JPH0330351A - ウエハープローブ装置用テストプローブマニピュレータ - Google Patents
ウエハープローブ装置用テストプローブマニピュレータInfo
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- JPH0330351A JPH0330351A JP2150091A JP15009190A JPH0330351A JP H0330351 A JPH0330351 A JP H0330351A JP 2150091 A JP2150091 A JP 2150091A JP 15009190 A JP15009190 A JP 15009190A JP H0330351 A JPH0330351 A JP H0330351A
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- spindle
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、ウェハ−プローブ装置用テストプローブマニ
ピュレータに関す名。
ピュレータに関す名。
〔従来技術］
半導体技術において、ウェハー上の装置のパラメータは
、軸の位置ｘＳｙＳｚにおいてマニピュレータの異なっ
た側部に設けられた調整スピンドルによってテスト箇所
に位置されたマニピュレータを備えた適切なホルダーを
介してそ、れぞれ結合されたテストプローブによって決
定される。
、軸の位置ｘＳｙＳｚにおいてマニピュレータの異なっ
た側部に設けられた調整スピンドルによってテスト箇所
に位置されたマニピュレータを備えた適切なホルダーを
介してそ、れぞれ結合されたテストプローブによって決
定される。
［発明の解決すべき課題］
市販されている装置において、個々の軸は設：１理由の
ためしばしば互いに完全には独立していない。もし、例
えば対応する調整スピンドルがＸ軸の方向で調整される
ならば、テストプローブはまたＹ或いはＺの方向でμの
範囲内で移動するであろう。さらに、多くの装置におい
てテストプローブは調整中に弧を描き、それは現在使用
されているきわめて微細な幾何学的構造の故に重大な不
利点である。さらにプローブ装置の３つの異なった側部
における調整スピンドルの配置は、結果としてより大き
な空間を要し、もし複数のマニピュレータが平行に並べ
て配置されるならば、マニピュレータの動作は複雑にな
る。
ためしばしば互いに完全には独立していない。もし、例
えば対応する調整スピンドルがＸ軸の方向で調整される
ならば、テストプローブはまたＹ或いはＺの方向でμの
範囲内で移動するであろう。さらに、多くの装置におい
てテストプローブは調整中に弧を描き、それは現在使用
されているきわめて微細な幾何学的構造の故に重大な不
利点である。さらにプローブ装置の３つの異なった側部
における調整スピンドルの配置は、結果としてより大き
な空間を要し、もし複数のマニピュレータが平行に並べ
て配置されるならば、マニピュレータの動作は複雑にな
る。
本発明の目的は、より少ない空間を占有し、より動作し
易く、従来技術の装置よりも正確に動作するテストプロ
ーブマニピュレータを提供することである。
易く、従来技術の装置よりも正確に動作するテストプロ
ーブマニピュレータを提供することである。
［課題解決のための手段］
それに取付けられており、Ｘ軸の方向に移動でき、テス
トプローブホルダーのための取付は部１８が取付けられ
ている直交方向スライド１７を支持する垂直スライド１
８に移動できるように結合された複合台１５を何するベ
ース１と、 マニピュレータの一方の側面に配置され、Ｘ軸の方向で
互いに平行に延在する第１、第２、および第３の調整ス
ピンドル５０．５１５２とを具備し、第１の調整スピン
ドル５０は、ナツトホルダ・−９に取付けられ複合台１
５内の孔７の一方の端部部分７２中に延在するスピンド
ルナツト６０中に受けられており、前記孔７の中央部分
７１の直径は２個の端部部分７２．７３の直径よりも小
さく、調整スピンドル５０は推力ボルト１００に向いた
孔７の中央部分７１の端部に固定された接触球９０に推
力ボルト１００を介して作用し、一方ベース１に取付け
られた第１のピンホルダー１４０において一端に据付け
られたばねガイドピン１２０が孔７の中に延在して第１
のピンホルダー１４０と第１のピンホルダー１４０に向
いた孔７の直径の拡大によって形成されたばねの受け面
ｌｌとの間に位置する圧縮ばね１３０を支持し、第２の
調整スピンドルは、複合台１５内に設けられたスピンド
ルナツトＢ１において受けられ、カバー板に枢着されて
垂直スライド１６に取付けられ複合台１５の溝２４内で
移動でき、駆動ピン２５にボール軸受２５１を介して作
用する第１の従輪２６０に固定された接触球９１に、推
力ボルト１０１を介して作用し、第２のピンホルダー１
４１と駆動ピン２５との間に位置するばねがイドピン１
２１上の圧縮ばね１３１を備え、 第３の調整スピンドル５２は、垂直スライド１６内のス
ピンドルナツト６２において受けられており、垂直スラ
イド１６に枢着されて直線ピン１７２によって直交方向
スライド１７の溝の中に固定されるボール軸受１７１に
作用する第２の従輪２６１に作用し、直交方向スライド
１７はＺ軸の方向において一方の上部に他方が配置され
、垂直スライド１６に取付けられた第３のピンホルダー
１４２にその一端が固定されたばねガイドピン１２２．
１２３の周囲に配置された圧縮ばね１３２．１３３をそ
れぞれ含む間隔をおいて配置された２個の孔１６０ 、
ｔｅｔを有していることを特徴とする。
トプローブホルダーのための取付は部１８が取付けられ
ている直交方向スライド１７を支持する垂直スライド１
８に移動できるように結合された複合台１５を何するベ
ース１と、 マニピュレータの一方の側面に配置され、Ｘ軸の方向で
互いに平行に延在する第１、第２、および第３の調整ス
ピンドル５０．５１５２とを具備し、第１の調整スピン
ドル５０は、ナツトホルダ・−９に取付けられ複合台１
５内の孔７の一方の端部部分７２中に延在するスピンド
ルナツト６０中に受けられており、前記孔７の中央部分
７１の直径は２個の端部部分７２．７３の直径よりも小
さく、調整スピンドル５０は推力ボルト１００に向いた
孔７の中央部分７１の端部に固定された接触球９０に推
力ボルト１００を介して作用し、一方ベース１に取付け
られた第１のピンホルダー１４０において一端に据付け
られたばねガイドピン１２０が孔７の中に延在して第１
のピンホルダー１４０と第１のピンホルダー１４０に向
いた孔７の直径の拡大によって形成されたばねの受け面
ｌｌとの間に位置する圧縮ばね１３０を支持し、第２の
調整スピンドルは、複合台１５内に設けられたスピンド
ルナツトＢ１において受けられ、カバー板に枢着されて
垂直スライド１６に取付けられ複合台１５の溝２４内で
移動でき、駆動ピン２５にボール軸受２５１を介して作
用する第１の従輪２６０に固定された接触球９１に、推
力ボルト１０１を介して作用し、第２のピンホルダー１
４１と駆動ピン２５との間に位置するばねがイドピン１
２１上の圧縮ばね１３１を備え、 第３の調整スピンドル５２は、垂直スライド１６内のス
ピンドルナツト６２において受けられており、垂直スラ
イド１６に枢着されて直線ピン１７２によって直交方向
スライド１７の溝の中に固定されるボール軸受１７１に
作用する第２の従輪２６１に作用し、直交方向スライド
１７はＺ軸の方向において一方の上部に他方が配置され
、垂直スライド１６に取付けられた第３のピンホルダー
１４２にその一端が固定されたばねガイドピン１２２．
１２３の周囲に配置された圧縮ばね１３２．１３３をそ
れぞれ含む間隔をおいて配置された２個の孔１６０ 、
ｔｅｔを有していることを特徴とする。
［実施例］
第１図の側面図は、部分的に断面で示され切開されてい
る。ベース１の底部上で、少なくとも２個の保持磁石２
１．２２は、例えばテスト台のような支持体にマニピュ
レータを取り付けるために同一下面にはめ込まれる。ベ
ース１の中空空間３１に２個のボール軸受４を設けられ
た偏心シャフト３が収容され、このｌ１ｌｉ心シヤフト
３を回動させる押し出シレバー２７は、マニピュレータ
を分離するために作用する。ベース１の一方の幅の狭い
側面（第１図の左側の側面）には、ナツトホルダーが取
り付けられており、それはスピンドルナツト６０の一端
を保持し、このスピンドルナツト６Ｄの自由端部６０１
は複合台１５内の孔７の拡大した端部部分７２の中へ延
在し、この複合台１５は調整可能なありつぎガイドを介
してベース１に結合している。第１の調整スピンドル５
０はスピンドルナツト６０に差し込まれている。その回
転ノブ５００と反ス・ｌ側の端部においてそれは、孔７
の幅の狭い中央部分７１に固定された接触球９０に接触
した硬化した推力ボルト１００を支持する。ベース１の
他方の幅の狭い側面には、ばねガイドピン１２０の一端
が固定されるホルダー１４０が取り付けられている。ば
ねガイドピン１２０は、ホルダー１４０に向いている孔
７の第２の拡大した端部部分７３の中に延在する。ばね
ガイドピン１２０は、その上に滑らせた圧縮ばね１３０
を何し、それはホルダー１４０と幅の狭い中央部分７１
から端部部分７３への変化するばねの受け面１１との間
に延在する。調整スピンドル５０が回転するとき、もし
複合台１５がマニピュレータの動作中にＸ軸上（第１図
の右右方向）で前後に動くならば、ばねがイドピンが中
央部分７１に挿脱できるように、中央部分７１の直径は
ばねガイドピン１２０のそれよりもわずかに大きい。
る。ベース１の底部上で、少なくとも２個の保持磁石２
１．２２は、例えばテスト台のような支持体にマニピュ
レータを取り付けるために同一下面にはめ込まれる。ベ
ース１の中空空間３１に２個のボール軸受４を設けられ
た偏心シャフト３が収容され、このｌ１ｌｉ心シヤフト
３を回動させる押し出シレバー２７は、マニピュレータ
を分離するために作用する。ベース１の一方の幅の狭い
側面（第１図の左側の側面）には、ナツトホルダーが取
り付けられており、それはスピンドルナツト６０の一端
を保持し、このスピンドルナツト６Ｄの自由端部６０１
は複合台１５内の孔７の拡大した端部部分７２の中へ延
在し、この複合台１５は調整可能なありつぎガイドを介
してベース１に結合している。第１の調整スピンドル５
０はスピンドルナツト６０に差し込まれている。その回
転ノブ５００と反ス・ｌ側の端部においてそれは、孔７
の幅の狭い中央部分７１に固定された接触球９０に接触
した硬化した推力ボルト１００を支持する。ベース１の
他方の幅の狭い側面には、ばねガイドピン１２０の一端
が固定されるホルダー１４０が取り付けられている。ば
ねガイドピン１２０は、ホルダー１４０に向いている孔
７の第２の拡大した端部部分７３の中に延在する。ばね
ガイドピン１２０は、その上に滑らせた圧縮ばね１３０
を何し、それはホルダー１４０と幅の狭い中央部分７１
から端部部分７３への変化するばねの受け面１１との間
に延在する。調整スピンドル５０が回転するとき、もし
複合台１５がマニピュレータの動作中にＸ軸上（第１図
の右右方向）で前後に動くならば、ばねがイドピンが中
央部分７１に挿脱できるように、中央部分７１の直径は
ばねガイドピン１２０のそれよりもわずかに大きい。
第２の調整スピンドル５１は、複合台１５内に設けられ
た第２のスピンドルナツトＢｌにねじ込まれている。回
転ノブ５０１と反対側の端部には、硬化した推力ボルト
１０１が設けられている。調整スピンドル５１の時計回
りの回転によって、推力ボルト１０１はカバー板１５１
３に回動できるように設置された従輪２ＧＯに固定され
た接触球９１に、圧力を働かせる。枢着された従輪２６
０は、駆動ピン２５に設けられたボール軸受２５１と接
触する。駆動ピンは複合台１５の溝２４内で移動可能で
あり、ピンホルダー１４１内に設置されたばねガイドピ
ン１２１の上を滑り、かつこのピン１２１によって支持
される圧縮ばね１３１によって作用される。
た第２のスピンドルナツトＢｌにねじ込まれている。回
転ノブ５０１と反対側の端部には、硬化した推力ボルト
１０１が設けられている。調整スピンドル５１の時計回
りの回転によって、推力ボルト１０１はカバー板１５１
３に回動できるように設置された従輪２ＧＯに固定され
た接触球９１に、圧力を働かせる。枢着された従輪２６
０は、駆動ピン２５に設けられたボール軸受２５１と接
触する。駆動ピンは複合台１５の溝２４内で移動可能で
あり、ピンホルダー１４１内に設置されたばねガイドピ
ン１２１の上を滑り、かつこのピン１２１によって支持
される圧縮ばね１３１によって作用される。
上述された部品の共同作用を通して、駆動ピン２５に連
結された垂直スライド１６はばね１３１の圧力に抗して
上方へ移動する。調整スピンドル５１を反時計回りに回
転させると、圧縮ばね１３１が垂直スライド１６を下方
に押し下げる。
結された垂直スライド１６はばね１３１の圧力に抗して
上方へ移動する。調整スピンドル５１を反時計回りに回
転させると、圧縮ばね１３１が垂直スライド１６を下方
に押し下げる。
垂直スライド１６は、調整可能なありつぎガイドを介し
て複合台１５に滑動できるように連結されている。それ
は、また調整可能なありつぎガイドを介して動くことが
できる直交方向スライド１７を支持し、このスライド１
７は例えばねじを切った孔１９の中にねじ、込まれるね
じによって固定されるテストプローブホルダーがそれの
前方に取り付けられたテストプローブホルダー取付は部
１８を何する。
て複合台１５に滑動できるように連結されている。それ
は、また調整可能なありつぎガイドを介して動くことが
できる直交方向スライド１７を支持し、このスライド１
７は例えばねじを切った孔１９の中にねじ、込まれるね
じによって固定されるテストプローブホルダーがそれの
前方に取り付けられたテストプローブホルダー取付は部
１８を何する。
垂直スライド１６内の調整可能なありつぎガイドと直交
方向スライド１７の孔１６０．１６１の両者が見えるよ
うに、垂直スライド１６の側面（第１図の正面）に取り
付けられたピンホルダー１４２は取外された状態で第１
図に示されている。
方向スライド１７の孔１６０．１６１の両者が見えるよ
うに、垂直スライド１６の側面（第１図の正面）に取り
付けられたピンホルダー１４２は取外された状態で第１
図に示されている。
第２図は第１図の線Ａ−，’Ｍに沿った断面図である。
それは、偏心シャフト３へ固定され、停止ピン２８に当
接し、テスト台からマニピュレータを分離するために作
用する押し出しレバー２７を示す。
接し、テスト台からマニピュレータを分離するために作
用する押し出しレバー２７を示す。
断面図はまた、互いに関連する調整スピンドル５０．５
１．５２の位置を再度示している。それはまた、径幅２
６０が枢軸ねじ２９を介してカバー板１５６に枢着され
ている状態を示す。垂直スライド１６に一端が固定され
、ボール軸受２５１内に差し込まれた駆動ピン２５は、
溝２４内で動くことができる。
１．５２の位置を再度示している。それはまた、径幅２
６０が枢軸ねじ２９を介してカバー板１５６に枢着され
ている状態を示す。垂直スライド１６に一端が固定され
、ボール軸受２５１内に差し込まれた駆動ピン２５は、
溝２４内で動くことができる。
さらに第２図は、回転ノブ５０２を備えた第３の、２！
整スピンドル５２が、垂直スライドＩＢにスピンドルナ
ツト６２を介して枢着された第２の径幅２８１上に作用
することを示す。枢軸上で旋回する径幅２６１は、直線
ピン１７２によって直交方向スライド１７の溝の中に固
定されたボール軸受１７１に作用する。
整スピンドル５２が、垂直スライドＩＢにスピンドルナ
ツト６２を介して枢着された第２の径幅２８１上に作用
することを示す。枢軸上で旋回する径幅２６１は、直線
ピン１７２によって直交方向スライド１７の溝の中に固
定されたボール軸受１７１に作用する。
調整スピンドル５２の時計回りの回転は、直交方向スラ
イド１７をばねの力に抗して左に（第２図で下方に）動
かす。：Ａ！ｌスピンドル５２の反時計回りの回転によ
り、ばねは直交方向スライド１７を右に移動させる。
イド１７をばねの力に抗して左に（第２図で下方に）動
かす。：Ａ！ｌスピンドル５２の反時計回りの回転によ
り、ばねは直交方向スライド１７を右に移動させる。
第１図に関係して示されるように、直交方向スライド１
７はそれぞれ圧縮ばね１３２．１３３を含む２（１，ｔ
ｆの孔１ｆ３（１１６１を有する。これらのばねは、一
端がそれぞれの孔の底に当接し、他端がピンホルダー１
４２に接している。第２図の断面図では圧縮ばね１３２
およびばねがイドピン１２２のみが示されているが、ピ
ンホルダー１４２においては、２本のばねがイドピンが
一端を固定されている。直交方向スライド１７には、テ
ストプローブホルダーを適所に設けるためのクランプね
じのためのねじ溝の付いた孔１９を備えた取付は部１８
が取付けられている。
７はそれぞれ圧縮ばね１３２．１３３を含む２（１，ｔ
ｆの孔１ｆ３（１１６１を有する。これらのばねは、一
端がそれぞれの孔の底に当接し、他端がピンホルダー１
４２に接している。第２図の断面図では圧縮ばね１３２
およびばねがイドピン１２２のみが示されているが、ピ
ンホルダー１４２においては、２本のばねがイドピンが
一端を固定されている。直交方向スライド１７には、テ
ストプローブホルダーを適所に設けるためのクランプね
じのためのねじ溝の付いた孔１９を備えた取付は部１８
が取付けられている。
第３図は、第１図に示された本発明の実施例の左側の幅
の狭い側面を示している。テストプローブホルダーのた
めの取付は部１８およびテスト台から装置を分離するた
めの、押し出しレバー２７が示されている。押し出しレ
バー２７は、分離中に支持体上のボール軸受４を介して
圧力を働かせる偏心シャフト３に固定される。押し出し
レバーと反対側の端部において、偏心シャフト３はクラ
ンプ板３１を介してベース１に固定されている。
の狭い側面を示している。テストプローブホルダーのた
めの取付は部１８およびテスト台から装置を分離するた
めの、押し出しレバー２７が示されている。押し出しレ
バー２７は、分離中に支持体上のボール軸受４を介して
圧力を働かせる偏心シャフト３に固定される。押し出し
レバーと反対側の端部において、偏心シャフト３はクラ
ンプ板３１を介してベース１に固定されている。
第３図はさらに、ばねガイドピン１２２．１２１および
ばね１３２．１３３を含む２つの孔１８０ 、１６１を
示す。
ばね１３２．１３３を含む２つの孔１８０ 、１６１を
示す。
第３図はさらに、ばねガイドピン１２１がピンホルダー
１４１に取付けられる方法およびばね１３１がこのホル
ダーに接して位置される方法を示している。
１４１に取付けられる方法およびばね１３１がこのホル
ダーに接して位置される方法を示している。
記載された実施例において、マニピュレータは２個或い
は３個の磁石によって支持体に取付けられている。真空
による取付けもまた可能である。
は３個の磁石によって支持体に取付けられている。真空
による取付けもまた可能である。
このために、真空を既知の方法で供給し得る中央の孔と
通ずる孔をベース内に設けなければならない。マニピュ
レータが支持体上で浮いており容易に持ち上げられるよ
うに、適切なバルブを介して真空は圧縮空気に切換えら
れる。
通ずる孔をベース内に設けなければならない。マニピュ
レータが支持体上で浮いており容易に持ち上げられるよ
うに、適切なバルブを介して真空は圧縮空気に切換えら
れる。
本発明の利点は、問題の解決方法そのもの、すなわち小
さな空間を要しかつ動作し易いテストプローブマニピュ
レータを改善すること、および３本の軸はすべて互いに
独立した線状運動を行うということにある。さらに、調
整の正確さは通常の装置に比べて改善され、テスト台上
の接置およびテスト台からの移動が容易である。
さな空間を要しかつ動作し易いテストプローブマニピュ
レータを改善すること、および３本の軸はすべて互いに
独立した線状運動を行うということにある。さらに、調
整の正確さは通常の装置に比べて改善され、テスト台上
の接置およびテスト台からの移動が容易である。
第１図は、本発明にしたがったテストプローブマニピュ
レータの部分的に展開し、および断面で示された側面図
である。 第２図は、第１図の線Ａ−Ａ−に沿った断面図である。 第３図は、テストプローブホルダーのための取付は部を
備えたテストプローブマニピュレータの１つの幅の狭い
側面の正面図である。 １・・・ベース、３・・・偏心シャフト、４．１７１，
２５ト・・ボール軸受、７，１８０．１６１・・・孔、
９・・・ナツトホルダ１１・・・ばねの受け面、１５・
・・複合台、１６・・・垂直スライド、１７・・・直交
方向スライド、１８・・・取付は部、２１．２２・・・
保持磁石、２４・・・溝、２５・・・駆動ピン、２７・
・・押し出しレバー、５０，５１．５２・・・調整スピ
ンドル、６０゜８１．６２・・・スピンドルナツト、７
１・・・中央部分、７２゜７３・・・拡大した端部部分
、９０．９１・・・接触球、１００゜１０１・・・推力
ボルト、１２０．１２１．１２２．１２３・・・ばねガ
イドピン、ｉａｏ、ｉａｔ・・・圧縮ばね、 １３２，
１３３・・・ばね、１４０．１４２・・・ホルダー
１４１・・・ピンホルダー １７２直線ピン、２６０
，２０１・・・機幅。 出願代理人
レータの部分的に展開し、および断面で示された側面図
である。 第２図は、第１図の線Ａ−Ａ−に沿った断面図である。 第３図は、テストプローブホルダーのための取付は部を
備えたテストプローブマニピュレータの１つの幅の狭い
側面の正面図である。 １・・・ベース、３・・・偏心シャフト、４．１７１，
２５ト・・ボール軸受、７，１８０．１６１・・・孔、
９・・・ナツトホルダ１１・・・ばねの受け面、１５・
・・複合台、１６・・・垂直スライド、１７・・・直交
方向スライド、１８・・・取付は部、２１．２２・・・
保持磁石、２４・・・溝、２５・・・駆動ピン、２７・
・・押し出しレバー、５０，５１．５２・・・調整スピ
ンドル、６０゜８１．６２・・・スピンドルナツト、７
１・・・中央部分、７２゜７３・・・拡大した端部部分
、９０．９１・・・接触球、１００゜１０１・・・推力
ボルト、１２０．１２１．１２２．１２３・・・ばねガ
イドピン、ｉａｏ、ｉａｔ・・・圧縮ばね、 １３２，
１３３・・・ばね、１４０．１４２・・・ホルダー
１４１・・・ピンホルダー １７２直線ピン、２６０
，２０１・・・機幅。 出願代理人
Claims (5)
- （１）それに取付けられており、Ｘ軸の方向に移動でき
、テストプローブホルダーのための取付け部１８が取付
けられている直交方向スライド１７を支持する垂直スラ
イド１６に移動できるように結合された複合台１５を有
するベース１と、 マニピュレータの一方の側面に配置され、Ｘ軸の方向で
互いに平行に延在する第１、第２、および第３の調整ス
ピンドル５０、５１、５２とを具備し、第１の調整スピ
ンドル５０は、ナットホルダー９に取付けられ複合台１
５内の孔７の一方の端部部分７２中に延在するスピンド
ルナット６０中に受けられており、前記孔７の中央部分
７１の直径は２個の端部部分７２、７３の直径よりも小
さく、調整スピンドル５０は推力ボルト１００に向いた
孔７の中央部分７１の端部に固定された接触球９０に推
力ボルト１００を介して作用し、一方ベース１に取付け
られた第１のピンホルダー１４０において一端に据付け
られたばねガイドピン１２０が孔７の中に延在して第１
のピンホルダー１４０と第１のピンホルダー１４０に向
いた孔７の直径の拡大によって形成されたばねの受け面
１１との間に位置する圧縮ばね１３０を支持し、第２の
調整スピンドルは、複合台１５内に設けられたスピンド
ルナット６１において受けられ、カバー板に枢着されて
垂直スライド１６に取付けられ複合台１５の溝２４内で
移動でき、駆動ピン２５にボール軸受２５１を介して作
用する第１の従輪２６０に固定された接触球９１に、推
力ボルト１０１を介して作用し、第２のピンホルダー１
４１と駆動ピン２５との間に位置するばねガイドピン１
２１上の圧縮ばね１３１を備え、 第３の調整スピンドル５２は、垂直スライド１６内のス
ピンドルナット６２において受けられており、垂直スラ
イド１６に枢着されて直線ピン１７２によって直交方向
スライド１７の溝の中に固定されるボール軸受１７１に
作用する第２の従輪２６１に作用し、直交方向スライド
１７はＺ軸の方向において一方の上部に他方が配置され
、垂直スライド１６に取付けられた第３のピンホルダー
１４２にその一端が固定されたばねガイドピン１２２、
１２３の周囲に配置された圧縮ばね１３２、１３３をそ
れぞれ含む間隔をおいて配置された２個の孔１６０、１
６１を有していることを特徴とする、ウェハ−プローブ
装置用テストプローブマニピュレータ。 - （２）ベース１が少なくとも２個の支持磁石２１、２２
、および２個のボール軸受４によって回転できるように
設けられた偏心シャフト３を含むことを特徴とする請求
項１記載のテストプローブマニピュレータ。 - （３）調整スピンドルが手動或いはモータによって動作
され得ることを特徴とする請求項１或いは２記載のテス
トプローブマニピュレータ。 - （４）複合台１５、垂直スライド１６、および直交方向
スライド１７がありつぎガイドを介して相互に連結され
ていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項
記載のテストプローブマニピュレータ。 - （５）真空によってテスト台に取付けられることを特徴
とする請求項１、３或いは４のいずれか１項記載のテス
トプローブマニピュレータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP89110553A EP0402490B1 (de) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Messspitzen-Manipulator für Wafermessgeräte |
| EP89110553.8 | 1989-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0330351A true JPH0330351A (ja) | 1991-02-08 |
Family
ID=8201486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2150091A Pending JPH0330351A (ja) | 1989-06-10 | 1990-06-11 | ウエハープローブ装置用テストプローブマニピュレータ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5014001A (ja) |
| EP (1) | EP0402490B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0330351A (ja) |
| DE (1) | DE58904442D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011007714A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Yasuhiro Yamada | 半導体検査測定装置 |
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| JPH0629734Y2 (ja) * | 1988-04-20 | 1994-08-10 | 株式会社成茂科学器械研究所 | 硝子電極等の微動操作器 |
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- 1989-06-10 DE DE8989110553T patent/DE58904442D1/de not_active Expired - Fee Related
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1990
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- 1990-06-11 JP JP2150091A patent/JPH0330351A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011007714A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Yasuhiro Yamada | 半導体検査測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0402490A1 (de) | 1990-12-19 |
| EP0402490B1 (de) | 1993-05-19 |
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| DE58904442D1 (de) | 1993-06-24 |
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