JP6834548B2 - 支持構造、検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、支持構造、及び検査装置に関する。

特許文献１に記載の基板検査装置では、下側の検査治具を上昇させ、被検査基板が上下の検査治具の保護板で挟まれて固定されるようにプレスアップを行うようになっている。さらに、この基板検査装置では、被検査基板の検査が終了すると、下側の検査治具を降下させプレスダウンを行うようになっている。

特開２００２−１３１３５９号公報

基板を搬送するベルトコンベア（搬送部）から基板を持ち上げた状態で、基板にプローブピンを当てて基板を検査することがある。この場合には、ベルトコンベアに載せられている基板に形成された貫通孔に、下方から持上げピンを挿入して、基板を位置決めし、かつ、ベルトコンベアから基板を持ち上げる。

このように基板を持ち上げる場合に、ベルトコンベアによって搬送されている基板の位置バラツキ等によって、持上げピンが貫通孔に挿入されずに、基板が傾いた状態で持ち上げられてしまうことがある。

本発明の課題は、持上げピンを基板の貫通孔に挿入させることで基板を位置決めし、かつ、基板を持ち上げる場合と比して、基板が傾いた状態で持ち上げられるのを抑制することである。

本発明の請求項１に係る支持構造は、孔が形成された基板が載せられ、該基板を搬送する搬送部と、 該搬送部で搬送された該基板を下方から持ち上げて、該基板を該搬送部から離間させる持上げ部と、該持上げ部により該搬送部から離間した該基板を該持上げ部との間で挟むと共に、該搬送部から離間している状態の該基板の該孔に挿入される軸体を有する押部と、 を備えることを特徴とする。

本発明の請求項２に係る検査装置は、請求項１に記載された支持構造と、前記基板の上面に形成された電気的検査を行うための検査端子に接触して通電する通電部材を有し、前記押部に取り付けられている検査部材と、を備えることを特徴とする。

本発明の請求項３に係る検査装置は、請求項２に記載の検査装置において、前記検査部材、本体部に交換可能に取り付けられていることを特徴とする。

本発明の請求項４に係る検査装置は、請求項１に記載された支持構造と、前記基板の下面に形成された電気的検査を行うための検査端子に接触して通電する通電部材を有し、前記持上げ部に取り付けられている検査部材と、を備えることを特徴とする。

本発明の請求項５に係る検査装置は、請求項４に記載の検査装置において、前記検査部材は、本体部に交換可能に取り付けられていることを特徴とする。

本発明の請求項６に係る検査装置は、請求項４又は５に記載の検査装置において、前記検査部材には、前記搬送部で搬送される前記基板と当たって、前記基板を停止させる停止部が取り付けられていることを特徴とする。

本発明の請求項１の支持構造によれば、持上げピンを基板の貫通孔に挿入させることで基板を位置決めし、かつ、基板を搬送部から持ち上げる場合と比して、基板が傾いた状態で持ち上げられるのを抑制することができる。

本発明の請求項２の検査装置によれば、基板を搬送部から持ち上げた状態で、上面に検査端子が形成されている基板を検査することができる。

本発明の請求項３の検査装置によれば、上面の検査端子の位置が異なる複数種の基板を検査することができる。

本発明の請求項４の検査装置によれば、基板を搬送部から持ち上げた状態で、下面に検査端子が形成されている基板を検査することができる。

本発明の請求項５の検査装置によれば、下面の検査端子の位置が異なる複数種の基板を検査することができる。

本発明の請求項６の検査装置によれば、基板を停止させる位置を、基板毎に変えることができる。

本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置を示した側面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置を示した斜視図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置によって基板を検査する検査工程を示した工程図である。 （Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る検査装置の搬送部を示した正面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置の制御部の制御系を示したブロック図である。 本発明の実施形態に係る検査装置によって検査される基板を示した斜視図である。 （Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本発明の実施形態に対する比較形態に係る支持構造、及び検査装置を示した正面図である。

本発明の実施形態に係る支持構造、及び検査装置の一例について図１〜図２０に従って説明する。なお、図中に示す矢印Ｈは装置上下方向（鉛直方向）を示し、矢印Ｗは装置幅方向（水平方向）を示し、矢印Ｄは装置奥行方向（水平方向）を示す。

（全体構成）
検査装置１０は、図１、図２に示されるように、プリント配線基板２００（以下「基板２００」）を検査する検査ユニット１３と、基板２００を検査ユニット１３へ搬送する搬送部１２とを備えている。また、検査装置１０は、搬送部１２によって検査ユニット１３に向けて搬送されている基板の搬送を制限する制限部８０と、各部を制御する制御部１８（図１８参照）とを備えている。

検査ユニット１３は、検査される基板２００の下側に配置されている下側ユニット１４と、検査される基板２００の上側に配置されている上側ユニット１６とを備えている。

先ず、検査装置１０によって検査される基板２００を説明し、その後、検査装置１０について説明する。なお、基板２００については、基板２００が検査装置１０によって検査されている状態での方向を用いて説明する。

〔基板２００〕
基板２００は、図１９に示されるように、基板本体２０２と、基板本体２０２に実装されている電子部品（図示省略）と有している。さらに、基板本体２０２は、板厚方向を上下方向とし、上方から見て、装置幅方向に延びる矩形状とされている。また、基板本体２０２の装置幅方向の一方側の部分、及び他方向側の部分には、上方から見て円状の貫通孔２０２Ａが夫々形成されている。また、基板本体２０２の上面、及び下面には、複数の検査用の検査端子（図示省略）が形成されている。貫通孔２０２Ａは、孔の一例である。

〔搬送部１２〕
搬送部１２は、図２に示されるように、ベルトコンベアであって、軸方向を装置奥行方向とする駆動ロール２２と、軸方向を装置奥行方向とする従動ロール２４と、駆動ロール２２に伝達される回転力を生じるモータ２６とを備えている。さらに、搬送部１２は、駆動ロール２２と従動ロール２４とに巻き掛けられている一対の無端ベルト２８と、周回する無端ベルト２８を案内する複数のガイドロール３０と、搬送される基板２００の搬送位置を規制する一対の規制フレーム３２とを備えている。

−駆動ロール２２、従動ロール２４、無端ベルト２８−
駆動ロール２２は、装置奥行方向に延びている。また、軸方向を装置奥行方向としている従動ロール２４は、装置奥行方向に延びており、駆動ロール２２に対して装置幅方向の一方側（図中右側）で、かつ、駆動ロール２２と離間して配置されている。

無端ベルト２８は、一対設けられている。一方の無端ベルト２８は、駆動ロール２２、及び従動ロール２４の装置奥行方向の奥側の部分に巻き掛けられ、他方の無端ベルト２８は、駆動ロール２２、及び従動ロール２４の装置奥行方向の手前側の部分に巻き掛けられている。そして、一方の無端ベルト２８と他方の無端ベルト２８とは、装置奥行方向で離間している。

−ガイドロール３０−
ガイドロール３０は、軸方向を装置奥行方向として、周回する無端ベルト２８を案内するように装置幅方向に並んで複数配置されている。

具体的には、一方の無端ベルト２８を案内するガイドロール３０が複数設けられ、この複数のガイドロール３０は、駆動ロール２２と従動ロール２４との間で、かつ、装置幅方向に間隔を空けて配置されている。同様に、他方の無端ベルト２８を案内するガイドロール３０が複数設けられ、この複数のガイドロール３０は、駆動ロール２２と従動ロール２４との間で、かつ、装置幅方向に間隔を空けて配置されている。

そして、一方の無端ベルト２８を案内するガイドロール３０と、他方の無端ベルト２８を案内するガイドロール３０とは、装置奥行方向で離間している。

−規制フレーム３２−
規制フレーム３２は、一対設けられ、図２に示されるように、装置幅方向に延びている。一方の規制フレーム３２は、図１７（Ａ）に示されるように、一方の無端ベルト２８を案内する複数のガイドロール３０の軸部３０Ａに取り付けられ、他方の規制フレーム３２は、他方の無端ベルト２８を案内するガイドロール３０の軸部３０Ａに取り付けられている。

そして、夫々の規制フレーム３２は、搬送される基板２００の端面と対向する対向面３２Ａと、対向面３２Ａの上端から、上下方向に対して傾斜する方向に延びる傾斜面３２Ｂとを有している。具体的には、一対の規制フレーム３２の傾斜面３２Ｂは、装置幅方向から見て、上方側が下方側に対して対向間隔が広がるように傾斜している。

この構成において、制御部１８がモータ２６を稼動させることで、駆動ロール２２が回転し、無端ベルト２８がガイドロール３０に案内されながら矢印Ａ方向に周回するようになっている（図２参照）。

そして、基板２００は、図１７（Ａ）に示されるように、基板２００の装置奥行方向の奥側の部分が、一方の無端ベルト２８に載せられ、基板２００の装置奥行方向の手前側の部分が、他方の無端ベルト２８に載せられるようになっている。この状態で、搬送部１２は、図２に示されるように、無端ベルト２８において装置幅方向の一方向側（図中右側）の部分に載せされた基板２００を、装置幅方向の他方向側へ搬送するようになっている。

さらに、規制フレーム３２は、搬送されている基板２００の装置奥行方向の搬送位置を規制するようになっている。

〔下側ユニット１４〕
下側ユニット１４は、装置奥行方向において、一対の無端ベルト２８の間で、かつ、搬送部１２によって搬送される基板２００の下方に配置されている。そして、下側ユニット１４は、図１に示されるように、装置の床板２１０（骨格部材の一例）の上面２１０Ａ側に取り付けられており、本体部４０と、本体部４０に対して交換可能な交換ユニット５０とを備えている。

［本体部４０］
本体部４０は、床板２１０の上面２１０Ａ側に取り付けられているエアシリンダ４２と、エアシリンダ４２の本体部４２Ａから上方に突出したロッド４２Ｂの先端に取り付けられている基台４４とを備えている。

エアシリンダ４２は、ロッド４２Ｂが、上下方向に伸縮する（押引きする）ように配置されており、本体部４２Ａが、床板２１０の上面２１０Ａ側に取り付けられている。

また、基台４４は、ロッド４２Ｂの先端（上端）に取り付けられている基礎板４６と、基礎板４６に取り付けられている一対の保持部材４８とを備えている。

基礎板４６は、板厚方向が上下方向とされており、上方から見て矩形状とされている。さらに、一対の保持部材４８は、基礎板４６の上面４６Ａにおいて装置幅方向の両端部に取り付けられており、装置奥行方向に延びている。そして、一対の保持部材４８には、他方の保持部材４８側が開口する凹部４８Ａが夫々形成されている。この凹部４８Ａは、装置奥行方向に延びており、凹部４８Ａには、後述するベース板５２の装置幅方向の両端部が挿入されている。

［交換ユニット５０］
交換ユニット５０は、ベース板５２と、ベース板５２から上方に延びる複数の支柱５６と、支柱５６を介してベース板５２に支持されている支持板５８と、支持板５８の上面５８Ａ側に取り付けられている複数の持上げブロック６０とを備えている。さらに、交換ユニット５０は、ベース板５２の上面５２Ａ側に取り付けられているエアシリンダ５４と、エアシリンダ５４の本体部５４Ａから上方に突出したロッド５４Ｂの先端に取り付けられているピンボード６２とを備えている。

また、交換ユニット５０は、ピンボード６２の上面６２Ａ側に取り付けられている停止部６６と、ピンボード６２の上面６２Ａ側に取り付けられている共に、基板２００の検査端子と接触する複数のプローブピン６８とを備えている。そして、ピンボード６２と複数のプローブピン６８とを含んで、基板２００を検査するための検査部材６４が構成されている。プローブピン６８は、通電部材の一例である。

−ベース板５２−
ベース板５２は、板厚方向が上下方向とされており、基礎板４６の上方に配置されている。さらに、ベース板５２は、上方から見て矩形状とされおり、ベース板５２の装置幅方向の両端部は、保持部材４８の凹部４８Ａに挿抜可能に挿入されている。そして、ベース板５２は、保持部材４８の凹部４８Ａに挿入された状態で、図示せぬ位置決め部材によって位置決めされるようになっている。

−支柱５６、支持板５８、持上げブロック６０−
支柱５６は、４本設けられ、ベース板５２の上面５２Ａの四隅に配置されている。そして、夫々の支柱５６は、基端がベース板５２の上面５２Ａ側に取り付けられており、ベース板５２から上方に延びている。

支持板５８は、板厚方向が上下方向とされており、ベース板５２の上方に配置されている。さらに、支持板５８は、上方から見て矩形状とされており、支柱５６の先端が支持板５８の下面５８Ｂの四隅に取り付けられている。このように、支持板５８は、支柱５６を介してベース板５２に支持されている。

また、支持板５８には、後述する軸体１７０が貫通する貫通孔５８Ｃと、停止部６６が挿入される貫通孔５８Ｄと、プローブピン６８が挿入される貫通孔５８Ｅとが形成されている。そして、貫通孔５８Ｃ、貫通孔５８Ｄ、及び貫通孔５８Ｅは、断面円状とされている。

貫通孔５８Ｃは、支持板５８において装置幅方向の一方側（図中右側）の部分と、他方側（図中左側）の部分に、一対形成されている。また、貫通孔５８Ｄは、一個形成され、装置奥行方向から見て、一対の貫通孔５８Ｃの間で、かつ、装置幅方向の他方側の貫通孔５８Ｃの隣に形成されている。さらに、貫通孔５８Ｅは、装置奥行方向から見て、装置幅方向の一方側の貫通孔５８Ｃと、貫通孔５８Ｄとの間で、複数形成されている。

持上げブロック６０は、直方体状とされており、支持板５８の上面５８Ａに複数取り付けられている。具体的には、複数の持上げブロック６０は、装置奥行方向から見て、装置幅方向の一方側の貫通孔５８Ｃと、貫通孔５８Ｄとの間で、装置幅方向に間隔を空け配置されている。さらに、少なくとも一の持上げブロック６０は、他の持上げブロック６０と装置奥行方向で離間している。

−エアシリンダ５４、ピンボード６２、停止部６６、プローブピン６８−
エアシリンダ５４は、ロッド５４Ｂが、上下方向に伸縮する（押引きする）ように配置され、ベース板５２の上面５２Ａ側に取り付けられている。

ピンボード６２は、板厚方向が上下方向とされており、支持板５８より小さくされ、支持板５８の下方に配置されている。そして、ピンボード６２は、上方から見て矩形状とされており、前述したように、エアシリンダ５４のロッド５４Ｂの先端に取り付けられている。また、ピンボード６２には、後述する軸体１７０の先端が挿入される貫通孔６２Ｃが形成されている。さらに、ピンボード６２は、ロッド５４Ｂの先端に取り付けられた状態で、装置奥行方向、及び装置幅方向に予め決められた範囲内で、移動可能となっている。

停止部６６は、上下方向に延び、一部が、支持板５８に形成された貫通孔５８Ｄに挿入された状態で、ピンボード６２の上面６２Ａ側に取り付けられている。停止部６６の内部には、上下方向に延びるロッド６６Ａ（図４参照）が設けられている。そして、停止部６６は、図示せぬ駆動部材を稼動させて、ロッド６６Ａを上方へ突出させる突出状態（図４参照）と、ロッド６６Ａを内部に収納する収納状態（図３参照）とに移行するようになっている。

プローブピン６８は、上下方向に延び、少なくとも一部が、支持板５８に形成された貫通孔５８Ｅに挿入された状態で、ピンボード６２の上面６２Ａ側に取り付けられている。

以上の構成において、検査装置１０が稼動していない状態（以下「検査装置の非稼働状態」）では、図１、図３に示されるように、エアシリンダ４２のロッド４２Ｂは、引込状態となっており、基台４４は、待機位置に配置されている。さらに、基台４４が待機位置に配置されている状態で、支持板５８に取り付けられた持上げブロック６０は、無端ベルト２８において、基板２００が載せられる上面２８Ａよりも下方に位置している。

さらに、エアシリンダ５４のロッド５４Ｂは、引込状態となっており、ピンボード６２は、支持板５８と離間する離間位置に配置されている。また、ピンボード６２が離間位置に配置されている状態で、プローブピン６８の先端は、支持板５８の上面５８Ａよりも下方に位置しており、支持板５８の上面５８Ａから突出しないようになっている。

さらに、停止部６６は、ロッド６６Ａを内部に収納する収納状態となっており、停止部６６の先端（上端）は、支持板５８の上面５８Ａよりも下方に位置しており、支持板５８の上面５８Ａから突出しないようになっている。

この状態で、収納状態の停止部６６を、突出状態に移行させると、図４に示されるように、ロッド６６Ａが上方へ突出して、ロッド６６Ａの先端が、無端ベルト２８の上面２８Ａよりも上方に位置するようになっている。

さらに、この状態で、エアシリンダ４２を稼動させて、引込状態のロッド４２Ｂを、押出状態に移行させると、図７に示されるように、基台４４、及び交換ユニット５０が上方へ移動して、支持板５８に取り付けられた持上げブロック６０は、無端ベルト２８の上面２８Ａの上方に位置するようになっている。つまり、搬送部１２で搬送された基板２００が持上げブロック６０の上方に位置している場合に、持上げブロック６０によって基板２００が持ち上げられて、基板２００は、無端ベルト２８から離間するようになっている。

また、この状態で、エアシリンダ５４を稼動させて、引込状態のロッド５４Ｂを、押出状態に移行させると、図１０に示されるように、離間位置に配置されているピンボード６２が、支持板５８と接近する接近位置に移動するようになっている。そして、ピンボード６２に取り付けられたプローブピン６８の先端が、支持板５８の上面５８Ａから突出して、上下方向において持上げブロック６０の上面と同様の位置に配置されるようになっている。換言すれば、基板２００が持上げブロック６０に支持されている状態で、プローブピン６８の先端が、基板２００の下面の検査端子に接触するようになっている。

以上説明したように、支持板５８及び持上げブロック６０を含んで、搬送部１２で搬送された基板２００を、下方から持ち上げて無端ベルト２８から離間させる持上げ部３４が構成されている。

一方、図１に示されるように、交換ユニット５０は、ベース板５２の装置幅方向の両端部を、保持部材４８の凹部４８Ａに挿抜することで、他の種類の基板を検査するために、本体部４０に対して交換可能となっている。

そして、ベース板５２の装置幅方向の両端部が、保持部材４８の凹部４８Ａに挿入された状態で、交換ユニット５０は、装置奥行方向、及び装置幅方向に予め決められた範囲内で、移動可能となっている。

〔上側ユニット１６〕
上側ユニット１６は、装置奥行方向において、一対の無端ベルト２８の間で、搬送部１２によって搬送される基板２００の上方で、かつ、下側ユニット１４と上下方向で対向するように配置されている。そして、上側ユニット１６は、図１に示されるように、天板２２０（骨格部材の一例）に取り付けられており、本体部１４０と、本体部１４０に対して交換可能な交換ユニット１５０とを備えている。

［本体部１４０］
本体部１４０は、装置の天板２２０の上面２２０Ａ側に取り付けられているエアシリンダ１４２と、エアシリンダ１４２の本体部１４２Ａの下方から突出したロッド１４２Ｂの先端に取り付けられている基台１４４とを備えている。

エアシリンダ１４２は、ロッド１４２Ｂが、上下方向に伸縮する（押引きする）ように配置されており、本体部１４２Ａが、天板２２０の上面２２０Ａ側に取り付けられている。さらに、ロッド１４２Ｂは、天板２２０に形成された貫通孔（図示省略）を通って下方に延びており、ロッド１４２Ｂの先端（下端）は、天板２２０の下面２２０Ｂから下方に突出している。

また、基台１４４は、ロッド１４２Ｂの先端（下端）に取り付けられている基礎板１４６と、基礎板１４６に取り付けられている一対の保持部材１４８とを備えている。

基礎板１４６は、板厚方向が上下方向とされており、上方から見て矩形状とされている。さらに、一対の保持部材１４８は、基礎板１４６の下面１４６Ａにおいて装置幅方向の両端部に取り付けられており、装置奥行方向に延びている。そして、一対の保持部材１４８には、他方の保持部材１４８側が開口する凹部１４８Ａが夫々形成されている。この凹部１４８Ａは、装置奥行方向に延びており、この凹部１４８Ａには、後述するベース板１５２の両端部が挿入されている。

［交換ユニット１５０］
交換ユニット１５０は、ベース板１５２と、ベース板１５２から下方に延びる複数の支柱１５６と、支柱１５６を介してベース板１５２に支持されている押板１５８と、押板１５８の下面１５８Ｂ側に取り付けられている複数の押付ブロック１６０とを備えている。さらに、交換ユニット１５０は、押板１５８に取り付けられているエアシリンダ１５４と、押板１５８の下面１５８Ｂ側に取り付けられている軸体１７０、１７２とを備えている。

また、交換ユニット１５０は、エアシリンダ１５４の本体部１５４Ａから下方に突出したロッド１５４Ｂの先端（下端）に取り付けられているピンボード１６２と、ピンボード１６２の下面１６２Ａ側に取り付けられていると共に、基板２００の検査端子と接触する複数のプローブピン１６８とを備えている。プローブピン１６８は、通電部材の一例である。このように、基板２００を検査するための検査部材１６４は、ピンボード１６２と複数のプローブピン１６８とを含んで構成されている。

−ベース板１５２−
ベース板１５２は、板厚方向が上下方向とされており、基礎板１４６の下方に配置されている。さらに、ベース板１５２は、上方から見て矩形状とされおり、ベース板１５２の装置幅方向の両端部は、保持部材１４８の凹部１４８Ａに挿抜可能に挿入されている。そして、ベース板１５２は、保持部材１４８の凹部１４８Ａに挿入された状態で、図示せぬ位置決め部材によって位置決めされるようになっている。

−支柱１５６、押板１５８、押付ブロック１６０−
支柱１５６は、４本設けられ、ベース板１５２の下面１５２Ａの四隅に配置されている。そして、夫々の支柱１５６は、基端がベース板１５２の下面１５２Ａ側に取り付けられており、下方に延びている。

押板１５８は、板厚方向が上下方向とされており、ベース板１５２の下方に配置されている。さらに、押板１５８は、上方から見て矩形状とされており、支柱１５６の先端（下端）が押板１５８の上面１５８Ａの四隅に取り付けられている。このようにして、押板１５８は、支柱１５６を介してベース板１５２に支持されている。

押付ブロック１６０は、下方に延びる直方体状とされており、押板１５８の下面１５８Ｂに複数取り付けられている。具体的には、複数の押付ブロック１６０は、上下方向で、支持板５８に取り付けられた持上げブロック６０と対向するように配置されている。そして、ピンボード１６２には、押付ブロック１６０が貫通する貫通孔（図示省略）が形成されている。

−軸体１７０、軸体１７２−
軸体１７０は、一対設けられ、検査装置の非稼働状態で、上下方向で、支持板５８に形成された貫通孔５８Ｃと対向して配置されている。軸体１７０は、基端（上端）が押板１５８の下面１５８Ｂ側に取り付けられており、下方に延びる円柱状とされている。さらに、軸体１７０の先端（下端）は、先細りとなっており、軸体１７０の最大直径は、貫通孔５８Ｃの直径よりも予め決められた長さだけ短くされている。

軸体１７２は、一対設けられ、装置奥行方向から見て、複数の押付ブロック１６０を挟み、かつ、一対の軸体１７０から挟まれて配置されている。軸体１７２は、基端（上端）が押板１５８の下面１５８Ｂ側に取り付けられており、下方に延びる円柱状とされ、軸体１７０より短くされている。さらに、一対の軸体１７２のピッチは、基板２００の一対の貫通孔２０２Ａ（図１９参照）の装置幅方向のピッチと同様とされている。また、軸体１７２の先端（下端）は、先細りとなっており、軸体１７２の直径は、基板２００の貫通孔２０２Ａの直径よりも予め決められた長さだけ短くされている。そして、ピンボード１６２には、軸体１７２が貫通する貫通孔（図示省略）が形成されている。

−エアシリンダ１５４、ピンボード１６２、プローブピン１６８−
エアシリンダ１５４は、ロッド１５４Ｂが、上下方向に伸縮する（押引きする）ように配置されており、本体部１５４Ａが、押板１５８の上面１５８Ａ側に取り付けられている。さらに、ロッド１５４Ｂは、押板１５８に形成された貫通孔（図示省略）を通って下方に延びており、ロッド１５４Ｂの先端（下端）は、押板１５８の下面１５８Ｂから下方に突出している。

ピンボード１６２は、板厚方向が上下方向とされており、押板１５８の下方で、かつ、支持板５８を挟んでピンボード６２の反対側に配置されている。そして、ピンボード１６２は、上方から見て矩形状とされており、押板１５８より小さくされ、エアシリンダ１５４のロッド１５４Ｂの先端に取り付けられている。

プローブピン１６８は、上下方向に延び、ピンボード１６２の下面１６２Ｂ側に取り付けられている。

以上の構成において、検査装置の非稼働状態で、図３に示されるように、エアシリンダ１４２のロッド１４２Ｂは、引込状態となっており、基台１４４は、待機位置に配置されている。さらに、基台１４４が待機位置に配置されている状態で、押板１５８に取り付けられた軸体１７０、１７２の先端、及び押付ブロック１６０の下端は、無端ベルト２８の上面２８Ａよりも上方に位置している。

さらに、エアシリンダ１５４のロッド１５４Ｂは、引込状態となっており、ピンボード１６２は、押板１５８と接近する接近位置に配置されている。また、ピンボード１６２が接近位置に配置されている状態で、プローブピン１６８の先端は、無端ベルト２８の上面２８Ａよりも上方に位置している。

さらに、下側ユニット１４のエアシリンダ４２が押出状態で、エアシリンダ１４２を稼動させて、引込状態のロッド１４２Ｂを、押出状態に移行させると、図８に示されるように、軸体１７０は、支持板５８の貫通孔５８Ｃに夫々貫通するようになっている。また、軸体１７０の先端は、ピンボード６２の貫通孔６２Ｃに挿入されるようになっている。

さらに、基板２００が持上げブロック６０によって持ち上げられている場合は、押付ブロック１６０が基板２００の上面と接触し、押付ブロック１６０と、持上げブロック６０とで、基板２００を挟むようになっている。

また、軸体１７２の先端は、基板２００に形成された貫通孔２０２Ａに挿入されるようになっている。

さらに、この状態で、エアシリンダ１５４を稼動させて、引込状態のロッド１５４Ｂを、押出状態に移行させると、図９に示されるように、接近位置に配置されているピンボード１６２が、押板１５８から離間する離間位置に移動するようになっている。そして、ピンボード１６２に取り付けられたプローブピン１６８の先端が、基板２００の上面の検査端子に接触するようになっている。

以上説明したように、押板１５８、押付ブロック１６０、エアシリンダ１５４、及び軸体１７２を含んで、持上げ部３４によって無端ベルト２８から離間された基板２００を上方から押して、持上げブロック６０との間で挟む押部１３４が構成されている。

さらに、搬送部１２、持上げ部３４、及び押部１３４を含んで、基板２００を支持する支持構造２０が構成されている。

〔制限部８０〕
制限部８０は、図３に示されるように、搬送部１２によって基板２００が搬送される搬送方向（以下「基板搬送方向」）において、検査ユニット１３の上流側で、かつ、無端ベルト２８の上面２８Ａの上方に配置されている。

制限部８０の内部には、上下方向に延びるロッド８０Ａ（図９参照）が設けられている。そして、制限部８０は、図示せぬ駆動部材を稼動させて、ロッド８０Ａを下方へ突出させる突出状態（図９参照）と、ロッド８０Ａを内部に収納する収納状態（図３参照）とに移行するようになっている。

この構成において、突出状態の制限部８０は、図９に示されるように、ロッド８０Ａが搬送部１２によって搬送される基板２００と当たることで、基板２００の搬送を制限するようになっている。これに対して、収納状態の制限部８０は、図３に示されるように、搬送部１２によって搬送される基板２００の搬送を許容するようになっている。

（作用）
次に、検査装置１０の作用について、検査装置１０を用いて基板２００を検査する工程によって説明する。

先ず、検査装置の非稼働状態の下側ユニット１４では、図３に示されるように、エアシリンダ４２のロッド４２Ｂは、引込状態となっており、基台４４は、待機位置に配置されている。また、基台４４が待機位置に配置されている状態で、支持板５８に取り付けられた持上げブロック６０の上面は、無端ベルト２８において、基板２００が載せられる上面２８Ａの下方に位置している。さらに、停止部６６は、収納状態となっている。

また、上側ユニット１６では、エアシリンダ１４２のロッド１４２Ｂは、引込状態となっており、基台１４４は、待機位置に配置されている。さらに、基台１４４が待機位置に配置されている状態で、押板１５８に取り付けられた軸体１７０、１７２の先端、及び押付ブロック１６０の下面は、無端ベルト２８の上面２８Ａの上方に位置している。

また、制限部８０は、収納状態となっている。さらに、搬送部１２では、モータ２６が非稼働となっており、無端ベルト２８が停止している（図２参照）。

この状態で、検査装置１０を稼動させると、制御部１８（図１８参照）は、搬送部１２のモータ２６を制御し、モータ２６を稼動させる（図２参照）。さらに、制御部１８は、停止部６６を制御し、収納状態の停止部６６を突出状態に移行させる（図４参照）。

そして、図２に示されるように、検査される基板２００が、無端ベルト２８において、基板搬送方向に対して検査ユニット１３の上流側の部分に載せられる。無端ベルト２８に載せられた基板２００は、図１７（Ａ）に示されるように、規制フレーム３２によって、装置奥行方向の位置が規制されながら、基板搬送方向の下流側へ搬送される。

そして、図４、図５に示されるように、突出状態の停止部６６は、搬送されている基板２００にロッド６６Ａを当てることで、基板２００の搬送を停止させる。さらに、基板２００の停止を図示せぬセンサが検知すると、この情報を制御部１８が受け取り、制御部１８は、搬送部１２のモータ２６を制御し、モータ２６を非稼動とする。また、制御部１８は、停止部６６を制御し、図６に示されるように、突出状態の停止部６６を収納状態に移行させる。

停止部６６が収納状態に移行すると、制御部１８は、エアシリンダ４２を制御し、図７に示されるように、引込状態のロッド４２Ｂを、押出状態に移行させる。これにより、支持板５８に取り付けられた持上げブロック６０が、基板２００の下面と接触して基板２００を下方から支持して持ち上げ、基板２００を無端ベルト２８から離間させる（図１７（Ｂ）参照）。

基板２００が無端ベルト２８から離間すると、制御部１８は、制限部８０を制御し、収納状態の制限部８０を突出状態に移行させる。さらに、制御部１８は、搬送部１２のモータ２６を制御し、モータ２６を稼動させる（図２参照）。

そして、次に検査される基板２００が、無端ベルト２８において、基板搬送方向に対して検査ユニット１３の上流側の部分に載せられる（図２参照）。無端ベルト２８に載せられた基板２００は、基板搬送方向の下流側へ搬送される。また、突出状態の制限部８０は、図８に示されるように、搬送されている基板２００にロッド８０Ａを当てることで、基板２００の搬送を制限する。

さらに、制御部１８は、エアシリンダ１４２を制御し、引込状態のロッド１４２Ｂを、押出状態に移行させる。これにより、図８に示されるように、軸体１７０は、支持板５８の貫通孔５８Ｃを夫々貫通し、かつ、軸体１７０の先端が、ピンボード６２の貫通孔６２Ｃに挿入される。さらに、軸体１７２の先端は、基板２００に形成された貫通孔２０２Ａ（図１９参照）に挿入される。また、軸体１７２の先端が貫通孔２０２Ａに挿入されている状態で、押付ブロック１６０が基板２００の上面と接触し、押付ブロック１６０と、持上げブロック６０とで、基板２００を挟む。

このようにして、支持板５８及びピンボード６２は、軸体１７０によって押板１５８に位置決めされ、基板２００は、軸体１７２によって押板１５８に位置決めされる。さらに、基板２００は、押付ブロック１６０と、持上げブロック６０とで挟まれて支持される。

この状態で、制御部１８は、エアシリンダ１５４を制御し、図９に示されるように、引込状態のロッド１５４Ｂを、押出状態に移行させる。これにより、ピンボード１６２に取り付けられたプローブピン１６８の先端が、基板２００の上面の検査端子に接触する。

プローブピン１６８の先端が、基板２００の上面の検査端子に接触すると、制御部１８は、エアシリンダ５４を制御し、図１０に示されるように、引込状態のロッド５４Ｂを、押出状態に移行させる。これにより、ピンボード６２に取り付けられたプローブピン６８の先端が、基板２００の下面の検査端子に接触する。

この状態で、図示せぬ検査部によって、プローブピン６８及びプローブピン１６８を介して基板２００の電気的検査が行われる。

基板２００の電気的検査が終了すると、制御部１８は、エアシリンダ５４を制御し、図１１に示されるように、押出状態のロッド５４Ｂを、引込状態に移行させる。これにより、ピンボード６２に取り付けられたプローブピン６８の先端が、基板２００の下面の検査端子から離間する。

プローブピン６８の先端が、基板２００の下面の検査端子から離間すると、制御部１８は、エアシリンダ１５４を制御し、図１２に示されるように、押出状態のロッド１５４Ｂを、引込状態に移行させる。これにより、ピンボード１６２に取り付けられたプローブピン１６８の先端が、基板２００の上面の検査端子から離間する。

プローブピン１６８の先端が、基板２００の上面の検査端子から離間すると、制御部１８は、エアシリンダ１４２を制御し、図１３に示されるように、押出状態のロッド１４２Ｂを、引込状態に移行させる。これにより、基台１４４が待機位置に移動することで、軸体１７０は、支持板５８の貫通孔５８Ｃ、及びピンボード６２の貫通孔６２から抜去される。さらに、軸体１７２が、基板２００に形成された貫通孔２０２Ａ（図１９参照）から抜去される。また、押付ブロック１６０が、基板２００の上面から離間する。

基台１４４が待機位置に移動すると、制御部１８は、エアシリンダ４２を制御し、図１４に示されるように、押出状態のロッド４２Ｂを、引込状態に移行させる。これにより、基台４４は、待機位置に移動することで、持上げブロック６０が下方に移動して、検査が終了した基板２００が、周回している無端ベルト２８に載せられる。また、持上げブロック６０が基板２００の下面と離間する。そして、搬送部１２は、検査が終了した基板本体２０２を、基板搬送方向の下流側へ搬送する。

検査が終了した基板本体２０２が基板搬送方向の下流側へ搬送されると、制御部１８は、停止部６６を制御し、図１５に示されるように、収納状態の停止部６６を突出状態に移行させる。さらに、制御部１８は、制限部８０を制御し、突出状態の制限部８０を収納状態に移行させる。これにより、次に検査される基板２００が、基板搬送方向の下流側へ搬送される。また、突出状態の停止部６６は、図１６に示されるように、搬送されてきた基板２００にロッド６６Ａを当てることで、基板２００の搬送を停止する。

そして、前述した工程を繰り返すことで、搬送されてきた基板２００が検査される。

ここで、比較形態に係る検査装置５００と比較しつつ、検査装置１０の作用について説明する。まず、比較形態に係る検査装置５００の構成について、検査装置１０と異なる部分を主に説明する。

検査装置５００の支持板５８には、基板の下面と接触する持上げブロック６０は設けられておらず、図２０（Ａ）に示されるように、支持板５８には、複数の持上げピン５６０が設けられている。

この持上げピン５６０には、段部５６０Ａが形成されており、段部５６０Ａの上方側の部分が、段部５６０Ａの下部側の部分よりも小径化されている。さらに、支持ピン５６０の先端は、先細りとされている。

さらに、検査される基板５００には、持上げピン５６０において小径部５６０Ｂが挿入される貫通孔５０２Ａが形成されている。そして、持上げピン５６０における小径部５６０Ｂの直径は、貫通孔５０２Ａの直径よりも予め決められた長さだけ短くされている。さらに、持上げピン５６０における大径部５６０Ｃの直径は、貫通孔５０２Ａの直径よりも長くされている。

この構成よって、基板５００を持ち上げて無端ベルト２８から離間させる場合には、図２０（Ｂ）に示されるように、支持板５８が上方に移動し、持上げピン５６０の小径部５６０Ｂが貫通孔５０２Ａに挿入される。そして、持上げピン５６０の段部５６０Ａで基板２００を支持することで、基板２００が持ち上げられ、無端ベルト２８から離間する。このようにして、基板２００が、持上げピン５６０によって位置決めされ、無端ベルト２８から離間する。

しかし、この構成では、例えば、搬送される基板５００の位置がばらつくと、図２０（Ｃ）に示されるように、持上げピン５６０の先端に、貫通孔５０２Ａの縁が引っ掛かってしまい、基板５００が斜めに持ち上げられてしまうことがある。

一方、検査装置１０では、図１７（Ａ）（Ｂ）に示されるように、持上げブロック６０が、基板本体２０２の下面に接することで、基板２００が持ち上げられる。そして、基板２００が持ち上げられた状態で、軸体１７２の先端が基板２００の貫通孔２０２Ａに挿入される（図８参照）。

（まとめ）
以上説明したように、検査装置１０では、持上げブロック６０が、基板本体２０２の下面に接することで、基板２００が持ち上げられる。このため、持上げピン５６０を貫通孔５０２Ａに挿入させることで基板５００を持ち上げる場合と比して、基板２００が傾いた状態で持ち上げられるのが抑制される。換言すれば、基板２００を支持する支持構造２０では、持上げピン５６０を基板５００の貫通孔５０２Ａに挿入させることで基板５００を位置決めし、かつ、基板５００を持ち上げる場合と比して、基板２００が傾いた状態で持ち上げられるのが抑制される。

また、基板２００が無端ベルト２８から離間した状態で、軸体１７２の先端が、基板本体２０２に形成された貫通孔２０２Ａ（図１９参照）に挿入され、さらに、持上げブロック６０と、押付ブロック１６０とで基板２００を挟む。このため、支持構造２０では、無端ベルト２８の上面２８Ａの上下方向のばらつき等に係わらず、基板２００が、支持され、かつ、位置決めされる。

また、検査装置１０においては、交換ユニット５０が、本体部４０に対して交換可能に取り付けられている。換言すれば、検査部材６４、及び支持板５８は、本体部４０に交換可能に取り付けられている。このため、検査装置１０では、基板２００において下面の検査端子の位置が異なる複数の基板が検査される。

また、交換ユニット１５０は、本体部１４０に対して交換可能に取り付けられている。換言すれば、検査部材１６４、及び押板１５８は、本体部１４０に交換可能に取り付けられている。このため、検査装置１０では、基板２００において上面の検査端子の位置が異なる複数の基板が検査される。

また、検査装置１０は、基板２００の上面の検査端子に接触するプローブピン１６８を備えた検査部材１６４と、基板２００の下面の検査端子に接触するプローブピン６８を備えた検査部材６４とを備えている。このため、基板２００の両面に検査端子が形成されている場合であっても、基板２００が検査される。

また、検査部材６４のピンボード６２には、搬送されている基板２００を停止させる停止部６６が取り付けられている。そして、前述したように検査部材６４は、本体部４０に交換可能に取り付けられている。このため、基板２００を停止させる位置が、基板２００の種類毎に決められる。

なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明は係る実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態をとることが可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記実施形態では、基板２００の両面に検査端子が形成されている場合について説明したが、基板の上面だけに検査端子が形成されている場合は、基板２００の下面の検査端子に接触するプローブピン１６８等が不要になる。

また、上記実施形態では特に説明しなかったが、軸体１７２が基板２００の貫通孔２０２Ａに挿入されるタイミングについては、軸体１７２が貫通孔２０２Ａに挿入される際に基板２００が無端ベルト２８から離間していればよく、基板２００が上下方向に移動してもよく、また、停止していてもよい。

１０ 検査装置
１２ 搬送部
２０ 支持構造
３４ 持上げ部
４０ 本体部
６４ 検査部材
６６ 停止部
６８ プローブピン（通電部材の一例）
１３４ 押部
１４０ 本体部
１６４ 検査部材
１６８ プローブピン（通電部材の一例）
１７２ 軸体
２００ 基板
２０２Ａ 貫通孔（孔の一例）

Claims (6)

1. 孔が形成された基板が載せられ、該基板を搬送する搬送部と、
   該搬送部で搬送された該基板を下方から持ち上げて、該基板を該搬送部から離間させる持上げ部と、
   該持上げ部により該搬送部から離間した該基板を該持上げ部との間で挟むと共に、該搬送部から離間している状態の該基板の該孔に挿入される軸体を有する押部と、
   を備える支持構造。
2. 請求項１に記載された支持構造と、
   前記基板の上面に形成された電気的検査を行うための検査端子に接触して通電する通電部材を有し、前記押部に取り付けられている検査部材と、
   を備える検査装置。
3. 前記検査部材、本体部に交換可能に取り付けられている請求項２に記載の検査装置。
4. 請求項１に記載された支持構造と、
   前記基板の下面に形成された電気的検査を行うための検査端子に接触して通電する通電部材を有し、前記持上げ部に取り付けられている検査部材と、
   を備える検査装置。
5. 前記検査部材は、本体部に交換可能に取り付けられている請求項４に記載の検査装置。
6. 前記検査部材には、前記搬送部で搬送される前記基板と当たって、前記基板を停止させる停止部が取り付けられている請求項４又は５に記載の検査装置。