JP2007057438A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 コンタクタ11の外周部には,段部20が形成され,段部20の最外周に凸部21が形成される。連結体30の下面には,外側が低い傾斜面30aが形成され,その傾斜面30aに板ばね41が固定される。板ばね41の上面の傾斜面41aが凸部21の内側の角部に当接され,この板ばね41によってコンタクタ11を支持する。板ばね41によりコンタクタ11の外周部に作用する力Fを,上方から外側に傾いた斜め上方向に作用させる。
【選択図】 図2
Description
2 プローブカード
10 プローブ
11 コンタクタ
13 プリント配線基板
20 段部
21 凸部
30 連結体
30a 傾斜面
41 板ばね
41a 傾斜面
F 力
W ウェハ
Claims (11)
- プローブを一の面に支持するコンタクタと,コンタクタの他の面と対向しコンタクタと電気的に接続される回路基板とを有するプローブカードであって,
コンタクタの外周部を前記一の面側から回路基板側に向けて押圧して,コンタクトと回路基板との電気的な接続を維持する押圧部材を備え,
前記押圧部材の押圧により前記コンタクタの外周部に作用する力が,前記コンタクタから前記回路基板側に向かう厚み方向から外側に傾いた方向に作用するように,前記押圧部材が前記コンタクタの外周部を押圧していることを特徴とする,プローブカード。 - 前記コンタクタの外周部と接触する前記押圧部材の接触面は,前記コンタクタの中心に近い内側より外側が前記回路基板から離れるように傾斜していることを特徴とする,請求項1に記載のプローブカード。
- プローブを一の面に支持するコンタクタと,コンタクタの他の面と対向しコンタクタと電気的に接続される回路基板とを有するプローブカードであって,
コンタクタの外周部を前記一の面側から回路基板側に向けて押圧して,コンタクトと回路基板との電気的な接続を維持する押圧部材を備え,
前記コンタクタの外周部と接触する前記押圧部材の接触面は,前記コンタクタの中心に近い内側より外側が前記回路基板から離れるように傾斜していることを特徴とする,プローブカード。 - 前記コンタクタの外方には,前記押圧部材が固定される固定部材が設けられ,
前記押圧部材は,前記コンタクタの外周部から前記固定部材にわたって形成され,前記コンタクタの外周部側から前記固定部材側に近づくにつれて前記回路基板から離れるように傾斜していることを特徴とする,請求項2又は3のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記押圧部材が固定されている前記固定部材の固定面は,前記押圧部材と同じ角度で傾斜していることを特徴とする,請求項4に記載のプローブカード。
- 前記コンタクタの外周部には,前記一の面側に突出する凸部が形成され,
前記押圧部材の傾斜した接触面と前記凸部が接触していることを特徴とする,請求項2〜5のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記コンタクタの外周部には,コンタクタの中央部に比べて前記一の面が前記他の面側に近づいた段部が形成され,
前記凸部は,前記段部に形成されていることを特徴とする,請求項6に記載のプローブカード。 - 前記凸部は,前記押圧部材側に凸に湾曲していることを特徴とする,請求項6又は7のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記コンタクタの外周部と接触する前記押圧部材の接触面は,前記コンタクタ側に凸に湾曲していることを特徴とする,請求項1〜8のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記押圧部材は,平面から見て前記コンタクタの中心に対する点対称の位置に複数配置されていることを特徴とする,請求項1〜9のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記押圧部材は,板ばねであることを特徴とする,請求項1〜10のいずれかに記載のプローブカード。
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