连接于两条调位滑轨151，连接组件包括固定块153、导向杆154、连接块155、升降柱156、升降筒157和锁紧件，固定块153固定连接于移动块152，导向杆154穿设且滑移式连接于固定块153，导向杆154设置有两个且沿Y轴方向延伸，连接块155设置有两个，连接块155固定连接于两个导向杆154的同一端，连接块155侧面固定连接有把手159，升降柱156固定连接于靠近底座11的连接块155，升降柱156沿Z轴方向延伸，升降筒157套设且滑移式连接于升降柱156，锁紧件具体为锁紧螺栓158，锁紧螺栓158螺纹连接于升降筒157且末端抵紧升降柱156的侧壁，使升降筒157与升降柱156的相对位置固定，上显微镜14固定连接于升降筒157。

利用上显微镜14的放大作用可以辅助观察探针在探针卡上的扎针情况，检测人员拖动把手159，在调位滑轨151、导向杆154和升降柱156的引导下，上显微镜14可以在三维坐标系上移动，便于观察探针卡上不同部位的探针，并调节第一放大观察件与探针卡的距离，调节观察范围，提高检测的准确性。

如图1和图2所示，升降机构3包括升降导轨31、移动导轨板32、升降板34以及升降驱动件，升降导轨31设置有两个且分别安装于两个固定导轨柱12，移动导轨板32滑移式连接于升降导轨31，升降板34的两侧均与移动导轨板32固定连接；升降驱动件安装于机座1且位于底座11的下方，升降驱动件具体为电缸33，电缸33的输出端与升降板34固定连接，启动电缸33，在升降导轨31的导向作用下，升降板34沿竖直方向滑移，带动翻转板2进行升降，旋转机构4连接于升降板34。

具体的，底座11靠近固定导轨柱12的一侧固定安装有两个加强座35，两个加强座35之间固定连接有加强板36，加强板36固定连接有加固板37，加固板37与电缸33的缸体外侧固定连接，从而增强电缸33安装的牢固程度，提高电缸33驱动升降板34时的稳定性。

如图1所示，旋转机构4包括连接臂41、旋转臂42和旋转座43，连接臂41固定连接于移动导轨板32，旋转臂42固定连接于连接臂41，且旋转臂42朝远离固定导轨柱12的方向延伸，两个固定导轨柱12的旋转臂42对称设置。

如图3和图4所示，旋转臂42远离固定导轨柱12的一端内部设有安装腔，旋转臂42靠近旋转座43的侧面固定有柔性垫块45，柔性垫块45具体为橡胶垫，柔性垫块45与旋转座43相抵接，柔性垫块45的中部开设有与安装腔连通的安装孔451；旋转座43靠近旋转臂42的侧面固定有转动台431，转动台431伸入且转动连接于安装腔内，从而实现翻转板2与旋转臂42的转动连接，手动对翻转板2施力可以带动翻转板2转动。

柔性垫块45靠近旋转座43的一面固定有销柱452，旋转座43开设有供销柱452滑移式连接的滑槽432，滑槽432沿旋转座43的转动路径设置，具体的，滑槽432的设置路径是以转动台431的中心为圆心的半圆，以满足对翻转板2转动180°的限制。

柔性垫块45靠近旋转座43的一面开设有两个定位孔453，两个定位孔453对称于安装孔451的圆心设置，旋转座43固定有定位球433，当翻转板2处于初始的水平状态和处于转动180°后的水平状态时，定位球433卡接于定位孔453，从而提高翻转板2在检测时的稳定性，定位球433呈半球状凸出于旋转座43的侧面，配合柔性垫块45可形变的特性，在对翻转板2施力时，可以带动定位球433脱离定位孔453，实现翻转板2的转动。

如图1和图5所示，旋转座43背离旋转臂42的一面一体成型有支撑台44，翻转板2的相对两端分别固定连接于支撑台44，实现翻转板2的安装，旋转座43转动时，带动翻转板2进行旋转，翻转板2沿X轴方向转动，具体的，翻转板2的转动轴线平行于调位滑轨151的延伸方向。

利用上显微镜14检测完探针后，需要对探针的力学性能以及导电性能进行检测。通过调位机构15将上显微镜14移开，通过升降机构3的升降板34带动翻转板2上升，为翻转板2的旋转留出空间，然后通过旋转座43的转动带动翻转板2旋转180°，再将翻转板2下降至原位，此时探针朝下设置，探针可供翻转板2下方的检测机构8进行力学性能和导电性能的检测，从而仅通过一台设备便可以对探针进行多个项目检测，并且检测项目可快速切换，检测效率高。

具体的，支撑台44连接于翻转板2背离探针卡的探针的一面，使翻转卡与旋转座43的连接面积增大，即当探针朝上设置时，支撑台44在翻转板2的下方，翻转板2的重量由支撑台44承担，提高翻转板2的稳定性，而当探针朝下设置时，检测机构8会与探针接触，对翻转板2产生向上的力，此时支撑台44位于翻转板2的上方，在翻转板2的受力方向上阻止翻转板2移动，进一步保持翻转板2的稳定，从而提高检测时探针卡的稳定性。

如图1和图6所示，X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构7均位于翻转板2的下方，X轴位移机构包括X轴驱动件51、X轴丝杠52、X轴移位块53、X轴滑轨54和滑板5，X轴驱动件51固定安装于底座11，X轴驱动件51具体为伺服电机，X轴丝杠52可转动式安装于底座11，X轴驱动件51的输出端与X轴丝杠52一端固定连接，X轴移位块53套设且螺纹连接于X轴丝杠52，X轴滑轨54与X轴丝杠52平行且固定安装于底座11，X轴滑轨54滑移式连接有X轴滑块55，滑板5的中部固定连接于X轴移位块53，滑板5的两侧固定连接于X轴滑块55，启动X轴驱动件51，驱动X轴丝杠52转动，在X轴滑轨54的引导下，滑板5随X轴移位块53的移动而移动，以滑板5移动方向为X轴方向。

Y轴位移机构安装于滑板5，Y轴位移机构包括Y轴驱动件61、Y轴丝杠62、Y轴移位块63、Y轴滑轨64和底板6，Y轴驱动件61固定安装于滑板5，Y轴驱动件61具体为伺服电机，Y轴丝杠62可转动式安装于滑板5，Y轴驱动件61的输出端与Y轴丝杠62一端固定连接，Y轴移位块63套设且螺纹连接于Y轴丝杠62，Y轴滑轨64与Y轴丝杠62平行且固定安装于滑板5，Y轴滑轨64滑移式连接有Y轴滑块65，底板6的中部固定连接于Y轴移位块63，底板6的两侧固定连接于Y轴滑块65，启动Y轴驱动件61，驱动Y轴丝杠62转动，在Y轴滑轨64的引导下，底板6随Y轴移位块63的移动而移动，以底板6移动方向为Y轴方向，X轴方向与Y轴方向在水平面上相互垂直。

如图6和图7所示，Z轴位移机构7安装于底板6，Z轴位移机构7包括Z轴驱动件71、调节丝杠72、调节移位块73、调节滑轨、斜面支撑块74、固定板75、升降滑块76和斜面升降块77，固定板75固定连接于底板6的一端，Z轴驱动件71固定安装于固定板75，Z轴驱动件71具体为伺服电机，调节丝杠72可转动式安装于底板6，Z轴驱动件71的输出端穿设于固定板75且与调节丝杠72一端固定连接，调节移位块73套设且螺纹连接于调节丝杠72，调节滑轨与调节丝杠72平行且固定安装于底板6，调节滑轨滑移式连接有调节移位块73，斜面支撑块74的底面中部固定连接于调节移位块73，斜面支撑块74的底面两侧固定连接于调节移位块73，启动Z轴驱动件71，驱动调节丝杠72转动，在调节滑轨的引导下，斜面支撑块74随调节移位块73的移动而移动，斜面支撑块74沿X轴方向移动。

固定板75固定安装有竖直滑轨78，升降滑块76沿Z轴方向滑移式连接于竖直滑轨78，斜面升降块77与升降滑块76固定连接，斜面升降块77用于与检测机构8连接，斜面升降块77的斜面安装有斜面滑轨79，斜面支撑块74的斜面安装有斜面滑块710，斜面滑块710与斜面滑轨79滑移式连接，使得斜面升降块77的斜面与斜面支撑块74的斜面滑移式连接，当斜面支撑块74移动时，在斜面配合作用以及升降滑块76的导向作用下，斜面升降块77移动，以斜面升降块77移动方向为Z轴方向，且Z轴方向为竖直方向，从而实现斜面升降块77的升降，带动检测机构8靠近或远离探针卡。

如图8所示，检测机构8包括检测安装座81和传感器组，检测安装座81包括上座板811、下座板812以及安装柱813，下座板812固定连接于斜面支撑块74，安装柱813固定连接于上座板811与下座板812之间，从而在检测安装座81内形成供传感器组安装的空间。

传感器组包括压力传感器84和电导传感器85，压力传感器84和电导传感器85均安装于上座板811面向下座板812的一侧，上座板811开设有两个检测孔82，两个检测孔82分别供压力传感器84的触点和电导传感器85的触点伸出，使得触点可以与探针接触，压力传感器84用于检测探针的力学性能，电导传感器85用于检测探针的电流导通性能，并且上座板811可以保护压力传感器84和电导传感器85，减少压力传感器84和电导传感器85除触点以外的部位与探针发生干扰的情况。

如图1和图8所示，检测时，翻转板2上的探针朝下，Z轴位移机构7带动检测安装座81竖直向上移动，实现探针与传感器组的相对运动，使得压力传感器84的触点或者电导传感器85的触点与探针接触，完成检测，并通过检测安装座81在X轴方向和Y轴方向上的移动，对同一根探针进行不同性能的检测，或者对探针卡上不同位置的探针进行检测。

下座板812固定安装有第二放大观察件，第二放大观察件具体为下显微镜86，下显微镜86位于压力传感器84与电导传感器85之间，上座板811开设有观察孔83，观察孔83位于上座板811的中部且位于两个检测孔82之间，且观察孔83的圆心与两个检测孔82的圆心在同一直线上。当传感器组对探针检测时，可以通过检测安装座81在X轴方向和Y轴方向上的移动，使观察孔83对准探针，下显微镜86通过观察孔83近距离观察探针的针尖，从而更好的判别探针存在的瑕疵。

本申请实施例一种探针卡分析仪的实施原理为：

将探针卡固定安装于固定环21，且探针朝上，利用上显微镜14检查探针在探针卡上的扎针情况，检查完毕后移开上显微镜14，启动电缸33控制升降板34上升，带动翻转板2上升，然后控制翻转板2旋转180°，使探针朝下，再启动电缸33控制翻转板2下降至原位；在X轴位移机构和Y轴位移机构的带动下，下显微镜86、压力传感器84或者电导传感器85对准相应的探针，下显微镜86检测探针针尖部位的外观，然后在Z轴位移机构7的带动下，压力传感器84的触点或者电导传感器85的触点与探针接触，测得探针的力学性能或者导电性能。

Claims (10)

1.一种探针卡分析仪，包括机座(1)，其特征在于：所述机座(1)设置有用于安装探针卡的翻转板(2)，所述机座(1)设置有用于使所述翻转板(2)升降的升降机构(3)和用于驱动所述翻转板(2)旋转的旋转机构(4)，所述机座(1)位于所述翻转板(2)下方设置有检测机构(8)，所述检测机构(8)包括用于与探针接触的传感器组，所述机座(1)设置有用于控制所述检测机构(8)沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构(7)，所述检测机构(8)连接于Z轴位移机构(7)，所述机座(1)位于所述翻转板(2)上方设置有第一放大观察件，所述机座(1)设置有用于供所述第一放大观察件滑移的调位机构(15)。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述升降机构(3)包括设置于所述机座(1)的升降导轨(31)、滑移式连接于所述升降导轨(31)的升降板(34)以及用于驱动所述升降板(34)滑移的升降驱动件，所述旋转机构(4)连接于所述升降板(34)，所述翻转板(2)连接于所述旋转机构(4)。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述旋转机构(4)包括连接于所述升降板(34)的旋转臂(42)和转动连接于所述旋转臂(42)的旋转座(43)，所述翻转板(2)连接于所述旋转座(43)。

4.根据权利要求3所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述旋转臂(42)开设有安装腔，所述旋转座(43)设有转动连接于所述安装腔的转动台(431)，所述旋转臂(42)连接有柔性垫块(45)，所述柔性垫块(45)设有销柱(452)，所述旋转座(43)开设有供所述销柱(452)滑移式连接的滑槽(432)，所述滑槽(432)沿所述旋转座(43)的转动路径设置，所述柔性垫块(45)开设有定位孔(453)，所述旋转座(43)设有卡接于所述定位孔(453)的定位球(433)。

5.根据权利要求3所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述旋转臂(42)设有两个且分别连接于所述翻转板(2)的相对两端，所述旋转座(43)背离所述旋转臂(42)的一面设有支撑台(44)，所述支撑台(44)连接于所述翻转板(2)背离探针卡的探针的一面。

6.根据权利要求1所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述检测机构(8)还包括检测安装座(81)，所述传感器组包括安装于所述检测安装座(81)的压力传感器(84)和电导传感器(85)，所述压力传感器(84)的触点和电导传感器(85)的触点均用于与探针接触，所述检测安装座(81)开设有供所述压力传感器(84)的触点和电导传感器(85)的触点伸出的检测孔(82)。

7.根据权利要求6所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述检测安装座(81)安装有第二放大观察件，所述第二放大观察件位于所述压力传感器(84)与电导传感器(85)之间，所述检测安装座(81)开设有观察孔(83)，所述第二放大观察件通过所述观察孔(83)观察探针的针尖。

8.根据权利要求1所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述Y轴位移机构包括沿Y轴滑动的底板(6)，所述Z轴位移机构(7)包括可转动式安装于所述底板(6)的调节丝杠(72)、用于驱动所述调节丝杠(72)转动的Z轴驱动件(71)、螺纹连接于所述调节丝杠(72)的调节移位块(73)、固定于所述底板(6)的调节滑轨、固定于所述调节移位块(73)且滑移式连接于所述调节滑轨的斜面支撑块(74)、固定于所述底板(6)的固定板(75)、沿Z轴方向滑移式连接于所述固定板(75)的升降滑块(76)以及固定于所述升降滑块(76)的斜面升降块(77)，所述斜面升降块(77)的斜面与斜面支撑块(74)的斜面滑移式连接，所述检测机构(8)安装于所述斜面升降块(77)。

9.根据权利要求1所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述调位机构(15)包括调位滑轨(151)、滑移式连接于所述调位滑轨(151)的移动块(152)以及连接于所述移动块(152)的连接组件，所述调位滑轨(151)沿平行于所述翻转板(2)转动轴线的方向延伸，所述第一放大观察件与所述连接组件连接。

10.根据权利要求9所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述连接组件包括连接于所述移动块(152)的固定块(153)、穿设且滑移式连接于所述固定块(153)的导向杆(154)、连接于所述导向杆(154)的连接块(155)、连接于所述连接块(155)的升降柱(156)、套设且滑移式连接于所述升降柱(156)的升降筒(157)以及螺纹连接于所述升降筒(157)且抵接于所述升降柱(156)侧壁的锁紧件，所述第一放大观察件与所述升降筒(157)连接。

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