JP5302091B2 - 基板保持装置 - Google Patents

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Description

本発明は、有機ELディスプレイその他のフラットパネルディスプレイ(FPD)などの基板を保持する基板保持装置に関する。
従来、例えば、FPDの製造工程では、薄板状のガラス基板の品質を管理するために各製造工程毎にガラス基板を、ロボットや作業者の手作業により検査装置のステージ上に搬入して検査している。この時、ガラス基板を基準ピンに押し当てて基準位置に位置決めした後、ガラス基板を真空吸着によりステージ上に吸着保持するようにしている。
ところが、ガラス基板をステージ上に載置すると、基板をホルダ上で位置決めする際にステージと基板との間の摩擦によって基板に大きな力を加える必要があり、基板が破損するという問題があった。
この問題を解決するために、ステージ上にボールキャスタを介して保持ステージを載置し、この保持ステージにガラス基板を吸着保持させた後、保持ステージを押付けピンにより基準ピン側に移動させることで、基板を直接的に基準ピンに押し当てて基板の位置決めをする手法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平8−313815号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載されるように保持ステージの一部に基準ピンと接触させる切欠きを形成し、薄くて脆いガラス基板を基準ピンに直接的に押し当てて基板の位置決めを行うと、基準ピンに押し当てられた際に保持ステージの重量によりガラス基板に大きな集中荷重が加わり破損するという新たな問題が生じる。また、作業者の手作業によりガラス基板を保持ステージ上に搬入する場合、薄いガラス基板の両端を手で持って保持ステージ上に置く際に、ガラス基板が大きく撓み破損するおそれがある。
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、位置決め時の基板の破損を防ぐことができるとともに、基板を正確に位置決めできる基板保持装置を提供することである。
本発明の一実施態様にかかる基板保持装置は、 基板と電気的に接続するためのトレイ側給電端子を備え、前記基板を基準位置に位置決めして収納するための基板トレイと、前記トレイ側給電端子に接続される装置側給電端子を備え、前記基板トレイが載置されるホルダと、前記基板トレイを前記ホルダの基準位置に位置決めすることで、前記トレイ側給電端子と前記装置側給電端子との接続を行うトレイ位置決め機構と、を備えるものである
本発明によれば、位置決め時の基板の破損を防ぐことができるとともに、基板を正確に位置決めできる。
本発明の一実施の形態に係る、基板トレイが載置された基板保持装置を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態に係る基板保持装置を示す斜視図(その1)である。 本発明の一実施の形態に係る基板保持装置を示す斜視図(その2)である。
以下、本発明の実施の形態に係る基板保持装置について、図面を参照しながら説明する。
本実施の形態では、基板(有機ELディスプレイ)Sの点灯検査工程において基板Sを保持する基板保持装置1について説明する。
図1〜図3に示す基板保持装置1は、矩形状の基板Sを基準位置に位置決めして収納する収納する基板トレイ2と、基板トレイ2が載置されるホルダ3と、基板トレイ2をホルダ3の基準位置に位置決めするトレイ位置決め機構4と、装置側給電端子5と、2つのリフタ6,7と、3つのストッパ8,9,10と、シリンダ11,12と、ホルダ用スライダ13とを備える。
図1に示すように、基板トレイ2は、装置側給電端子5に接続されるトレイ側給電端子2aと、基板トレイ2に対し基板Sを位置決めする基板位置決め機構(2e〜2m)とを有する。
また、基板トレイ2は、矩形状の開口部2bが形成された略矩形枠状を呈する。開口部2bには、その短辺方向と平行に複数の基板支持梁2cが架設されている。基板支持梁2cは、断面が矩形状の棒部材により形成され、その上面に基板Sの底面を支持する基板支持ピン2dが一定間隔で並設されている。支持ピン2dの上端には、低摩擦部材よりなるボールが回転自在に埋めこまれている。支持ピン2dは、基板Sとの接触摩擦抵抗が小さな部材で形成すれば、先端にボールを埋設しなくても良い。また、基板支持梁2cは、低摩擦部よりなる線材であってもよく、この場合には支持ピン2dは不要となる。
トレイ側給電端子2aは、基板トレイ2の短辺側の側面端部から外側に突出するように設けられている。なお、基板Sと基板トレイ2とを例えば図示しない配線を介して互いに接続しておくことで、ホルダ3の装置側給電端子5からトレイ側給電端子2aへ供給される電流を、基板トレイ2から基板Sに供給して、基板Sの点灯検査を行うことができる。
基板位置決め機構は、基板Sの基準位置を規定する例えば円筒ローラや円柱ピンなどの3つの基板用基準部材2e,2f,2gと、これら基板用基準部材2e,2f,2gに対し基板Sを押付ける2つの基板押付部材2h,2iと、これら基板押付部材2h,2iを移動させる駆動機構とを含んで構成される。駆動機構は、基板押付部材2h,2iを支持するスライダ2j,2kと、これらスライダ2j,2kを開口部2bの長辺と短辺に沿って移動させるガイドレール2l,2mとを含んで構成される。スライダ2j,2kとガイドレール2l,2mの一方の組は、リニアモータで構成される。
基板用基準部材2e,2f,2gは、開口部2bの基準となる2辺に沿うように基板トレイ2の上面に設けられている。3つのうち2つの基板用基準部材2e,2fは、トレイ側給電端子2a寄りの長辺側(図1の奥側)の基板トレイ2上面に所定の間隔を開けて設けられ、残る1つの基板用基準部材2gは、トレイ側給電端子2aが位置する短辺側(図1の左側)の基板トレイ2上面に設けられている。これら基板用基準部材2e,2f,2gは、ガイドレール2l,2m及びスライダ2j,2kと干渉しない位置に設けられている。
2つのうち一方の基板押付部材2hは、基板用基準部材2e,2fが設けられた長辺に対向する長辺側(図1の手前側)のトレイ側給電端子2a寄りの端部に設けられ、他方の基板押付部材2iは、基板用基準部材2gが設けられた短辺と対向する短辺側(図1の右側)のトレイ側給電端子2a寄りの端部に設けられている。
ガイドレール2l,2mは、本実施の形態ではスライダ2j,2kを移動させるリニアガイド等からなり、一方のガイドレール2lは、基板用基準部材2gが設けられた短辺側(図1の左側)の基板トレイ2上面に短辺の半分以上の長さに亘って設けられ、他方のガイドレール2mは、基板用基準部材2e,2fが設けられた長辺側(図1の奥側)の基板トレイ2上面に長辺の半分以上の長さに亘って設けられている。
なお、ガイドレール2l,2mは、基板用基準部材2e,2f,2g及び基板押付部材2h,2iで区画される基板収納領域(図1においては基板Sと略同一領域)の外側に配置されている。
作業者が基板トレイ2を手で持つことができるように、基板トレイ2の上面のうち両短辺側には、持ち手部2n,2oが設けられている。
ホルダ3は、図2及び図3に示すように、平面視矩形の開口部3aが形成された矩形枠状を呈する。ホルダ3の上面のうち基板トレイ2が載置される開口部3aの近傍には、基板トレイ2の裏面との摩擦抵抗を小さくする目的のために、転動自在に支持されたボール3bが、ホルダ3の上面から突出するように埋め込まれている。本実施の形態では、基板トレイ2の搬入方向となる各短辺にボール3bが4つ、各長辺に1つの計10個が埋設されている。
トレイ位置決め機構4は、基板トレイ2の基準位置を規定する3つのトレイ用基準部材4a,4b,4cと、これらトレイ用基準部材4a,4b,4cに対し基板トレイ2を押付ける3つのトレイ押付部材4d,4e,4fと、トレイ押付部材4d,4e,4fを移動させる駆動機構とを含んで構成される。
この駆動機構は、3つのうち2つのトレイ押付部材4d,4eを支持し基板トレイ2と略平行な面内に延びるアーム部を有するスライダ4g,4hと、これらスライダ4g,4hを開口部3aの長辺と短辺に沿って移動させるガイドレール4i,4jと、スライダ4g,4hが初期位置(トレイ押付部材4d,4eの押付け方向と反対方向に退避した図1〜図3に示す状態)にあるか否かを検出するセンサ4k,4lとを有する。本実施の形態では、トレイ押付部材4fとトレイ用基準部材4cを用いてトレイ側給電端子2aを装置側給電端子5に対し挿抜する。
3つのうち2つのトレイ用基準部材4a,4bは、装置側給電端子2a寄りの長辺側(図1の奥側)のホルダ3上面に設けられ、残る1つのトレイ用基準部材4cは、装置側給電端子5が位置する短辺側(図1〜図3の左側)のホルダ3上面に設けられている。
3つのうち2つのトレイ押付部材4d,4eは、トレイ用基準部材4a,4bが設けられた長辺と対向する長辺側(図1〜図3の手前側)の両端に設けられ、残る1つのトレイ押付部材4fは、トレイ用基準部材4cが設けられた短辺と対向する短辺側(図1〜図3の右側)に装置側給電端子5と対向するように設けられている。
アーム部を兼ねるスライダ4g,4hとガイドレール4i,4jは、一方の組がリニアモータで構成されている。一方のガイドレール4iは、トレイ用基準部材4cが設けられた短辺側(図1〜図3の左側)のホルダ3上面に設けられ、他方のガイドレール4jは、ガイドレール4iが設けられた短辺と対向する短辺側(図1〜図3の右側)のホルダ3上面に設けられている。
なお、ガイドレール4i,4jは、トレイ用基準部材4a,4b,4c及びトレイ押付部材4d,4e,4fで区画されるトレイ載置領域(図1〜図3においては基板トレイ2と略同一領域)の外側に配置されている。また、ガイドレール4i,4jは、トレイ用基準部材4a,4b,4c及びトレイ押付部材4d,4e,4fが最も外側に位置する際のトレイ載置領域すなわち最大時のトレイ載置領域のうち、ガイドレール4i,4jと平行する開口部3aの辺に沿って設けられている。本実施の形態では、ガイドレール4i,4jは、開口部3aの辺(短辺)の長さの3分の1の長さに亘って設けられている。ガイドレール4i,4jの長さは、ホルダ3上に載置される最大サイズの基板トレイの長さから最小サイズの基板トレイの長さを引いた長さより若干長めであればよい。
図3に示すように、リフタ6,7は、ホルダ3の短辺方向に延び基板トレイ2が載置される棒状の載置部6a,7aと、この載置部6a,7a及び図示しない駆動部に接続されて載置部6a,7aを上下動させるアーム部6b,7bとを有する。
載置部6a,7aは、基板トレイ2が載置される上方の位置と、ホルダ3との間で基板トレイ2を受け渡す下方の位置とに上下動する。なお、図3に示す状態の載置部6a,7aは、ホルダ3との間で基板トレイ2を受け渡す位置よりも更に下方に退避している。
詳しくは後述するが、載置部6a,7aは、基板トレイ2のホルダ3への搬入時には、ホルダ3の上面より上方に突出した基板トレイ2の受け渡し位置に停止し、例えば作業者の手により基板トレイ2が載置される。その後、載置部6a,7aを下降させて基板ホルダ3上に基板トレイ2を載置する。また、載置部6a,7aは、基板トレイ2のホルダ3からの搬出時には、上昇して基板ホルダ3から基板トレイ2を受取り、更に基板トレイ2の受け渡し位置まで上昇して停止し、例えば作業者の手により基板保持装置1から基板トレイ2を搬出させる。
なお、載置部6a,7aの少なくとも上面(基板トレイ2との当接面)を低摩擦素材からなるようにすることで、載置部6a,7a上で基板トレイ2をスライドさせて、後述するストッパ8,9,10に対し基板トレイ2を簡単に当接させることができる。
ストッパ8,9は、トレイ用基準部材4a,4bの基準点よりも内側に前進した第1の位置(P1)と、トレイ用基準部材4a,4bの基準点よりも外側に後退した第2の位置(P2)とに移動する。
具体的には、ストッパ8,9は、リフタ6,7が上昇し基板トレイ2をホルダ3に搬入する際に、基板トレイ2がトレイ用基準部材4a,4bを乗り越えることなくホルダ3のトレイ載置領域に載置されるように、第1の位置(P1)まで前進する。ストッパ10は、トレイ押付部材4fより内側に設けられている。リフタ6,7上に載置された基板トレイ2をストッパ8,9,10に当て付けることによりトレイ載置領域に位置決めする。
なお、ストッパ8,9は、リフタ6,7の下降動作時に基板トレイ2がストッパ8,9との当接面を摺動するのを抑えるために、リフタ6,7の下降動作に同期して第1の位置(P1)から第2の位置(P2)に後退する。また、ストッパ10も、リフタ6,7の下降動作時に基板トレイ2がストッパ10との当接面を摺動するのを抑えるために、リフタ6,7の下降動作に同期して下降する。
また、ストッパ8,9,10は、例えば、顕微鏡その他の検査部などとの干渉を回避するために、基板トレイ2がホルダ3の所定位置に載置された後に、基板Sの載置面よりも下側に退避させることが望ましい。
3つのうち2つのストッパ8,9は、トレイ用基準部材4a,4bが設けられたホルダ3の長辺側(図1〜3の奥側)で且つトレイ用基準部材4a,4bの近傍に配置され、残る1つのストッパ8は、トレイ押付部材4fが設けられたホルダ3の短辺側(図1〜図3の右側)に配置されている。
ストッパ8,9は、略直方体形状を呈し、第1の位置(P1)においてトレイ用基準部材4a,4b,4c及びトレイ押付部材4d,4e,4fで区画されるトレイ載置領域内に位置し、第2の位置(P2)においてトレイ載置領域の外側に位置する。具体的には、ストッパ8,9は、第1の位置(P1)において立ち上がった状態にあり、シリンダ(駆動部)11,12の駆動によって、第1の位置(P1)から第2の位置(P2)に向かって倒れながら下方に退避する。
ストッパ10は、例えば円筒ローラや円柱ピンであり、図示しない駆動部の駆動によって、ホルダ3の上面から突出した第1の位置(P1)と、ホルダ3の上面より下降した第2の位置(P2)との間で上下動する。
ホルダ用スライダ13は、ホルダ3の底面の4つ角に設けられ、例えば検査装置や搬送装置の架台上に平行に設けられた一対のガイドレール14(一部のみ図示)に沿って移動する。本実施の形態では、一方のホルダ用スライダ13が一方のガイドレール14を自走するリニアモータで構成される。他方のホルダ用スライダ13は、他方のガイドレール14上をホルダ3に追従して移動する。
以下、基板保持装置1の動作について、上述の構成の説明と重複する部分を適宜省略しながら説明する。
まず、基板Sが基板位置決め機構2e〜2mによって位置決めされて収納された基板トレイ2は、例えば、作業者により持ち手部2n,2oを掴まれて基板保持装置1上に搬入される。
この基板トレイが搬入されるときのリフタ6,7は、載置部6a,7aがホルダ3の開口部3aから上方に突出した位置に待機し、作業者により運ばれてきた基板トレイ2が載置部6a,7a上に載置される。また、ストッパ8,9,10は、リフタ6,7上の基板トレイ2が当接可能な第1の位置(P1)にあり、基板トレイ2は、例えば作業者に押されることでリフタ6,7の載置部6a,7a上をスライドして、ストッパ8,9,10に当接して大まかに位置決めされる。
次に、リフタ6,7が下降して基板トレイ2がホルダ3上に載置される。なお、リフタ6,7の下降動作と同時に、ストッパ8,9,10が第1の位置(P1)から第2の位置(P2)に退避する。
ホルダ3上に基板トレイ2が載置されたことが図示しないセンサにより検出されると、2つのトレイ押付部材4d,4eが2つのトレイ用基準部材4a,4bに対し基板トレイ2を押付ける。基板トレイ2をトレイ用基準部材4a,4bに押付けた状態で、その押付方向と交差する方向からトレイ押付部材4fが基板トレイ2を装置側給電端子5及びトレイ用基準部材4cに対し押付ける。これにより、基板トレイ2のトレイ側給電端子2aが装置側給電端子5に接続されると共に、基板トレイ2が3つのトレイ用基準部材4a,4b,4cに当て付けられて位置決めが完了する。
この後、装置側給電端子5からトレイ側給電端子2aへ供給される電流を、基板トレイ2から基板Sに供給して、基板Sを点灯させ点灯検査を行う。
基板Sの点灯検査時には、ホルダ用スライダ13をガイドレール14に沿って駆動させてホルダ3を一方向に移動させることで、顕微鏡などのミクロ検査装置あるいは作業者による目視観察を行うことが可能となる。なお、基板保持装置1を固定し、ミクロ検査装置をXY方向に移動させて検査を行う場合には、ホルダ用スライダ13やガイドレール14は不要になる。
検査が終了して基板トレイ2をホルダ3から取り外す際には、まず、基板押付部材4f(図1〜図3の右側)を、基板トレイ2を押付ける位置から後退させる。そして、基板用基準部材4c(図1〜図3の左側)を前進させて基板トレイ2を押して装置側給電端子5から基板トレイ2のトレイ側給電端子2aを切り離す。また、スライダ4g,4h(図1〜図3の手前側)をガイドレール4i,4jに沿って後退させて、基板押付部材4d,4eを、基板トレイ2を押付ける位置から退避させる。そして、基板用基準部材4a,4b(図1〜図3の奥側)により基板トレイ2を押付けて基板トレイ2を前方に寄せる。
このように基板位置決め機構4による位置決めが解除されると、図2に示すリフタ6,7が下方の退避位置から上昇して基板ホルダ3から基板トレイ2を受取り、更に上昇して載置部6a,7aがホルダ3の開口部3aから上方に突出した状態で、例えば作業者の手により基板保持装置1から基板トレイ2を搬出させる。
以上説明した本実施の形態では、基板保持装置1は、基板Sを基準位置に位置決めして収納する基板トレイ2が載置されるホルダ3と、基板トレイ2をホルダ3の基準位置に位置決めするトレイ位置決め機構4とを備える。そのため、基板トレイ2に基板Sを収納し、この基板トレイ2をトレイ位置決め機構4によりホルダ3に対し位置決めするため、基板Sにトレイ位置決め機構4が直接触れることなく位置決めすることが可能になり、位置決め時の基板Sの破損を防ぐことができる。更には、基板Sを基板トレイ2に収納することにより、基板トレイ2に収納したまま作業者の手による薄くて撓みやすい基板を安全に搬送することができるとともに、搬送時等に基板Sに大きな負荷が加わらないため破損しづらくなり、基板Sの破損を有効に防ぐことができる。
また、本実施の形態では、トレイ位置決め機構4は、基板トレイ2のトレイ側給電端子2aと装置側給電端子5とを接続する。更には、トレイ押付部材4d,4eが基板トレイ2をトレイ用基準部材4a,4bに対し押付けた状態で、その押付方向と交差する方向にトレイ押付部材4fが基板トレイ2を装置側給電端子5に対し押付ける。これらの構成により、基板トレイ2の位置決め動作によって、装置側給電端子5にトレイ側給電端子2aを確実に接続させることができる。
また、本実施の形態では、ストッパ8,9,10は、基板トレイ2が載置されたホルダ3の上面より下方に退避するため、顕微鏡などのミクロ検査部がストッパ8,9,10に干渉することなく安全に基板を検査することができる。
また、本実施の形態では、ストッパ8,9は、基板トレイ2の搬入時において、複数のトレイ用基準部材4a,4b,4cより若干前方の位置まで前進させ、基板トレイ2の位置決時においてトレイ載置領域の外側に後退させる。このような構成により、基板トレイ2をホルダ3上に搬入する際に、基板トレイ2の移動がストッパ8,9により規制されるため、トレイ用基準部材4a,4b,4c等への基板トレイ2の乗り上げを防止することができる。
また、本実施の形態では、ストッパ8,9は、リフタ6,7の下降動作に同期して倒れながら後退すると共に、ストッパ10は、基板トレイ2の下降動作に追従して下降するため、基板トレイ2がストッパ8,9,10に摺接することなく、基板トレイ2をホルダ3に対して受け渡すことが可能になり、擦れによる発塵を防止することができる。
また、本実施の形態では、リフタ6,7は、基板トレイ2が載置される上方の位置と、ホルダ3との間で基板トレイ2を受け渡す下方の位置とに上下動し、ストッパ8,9,10は、基板トレイ2がリフタ6,7に載置される際に基板トレイ2の上面よりも突出して設けられるため、トレイ用基準部材4a,4b,4c等への基板トレイ2の乗り上げを有効に防止することができる。
また、本実施の形態では、トレイ位置決め機構4は、トレイ押付部材4d,4eを支持するスライダ4g,4hをガイドレール4i,4jに沿って移動可能に設けることで、スライダ4g,4hを任意の位置に移動させ可動範囲を広げることが可能になり、複数サイズの基板トレイ2をホルダ3に対し容易に位置決めすることができる。
また、本実施の形態では、基板トレイ用の基板位置決め機構は、基板押付部材2h,2iを支持するスライダ2j,2kをガイドレール2l,2mに沿って移動可能に設けることで、スライダ2j、2kを任意の位置に移動させ可動範囲を広げることが可能になり、複数サイズの基板Sを基板トレイ2に対し容易に位置決めすることができる。
また、本実施の形態では、ガイドレール2l,2mは、複数の基板用基準部材2e,2f,2g及び複数の基板押付部材2h,2iで区画される基板収納領域の外側に位置するため、基板Sの検査時において、ガイドレール2l,2m及びスライダ2j,2kがミクロ検査部の移動の妨げとなるのを防ぐことができる。
また、本実施の形態では、基板トレイ2を略矩形枠状に形成し、その開口部2bに複数の基板支持梁2cを架設して基板Sを水平に支持する構成とすることで、基板Sの裏面との摩擦抵抗を小さくできるため、小さな押圧力により基板Sを基板用基準部材2e,2f、2gに押し当てて位置決めすることができる。また、基板Sを位置決めした基板トレイ2をホルダ3上に載置させて、基板トレイ2の枠部を押してトレイ用基準部材に押し当てて位置決めすることで、重量のある基板トレイ2の位置決めの際に基板Sに接触することなく安全にホルダ3上に基板Sを位置決めすることができる。更に、基板トレイ2の上とホルダ3の上で位置決めすることで、ホルダ3に対して基板Sを精度よく位置決めすることができる。
なお、本実施の形態では、トレイ位置決め機構4によって基板トレイ2のトレイ側給電端子2aを挿抜する例について説明したが、給電端子を有さない基板トレイ2の場合にも、トレイ位置決め機構4は、トレイ用基準部材4a,4b,4c、トレイ押付部材4d,4e,4fなどを用いて基板トレイ2を基準位置に位置決めする。
また、本実施の形態では、基板トレイ2及びホルダ3の中央に開口部2a,3bが形成される例について説明したが、透過照明を用いた検査を行わない場合などには開口部2a,3bを設けなくともよい。
また、本実施の形態では、基板トレイ2に持ち手部2n,2oを設け、作業者が手で基板トレイ2を搬送する例について説明したが、搬送ローラ、搬送ロボット等の搬送手段が基板トレイ2を搬送するようにしてもよい。
また、本実施の形態では、基板Sを有機ELディスプレイとして説明したが、液晶ディスプレイその他のフラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板等を保持するのにも基板保持装置1を用いることができる。
1 基板保持装置
2 基板トレイ
2a トレイ側給電端子
2b 開口部
2c 基板支持梁
2d 基板支持ピン
2e,2f,2g 基板用基準部材
2h,2i 基板押付部材
2j,2k スライダ
2l,2m ガイドレール
2n,2o 持ち手部
3 ホルダ
3a 開口部
3b ボール
4 トレイ位置決め機構
4a,4b,4c トレイ用基準部材
4d,4e,4f トレイ押付部材
4g,4h スライダ
4i,4j ガイドレール
4k,4l センサ
5 装置側給電端子
6,7 リフタ
6a,7a 載置部
6b,7b アーム部
8,9,10 ストッパ
11,12 シリンダ
13 ホルダ用スライダ
14 ガイドレール

Claims (5)

  1. 基板と電気的に接続するためのトレイ側給電端子を備え、前記基板を基準位置に位置決めして収納するための基板トレイと、
    前記トレイ側給電端子に接続される装置側給電端子を備え、前記基板トレイが載置されるホルダと、
    前記基板トレイを前記ホルダの基準位置に位置決めすることで、前記トレイ側給電端子と前記装置側給電端子との接続を行うトレイ位置決め機構と、
    を備えた基板保持装置。
  2. 前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの基準位置を規定する複数のトレイ用基準部材と、該複数のトレイ用基準部材に対し前記基板トレイを押付ける複数のトレイ押付部材とを有し、
    前記複数のトレイ押付部材は、前記基板トレイを前記トレイ用基準部材に対し押付ける基板トレイ押付部材と、その押付方向と交差する方向に前記基板トレイを前記装置側給電端子に対し押付けるトレイ押付部材とを含む、
    ことを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。
  3. 前記基板トレイの前記基板保持装置への搬入時の第1の位置と該第1の位置から下方に退避した第2の位置とに移動するストッパを更に備えることを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。
  4. 前記基板トレイが載置される上方の位置と、前記ホルダとの間で前記基板トレイを受け渡す下方の位置とに上下動するリフタを更に備え、
    前記ストッパは、前記基板トレイが前記リフタに載置される際に前記第1の位置にあり、前記基板トレイが前記リフタに載置された後に前記第1の位置から前記第2の位置に移動する、
    ことを特徴とする請求項3記載の基板保持装置。
  5. 前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの基準位置を規定する複数のトレイ用基準部材と、該複数のトレイ用基準部材に対し前記基板トレイを押付ける複数のトレイ押付部材と、該トレイ押付部材を支持するスライダと、該スライダを移動させるガイドレールと
    を有することを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。
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