JP5129681B2 - 基板固定機構およびこれによる基板固定方法 - Google Patents
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- 平板状の基板の隣接2辺に当接する当接壁および該隣接2辺を下支えする支持爪を有する一方のチャックと、該基板の他の隣接2辺を下支えする載置爪を有する他方のチャックと、該他方のチャック上に該基板方向に進退自在に配置されると共に駆動手段によってその進退を駆動され、該他の隣接2辺に当接して該基板を押圧固定するクランプ片と、該両チャックの各々に孔開け形成された雌ねじに螺合挿通されると共に、該両チャックの各々に螺合する部分の雄ねじの螺旋方向が互いに逆方向に形成されて該雄ねじの回転で該両チャックを移動させるねじロッドと、を備えることを特徴とする基板固定機構。
- 平板状の基板の隣接2辺に当接する当接壁および該隣接2辺を下支えする支持爪を有する一方のチャック、および、該基板の他の隣接2辺を下支えする載置爪を有する他方のチャック、の該両爪の上空で、該基板の下面が該当接壁の上端よりも低く、該当接壁の下端よりも高い位置まで、基板吸着装置で吸着した該基板を下降し、
該他方のチャック上に該基板方向に進退自在に配置されたクランプ片で該他の隣接2辺を押圧して該クランプ片と該当接壁との間で該両爪から浮いた状態で該基板を挟持し、
該基板吸着装置が該基板を解放し、
該クランプ片を該当接壁の逆方向に移動させて、該基板を該支持爪および該載置爪上に落下させ、
該クランプ片で他の隣接2辺を押圧して、該当接壁との間で該基板を固定することを特徴とする基板固定方法。 - 前記基板吸着装置で前記基板を下降させる前の準備調整として、前記両チャックの各々に孔開け形成された雌ねじに螺合挿通されると共に、該両チャックの各々に螺合する部分の雄ねじの螺旋方向が互いに逆方向に形成されたねじロッドを、軸周りに回転させ、前記両チャックの間隔を、前記両爪で該基板を支持可能な間隔に調整することを特徴とする請求項2に記載の基板固定方法。
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