JP6132507B2 - 基板支持装置および基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板の下面を支持する支持部材と基板の端面を押圧して基板を固定する固定部材とを備えた基板支持装置、およびその基板支持装置を備えた基板検査装置に関するものである。

この種の基板支持装置として、特開２０１０−３２４０５号公報において出願人が開示した基板固定機構が知られている。この基板固定機構は、２つのチャックおよびクランプ片を備えて正方形状の基板を固定可能に構成されている。２つのチャックの一方（以下、「第１チャック」ともいう）は、直角Ｖ字状の開口部が形成され、その開口部の端面が基板における隣接する２つの辺の各端面に当接するように構成されている。また、第１チャックには、この２つの辺の縁部を下支えする支持爪が形成されている。２つのチャックの他方（以下、「第２チャック」ともいう）には、上記した２つの辺を除く他の２つの辺の縁部を下支えする載置爪が形成されている。クランプ片は、第２チャックの上において進退自在に配置され、駆動手段によって第１チャックに対して接離する方向に移動させられる。また、クランプ片には、直角Ｖ字状の開口部が形成され、この開口部の端面が基板における上記した２つの端面を除く他の２つの端面に当接する。この基板固定機構を用いて基板を固定する際には、まず、２つのチャックの間隔を所要の間隔に調整し、次いで、各チャックの間に基板を搬送する。続いて、駆動手段を作動させてクランプ片を基板に向けて移動させることによってクランプ片で基板を押圧する。この際に、第１チャックにおける直角Ｖ字状の開口部の端面が基板における隣接する２つの端面に当接し、クランプ片における直角Ｖ字状の開口部の端面が基板における他の２つの端面に当接して、各開口部の各端面によって基板が挟持される。これにより、基板が基板固定機構によって固定される。

特開２０１０−３２４０５号公報（第４−６頁、第１−２図）

ところが、従来の基板固定機構には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、従来の基板固定機構では、基板の各辺の縁部を下支えする支持爪および載置爪が各チャックにそれぞれ形成されている。この場合、この種の基板固定機構に固定させる基板には、上面だけでなく下面にも導体パターン等の導体部が形成されていることがあり、このような基板を検査する際には、基板の両面に形成されている導体部にプローブを接触させる必要がある。しかしながら、従来の基板固定機構では、支持爪および載置爪によって基板の各辺の縁部を下支えしているため、これらの爪によって基板の下面における各辺の縁部の近傍へのプローブの接触が阻害されるおそれがあり、この点の改善が望まれている。

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、基板の下面の全領域に対するプローブの接触を可能としつつ基板を支持し得る基板支持装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の基板支持装置は、開口部を有する本体部と、前記本体部に配設されて前記開口部の縁部よりも当該開口部の中心部側の第１位置に位置している状態において基板における下面の外周部を支持する支持部材と、前記基板の端面を押圧して当該基板を固定する固定部材とを備えて当該基板を支持可能に構成されると共に、当該固定部材によって固定されている前記基板の前記下面に対する前記開口部の下方からのプローブの接触が可能に構成された基板支持装置であって、前記支持部材は、前記第１位置よりも前記縁部側の第２位置と当該第１位置との間で前記開口部の開口面に沿って移動可能に構成され、前記第２位置から前記第１位置に向けて前記支持部材を付勢する付勢部を備え、前記支持部材は、前記第１位置に位置している状態において前記開口部の下方から上方に向けて移動する当接部材が当接したときに前記付勢部の付勢力に抗して当該第１位置から前記第２位置に向けて移動可能に構成され、前記プローブを有するプローブユニットが取り付けられて当該プローブユニットと共に移動する台座と、基端部が前記台座に固定されたバネとを備え、前記当接部材は、前記プローブユニットとは別体に構成されて、前記台座から離反する向きに前記バネによって付勢された状態で当該バネによって支持されている。

また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板支持装置と、当該基板支持装置によって支持されている前記基板に対してプローブを接触させるプロービング装置と、前記基板に接触している前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板の検査を実行する検査部とを備えている。

請求項１記載の基板支持装置、および請求項２記載の基板検査装置によれば、第１位置と第２位置との間で移動可能に支持部材を構成したことにより、第１位置に位置している支持部材の上に基板を載置して固定部材によって基板を固定し、その後に、支持部材を第１位置から第２位置に移動させた状態で、基板にプローブをプロービングさせることで、プロービングの際に、基板の縁部を含む基板の下面の全域を開口部に臨ませることができる。このため、この基板支持装置および基板検査装置によれば、基板の下面の全領域に対してプローブを確実に接触させることができる。

また、この基板支持装置および基板検査装置では、開口部の下方から上方に向けて移動する当接部材が第１位置に位置している支持部材に当接したときに付勢部材の付勢力に抗して第１位置から第２位置に向けて支持部材が移動させられる。このため、この基板支持装置および基板検査装置によれば、支持部材を移動させるための専用の移動機構を設けることなく、例えば、プロービング装置がプローブユニットを移動させる際の駆動力によって支持部材を第１位置から第２位置に移動させることができる。したがって、この基板支持装置および基板検査装置によれば、支持部材を移動させるための専用の移動機構が不要な分、構成を簡略化することができる。

基板検査装置１の構成を示す構成図である。 基板支持装置２の構成を示す平面図である。 基板支持装置２の構成を示す分解斜視図である。 基板支持装置２の構成を示す斜視図である。 基板支持装置２の構成を示す断面図である。 基板支持装置２に基板１００を載置した状態の斜視図である。 基板支持装置２に基板１００を載置した状態の断面図である。 基板支持装置２の動作を説明する第１の説明図である。 基板支持装置２の動作を説明する第２の説明図である。 基板支持装置２の動作を説明する第３の説明図である。 補助部材１１０を用いた検査における基板支持装置２の動作を説明する第１の説明図である。 補助部材１１０を用いた検査における基板支持装置２の動作を説明する第２の説明図である。 補助部材１１０を用いた検査における基板支持装置２の動作を説明する第３の説明図である。 基板支持装置２０２の構成を示す断面図である。 基板支持装置２０２の動作を説明する第１の説明図である。 基板支持装置２０２の動作を説明する第２の説明図である。

以下、基板支持装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、基板検査装置の一例としての基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、基板支持装置２、プロービング装置３および処理部４を備えて、基板１００を検査可能に構成されている。この場合、基板１００は、一例として、電子部品が実装されていないベアボードであって、矩形の薄板状に形成されている。

基板支持装置２は、図２に示すように、本体部２１、支持部材２２ａ，２２ｂ（以下、区別しないときには「支持部材２２」ともいう）、複数（例えば４つ）の付勢部材２３（図３参照）、固定部材２４ａ，２４ｂ（以下、区別しないときには「固定部材２４」ともいう）およびエアシリンダ２５を備えて基板１００（図６，７参照）を支持可能に構成されている。

本体部２１は、図３に示すように、一例として、矩形の板状に形成されている。また、本体部２１の中央部には、支持した状態の基板１００の下面に対する本体部２１の下面側からのプローブユニット３１（図１参照）のプロービングを可能とするための開口部２１ａが形成されている。

支持部材２２ａ，２２ｂは、図３に示すように、柱状にそれぞれ形成されている。この場合、図２に示すように、支持部材２２ａは、本体部２１における開口部２１ａの縁部４１ａ近傍に配設されている。また、支持部材２２ａは、開口部２１ａの縁部４１ａから開口部２１ａの中心部２１ｂに向けて突出する（つまり、縁部４１ａよりも中心部２１ｂ側の）第１位置Ｐ１ａ（図５参照）と、縁部４１ａから中心部２１ｂに向けての突出量が第１位置Ｐ１ａにおける突出量よりも少ない（つまり、第１位置Ｐ１ａよりも縁部４１ａ側の）第２位置Ｐ２ａ（図１０参照）との間で開口部２１ａの開口面（この例では、水平面）に沿って移動可能に構成されている。

また、支持部材２２ｂは、本体部２１における開口部２１ａの縁部４１ｂ近傍に配設されている。また、支持部材２２ｂは、開口部２１ａの縁部４１ｂから開口部２１ａの中心部２１ｂに向けて突出する（つまり、縁部４１ｂよりも中心部２１ｂ側の）第１位置Ｐ１ｂ（図５参照）と、縁部４１ｂから中心部２１ｂに向けての突出量が第１位置Ｐ１ｂにおける突出量よりも少ない（つまり、第１位置Ｐ１ｂよりも縁部４１ｂ側の）第２位置Ｐ２ｂ（図１０参照）との間で開口部２１ａの開口面（この例では、水平面）に沿って移動可能に構成されている。なお、以下の説明において、第１位置Ｐ１ａ，Ｐ１ｂを区別しないときには「第１位置Ｐ１」ともいい、第２位置Ｐ２ａ，Ｐ２ｂを区別しないときには「第２位置Ｐ２」ともいう。

また、支持部材２２ａ，２２ｂは、図３，５に示すように、開口部２１ａの中心部２１ｂ側に位置する先端部５１の下部が垂直方向に対して下部側ほど狭幅となるように例えば、４５°程度傾斜する傾斜面５２を有してそれぞれ構成されている。この支持部材２２ａ，２２ｂは、図７に示すように、上記した第１位置Ｐ１に位置している状態において基板１００における下面の外周部を支持する。

付勢部材２３は、図５に示すように、本体部２１における開口部２１ａの縁部４１ａ，４１ｂの各端面４２と支持部材２２ａ，２２ｂの各基端部５３との間に配設されて、第２位置Ｐ２ａから第１位置Ｐ１ａに向かう向き（開口部２１ａの中心部２１ｂに向かう向き）に支持部材２２ａ，２２ｂを付勢する。この場合、付勢部材２３は、縁部４１ａ，４１ｂの各端面４２に形成されている固定穴４３（図３参照）に基端部側が嵌め込まれた状態で固定されている。

この基板支持装置２では、図９，１０に示すように、支持部材２２ａ，２２ｂが位置Ｐ１に位置している状態において、本体部２１の開口部２１ａの下方から上方に向けて移動するプローブユニット３１の本体部３１ａ（当接部材に相当する）が支持部材２２ａ，２２ｂの先端部５１の傾斜面５２に当接したときに、付勢部材２３の付勢力に抗して支持部材２２ａ，２２ｂが第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に向けて移動させられる。

固定部材２４ａ，２４ｂは、図３に示すように、板状にそれぞれ形成されている。この場合、固定部材２４ａは、本体部２１の開口部２１ａの中心部２１ｂに対して接離する方向に沿って移動可能に、本体部２１の上面における開口部２１ａの縁部４１ａ近傍に配設されている。また、固定部材２４ｂは、本体部２１の開口部２１ａの縁部４１ｂから開口部２１ａの中心部２１ｂに向けて先端部が突出する状態で本体部２１の上面に固定されている。

エアシリンダ２５は、図２に示すように、本体部２１の上に配設されて、ロッドの突き出しおよび引き込みによって固定部材２４ａを開口部２１ａの中心部２１ｂに対して接離する方向に沿って移動させる。この場合、エアシリンダ２５は、処理部４によって制御されるエアの供給によって作動する。なお、エアシリンダ２５にエアを供給する配管の図示を省略する。この基板支持装置２では、エアシリンダ２５の押圧力によって固定部材２４ａで基板１００の端面を押圧させることにより、固定部材２４ａ，２４ｂによって基板１００を挟み込んで固定することが可能となっている。

プロービング装置３は、処理部４の制御に従い、基板支持装置２によって支持されている基板１００に対してプローブユニット３１をプロービングさせる。この場合、プローブユニット３１は、図９に示すように、本体部３１ａと、本体部３１ａに配設された複数のプローブとを備えて治具型に構成されている。処理部４は、基板支持装置２のエアシリンダ２５に対するエアの供給を制御する。また、処理部４は、プロービング装置３によるプロービング処理を制御する。また、処理部４は、検査部として機能して、プローブユニット３１の各プローブを介して入出力する電気信号に基づいて基板１００の検査を実行する。

次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。

この基板検査装置１では、基板支持装置２の支持部材２２ａ，２２ｂが付勢部材２３の付勢力によって第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向けて付勢されている。このため、初期状態においては、支持部材２２ａ，２２ｂは、図５に示すように、開口部２１ａの縁部４１ａ，４１ｂから本体部２１の中心部２１ｂに向けて突出する第１位置Ｐ１に位置している。

最初に、この状態（初期状態）の基板支持装置２の本体部２１に基板１００を載置する。具体的には、図６，７に示すように、第１位置Ｐ１に位置している支持部材２２ａ，２２ｂの間に基板１００を架け渡すようにして、基板１００における対向する２つの縁部（２辺）を支持部材２２ａ，２２ｂの上面に載置する。

次いで、図外の操作部を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、処理部４が、基板支持装置２のエアシリンダ２５に対するエアの供給を制御して、ロッドを突き出すようにエアシリンダ２５を作動させる。これに伴い、図８に示すように、固定部材２４ａが本体部２１の開口部２１ａの中心部２１ｂに近接する向きに移動させられ、次いで、固定部材２４ａの先端部が基板１００の端面に当接する。続いて、エアシリンダ２５の押圧力によって固定部材２４ａが基板１００の端面を押圧する。これにより、固定部材２４ａ，２４ｂによって基板１００が挟み込まれて固定される。

次いで、処理部４は、プロービング装置３を制御して、基板１００にプローブユニット３１をプロービングさせる。この場合、プロービング装置３は、基板支持装置２の本体部２１における開口部２１ａの下方から上方に向けてプローブユニット３１を移動させて（つまり、プローブユニット３１を上昇させて）、基板支持装置２によって支持されている基板１００にプローブユニット３１をプロービングさせる。

ここで、図９に示すように、位置Ｐ１に位置している状態の支持部材２２ａ，２２ｂの傾斜面５２に対して、上向きに移動させられているプローブユニット３１の本体部３１ａが当接したときには、図１０に示すように、付勢部材２３の付勢力に抗して支持部材２２ａ，２２ｂが第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に向けてそれぞれ移動させられる。次いで、プローブユニット３１の各プローブが基板１００に接触する。

この場合、この状態では、図１０に示すように、基板１００の下面が支持部材２２ａ，２２ｂの上面に対向することなく、基板１００の下面全域が開口部２１ａに対向している（開口部２１ａを臨む状態となっている）。このため、プローブユニット３１のプロービングが支持部材２２ａ，２２ｂによって阻害されることなく、基板１００の縁部を含む基板１００の下面の全域に対してプローブユニット３１のプローブを接触させることが可能となっている。

次いで、処理部４は、プローブユニット３１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００の検査を実行する。この後、基板１００についての検査を終了したときには、処理部４は、プロービング装置３を制御して、開口部２１ａの上方から下方に向けてプローブユニット３１を移動させて（つまり、下降させて）、プロービングを終了させる。この際に、図９に示すように、プローブユニット３１の下降に伴い、支持部材２２ａ，２２ｂが付勢部材２３の付勢力によって第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向けてそれぞれ移動させられる。

続いて、処理部４は、エアシリンダ２５に対するエアの供給を制御して、ロッドを引き込むようにエアシリンダ２５を作動させる。これに伴って固定部材２４ａが開口部２１ａの中心部２１ｂから離反する向きに移動させられる結果、固定部材２４ａによる基板１００の端面に対する押圧が解除され、次いで、固定部材２４ａの先端部が基板１００の端面から離反して、基板支持装置２が初期状態に復帰する。以上により、基板１００の検査が終了する。次いで、他の基板１００を検査するときには、他の基板１００を本体部２１に載置して、上記した処理を実行させる。

このように、この基板支持装置２および基板検査装置１によれば、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動可能に支持部材２２ａ，２２ｂを構成したことにより、第１位置Ｐ１に位置している支持部材２２ａ，２２ｂの上に基板１００を載置して固定部材２４ａ，２４ｂによって基板１００を固定し、その後に、支持部材２２ａ，２２ｂを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動させた状態で、基板１００にプローブユニット３１をプロービングさせることで、プロービングの際に、基板１００の縁部を含む基板１００の下面の全域を開口部２１ａに臨ませることができる。このため、この基板支持装置２および基板検査装置１によれば、基板１００の下面の全領域に対してプローブユニット３１のプローブを確実に接触させることができる。

また、この基板支持装置２および基板検査装置１では、上方に向けて移動するプローブユニット３１の本体部３１ａが第１位置Ｐ１に位置している支持部材２２ａ，２２ｂに当接したときに付勢部材２３の付勢力に抗して第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に向けて支持部材２２ａ，２２ｂが移動させられる。このため、この基板支持装置２および基板検査装置１によれば、支持部材２２ａ，２２ｂを移動させるための専用の移動機構を設けることなく、プロービング装置３がプローブユニット３１を移動させる際の駆動力によって支持部材２２ａ，２２ｂを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動させることができる。したがって、この基板支持装置２および基板検査装置１によれば、支持部材２２ａ，２２ｂを移動させるための専用の移動機構が不要な分、構成を簡略化することができる。

なお、基板支持装置および基板検査装置の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、当接部材としてのプローブユニット３１の本体部３１ａを支持部材２２ａ，２２ｂに当接させて支持部材２２ａ，２２ｂを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動させる例について上記したが、図１１に示すように、補助部材１１０を用いて支持部材２２ａ，２２ｂを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動させる構成を採用することもできる。なお、上記した基板支持装置２の構成要素と同じ機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。この補助部材１１０は、同図に示すように、プローブユニット３１が取り付けられる台座１１１と、プローブユニット３１を挿通可能な開口部を有する枠状の当接部材１１２と、台座１１１に配設されると共に台座１１１から離反する向きに当接部材１１２を付勢するバネ１１３とを備えて構成されている。また、この構成では、プロービング装置３が、台座１１１に取り付けられた状態のプローブユニット３１をプロービングさせる。

この補助部材１１０を用いる構成では、図１２に示すように、位置Ｐ１に位置している状態の支持部材２２ａ，２２ｂの傾斜面５２に対して、上向きに移動させられている補助部材１１０の当接部材１１２が当接したときに、付勢部材２３の付勢力に抗して支持部材２２ａ，２２ｂが第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に向けてそれぞれ移動させられる。

次いで、プローブユニット３１および補助部材１１０がさらに上向きに移動させられたときには、図１３に示すように、補助部材１１０の台座１１１に取り付けられているプローブユニット３１が、バネ１１３の付勢力に抗して、当接部材１１２の開口部を挿通して上方に移動させられる。この状態では、同図に示すように、基板１００の下面が支持部材２２ａ，２２ｂに対向することなく、基板１００の下面全域が開口部２１ａに対向している（開口部２１ａを臨む状態となっている）。このため、プローブユニット３１のプロービングが支持部材２２ａ，２２ｂによって阻害されることなく、基板１００の下面における縁部を含む全領域に対してプローブユニット３１のプローブを確実に接触させることができる。

また、図１４に示す基板支持装置２０２を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記した基板支持装置２と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。この基板支持装置２０２は、同図に示すように、付勢部材２３に代えて、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で支持部材２２ａ，２２ｂを移動させるエアシリンダ２２５（移動機構の一例）を備えて構成されている。この場合、この基板支持装置２０２では、処理部４が、制御部として機能して、エアシリンダ２２５に対するエアの供給を制御することによって移動機構としてのエアシリンダ２２５の動作を制御する。なお、エアシリンダ２２５にエアを供給する配管の図示を省略する。

この基板支持装置２０２に基板１００を支持させる際には、図１５に示すように、第１位置Ｐ１に位置している状態（初期状態）の支持部材２２ａ，２２ｂの上面に基板１００における対向する２つの縁部を載置する。次いで、図外の操作部を操作する。この際に、処理部４が、基板支持装置２０２のエアシリンダ２５に対するエアの供給を制御してエアシリンダ２５を作動させることにより、固定部材２４ａによって基板１００の端面を押圧させる。これにより、同図に示すように、固定部材２４ａ，２４ｂによって基板１００が挟み込まれて固定される。

次いで、処理部４は、基板支持装置２０２の各エアシリンダ２２５に対するエアの供給を制御して各エアシリンダ２２５を作動させることにより、支持部材２２ａ，２２ｂを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に向けてそれぞれ移動させる。次いで、処理部４は、プロービング装置３を制御して、基板１００にプローブユニット３１をプロービングさせる。この場合、この状態では、図１６に示すように、基板１００の下面が支持部材２２ａ，２２ｂに対向することなく、基板１００の下面全域が開口部２１ａに対向している（開口部２１ａを臨む状態となっている）。このため、この基板支持装置２０２においても、プローブユニット３１のプロービングが支持部材２２ａ，２２ｂによって阻害されることなく、基板１００の下面における縁部を含む全領域に対してプローブユニット３１のプローブを確実に接触させることができる。

また、この基板支持装置２０２では、エアシリンダ２２５を用いて支持部材２２ａ，２２ｂを移動させる。このため、例えば、プロービング装置３によるプロービングの際にプローブユニット３１を支持部材２２ａ，２２ｂに当接させて支持部材２２ａ，２２ｂを移動させる構成とは異なり、プロービング装置３の駆動力に頼ることなく支持部材２２ａ，２２ｂを確実に移動させることができる結果、支持部材２２ａ，２２ｂによってプロービングが阻害される事態を確実に防止することができる。

さらに、この基板支持装置２０２では、上記したように、処理部４が、エアシリンダ２２５の動作を制御して、固定部材２４ａ，２４ｂによって基板１００が固定されていない非固定状態において支持部材２２ａ，２２ｂを第１位置Ｐ１に位置させ、固定部材２４ａ，２４ｂによって基板１００が固定されている固定状態において支持部材２２ａ，２２ｂを第２位置Ｐ２に位置させる。このため、この構成によれば、基板１００が固定されていない状態で支持部材２２ａ，２２ｂが第２位置Ｐ２に位置させられることで基板１００が落下する事態を確実に防止することができる。

１ 基板検査装置
２ 基板支持装置
３ プロービング装置
４ 処理部
２１ 本体部
２１ａ 開口部
２１ｂ 中心部
２２ａ，２２ｂ 支持部材
２３ 付勢部材
２４ａ，２４ｂ 固定部材
３１ プローブユニット
３１ａ 本体部
１００ 基板
２０２ 基板支持装置
２２５ エアシリンダ
Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ 第１位置
Ｐ２ａ，Ｐ２ｂ 第２位置

Claims (2)

1. 開口部を有する本体部と、前記本体部に配設されて前記開口部の縁部よりも当該開口部の中心部側の第１位置に位置している状態において基板における下面の外周部を支持する支持部材と、前記基板の端面を押圧して当該基板を固定する固定部材とを備えて当該基板を支持可能に構成されると共に、当該固定部材によって固定されている前記基板の前記下面に対する前記開口部の下方からのプローブの接触が可能に構成された基板支持装置であって、
   前記支持部材は、前記第１位置よりも前記縁部側の第２位置と当該第１位置との間で前記開口部の開口面に沿って移動可能に構成され、
   前記第２位置から前記第１位置に向けて前記支持部材を付勢する付勢部を備え、
   前記支持部材は、前記第１位置に位置している状態において前記開口部の下方から上方に向けて移動する当接部材が当接したときに前記付勢部の付勢力に抗して当該第１位置から前記第２位置に向けて移動可能に構成され、
   前記プローブを有するプローブユニットが取り付けられて当該プローブユニットと共に移動する台座と、基端部が前記台座に固定されたバネとを備え、
   前記当接部材は、前記プローブユニットとは別体に構成されて、前記台座から離反する向きに前記バネによって付勢された状態で当該バネによって支持されている基板支持装置。
2. 請求項１記載の基板支持装置と、当該基板支持装置によって支持されている前記基板に対してプローブを接触させるプロービング装置と、前記基板に接触している前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板の検査を実行する検査部とを備えている基板検査装置。

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