JP5302091B2 - 基板保持装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、基板(有機ELディスプレイ)Sの点灯検査工程において基板Sを保持する基板保持装置1について説明する。
ホルダ3は、図2及び図3に示すように、平面視矩形の開口部3aが形成された矩形枠状を呈する。ホルダ3の上面のうち基板トレイ2が載置される開口部3aの近傍には、基板トレイ2の裏面との摩擦抵抗を小さくする目的のために、転動自在に支持されたボール3bが、ホルダ3の上面から突出するように埋め込まれている。本実施の形態では、基板トレイ2の搬入方向となる各短辺にボール3bが4つ、各長辺に1つの計10個が埋設されている。
まず、基板Sが基板位置決め機構2e〜2mによって位置決めされて収納された基板トレイ2は、例えば、作業者により持ち手部2n,2oを掴まれて基板保持装置1上に搬入される。
基板Sの点灯検査時には、ホルダ用スライダ13をガイドレール14に沿って駆動させてホルダ3を一方向に移動させることで、顕微鏡などのミクロ検査装置あるいは作業者による目視観察を行うことが可能となる。なお、基板保持装置1を固定し、ミクロ検査装置をXY方向に移動させて検査を行う場合には、ホルダ用スライダ13やガイドレール14は不要になる。
2 基板トレイ
2a トレイ側給電端子
2b 開口部
2c 基板支持梁
2d 基板支持ピン
2e,2f,2g 基板用基準部材
2h,2i 基板押付部材
2j,2k スライダ
2l,2m ガイドレール
2n,2o 持ち手部
3 ホルダ
3a 開口部
3b ボール
4 トレイ位置決め機構
4a,4b,4c トレイ用基準部材
4d,4e,4f トレイ押付部材
4g,4h スライダ
4i,4j ガイドレール
4k,4l センサ
5 装置側給電端子
6,7 リフタ
6a,7a 載置部
6b,7b アーム部
8,9,10 ストッパ
11,12 シリンダ
13 ホルダ用スライダ
14 ガイドレール
Claims (5)
- 基板と電気的に接続するためのトレイ側給電端子を備え、前記基板を基準位置に位置決めして収納するための基板トレイと、
前記トレイ側給電端子に接続される装置側給電端子を備え、前記基板トレイが載置されるホルダと、
前記基板トレイを前記ホルダの基準位置に位置決めすることで、前記トレイ側給電端子と前記装置側給電端子との接続を行うトレイ位置決め機構と、
を備えた基板保持装置。 - 前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの基準位置を規定する複数のトレイ用基準部材と、該複数のトレイ用基準部材に対し前記基板トレイを押付ける複数のトレイ押付部材とを有し、
前記複数のトレイ押付部材は、前記基板トレイを前記トレイ用基準部材に対し押付ける基板トレイ押付部材と、その押付方向と交差する方向に前記基板トレイを前記装置側給電端子に対し押付けるトレイ押付部材とを含む、
ことを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。 - 前記基板トレイの前記基板保持装置への搬入時の第1の位置と該第1の位置から下方に退避した第2の位置とに移動するストッパを更に備えることを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。
- 前記基板トレイが載置される上方の位置と、前記ホルダとの間で前記基板トレイを受け渡す下方の位置とに上下動するリフタを更に備え、
前記ストッパは、前記基板トレイが前記リフタに載置される際に前記第1の位置にあり、前記基板トレイが前記リフタに載置された後に前記第1の位置から前記第2の位置に移動する、
ことを特徴とする請求項3記載の基板保持装置。 - 前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの基準位置を規定する複数のトレイ用基準部材と、該複数のトレイ用基準部材に対し前記基板トレイを押付ける複数のトレイ押付部材と、該トレイ押付部材を支持するスライダと、該スライダを移動させるガイドレールと
を有することを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。
Priority Applications (1)
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JP2009114673A JP5302091B2 (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009114673A JP5302091B2 (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 基板保持装置 |
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JP2010263146A5 JP2010263146A5 (ja) | 2012-06-14 |
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JP2009114673A Expired - Fee Related JP5302091B2 (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 基板保持装置 |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08313815A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Olympus Optical Co Ltd | 基板部材の位置決め保持装置 |
JP2001021859A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Advanced Display Inc | 液晶パネルの搬送トレイおよび点灯検査方法 |
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2009
- 2009-05-11 JP JP2009114673A patent/JP5302091B2/ja not_active Expired - Fee Related
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