CN105510797B - 检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供检查装置，检查装置具备：移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸基板的装卸位置之间移动；按压部，其从处于检查位置的移动部的上侧下降至下降位置，将基板按压至移动部；定位部，其在按压部将基板按压至移动部时将移动部至少在其移动方向上相对于按压部定位；下降部，其在移动部处于检查位置的状态下相对于处于下降位置的按压部独立地从检查位置的上侧下降，并且下降部具有第1接触部，第1接触部与配置在基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及上升部，其在移动部处于检查位置的状态下相对于处于下降位置的按压部独立地从检查位置的下侧上升，并且上升部具有第2接触部，第2接触部与配置在基板的下表面上的第2被接触部电接触。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及检查装置。

背景技术

日本国特开2000-199780号公报公开了这样的检查装置：通过使上部单元下降并使上部单元的探头与印刷基板的上表面接触，同时，使下部单元上升并使下部单元的探头与印刷基板的下表面接触，来进行印刷基板的检查。

在进行基板的检查的检查装置中，在将基板设置于移动部的情况下，由于移动部能够移动，因此，在按压部将基板按压至移动部时，存在基板和按压部发生位置偏移的情况。

发明内容

本发明的目的在于，在将基板设置于能够移动的移动部上的结构中，与在按压部将基板按压至移动部时移动部移动自如的情况相比，能够抑制在按压部将基板按压至移动部时的按压部与基板之间的位置偏移。

根据本发明的第1方案，提供一种检查装置，该检查装置具备：移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸该基板的装卸位置之间移动；按压部，其从处于该检查位置的该移动部的上侧下降至下降位置，将该基板按压至该移动部；定位部，其在该按压部将该基板按压至该移动部时将该移动部至少在该移动部的移动方向上相对于该按压部定位；下降部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的上侧下降，并且该下降部具有第1接触部，该第1接触部与配置在所述基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及上升部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的下侧上升，并且该上升部具有第2接触部，该第2接触部与配置在所述基板的下表面上的第2被接触部电接触。

根据本发明的第2方案，所述检查装置具备：第1下降机构，其使所述按压部下降至所述下降位置；上升机构，其在所述按压部下降至所述下降位置后使所述上升部上升而使所述第2接触部与所述第2被接触部电接触；以及第2下降机构，其在所述第2接触部与所述第2被接触部接触的状态下使所述下降部下降而使所述第1接触部与所述第1被接触部电接触。

根据本发明的第3方案，所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部和所述上升部中的一方，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述下降部和所述上升部中的另一方，相对于所述下降部对所述上升部进行定位。

根据本发明的第4方案，所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述下降部进行定位。

根据本发明的第5方案，所述检查装置具备定位部件，所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述上升部，所述上升机构使所述上升部上升而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述上升部进行定位。

根据本发明的第6方案，所述检查装置具备支承体，该支承体支承所述移动部、所述下降部以及所述上升部，所述移动部、所述下降部以及所述上升部朝向与面对所述检查位置的所述装卸位置相反的一侧相对于所述支承体装卸。

根据本发明的第7方案，所述检查装置具备检测部，所述检测部配置于所述装卸位置的下侧，对所述基板相对于所述移动部的翘起进行检测。

根据本发明的第8方案，所述检查装置具备移动机构，在所述基板相对于所述移动部的翘起处于允许范围内的情况下，该移动机构使所述移动部向所述检查位置移动。

根据所述第1方案，在将基板设置于能够移动的移动部这样的结构中，与在按压部将基板按压至移动部时移动部移动自如的情况相比，能够抑制在按压部将基板按压至移动部时的按压部和基板之间的位置偏移。另外，在按压部将基板按压在移动部上后，能够使第1、第2接触部与配置于基板的上表面和下表面上的第1、第2被接触部电接触。

根据所述第2方案，与下述这样的结构相比：在使下降部的第1接触部与配置于基板的上表面上的第1被接触部电接触后再使上升部的第2接触部与配置于基板的下表面上的第2被接触部电接触，能够在进行检查的过程中抑制向下的载荷比向上的载荷偏颇地对基板起作用。

根据所述第3方案，与在第2下降机构使下降部下降时上升部相对于下降部移动自如的结构相比，能够抑制上升部的第2接触部与基板的第2被接触部之间的位置偏移和下降部的第1接触部与基板的第1被接触部之间的位置偏移。

根据所述第4方案，与在第2下降机构使下降部下降时下降部相对于基板移动自如的结构相比，能够抑制下降部的第1接触部与基板的第1被接触部之间的位置偏移。

根据所述第5方案，与在上升机构使上升部上升时上升部相对于基板移动自如的结构相比，能够抑制上升部的第2接触部与基板的第2被接触部之间的位置偏移。

根据所述第6方案，能够将相对于移动部装卸基板的作业空间与相对于支承体装卸移动部、下降部以及上升部的作业空间分离。

根据所述第7方案，在移动部移动至检查位置之前，能够检测设置于移动部上的基板的翘起。

根据所述第8方案，在设置于移动部上的基板的翘起处于允许范围的状态下，能够使移动部自动移动至检查位置。

附图说明

图1是示出本实施方式的检查装置的结构的后视图。

图2是将图1所示的检查装置的一部分放大示出的放大图。

图3是示出本实施方式的检查装置的结构的侧视图。

图4是示出在图1所示的检查装置中上夹具下降至下降位置的状态的后视图。

图5是将图4所示的检查装置的一部分放大示出的放大图。

图6是示出在图4所示的检查装置中下夹具上升后的状态的后视图。

图7是将图6所示的检查装置的一部分放大示出的放大图。

图8是示出在图6所示的检查装置中上夹具的检查部下降后的状态的后视图。

图9是将图8所示的检查装置的一部分放大示出的放大图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式的一个示例进行说明。

(检查装置10的结构)

首先，对检查装置10的结构进行说明。图1是示出本实施方式的检查装置10的结构的后视图。并且，在以下的说明中所使用的装置前方、装置后方、装置右方、装置左方、装置上方、装置下方与图中所示的箭头方向(前、后、右、左、上、下)对应。另外，图中的在“○”中记载有“×”的符号表示从纸面的近前朝向里侧的箭头。图中的在“○”中记载有“·”的符号表示着从纸面的里侧朝向近前的箭头。

在本实施方式中，在检查装置10中，以进行将印刷基板200设置于后述的设置板74上的设置作业的作业员所访问的一侧作为装置前方，以装置前方的相反侧作为装置后方。此外，朝向装置前方将右侧作为装置右方，朝向装置前方将左侧作为装置左方。并且，这些方向是为了说明的方便而确定的方向，装置的方向并不限定于这些方向。另外，在以下的说明中，有时将装置前方、装置后方、装置右方、装置左方、装置上方、装置下方分别仅称作前方、后方、右方、左方、上方、下方。

如图1所示，检查装置10是对作为基板的一个示例的印刷基板200(电路基板)进行电气检查的装置。作为电气检查，例如存在在线检查、功能检查等。具体而言，检查装置10具备：主体框架20；设置(载置)有印刷基板200的设置体70；检测传感器170(参照图3)；作为检测部的一个示例的检测传感器172(参照图3)；下移动体80；下夹具90；以及作为上升机构的一个示例的气缸180。此外，检查装置10具备：第1上移动体30；作为第1下降机构的一个示例的气缸130；第2上移动体40；作为第2下降机构的一个示例的一对气缸140；以及上夹具50。

(主体框架20)

如图1所示，主体框架20具有：上板22；下板24；以及4个支柱26(在图1中仅图示了2个)。上板22由配置于装置上方的矩形状的板(板状部件)构成。下板24由配置于装置下方的矩形状的板(板状部件)构成。各支柱26沿上下方向延伸，将上板22和下板24在各自的四角连结在一起。

另外，在上板22上形成有贯穿孔22A，该贯穿孔22A供气缸130的后述的活塞杆130B通过。具体而言，贯穿孔22A例如形成于上板22的前后方向中央部且左右方向中央部。另外，在下板24上形成有贯穿孔24A，该贯穿孔24A供气缸180的后述的活塞杆180B通过。具体而言，贯穿孔24A例如形成于下板24的前后方向中央部且左右方向中央部。

(设置体70)

如图1所示，设置体70具有：4个支柱72(在图1中仅图示了2个)；作为移动部的一个示例的设置板74；线性导轨76；以及连接器78。

4个支柱72分别从主体框架20的下板24的上表面向上方延伸。具体而言，支柱72前后排列成一对，该一对支柱72在左右配置有2组。

线性导轨76由左右配置的一对导轨构成。各线性导轨76具有：轨道部76A，其沿前后方向具有长度；和工作台部76B，其以能够沿轨道部76A移动的方式安装于轨道部76A的上部。各线性导轨76的轨道部76A的底部的长度方向一端部和另一端部分别固定于各支柱72的上端部。

设置板74是能够装卸成为检查对象的印刷基板200的板。该设置板74在左右的边部分处被各工作台部76B支承。设置板74能够沿前后方向(水平方向(横向))移动。具体而言，如图3所示，设置板74能够在检查印刷基板200的检查位置(在图3中由双点划线示出的位置)与装卸印刷基板200的装卸位置(在图3中由实线示出的位置)之间移动。检查位置是主体框架20内的位置，并且是在上夹具50与下夹具90之间沿上下方向与上夹具50和下夹具90重合的位置。装卸位置是面对检查位置的前方侧(侧方侧)的位置。另外，装卸位置是从主体框架20内抽出的位置，并且是相对于上夹具50和下夹具90在上下方向上不重合的位置。在装卸位置处，在设置板74的上侧不存在重合的结构部件，设置板74的上方敞开。并且，检查装置10具备移动机构176，该移动机构176使设置板74在装卸位置与检查位置之间移动。

另外，设置板74以能够装卸的方式支承在各工作台部76B(支承体的一个示例)上。具体而言，如图3的箭头所示，通过使设置板74相对于工作台部76B向后方移动，由此将设置板74从工作台部76B卸下。通过将从工作台部76B卸下的设置板74相对于工作台部76B的开口76C(参照图1)朝向装置前方插入，从而将设置板74安装至工作台部76B。

如图2所示，连接器78具有连接部78A，该连接部78A与被设置在设置板74上的状态下的印刷基板200的被连接部200D连接。连接器78以能够在连接部78A与被连接部200D相连接的连接位置(图5所示的位置)和连接部78A从被连接部200D分离的分离位置(图2所示的位置)之间沿着设置板74移动的方式，被支承在设置板74的上表面上。连接器78被压缩弹簧79向分离位置施力。

并且，在设置板74上形成有：插入孔74A，其供上夹具50中的后述的定位销58的末端部58A插入；贯穿孔74B，其供上夹具50中的后述的定位销68通过；贯穿孔74C，其供下夹具90中的后述的定位销96通过；以及贯穿孔74D，其供下夹具90中的后述的探针94通过。另外，在设置板74的上表面上设有多个支承部件73，该多个支承部件73支承印刷基板200的下表面。

(检测传感器170和检测传感器172)

如图3所示，检测传感器170和检测传感器172(检测部的一个示例)被配置于设置板74的上的装卸印刷基板200的装卸位置(由实线示出的位置)的下侧。

检测传感器170是用于检测印刷基板200的有无的反射型的光传感器。具体而言，检测传感器170通过在设置板74上形成的贯穿孔74E对印刷基板200照射光，并检测在印刷基板200上反射的反射光。在设置板74上未设置印刷基板200的情况下，无法检测出来自印刷基板200的反射光，检测为未设置有印刷基板200。

检测传感器172是检测印刷基板200相对于设置板74的翘起的反射型的光传感器。当利用检测传感器170检测出印刷基板200被设置于设置板74这一情况时，检测传感器172通过在设置板74上形成的贯穿孔74F对印刷基板200照射光，并检测在印刷基板200上反射的反射光，由此测量与印刷基板200的距离。例如，在与印刷基板200的距离为预先确定的距离以上的情况下，认为是印刷基板200相对于设置板74的翘起超过了允许范围。

存在170、172这2个检测传感器的理由是：检测传感器170照射LED(LightEmitting Diode：发光二极管)光，检测传感器172照射激光。由于检测传感器170照射LED光，因此，即使在印刷基板200未被设置于设置板74上的状态下检测传感器170照射LED光且该LED光进入到作业员的眼中，也没有问题。

另外，在检测传感器170检测出印刷基板200被设置于设置板74上之后，检测传感器172照射激光。换而言之，在检测传感器170未检测出印刷基板200被设置于设置板74上的情况下，检测传感器172不照射激光。因此，检测传感器172照射的激光不会进入到作业员的眼中。

并且，如果检测传感器170能够测量距离，则可以省略检测传感器172。

在检测传感器172进行检测的结果是印刷基板200相对于设置板74的翘起处于允许范围内的情况下，借助移动机构176使设置板74从装卸位置(由实线示出的位置)向检查位置(由双点划线示出的位置)移动。在印刷基板200相对于设置板74的翘起超过允许范围的情况下，不进行从装卸位置向检查位置的移动，例如，检查装置10通过显示部(省略图示)的显示等来指示作业员重新将印刷基板200设置于设置板74上。

(下移动体80)

下移动体80配置于设置板74的检查印刷基板200的检查位置的下侧。如图1所示，具体而言，下移动体80具有：移动板82；4个直线轴承84(在图1中仅图示了2个)；以及一对轨道部件88。

移动板82由矩形状的板(板状部件)构成。在该移动板82的四角固定有各直线轴承84，移动板82借助该各直线轴承84以能够在上下方向上移动的方式被主体框架20的各支柱26支承。

各轨道部件88沿着前后方向具有长度，并且在从前后方向观察(正面观察)时形成为L字状。轨道部件88沿左右方向隔开间隔地固定在移动板82的上表面上。并且，该轨道部件88将下夹具90上的后述的支承板97支承成能够向后方移动。

并且，在移动板82上形成有4个贯穿孔82A，设置体70的4个支柱72分别通过这4个贯穿孔82A。具体而言，贯穿孔82A例如前后排列成一对，该一对贯穿孔82A在左右配置有2组。

(下夹具90)

如图3所示，下夹具90配置于设置板74的检查印刷基板200的检查位置的下侧。具体而言，如图1所示，下夹具90具有：作为上升部的一个示例的检查部91；和作为定位部件的一个示例的多个定位销96，其相对于印刷基板200对检查部91进行定位。

检查部91具有：基座板92；多个探针94(第2接触部的一个示例)；支承板97；以及4个支柱99(在图1中仅图示了2个)。

支承板97和基座板92由矩形状的板(板状部件)构成。4个支柱99分别从支承板97的上表面向上方延伸。各支柱99的上端部固定于基座板92的下表面上。由此，基座板92被4个支柱99支承。具体而言，支柱99前后排列有一对，该一对支柱72在左右配置有2组。

各定位销96和各探针94从基座板92的上表面向上方突出。在设置板74处于(位于)检查位置的状态下，如图6所示，下夹具90借助气缸180如后述那样上升，由此，如图7所示，各定位销96通过设置板74的贯穿孔74C，并且末端部(上端部)96A插入印刷基板200的基准孔296中。由此，检查部91相对于印刷基板200在前后方向和左右方向上被定位。此外，末端部(上端部)96A的外周的端面96D与印刷基板200的下表面接触，由此，检查部91相对于印刷基板200在上下方向上被定位。并且，例如在装置后方侧，左右分离地配置2个定位销96，在装置前方侧，在左右方向的中央配置1个定位销96。

另外，在设置板74处于(位于)检查位置的状态下，下夹具90借助气缸180如后述那样上升，由此，各探针94通过设置板74的贯穿孔74D，并且与配置于印刷基板200的下表面上的衬垫200B(第2被接触部的一个示例)电接触。并且，下夹具90不与上夹具50一体地移动，而是相对于上夹具50独立地上升。

并且，在本实施方式中，在探针94与衬垫200B接触之前，定位销96的末端部96A开始插入基准孔296，检查部91相对于印刷基板200在前后方向和左右方向上被定位。并且，也可以同时进行探针94与衬垫200B的接触和检查部91相对于前后方向和左右方向的定位。

此外，如图1所示，下夹具90构成为：支承板97通过左右的边部分被各轨道部件88支承成能够向后方移动，从而该下夹具90能够相对于移动板82(支承体的一个示例)进行装卸。即，如图3的箭头所示，通过使包括支承板97在内的下夹具90向后方移动，由此，下夹具90被从移动板82卸下。通过使从移动板82卸下的下夹具90插入各轨道部件88之后向前方移动，由此将该下夹具90安装在移动板82上。

并且，在基座板92上形成有插入孔92A，该插入孔92A供上夹具50中的后述的定位销68的末端部插入。

(气缸180)

如图1所示，气缸180(上升机构的一个示例)具有：气缸主体180A；和活塞杆180B，其从气缸主体180A向上方延伸。气缸主体180A固定于主体框架20的下板24的下表面。活塞杆180B通过主体框架20的下板24的贯穿孔24A向下板24的上侧延伸。

活塞杆180B的上端部(末端部)固定于下移动体80的移动板82上。具体而言，活塞杆180B的上端部例如固定于移动板82上的中央部(前后方向中央部，并且是左右方向中央部)处。如图8所示，在气缸180中，活塞杆180B利用气压或油压等向上方伸长。通过使活塞杆180B向上方伸长，下移动体80和下夹具90沿着支柱26向上方移动。

(第1上移动体30)

第1上移动体30配置于设置板74的检查印刷基板200的检查位置的上侧。具体而言，如图1所示，第1上移动体30具有：移动板32；4个直线轴承34(在图1中仅图示了2个)；4个支柱36(在图1中仅图示了2个)；以及一对轨道部件38。

移动板32由矩形状的板(板状部件)构成。在该移动板32的四角固定有各直线轴承34，移动板32借助该各直线轴承34以能够在上下方向上移动的方式被主体框架20的各支柱26支承。

第1上移动体30的各支柱36从移动板32的下表面向装置下方延伸。具体而言，支柱36前后排列有一对，该一对支柱36在左右配置有2组。

各轨道部件38沿前后方向具有长度。各轨道部件38的长度方向一端部和另一端部分别固定于各支柱36的下端部。从前后方向观察(正面观察)，各轨道部件38形成为向彼此对置的方向(左右方向中央侧)开口的コ字状(U字状)。并且，该轨道部件38将上夹具50中的后述的板54支承成能够在前后方向上移动。

并且，在移动板32上形成有2个贯穿孔32A，这2个贯穿孔32A供气缸140的后述的活塞杆140B通过。具体而言，2个贯穿孔32A例如在移动板32的前后方向中央部处沿左右方向排列形成。

(气缸130)

如图1所示，气缸130(第1下降机构的一个示例)具有：气缸主体130A；和活塞杆130B，其从气缸主体130A向下方延伸。气缸主体130A固定于主体框架20的上板22的上表面上。活塞杆130B通过主体框架20的上板22的贯穿孔22A向上板22的下侧延伸。

活塞杆130B的下端部(末端部)固定于第1上移动体30的移动板32上。具体而言，活塞杆130B的下端部例如固定于移动板32上的中央部(前后方向中央部，并且是左右方向中央部)。如图4所示，在气缸130中，活塞杆130B利用气压或油压等向下方伸长。通过使活塞杆130B向下方伸长，第1上移动体30沿着支柱26向下方移动。通过第1上移动体30向下方移动，第2上移动体40和上夹具50与第1上移动体30一体地向下方移动。

(第2上移动体40)

第2上移动体40配置于设置板74的检查印刷基板200的检查位置的上侧。具体而言，如图1所示，第2上移动体40具有：移动板42；4个直线轴承44(在图1中仅图示了2个)；以及一对轨道部件48。

移动板42由矩形状的板(板状部件)构成。在该移动板42的四角固定有各直线轴承44，移动板42借助该各直线轴承44以能够在上下方向上移动的方式被主体框架20的各支柱26支承。

各轨道部件48沿着前后方向具有长度，并且，在从前后方向观察(正面观察)时形成为L字状。轨道部件48沿左右方向隔开间隔地固定在移动板42的下表面上。并且，该轨道部件48将上夹具50中的后述的板67支承成能够向后方移动。

并且，在移动板42上形成有4个贯穿孔42A，该4个贯穿孔42A供第1上移动体30的4个支柱36分别通过。具体而言，贯穿孔42A例如前后排列有一对，该一对贯穿孔82A在左右配置有2组。

(气缸140)

如图1所示，一对气缸140(第2下降机构的一个示例)分别具有：气缸主体140A；和活塞杆140B，其从气缸主体140A向下方延伸。一对气缸140的各气缸主体140A固定于第1上移动体30的移动板32的上表面上。一对气缸140的各活塞杆140B通过移动板32的贯穿孔32A向移动板32的下侧延伸。

各活塞杆140B的下端部(末端部)固定于第2上移动体40的移动板42上。如图8所示，在气缸140中，活塞杆140B利用气压或油压等向下方伸长。通过活塞杆140B向下方伸长，第2上移动体40沿着支柱26向下方移动。通过使第2上移动体40向下方移动，上夹具50的检查部60和定位销68与第2上移动体40成一体地向下方移动。

(上夹具50)

上夹具50配置于设置板74的检查印刷基板200的检查位置的上侧。具体而言，如图1所示，上夹具50具有：按压部52，其将印刷基板200按压至设置板74；和作为定位部件的一个示例的多个定位销58(板件定位销)，它们将设置板74相对于按压部52进行定位。此外，上夹具50具备：作为下降部的一个示例的检查部60；作为定位部件的一个示例的定位销66(上基准销)，其相对于印刷基板200对检查部60进行定位；以及作为定位部件的一个示例的定位销68(夹具定位销)，其相对于检查部60对下夹具90的检查部91进行定位。

按压部52具有：板54；和多个上按压部件56，它们用于按压印刷基板200的上表面。板54由矩形状的板(板状部件)构成。各上按压部件56在与设置板74的支承部件73对置的位置处从板54的下表面向下方延伸。在设置板74处于(位于)检查位置的状态下，上夹具50借助气缸130下降至下降位置(图4和图5所示的位置)，由此，各上按压部件56和支承部件73一起夹住设置于设置板74上的印刷基板200而按压印刷基板200的上表面。

各定位销58在与设置板74的插入孔74A对置的位置处从板54的下表面向下方延伸。上夹具50借助气缸130下降至下降位置(图4和图5所示的位置)，由此，各定位销58的末端部(下端部)58A插入设置板74的插入孔74A中。由此，设置板74相对于按压部52在前后方向(设置板74的移动方向)和左右方向上被定位。此外，末端部58A的外周的端面58D与设置板74的上表面接触，由此，设置板74相对于按压部52在上下方向上被定位。

并且，在本实施方式中，在上按压部件56按压印刷基板200的上表面之前，定位销58的末端部58A开始插入插入孔74A中，设置板74相对于按压部52在前后方向和左右方向上被定位。另外，也可以同时进行上按压部件56对印刷基板200的按压和设置板74在前后方向和左右方向上的定位。并且，定位销58例如在矩形状的板54的对角处配置有2个。

另外，在板54的下表面上设有用于维持与检查部60的后述的基座板62之间的间隙的间隔件53。板54与基座板62之间的间隙成为后述的探针64的配线空间。并且，在板54上形成有4个贯穿孔54A，该4个贯穿孔54A供检查部60的后述的支柱69分别通过。

如图1所示，检查部60具有：基座板62；探针64(第1接触部的一个示例)；板67；以及4个支柱69(在图1中仅图示了2个)。

板67和基座板62由矩形状的板(板状部件)构成。4个支柱69分别从板67的下表面向下方延伸，并通过板54的贯穿孔54A。各支柱69的下端部被固定于基座板62的上表面上。具体而言，支柱69前后排列有一对，该一对支柱69在左右配置有2组。在各支柱69上，且在板67和按压部52的板54之间安装有压缩弹簧65。由此，按压部52被向下方施力。

各定位销66、各定位销68和各探针64从基座板62的下表面向下方突出。此外，在基座板62的下表面上，作为凸轮的倾斜块61向下方突出。

如图2所示，该倾斜块61配置于连接器78的上方，具有与连接器78对置的倾斜面61A。倾斜面61A具有以随着朝向右方侧而逐渐位于上方侧的方式倾斜的倾斜度。由此，在设置板74处于(位于)检查位置的状态下，上夹具50借助气缸130下降至下降位置(图4和图5所示的位置)，从而，倾斜面61A克服压缩弹簧79的作用力将连接器78向使连接部78A与印刷基板200的被连接部200D连接的连接方向推压。

并且，检查部60、定位销66和定位销68未与按压部52和定位销58固定在一起，检查部60与按压部52独立地下降。此时，设置于板54的下表面上的间隔件53从检查部60的基座板62分离。

在设置板74处于(位于)检查位置的状态下，检查部60借助气缸140下降，由此，各定位销68的末端部(下端部)68A通过设置板74的贯穿孔74B，并插入基座板92的插入孔92A中。由此，下夹具90的检查部91相对于检查部60在前后方向和左右方向上被定位。此外，末端部68A的外周的端面68D与设置板74的上表面接触，由此，下夹具90的检查部91相对于检查部60在上下方向上被定位。并且，定位销68例如在矩形状的基座板62的对角配置有2个。

在设置板74处于(位于)检查位置的状态下，如图8和图9所示，检查部60借助气缸140下降，由此，各定位销66的末端部(下端部)66A插入印刷基板200的基准孔266中。由此，检查部60相对于印刷基板200在前后方向和左右方向上被定位。此外，末端部66A的外周的端面66D与印刷基板200的上表面接触，由此，检查部60相对于印刷基板200在上下方向上被定位。并且，定位销66例如在装置后方侧左右分离地配置有2个，在装置前方侧的左右方向的中央配置有1个。

另外，在设置板74处于(位于)检查位置的状态下，如图8和图9所示，检查部60借助气缸140下降，由此，各探针64与配置于印刷基板200的上表面上的衬垫200A(第1被接触部的一个示例)电接触。

并且，在本实施方式中，在探针64与衬垫200A接触之前，定位销68的末端部68A开始插入插入孔92A中，下夹具90的检查部91相对于上夹具50的检查部60在前后方向和左右方向上被定位。另外，在探针64与衬垫200A接触之前，定位销66的末端部66A开始插入基准孔266中，检查部60相对于印刷基板200在前后方向和左右方向上被定位。并且，也可以同时进行探针64与衬垫200A的接触和基于定位销66、68实现的对检查部60在前后方向、左右方向上的定位。

此外，上夹具50构成为：按压部52的板54和检查部60的板67分别被轨道部件38和轨道部件48支承成能够向后方移动，从而该上夹具50能够相对于移动板42(支承体的一个示例)进行装卸。即，如图3的箭头所示，通过使上夹具50向后方移动，将上夹具50从移动板42卸下。将从移动板42卸下的上夹具50插入轨道部件38和轨道部件48之后使该上夹具50向前方移动，由此将上夹具50安装在移动板42上。

(本实施方式的作用)

接下来，作为本实施方式的作用，对使用检查装置10的检查方法进行说明。

在本实施方式的检查方法中，首先，如图3所示，相对于处于(位于)装卸位置(由图3的实线示出的位置)的状态的设置板74来设置印刷基板200。将印刷基板200设置于设置板74上的设置动作例如由作业员来进行。在装卸位置处，由于不存在与设置板74的上侧重合的结构部件，设置板74的上方敞开，因此，将印刷基板200设置于设置板74时的目视确认性和操作性良好。

如果印刷基板200被设置于设置板74上，则通过检测传感器170检测出印刷基板200被设置于设置板74上。当检测到印刷基板200被设置于设置板74上这一情况时，通过检测传感器172检测印刷基板200相对于设置板74的翘起。

在印刷基板200相对于设置板74的翘起处于允许范围内的情况下，设置板74借助移动机构176从装卸位置(由实线示出的位置)向后方移动至检查位置(由双点划线示出的位置)。这样，在本实施方式中，在设置于设置板74上的印刷基板200的翘起为允许范围的状态下，设置板74被自动移动至检查位置。

另一方面，在印刷基板200的翘起超过允许范围的情况下，不进行从装卸位置向检查位置的移动，例如，检查装置10通过对显示部(省略图示)的显示等来指示作业员重新将印刷基板200设置于设置板74上。因此，能够抑制在设置板74上翘起的状态下的印刷基板200与检查装置10的结构部件碰撞而损伤该结构部件。

接下来，如图4和图5所示，上夹具50借助气缸130下降至下降位置(图4和图5所示的位置)。通过使上夹具50下降至下降位置，由此，各定位销58的末端部58A被插入设置板74的插入孔74A中。由此，设置板74相对于按压部52在前后方向(设置板74的移动方向)和左右方向上被定位。此外，各定位销58的末端部58A的外周的端面58D与设置板74的上表面接触，由此，设置板74相对于按压部52在上下方向上被定位。

另外，通过使上夹具50下降至下降位置，由此，按压部52的各上按压部件56和支承部件73一起夹住设置于设置板74上的印刷基板200而按压印刷基板200的上表面。

此外，此时，倾斜块61的倾斜面61A克服压缩弹簧79的作用力将连接器78向使连接部78A与印刷基板200的被连接部200D连接的连接方向推压。由此，连接器78的连接部78A与印刷基板200的被连接部200D连接。

接下来，如图6和图7所示，下夹具90借助气缸180上升。通过下夹具90上升，由此，各定位销96通过设置板74的贯穿孔74C，并且各定位销96的末端部(上端部)96A插入印刷基板200的基准孔296中。

由此，检查部91相对于印刷基板200在前后方向和左右方向上被定位。此外，通过使各定位销96的末端部(上端部)96A的外周的端面96D与印刷基板200的下表面接触，由此，检查部91相对于印刷基板200在上下方向上被定位。

另外，通过下夹具90上升，由此，各探针94通过设置板74的贯穿孔74D，并与配置于印刷基板200的下表面上的衬垫200B电接触。并且，下夹具90不与上夹具50一体地移动，而是相对于上夹具50独立地上升。

接下来，如图8和图9所示，检查部60借助气缸140下降。通过检查部60下降，由此，各定位销66的末端部66A插入印刷基板200的基准孔266中。由此，检查部60相对于印刷基板200在前后方向和左右方向上被定位。此外，通过使各定位销66的末端部66A的外周的端面66D与印刷基板200的上表面接触，由此，检查部60相对于印刷基板200在上下方向上被定位。

另外，通过检查部60下降，由此，上夹具50的各定位销68的末端部68A通过设置板74的贯穿孔74B，并插入下夹具90的基座板92的插入孔92A中。由此，下夹具90的检查部91相对于检查部60在前后方向和左右方向上被定位。此外，末端部68A的外周的端面68D与设置板74的上表面接触，由此，下夹具90的检查部91相对于检查部60在上下方向上被定位。此外，通过检查部60下降，由此，各探针64与配置于印刷基板200的上表面上的衬垫200A电接触。

并且，通过与印刷基板200的被连接部200D连接的连接器78、和与印刷基板200的衬垫200B、200A接触的各探针94、64进行电信号的收发，从而实施印刷基板200的电气检查(例如，在线检查、功能检查)。

检查结束后，检查部60借助气缸140上升。接下来，下夹具90借助气缸180下降。接下来，上夹具50借助气缸130上升。然后，使设置板74从检查位置移动至装卸位置。如以上那样，实施基于检查装置10对印刷基板200的电气检查。

在此，在本实施方式中，如前述那样，在按压部52将印刷基板200按压至设置板74时，各定位销58的末端部58A插入设置板74的插入孔74A中。由此，能够移动的设置板74相对于按压部52在前后方向(设置板74的移动方向)、左右方向以及上下方向上被定位。

因此，与设置板74相对于按压部52移动自如的情况相比，能够抑制在按压部52将印刷基板200按压至设置板74时的按压部52与印刷基板200之间的位置偏移。由此，按压部52在印刷基板200上的所设定的位置处将印刷基板200按压至设置板74。因此，能够有效地抑制印刷基板200的翘曲，并且，能够抑制印刷基板200的衬垫200A、200B与探针64、94之间的位置偏移。

另外，在本实施方式中，上夹具50的各定位销68的末端部68A被插入下夹具90的基座板92的插入孔92A中。由此，下夹具90的检查部91相对于上夹具50的检查部60在前后方向、左右方向以及上下方向上被定位。

因此，与下夹具90的检查部91相对于上夹具50的检查部60移动自如的结构相比，能够抑制检查部91的探针94与印刷基板200的衬垫200B之间的位置偏移以及检查部60的探针64与印刷基板200的衬垫200A之间的位置偏移。

另外，在本实施方式中，下夹具90的各定位销96的末端部(上端部)96A被插入印刷基板200的基准孔296中。由此，下夹具90的检查部91相对于印刷基板200在前后方向、左右方向和上下方向上被定位。

因此，与下夹具90的检查部91相对于印刷基板200移动自如的结构相比，能够抑制检查部91的探针94与印刷基板200的衬垫200B之间的位置偏移。

另外，在本实施方式中，上夹具50的各定位销66的末端部66A被插入印刷基板200的基准孔266中。由此，上夹具50的检查部60相对于印刷基板200在前后方向、左右方向和上下方向上被定位。

因此，与上夹具50的检查部60相对于印刷基板200移动自如的结构相比，能够抑制检查部60的探针64与印刷基板200的衬垫200B之间的位置偏移。

另外，在本实施方式中，如所述那样，在按压部52将印刷基板200按压在设置板74上之后，探针94与印刷基板200的下表面上的衬垫200B接触，然后，探针64与印刷基板200的上表面上的衬垫200A接触。因此，与在探针64与印刷基板200的上表面上的衬垫200A接触之后再使探针94与印刷基板200的下表面上的衬垫200B相接触的结构相比，能够在进行检查的过程中抑制向下的载荷比向上的载荷偏颇地对印刷基板200起作用。

此外，在本实施方式中，例如，在对结构(例如衬垫的配置)不同的印刷基板200进行检查的情况下，更换为与该印刷基板200的结构相对应地构成的上夹具50、下夹具90和设置板74。

具体而言，通过使上夹具50、下夹具90和设置板74分别相对于移动板42、移动板82以及线性导轨76的工作台部76B向后方移动，由此，将上夹具50、下夹具90和设置板74分别从移动板42、移动板82以及线性导轨76的工作台部76B卸下。并且，将上夹具50、下夹具90和设置板74分别安装于移动板42、移动板82以及线性导轨76的工作台部76B。这样，在本实施方式中，由于上夹具50、下夹具90和设置板74向后方移动，因此，装置后方侧成为上夹具50、下夹具90以及设置板74的更换作业(装卸作业)的作业空间。另一方面，在将印刷基板200设置于设置板74上时，设置板74被向装置前方拉出，因此，装置前方侧成为印刷基板200的装卸作业的作业空间。这样，上夹具50、下夹具90和设置板74的更换作业(装卸作业)的作业空间和印刷基板200的装卸作业的作业空间在装置的前后分离。

(变形例)

在本实施方式中，构成为上夹具50的各定位销68的末端部68A被插入下夹具90的基座板92的插入孔92A中，但并不限于此。例如，也可以构成为将定位销68设置于下夹具90并使插入孔92A形成于上夹具50上。

另外，在本实施方式中，构成为在探针94与印刷基板200的下表面的衬垫200B接触之后再使探针64与印刷基板200的上表面的衬垫200A接触，但并不限于此。例如，也可以构成为在探针64与印刷基板200的上表面的衬垫200A接触之后再使探针94与印刷基板200的下表面的衬垫200B接触。

本发明并不受上述实施方式限定，能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变形、变更和改良。例如，也可以适当地将上述内容中所示出的多个变形例组合起来而构成。

Claims (8)

1.一种检查装置，其中，

所述检查装置具备：

移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸该基板的装卸位置之间移动；

按压部，其从处于该检查位置的该移动部的上侧下降至下降位置，将该基板按压至该移动部；

定位部，其在该按压部将该基板按压至该移动部时将该移动部至少在该移动部的移动方向上相对于该按压部定位；

下降部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的上侧下降，并且该下降部具有第1接触部，通过使该下降部下降，从而使该第1接触部与配置在所述基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及

上升部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的下侧上升，并且该上升部具有第2接触部，通过使该上升部上升，从而使该第2接触部与配置在所述基板的下表面上的第2被接触部电接触。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备：

第1下降机构，其使所述按压部下降至所述下降位置；

上升机构，其在所述按压部下降至所述下降位置后使所述上升部上升而使所述第2接触部与所述第2被接触部电接触；以及

第2下降机构，其在所述第2接触部与所述第2被接触部接触的状态下使所述下降部下降而使所述第1接触部与所述第1被接触部电接触。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部和所述上升部中的一方，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述下降部和所述上升部中的另一方，相对于所述下降部对所述上升部进行定位。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述下降部进行定位。

5.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述上升部，所述上升机构使所述上升部上升而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述上升部进行定位。

6.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备支承体，该支承体支承所述移动部、所述下降部以及所述上升部，

所述移动部、所述下降部以及所述上升部朝向与面对所述检查位置的所述装卸位置相反的一侧相对于所述支承体装卸。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备检测部，所述检测部配置于所述装卸位置的下侧，对所述基板相对于所述移动部的翘起进行检测。

8.根据权利要求7所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备移动机构，在所述基板相对于所述移动部的翘起处于允许范围内的情况下，该移动机构使所述移动部向所述检查位置移动。