KR100793637B1 - 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치 - Google Patents

프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치 Download PDF

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Abstract

고성능의 피검체를 효과적으로 검사할 수 있으며 제작 및 정비가 용이한 프로브 유닛은, 제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들을 갖는 제1 프레임, 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들을 갖는 제2 프레임 및 제2 프레임을 제1 프레임 상에 고정하는 고정부재를 포함한다. 제2 지지대는 제1 프레임을 관통하여 제2 지지대의 양측면을 가압하는 제1 체결부재와 제1 프레임을 관통하여 제2 지지대의 후면을 가압하는 제2 체결부재에 의해 제1 프레임에 고정될 수 있다. 제4 지지대는 제2 프레임을 관통하여 제4 지지대의 양측면을 가압하는 제3 체결부재에 의해 제2 프레임에 고정될 수 있다. 제1 프로브 핀들은 제1 및 제2 지지대들에 조립식으로 결합될 수 있고, 제2 프로브 핀들은 제3 및 제4 지지대들에 조립식으로 결합될 수 있다. 프로브 유닛이 조립식으로 구성되어 제작 및 정비가 용이하며 제1 및 제2 프로브 핀들도 미세한 간격으로 나열 및 간격 조절할 수 있다.

Description

프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치{PROBE UNIT AND PROBE APPARATUS HAVING THE SAME}
도 1은 종래에 개시된 프로브 유닛의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시한 프로브 유닛의 분해도이다.
도 4는 도 2에 도시한 A의 확대 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시한 B의 확대 사시도이다.
도 6은 도 2에 도시한 제1 프로브 핀의 확대 사시도이다.
도 7은 도 2에 도시한 제2 프로브 핀의 확대 사시도이다.
도 8은 도 2에 도시한 제1 프레임의 확대 사시도이다.
도 9는 도 2에 도시한 제1 및 제2 지지대들의 확대 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시한 C의 확대 사시도이다.
도 11은 도 9에 도시한 D의 확대 사시도이다.
도 12는 도 2에 도시한 제2 프레임과 제2 지지부재의 확대 사시도이다.
도 13은 도 12에 도시한 E의 확대 사시도이다.
도 14는 도 12에 도시한 F의 확대 사시도이다.
도 15 내지 도 20은 도 2에 도시한 프로브 유닛의 제조 방법을 설명하기 위 한 개략적인 사시도들과 확대 단면도들이다.
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 장치의 측면도이다.
도 22는 도 21에 도시한 프로브 장치의 내부의 확대 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100：프로브 유닛 110：제1 프로브 핀
111,121：몸체부 111a,121a：제1 단
112：제1 고정홈 113：제2 고정홈
111b,121b：제2 단 114,124：접촉부
117,127：연결부 120：제2 프로브 핀
122：제3 고정홈 123：제4 고정홈
130：제1 지지부재 131：제1 지지대
133：가이드 바 134：제1 결합바
135：제1 핀 슬롯 136：단차
137：제1 얼라인 슬롯 140：제1 프레임 세트
141：제2 지지대 142,152,162：홈
143：제1 단 144：제2 결합바
145：제2 핀 슬롯 146：제2 단
147：제2 얼라인 슬롯 150：제2 지지부재
151：제3 지지대 154：제3 결합바
155：제3 핀 슬롯 156：걸림턱
157：제3 얼라인 슬롯 160：제2 프레임 세트
161：제4 지지대 163：고정부
164：제4 결합바 165：제4 핀 슬롯
166：프레스부 167：제4 얼라인 슬롯
170：제1 프레임 173：가이드 블록
176：제1 수용홈 178：개구부
180：제2 프레임 181：프레임부
182：제2 수용홈 185：지지부
190：고정부재 190a：제1 고정공
190b：제2 고정공 191：제1 체결부재
191a：제1 체결공 193：제2 체결부재
193a：제2 체결공 195：제3 체결부재
197：제4 체결부재 200：프로브 장치
201：피검체 205：단자모듈
207：단자 210：하우징
215：투명 셔터 220：홀더
225：설치 플레이트 230：스테이지
본 발명은 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기EL(organic electro-luminescence)과 같은 디스플레이 패널에 접촉하는 프로브 유닛과 이를 이용하여 상기 디스플레이 패널의 이상 여부를 확인하기 위한 프로브 장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 산업이 대구경화를 추구하는 방향으로 진행됨에 따라 디스플레이 패널의 크기는 날이 갈수록 커지고 있다. 디스플레이 패널의 크기가 증가함에 따라 이를 포함하는 디스플레이 장치의 가격도 꾸준히 상승하고 있다.
이러한 고가의 디스플레이 장치는 사후 조치가 힘들기 때문에 제작단계에서 철저한 불량 검사를 마쳐야 한다. 만약, 디스플레이 패널에 불량화소가 기준치 이상 존재하는 것을 사후에 발견한 경우, 디스플레이 패널을 교체하거나 디스플레이 장치 전체를 교환해주어야 한다. 당연히 여기에 많은 비용이 소요되며, 이로 인한 제품의 신뢰성 저하, 제조사의 평가 저하 등 많은 불이익이 발생되게 된다. 따라서 제조 단계에서 디스플레이 패널에 대한 철저한 불량 검사가 무엇보다 중요하다. 이러한 디스플레이 패널에 대한 검사는 프로브 장치에서 수행된다.
프로브 장치는 디스플레이 패널의 조립 전 단계에서 디스플레이 패널의 정상 작동여부를 확인한다. 이 경우, 디스플레이 패널의 단자에는 프로브 장치의 프로브 유닛이 접촉된다.
도 1은 종래에 개시된 프로브 유닛을 설명하기 위한 단면도를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 프로브 유닛(10)은 프로브 핀(15) 및 프로브 블록(20)을 포함한다.
프로브 핀(15)은 디스플레이 패널(50)의 단자(55)에 접촉하는 부재로서, 단자들(55)의 간격에 대응하게 나열된다. 이 경우, 프로브 핀(15)은 프로브 블록(20)에 고정된다.
프로브 블록(20)은 홀더(60)를 매개로 프로브 유닛 설치판(40)에 장착되어 프로브 핀들(15)이 디스플레이 패널(50)의 단자(55) 상부에 위치하도록 지지한다. 프로브 블록(20)에 고정된 프로브 핀들(15)에는 TCP와 같은 집적회로(65)가 연결되어 프로브 핀들(15)에 전기적 신호를 공급한다. 프로브 핀들(15)은 단자들(55)에 전기적 신호를 전달하여 디스플레이 패널(50)의 이상여부를 판별하게 된다.
프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내에 일정 간격으로 배열된다. 이 경우, 프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내에 고정되는데, 일단 프로브 블록(20)에 고정된 프로브 핀들(15)은 분리하기 힘들며, 재배치도 실질적으로 불가능하다. 따라서 프로브 핀(15)에 이상이 발생된 경우, 이를 교체하거나 정비하기 매우 난해하다.
또한, 프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내의 세라믹 지지대(25) 상에 배치되는데, 세라믹 지지대(25)가 종종 파손되어 많은 문제들을 일으키고 있다. 세라믹 지지대(25)가 파손되면 프로브 핀들(15)이 정확한 자세를 유지하지 못하여, 단자(55)에 정확하게 접촉되지 않는다. 이 경우, 세라믹 지지대(25)를 교체해야하는데, 세라믹 지지대(25)가 프로브 핀들(15)에 일체로 고정될 뿐만 아니라, 프로브 블록(20)에 완전 고정되어 세라믹 지지대(25)만을 교체하기는 실질적으로 불가능하다.
그리고 프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내에 일렬로 배치되는데, 이 경우, 프로브 핀들(15)을 일정간격 이하로 배열하기 힘들다. 현재의 기술로는 프로브 핀들(15)을 약 30㎛의 간격으로 배치하는 것이 한계이다. 이에 비하여 최근에 개발되는 고성능 및 고집적의 피검체에는 약 25㎛의 간격으로 배치된 단자들(55)이 장착되어 현재의 일반적인 프로브 유닛(10)으로는 최신의 피검체를 검사하기 어려운 실정이다.
또한, 현재의 일반적인 프로브 유닛(10)은 프로브 핀들(15)의 간격을 다양하게 조절할 수도 없다. 전술한 바와 같이, 최근에 개발되는 고성능 및 고집적의 피검체에는 약 25㎛의 간격으로 배치된 단자가 장착되지만, 과거에 개발된 피검체에는 25㎛ 이상의 간격으로 배치된 단자가 장착된다. 따라서 피검체의 종류별로 프로브 유닛(10)을 제작해야하는 불편함이 존재하였다.
단자들(55)의 간격은 앞으로도 계속 줄어들 것으로 예상되어 피검체의 종류는 더욱더 다양해 질 것이다. 피검체의 종류별로 프로브 유닛(10)을 제작할 경우, 많은 비용이 소요될 것임은 너무나 자명하며 프로브 유닛(10)을 관리하기도 힘들어질 것이다. 따라서 피검체의 종류와는 실질적으로 무관하게 이용할 수 있는 프로브 유닛(10)의 개발이 절실히 요규되는 실정이다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점들을 해소하고자 안출된 것으로서, 본 발 명의 일 목적은 프로브 핀들을 미세한 간격으로 배열할 수 있고, 간격을 조절할 수 있으며, 제작과 정비가 용이한 프로브 유닛을 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 다른 목적은 상기 프로브 유닛을 이용하여, 고성능 및 고집적의 피검체를 효과적으로 검사할 수 있는 프로브 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 관점에 따른 프로브 유닛은, 제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들을 갖는 제1 프레임, 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들을 갖는 제2 프레임 및 제2 프레임을 제1 프레임 상에 고정하는 고정부재를 포함한다.
이 경우, 프로브 유닛은 각각의 제1 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제1 지지대, 각각의 제1 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제2 지지대, 각각의 제2 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제3 지지대, 및 각각의 제2 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제4 지지대를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 지지대들은 제1 프레임 상에 배치될 수 있고, 제3 및 제4 지지대들은 제2 프레임 상에 배치될 수 있다.
제2 지지대는 제1 프레임을 관통하여 제2 지지대의 양측면을 가압하는 제1 체결부재와 제1 프레임을 관통하여 제2 지지대의 후면을 가압하는 제2 체결부재에 의해 제1 프레임에 고정될 수 있다. 제4 지지대는 제2 프레임을 관통하여 제4 지지대의 양측면을 가압하는 제3 체결부재에 의해 제2 프레임에 고정될 수 있다.
제1 프로브 핀들은 제1 및 제2 지지대들에 조립식으로 결합될 수 있고, 제2 프로브 핀들은 제3 및 제4 지지대들에 조립식으로 결합될 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 관점에 따른 프로브 장치는, 하우징, 하우징 내부에 배치되어 피검체를 지지하는 스테이지, 작업 스테이지 상에 지지된 피검체의 주변부에 배치되며, ⅰ)제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들을 갖는 제1 프레임, ⅱ)제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들을 갖는 제2 프레임 및 ⅲ)제2 프레임을 제1 프레임 상에 고정하는 고정부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛, 그리고 제1 및 제2 프로브 핀들에 전기적 신호를 제공하여 상기 피검체의 이상 여부를 검사하는 테스트 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 미세한 간격으로 배치된 피검체의 접속단자들에 대응하는 프로브 유닛과 프로브 장치를 제공할 수 있다. 또한, 프로브 유닛을 신속 및 용이하게 제조할 수 있으며, 프로브 유닛의 정비도 신속 및 용이하게 수행할 수 있다.
이하, 본 발명의 다양한 관점들에 따른 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치에 대하여 자세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들은 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치 또는 부재들이 더 구비될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도를 도시한 것이고, 도 3은 도 2에 도시한 프로브 유닛의 분해도를 도시한 것 이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 프로브 유닛(100)은 제1 프로브 핀들(110), 제2 프로브 핀들(120), 제1 지지부재(130), 제2 지지부재(150), 제1 프레임(170), 제2 프레임(180), 고정부재들(190), 제1 체결부재들(191), 제2 체결부재들(193), 제3 체결부재들(195) 및 제4 체결부재들(197)을 포함한다. 이 경우, 제1 지지부재(130)는 제1 지지대(131)와 제2 지지대(141)를 포함하고, 제2 지지부재(150)는 제3 지지대(151)와 제4 지지대(161)를 포함한다.
제1 프레임(170) 상에는 제1 및 제2 지지대들(131,141)이 배치된다. 제1 및 제2 지지대들(131,141)에는 제1 프로브 핀들(110)이 삽입된다. 제2 지지대(141)는 제1 및 제2 체결부재들(191,193)에 의하여 제1 프레임(170)에 고정된다. 제1 체결부재들(191)은 제4 체결부재들(197)에 의하여 제1 프레임(170)으로부터의 이탈이 억제된다.
제2 프레임(180) 상에는 제3 및 제4 지지대들(151,161)이 배치된다. 제4 지지대(161)는 제3 체결부재들(195)에 의하여 제2 프레임(180)에 고정된다. 제2 프레임(180)은 고정부재들(190)에 의하여 제1 프레임(170)에 고정된다.
도 4는 도 2에 도시한 A를 확대한 사시도이며, 도 5는 도 2에 도시한 B를 확대한 사시도이다.
도 4 및 도 5를 더 참조하면, 제1 지지대(131) 상면에는 제1 방향을 따라서 제1 핀 슬롯들(135)과 제1 얼라인 슬롯들(137)이 형성된다. 이 경우, 각각의 제1 핀 슬롯(135)은 제1 폭(W11)을 가지며, 제1 간격(G11)으로 형성된다. 제1 핀 슬롯들(135)에는 제1 프로브 핀들(110)의 접촉부들(114)이 삽입된다.
제1 프로브 핀(110)의 접촉부(114)는 제2 폭(W12)을 가지며, 제1 핀 슬롯들(135)에 제2 간격(G12)으로 배치된다. 이 경우, 접촉부(114)의 제2 폭(W12)은 제1 핀 슬롯(135)의 제1 폭(W11)과 실질적으로 동일하다.
이어서, 도 5에 도시한 제2 지지대(141) 상면에는 제1 방향을 따라서 제2 핀 슬롯들(145)과 제2 얼라인 슬롯들(147)이 형성된다. 이 경우, 각각의 제2 핀 슬롯(145)은 제3 폭(W13)을 가지며, 제3 간격(G13)으로 형성된다. 제2 핀 슬롯들(145)에는 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)이 삽입된다.
제1 프로브 핀(110)의 연결부(117)는 제4 폭(W14)을 가지며, 제2 핀 슬롯들(145)에 제4 간격(G14)으로 배치된다. 이 경우, 연결부(117)의 제4 폭(W14)은 제2 핀 슬롯(145)의 제3 폭(W13)과 실질적으로 동일하다.
이어서, 도 4에 도시한 제3 지지대(151) 상면에는 제1 방향을 따라서 제3 핀 슬롯들(155)과 제3 얼라인 슬롯들(157)이 형성된다. 이 경우, 각각의 제3 핀 슬롯(155)은 제5 폭(W15)을 가지며, 제5 간격(G15)으로 형성된다. 제3 핀 슬롯들(155)에는 제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124)이 삽입된다.
제2 프로브 핀(120)의 접촉부(124)는 제6 폭(W16)을 가지며, 제3 핀 슬롯 들(155)에 제6 간격(G16)으로 배치된다. 이 경우, 접촉부(124)의 제6 폭(W16)은 제3 핀 슬롯(155)의 제5 폭(W15)과 실질적으로 동일하다.
이어서, 도 5에 도시한 제4 지지대(161) 상면에는 제1 방향을 따라서 제4 핀 슬롯들(165)과 제4 얼라인 슬롯들(167)이 형성된다. 이 경우, 각각의 제4 핀 슬롯(165)은 제7 폭(W17)을 가지며, 제7 간격(G17)으로 형성된다. 제4 핀 슬롯들(165)에는 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)이 삽입된다.
제2 프로브 핀(120)의 연결부(127)는 제8 폭(W18)을 가지며, 제4 핀 슬롯들(165)에 제8 간격(G18)으로 배치된다. 이 경우, 연결부(127)의 제8 폭(W18)은 제4 핀 슬롯(165)의 제7 폭(W17)과 실질적으로 동일하다.
제2 프로브 핀들(120)은 제1 프로브 핀들(110) 사이사이에 배치된다. 제2 프로브 핀(120)은 제1 프로브 핀(110)으로부터 제9 간격(G19)만큼 이격된다. 이하, 프로브 유닛(100)의 각 구성요소들에 대하여 자세하게 설명한다.
도 6은 도 2에 도시한 제1 프로브 핀을 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도를 도시한 것이다.
도 6을 더 참조하면, 제1 프로브 핀(110)은 크게 몸체부(111), 접촉부(114) 및 연결부(117)로 나뉘어 진다.
몸체부(111)는 전체적으로'U'자 형상을 갖는다. 이 경우, 몸체부(111)는 폭(W21)에 비하여 길이(L21)가 상대적으로 길다. 몸체부(111)에는 경량화를 위하여 복수개의 중공들(116)이 형성될 수 있다.
몸체부(111)의 제1 단(111a)은 거의 직각으로 굽어진다. 제1 단(111a)의 하부는 제1 각도(α1)로 테이퍼 진다. 제1 단(111a)의 전면(front surface)에는 제1 고정홈(112)이 형성된다. 제1 고정홈(112)은 제1 높이(H21)와 제1 깊이(D21)를 갖는다. 몸체부(111)의 제1 단(111a)에는 접촉부(114)가 형성된다.
접촉부(114)는 LCD(liquid crystal display)와 같은 피검체의 단자에 직접 접하는 부재로서, 몸체부(111)의 제1 단(111a) 상면에 제2 각도(α2)로 기울어지게 형성된다. 접촉부(114)는 몸체부(111)의 폭(W21)보다는 작은 폭(W12)을 갖는다. 접촉부(114)의 끝단은 상방으로 굽어질 수 있다.
몸체부(111)의 제2 단(111b)은 거의 직각으로 굽어진다. 제2 단(113)의 후면(rear surface)에는 제2 고정홈(113)이 형성된다. 제2 고정홈(113)은 제2 높이(H22)와 제2 깊이(D22)를 갖는다. 몸체부(111)의 제2 단(111b)에는 연결부(117)가 형성된다.
연결부(117)는 TCP(tape carrier package)와 같은 집적회로에 접하는 부재로서, 몸체부(111)의 제2 단(111b) 상면으로부터 몸체부(111)의 연장방향을 따라서 연장된다. 따라서 연결부(117)가 형성된 몸체부(111)의 제2 단(111b)은 전체적으로 로마자'Γ'와 유사한 형상을 갖는다. 연결부(117)는 몸체부(111)의 폭(W21)보다는 작은 폭(W14)을 갖는다. 연결부(117)의 끝단은 상방으로 굽어질 수 있다.
전술한 바와 같은, 몸체부(111), 접촉부(114) 및 연결부(117)는 일체로 형성되어 하나의 제1 프로브 핀(110)을 이룬다. 제1 프로브 핀들(110)은 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. 경우에 따라서 제1 프로브 핀들(110)은 서로 다소 상이한 형상을 가질 수 있다.
또한, 몸체부(111), 접촉부(114) 및 연결부(117)는 모두 전도성 물질로 이루어져, 연결부(117)에 제공된 전기적 신호가 접촉부(114)까지 전달되며, 접촉부(114)에 제공된 전기적 신호가 연결부(117)까지 전달된다.
도 7은 도 2에 도시한 제2 프로브 핀을 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도를 도시한 것이다.
도 7을 더 참조하면, 제2 프로브 핀(120)은 크게 몸체부(121), 접촉부(124) 및 연결부(127)로 나뉘어 진다.
몸체부(121)는 전체적으로 폭(W31)에 비하여 길이(L31)가 상대적으로 큰 얇은 판 형상을 갖는다. 제2 프로브 핀(120)의 몸체부(121) 폭(W31)은 제1 프로브 핀(110)의 몸체부(111) 폭(W21)과 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 제2 프로브 핀(120)의 몸체부(121) 폭(W31)은 제1 프로브 핀(110)의 몸체부(111) 폭(W21)과 다소 상이할 수 있다.
제2 프로브 핀(120)의 몸체부(121) 길이(L31)는 제1 프로브 핀(110)의 몸체부(111) 길이(L21)보다 짧다. 몸체부(121)에는 경량화를 위하여 복수개의 중공 들(126)이 형성될 수 있다.
몸체부(121)의 제1 단(121a) 전면에는 제3 고정홈(122)이 형성된다. 제3 고정홈(122)은 제3 높이(H31)와 제3 깊이(D31)를 갖는다. 몸체부(121)의 제1 단(121a)에는 접촉부(124)가 형성된다.
접촉부(124)는 LCD와 같은 피검체의 단자에 직접 접하는 부재로서, 몸체부(121)의 제1 단(121a)으로부터 몸체부(121)의 연장방향을 따라서 연장된다. 접촉부(124)는 몸체부(121)의 폭(W31)보다는 작은 폭(W16)을 갖는다. 접촉부(124)의 끝단은 상방으로 굽어질 수 있다.
몸체부(121)의 제2 단(121b)은 거의 직각으로 굽어진다. 제2 단(123)의 후면에는 제4 고정홈(123)이 형성된다. 제4 고정홈(123)은 제4 높이(H32)와 제4 깊이(D32)를 갖는다. 몸체부(121)의 제2 단(121b)에는 연결부(127)가 형성된다.
연결부(127)는 TCP와 같은 집적회로에 접하는 부재로서, 몸체부(121)의 제2 단(121b) 상부로부터 몸체부(121)의 연장방향을 따라서 연장된다. 연결부(127)가 형성된 몸체부(121)의 제2 단(121b)은 전체적으로 로마자'Γ'와 유사한 형상을 갖는다. 연결부(127)는 몸체부(121)의 폭(W31)보다는 작은 폭(W18)을 갖는다. 연결부(127)의 끝단은 상방으로 굽어질 수 있다.
전술한 바와 같은, 몸체부(121), 접촉부(124) 및 연결부(127)는 일체로 형성되어 하나의 제2 프로브 핀(120)을 이룬다. 제2 프로브 핀들(120)은 실질적으로 동 일한 형상을 갖는다. 경우에 따라서 제2 프로브 핀들(120)은 서로 다소 상이한 형상을 가질 수 있다.
또한, 몸체부(121), 접촉부(124) 및 연결부(127)는 모두 전도성 물질로 이루어져, 연결부(127)에 제공된 전기적 신호가 접촉부(124)까지 전달되며, 접촉부(124)에 제공된 전기적 신호가 연결부(127)까지 전달된다.
도 8은 도 2에 도시한 제1 프레임을 설명하기 위하여 제1 프레임을 확대 도시한 사시도이다.
도 8을 더 참조하면, 제1 프레임(170)은 전체적으로, 제1 폭(W41), 제1 길이(L41) 및 제1 높이(H41)의 직육면체 형상을 갖는다. 제1 프레임(170)의 상면(170a)에는 제1 수용홈(176)이 형성된다.
제1 수용홈(176)은 제2 폭(W42), 제2 길이(L42) 및 제1 깊이(D41)를 갖는다. 제2 폭(W42)은 제1 폭(W41)보다 작고, 제2 길이(L42)는 제1 길이(L41)보다 작으며, 제1 깊이(D41)는 제1 높이(H41)보다 작다. 제1 수용홈(176)의 제2 폭(W42)은 제2 지지대(141)의 폭과 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 제1 수용홈(176)의 제2 폭(W42)은 제2 지지대(141)의 폭과 다소 상이할 수 있다. 제1 프레임(170)의 상면(170a)에는 제1 수용홈(176)과 연통된 개구부(178)가 형성된다.
개구부(178)는 제1 수용홈(176)의 제2 폭(W42)보다는 작은 제3 폭(W43)을 가지며, 제2 길이(L42)보다는 큰 제3 길이(L43)를 갖는다. 제1 프레임(170)을 제3 방향 으로 관통한다. 개구부(178)에는 TCP와 같은 집적회로(도시되지 않음)가 배치될 수 있다.
제1 프레임(170)의 상면(170a) 전방에는 가이드 블록들(173)이 형성된다. 가이드 블록(173)은 전체적으로 사각 기둥 형상을 가지며, 제1 프레임(170)의 상면(170a) 양측에 형성된다. 이 경우, 가이드 블록들(173)은 제1 지지대(131)의 폭과 실질적으로 동일한 간격(G41)만큼 이격된다. 각각의 가이드 블록(173)의 폭(W44)은 제1 프레임(170)의 제1 폭(W41)에서 가이드 블록들(173)의 간격(G41)을 차감한 다음, 이를 반으로 나눈 값과 실질적으로 동일하다. 이외에도, 제1 프레임(170)에는 다양하게 다른 수용홈 또는 다른 단차가 형성될 수 있음을 밝혀둔다.
제1 프레임(170)의 상면(170a)에는 제1 고정공들(190a)이 형성된다. 제1 고정공들(190a)은 제1 프레임(170)에 제3 방향을 따라 형성된다. 이하 설명하겠지만, 제1 고정공들(190a)에는 제2 프레임(180)을 관통하는 고정부재들(190)이 각각 체결되어, 제2 프레임(180)을 제1 프레임(170)에 고정한다.
또한, 제1 프레임(170)의 양측부에는 제1 수용홈(176)과 연통되는 제1 및 제2 체결공들(191a,193a)이 형성된다.
제1 체결공들(191a)은 제1 프레임(170)의 양측부로부터 제1 수용홈(176)의 제1 내벽(176a)까지 형성된다. 이 경우, 제1 체결공들(191a)은 제1 프레임(170)의 양측부를 제1 방향에 대하여 경사지게 관통한다. 다르게 설명하면, 제1 체결공들(191a)은 제1 및 제2 방향의 평면상에서 사선방향으로 기울어지기 형성된다. 또 한 제1 체결공들(191a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭된다.
이하 설명하겠지만, 제1 체결공들(191a)에는 제1 체결부재들(191)이 각각 체결된다. 제1 체결부재(191)의 단부는 제1 수용홈(176)에 노출된다. 제1 체결부재들(191)은 제2 지지대(141)의 후면에 접하여 제2 지지대(141)를 제2 방향으로 가압한다. 제1 프레임(170)에서 제1 체결공들(191a)의 전방부에는 제2 체결공들(193a)이 형성된다.
제2 체결공들(193a)은 제1 프레임(170)의 양측부로부터 제1 수용홈(176)의 제2 내벽들(176b,176c)까지 형성된다. 이 경우, 제2 체결공들(193a)은 제1 프레임(170)을 제1 방향으로 관통한다. 또한, 제2 체결공들(193a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭된다.
이하 설명하겠지만, 제2 체결공들(193a)에는 제2 체결부재들(193)이 각각 체결된다. 제2 체결부재(193)의 단부는 제1 수용홈(176)에 노출된다. 제2 체결부재들(193)은 제2 지지대(141)의 양측면에 각각 접하여 제2 지지대(141)를 제1 및 제3 방향으로 가압한다. 이외에도, 제1 프레임(170)에는 다양하게 체결공들이 더 형성될 수 있다.
도 9는 도 2에 도시한 제1 지지부재를 설명하기 위하여 제1 및 제2 지지대들을 확대 도시한 사시도이고, 도 10은 도 9에 도시한 C를 확대한 사시도이며, 도 11은 도 9에 도시한 D를 확대한 사시도이다.
도 9 내지 도 11을 더 참조하면, 제1 지지부재(130)는 제1 지지대(131)와 제2 지지대(141)를 포함한다.
우선, 제1 지지대(131)는 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)을 지지하는 부재로서, 도 8에 도시한 가이드 블록들(173) 사이에 배치된다.
제1 지지대(131)는 전체적으로 일자형 빔(beam) 형상을 갖는다. 제1 지지대(131)는 가이드 블록들(173) 간의 간격(G41)과 실질적으로 동일한 폭(W51)을 갖는다. 경우에 따라서 제1 지지대(131)의 폭(W51)은 가이드 블록들(173) 간의 간격(G41)보다 작을 수 있다.
제1 지지대(131)의 상면(131a)은 경사진다. 상면(131a)의 경사각(α3)은 도 6에 도시한 제1 프로브 핀(110)의 제2 각도(α2)와 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 상면(131a)의 경사각(α3)은 제1 프로브 핀(110)의 제2 각도(α2)와 다소 상이할 수 있다.
제1 지지대(131)의 상면(131a)과 후면(131b)에는 제2 방향으로 제1 핀 슬롯(135)이 형성된다. 제1 핀 슬롯(135)은 제1 방향을 따라 상면(131a)과 후면(131b)에 복수개 형성된다.
도 4와 도 10에 도시된 바와 같이, 각각의 제1 핀 슬롯(135)은 제1 프로브 핀(110)의 접촉부(114)의 폭(W12)과 실질적으로 동일한 폭(W11)을 갖는다. 경우에 따라서 제1 핀 슬롯(135)의 폭(W11)은 접촉부(114)의 폭(W12)과 다소 상이할 수 있다.
또한, 제1 핀 슬롯들(135)은 제1 간격(G11)으로 형성된다. 이 경우, 제1 핀 슬롯들(135)의 간격(G11)은 제1 프로브 핀들(110)의 간격(G12)보다 적다. 따라서 제1 핀 슬롯(135)의 개수는 제1 프로브 핀(110)의 개수보다 많다. 그러나 경우에 따라서 제1 핀 슬롯들(135)의 제1 간격(G11)이 제1 프로브 핀들(110)의 간격(G12)과 동일하여 제1 핀 슬롯(135)의 개수와 제1 프로브 핀(110)의 개수가 동일할 수 있다. 이하, 제1 핀 슬롯(135)의 개수가 제1 프로브 핀(110)의 개수보다 많은 경우에 대하여 설명한다.
제1 핀 슬롯들(135)에는 제1 프로브 핀들(110)의 접촉부들(114)이 일정한 간격(G12)으로 삽입된다. 그러나 접촉부들(114)의 간격(G12)이 일정하지 않을 수 있다. 접촉부들(114)의 간격(G12)은 접촉부들(114)이 접촉하는 단자들에 따라서 그리고, 제1 프로브 핀들(110)의 개수 등에 따라서 변화될 수 있다.
제1 지지대(131)의 상면(131a)과 제1 후면(131b)에는 제1 핀 슬롯들(135)의 제2 방향 최외각에 제1 얼라인 슬롯들(137)이 형성된다. 제1 얼라인 슬롯들(137)은 상면(131a)의 일측 또는 양측에 형성될 수 있다.
각각의 제1 얼라인 슬롯(137)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제1 얼라인 슬롯들(137)에는 상기 얼라인 핀이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제1 얼라인 슬롯들(137)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하여, 제1 및 제3 지지대들(131,151), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
제1 지지대(131)의 후면(131b)에는 제1 프로브 핀들(110)에 삽입되는 제1 결합바(134)가 형성된다. 제1 결합바(134)는 도 6에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀(110)의 제1 고정홈(112)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라서 형성된다. 예를 들어, 제1 고정홈(112)이 사각 단면을 가질 경우, 제1 결합바(134)도 사각 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 제1 결합바(134)는 제1 고정홈(112)의 높이(H21)와 실질적으로 동일한 높이(H51)를 갖는다. 경우에 따라서 제1 결합바(134)의 높이(H51)는 제1 고정홈(112)의 높이(H21)와 다소 상이할 수 있다.
제1 결합바(134)는 제1 프로브 핀들(110)의 제1 고정홈들(112)에 삽입된다. 이 경우, 제1 결합바(134)는 제1 고정홈들(112)에 꽉 끼워져 제1 프로브 핀들(110)이 유동되지 않도록 고정한다.
제1 지지대(131) 후면(131b)의 제1 결합바(134) 하부에는 가이드 바(133)가 형성된다. 가이드 바(133)는 제1 지지대(131)의 하면(131c)으로부터 약간 높게 제1 방향을 따라 형성된다. 따라서 제1 지지대(131)의 하면(131c)과 가이드 바(133) 사이에는 단차(136)가 존재한다. 또한, 가이드 바(133)의 후면은 제1 프로브 핀들(110)을 간섭하지 않도록 제1 프로브 핀(110)의 제1 각도(α1)와 실질적으로 동일한 각도로 경사진다.
이어서, 제2 지지대(141)는 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)을 지지하는 부재로서, 도 8에 도시한 제1 수용홈(176) 내에 배치된다.
제2 지지대(141)는 전체적으로 단면이'L'자형인 빔 형상을 갖는다. 제2 지지대(141)는 제1 수용홈(176)의 폭(W42)과 실질적으로 동일한 폭(W52)을 갖는다. 경우 에 따라서 제2 지지대(141)의 폭(W52)은 제1 수용홈(176)의 폭(W42)과 다소 상이할 수 있다. 제2 지지대(141)는 제1 단(143)과 제2 단(146)으로 이루어진다.
제1 단(143)은 제1 폭(W53)과 제1 높이(H52)를 가지며, 제1 방향을 따라서 형성된다. 제1 단(143)의 양측면은 서로 대칭되게 경사진다. 제1 단(143)의 후방에는 제2 단(146)이 형성된다.
제2 단(146)은 제2 폭(W54)과 제2 높이(H53)를 가지며 제1 방향을 따라서 형성된다. 제2 단(146)의 높이(H53)는 제1 단(143)은 높이(H52)보다 크다. 제2 단(146)의 양측면은 서로 대칭되게 단차진다. 제2 단(146)과 제1 단(143)은 일체로 형성되어 'L'자형 단면을 갖는 제2 지지대(141)를 이룬다.
제2 단(146)의 상면(146a)은 실질적으로 평평하다. 제2 단(146)의 상면(146a)에는 제2 방향으로 제2 핀 슬롯(145)이 형성된다. 제2 핀 슬롯(145)은 제1 방향을 따라 상면(146a)에 복수개 형성된다.
도 5와 도 11에 도시된 바와 같이, 각각의 제2 핀 슬롯(145)은 제1 프로브 핀(110)의 연결부(117)의 폭(W14)과 실질적으로 동일한 폭(W13)을 갖는다. 경우에 따라서 제2 핀 슬롯(145)의 폭(W13)은 연결부(117)의 폭(W14)과 다소 상이할 수 있다.
또한, 제2 핀 슬롯들(145)은 제3 간격(G13)으로 형성된다. 이 경우, 제2 핀 슬롯들(145)의 제3 간격(G13)은 제1 프로브 핀들(110)의 간격(G14)보다 작다. 따라서 제2 핀 슬롯(145)의 개수는 제1 프로브 핀(110)의 개수보다 많다. 그러나 경우에 따라서 제2 핀 슬롯들(145)은 간격(G13)이 제1 프로브 핀들(110)의 간격(G14)과 동일하여 제2 핀 슬롯(145)의 개수와 제1 프로브 핀(110)의 개수가 동일할 수 있다. 이하, 제2 핀 슬롯(145)의 개수가 제1 프로브 핀(110)의 개수보다 많은 경우에 대하여 설명한다.
제2 핀 슬롯들(145)에는 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)이 일정한 간격(G14)으로 삽입된다. 그러나 연결부들(117)의 간격(G14)은 일정하지 않을 수 있다. 연결부들(117)의 간격(G14)은 연결부들(117)이 접촉하는 단자들에 따라서 그리고, 제1 프로브 핀들(110)의 개수 등에 따라서 변화될 수 있다.
제2 단(146)의 상면(146a)에는 제2 핀 슬롯들(145)의 제2 방향 최외각에 제2 얼라인 슬롯들(147)이 형성된다. 제2 얼라인 슬롯들(147)은 상면(146a)의 일측 또는 양측에 형성될 수 있다.
각각의 제2 얼라인 슬롯(147)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제2 얼라인 슬롯들(147)에는 상기 얼라인 핀이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제2 얼라인 슬롯들(147)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하여, 제2 및 제4 지지대들(141,161), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
제2 단(146)의 상면(146a)에는 제1 방향으로 홈(142)이 형성될 수 있다. 이 경우, 제2 단(146)의 상면(146a)에는 두 행의 제2 핀 슬롯들(145)과 두 행의 제2 얼라인 슬롯들(147)이 형성될 수 있다.
제2 단(146)의 전면(146b)의 제1 단(143) 상부에는 제1 프로브 핀들(110)에 삽입되는 제2 결합바(144)가 형성된다. 제2 결합바(144)는 도 6에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀(110)의 제2 고정홈(113)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라서 형성된다. 예를 들어, 제2 고정홈(113)이 사각 단면을 가질 경우, 제2 결합바(144)도 사각 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 제2 결합바(144)는 제2 고정홈(113)의 높이(H22)와 실질적으로 동일한 높이(H54)를 갖는다. 경우에 따라서 제2 결합바(144)의 높이(H54)는 제2 고정홈(113)의 높이(H22)와 다소 상이할 수 있다.
제2 결합바(144)는 제1 프로브 핀들(110)의 제2 고정홈들(113)에 삽입된다. 이 경우, 제2 결합바(144)는 제2 고정홈들(113)에 꽉 끼워져 제1 프로브 핀들(110)이 유동되지 않도록 고정한다.
도 12는 도 2에 도시한 제2 프레임과 제2 지지부재를 설명하기 위한 확대 사시도이고, 도 13은 도 12에 도시한 E를 확대한 사시도이며, 도 14는 도 12에 도시한 F를 확대한 사시도이다.
도 12를 더 참조하면, 제2 지지부재(150)는 제3 지지대(151)와 제4 지지대(161)를 포함하며, 제3 및 제4 지지대들(151,161)은 제2 프레임(180) 상에 배치된다.
우선, 제2 프레임(180)은 전체적으로 제1 폭(W61), 제1 길이(L61) 및 제1 높이(H61)의 'U'자형 빔 형상을 갖는다. 제2 프레임(180)은 프레임부(181) 및 지지부들(185)로 이루어진다. 프레임부(181)는 일자형 빔 형상을 가지며 제1 방향을 따라 형성되고, 지지부들(185)은 프레임부(181)의 후방 양측 모서리로부터 제1 방향에 직교하는 방향으로 각각 연장된다.
프레임부(181)의 상면(181a)에는 전방에는 제1 및 제2 방향으로 개방된 제2 수용홈(182)이 형성된다. 제2 수용홈(182)은 제2 폭(W62), 제2 길이(L62) 및 제1 깊이(D61)를 갖는다. 제2 폭(W62)은 제1 폭(W61)보다 작고, 제2 길이(L62)는 제1 길이(L61)보다 작으며, 제1 깊이(D61)는 제1 높이(H61)보다 작다. 제2 수용홈(182)의 폭(W62)은 제3 지지대(151)의 폭(W64)과 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 제2 수용홈(182)의 폭(W62)은 제3 지지대(151)의 폭(W64)과 다소 상이할 수 있다.
프레임부(181)의 상면(181a)에는 프레임부(181)를 제3 방향으로 관통하는 제2 고정공들(190b)이 형성된다. 제2 고정공들(190b)은 프레임부(181)의 상면(181a)으로부터 제1 직경으로 형성된 제1 홀과, 제1 홀의 저면으로부터 제2 직경으로 형성된 제2 홀로 이루어진다. 이 경우, 상기 제2 직경은 상기 제1 직경보다 작다. 즉, 프레임부(181)에는 내경이 감소하는 제2 고정공들(190b)이 형성된다.
이하 설명하겠지만, 제2 고정공들(190b)에는 고정부재들(190)이 각각 삽입된다. 고정부재들(190)은 제1 프레임(170)의 제1 고정공들(190a)에 체결된다. 이 경우, 고정부재(190)의 헤드는 제2 고정공(190b)의 제1 홀의 저면에 밀착되어, 제2 프레임(180)을 제1 프레임(170)에 고정시키게 된다.
지지부들(185)은 프레임부(181)의 후방 양측 모서리로부터 제2 방향을 따라서 각각 연장된다. 각각의 지지부(185)의 상면에는 제3 수용홈(187)이 형성된다. 제3 수용홈(187)은 제4 지지대(161)의 단부 길이(L64)보다 큰 길이(L63)로 형성된다. 경우에 따라서 제3 수용홈(187)의 길이(L63)와 제4 지지대(161)의 단부 길이(L64)는 실질적으로 동일할 수 있다.
각각의 지지부(185) 후면(185a)에는 제3 수용홈(187)과 연통되는 제3 체결공(195a)이 형성된다. 제3 체결공(195a)은 제2 향을 따라서 형성된다. 이하 설명하겠지만, 제3 체결공들(195a)에는 제3 체결부재들(195)이 각각 체결된다. 제3 체결부재(195)의 단부는 제3 수용홈(187)에 노출된다. 제3 체결부재들(195)은 제4 지지대(161)의 양단에 접하여 제4 지지대(161)를 제2 및 제3 방향으로 가압한다.
제3 지지대(151)는 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(121a)을 지지하는 부재로서, 제3 지지대(151)는 제2 프레임(180)의 제2 수용홈(182)에 배치된다. 제3 지지대(151)는 전체적으로 일자형 빔 형상을 갖는다. 제3 지지대(151)는 제2 수용홈(182)의 폭(W62)과 실질적으로 동일한 폭(W64)을 갖는다. 경우에 따라서 제3 지지대(151)의 폭(W64)은 제2 수용홈(182)의 폭(W62)과 다소 상이할 수 있다.
제3 지지대(151)의 상면(151a)은 실질적으로 평평하다. 제3 지지대(151)의 상면(151a)에는 제2 방향으로 제3 핀 슬롯(155)이 형성된다. 도 4와 도 13에 도시된 바와 같이, 각각의 제3 핀 슬롯(155)은 제2 프로브 핀(120)의 접촉부(124)의 폭(W16)과 실질적으로 동일한 폭(W15)을 갖는다. 경우에 따라서 제3 핀 슬롯(155)의 폭(W15)은 접촉부(124)의 폭(W16)과 다소 상이할 수 있다.
제3 핀 슬롯(155)은 제1 방향을 따라 상면(151a)에 복수개 형성된다. 제3 핀 슬롯들(155)은 간격(G15)으로 형성된다. 이 경우, 제3 핀 슬롯들(155)의 간격(G15)은 제2 프로브 핀들(120)의 간격(G16)보다 적다. 따라서 제3 핀 슬롯(155)의 개수는 제2 프로브 핀(120)의 개수보다 많다. 그러나 경우에 따라서 제3 핀 슬롯들(155)의 간격(G15)이 제2 프로브 핀들(120)의 간격(G16)과 동일하여 제3 핀 슬롯(155)의 개수와 제2 프로브 핀(120)의 개수가 동일할 수 있다. 이하, 제3 핀 슬롯(155)의 개수가 제2 프로브 핀(120)의 개수보다 많은 경우에 대하여 설명한다.
제3 지지대(151)의 상면(151a)에는 제3 핀 슬롯들(155)의 최외각에 제2 방향으로 제3 얼라인 슬롯들(157)이 형성된다. 제3 얼라인 슬롯들(157)은 상면(151a)의 일측 또는 양측에 형성될 수 있다. 각각의 제3 얼라인 슬롯(157)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제3 얼라인 슬롯들(157)에는 상기 얼라인 핀들이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제3 얼라인 슬롯들(157)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하여, 제1 및 제3 지지대들(131,151), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
제3 지지대(151)의 상면(151a)에는 제1 방향으로 홈(152)이 형성될 수 있다. 이 경우, 제3 지지대(151)의 상면(151a)에는 두 행의 제3 핀 슬롯들(155)과 두 행의 제3 얼라인 슬롯들(157)이 형성될 수 있다.
제3 지지대(151)의 후면(151b)에는 제2 프로브 핀들(120)에 삽입되는 제3 결합바(154)가 형성된다. 제3 결합바(154)는 도 7에 도시된 바와 같이 제2 프로브 핀(120)의 제3 고정홈(122)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라서 형성된다. 제3 결합바(154)는 제3 고정홈(122)의 높이(H31)와 실질적으로 동일한 높이(H62)를 갖는다. 경우에 따라서 제3 결합바(154)의 높이(H62)는 제3 고정홈(122)의 높이(H31)와 다소 상이할 수 있다.
제3 결합바(154)는 제2 프로브 핀들(120)의 제3 고정홈들(122)에 삽입된다. 이 경우, 제3 결합바(154)는 제3 고정홈들(122)에 꽉 끼워져 제2 프로브 핀들(120)이 유동되지 않도록 고정한다. 제3 지지대(151)의 하부에는 걸림턱(156)이 각각 형성된다.
걸림턱(156)은 제1 방향을 따라서 제3 결합바(154)와 유사하게 형성된다. 이후 설명하겠지만, 걸림턱(156)은 제2 수용홈(182)의 내면에 밀착되어 제3 지지대(151)의 제2 방향 위치를 결정한다.
이어서, 제4 지지대(161)는 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)을 지지하는 부재로서, 제3 수용홈(187)에 배치된다.
제4 지지대(161)는 제2 프레임(180)의 폭(W61)과 실질적으로 동일한 폭(W65)으로 형성된다. 경우에 따라서 제4 지지대(161)의 폭(W65)과 제2 프레임(180)의 폭(W61)은 다소 상이할 수 있다. 제4 지지대(161)는 고정부(163)와 프레스부(166)로 이루어진다.
고정부(163)는 전체적으로 일자형 빔(beam)형상을 갖는다. 고정부(163)의 상 면(163a)은 실질적으로 평평하다. 고정부(163)의 상면(163a)에는 제2 방향으로 제4 핀 슬롯(165)이 형성된다. 도 5와 도 14에 도시된 바와 같이, 각각의 제4 핀 슬롯(165)은 제2 프로브 핀(120)의 연결부(127) 폭(W18)과 실질적으로 동일한 폭(W17)을 갖는다. 경우에 따라서 제4 핀 슬롯(165)의 폭(W17)은 연결부(127)의 폭(W18)과 다소 상이할 수 있다.
제4 핀 슬롯(165)은 제1 방향을 따라 고정부(163)의 상면(163a)에 복수개 형성된다. 제4 핀 슬롯들(165)은 제7 간격(G17)으로 형성된다. 이 경우, 제4 핀 슬롯들(165)의 간격(G17)은 제2 프로브 핀들(120)의 간격(G18)보다 적다. 따라서 제4 핀 슬롯(165)의 개수는 제2 프로브 핀(120)의 개수보다 많다. 그러나 경우에 따라서 제4 핀 슬롯들(165)의 제7 간격(G17)이 제2 프로브 핀들(120)의 간격(G18)과 동일하여 제4 핀 슬롯(155)의 개수와 제2 프로브 핀(120)의 개수가 동일할 수 있다. 이하, 제4 핀 슬롯(165)의 개수가 제2 프로브 핀(120)의 개수보다 많은 경우에 대하여 설명한다.
고정부(163)의 상면(163a)에는 제4 핀 슬롯들(165)의 최외각에 제2 방향으로 제4 얼라인 슬롯들(167)이 형성된다. 제4 얼라인 슬롯들(167)은 상면(163a)의 일측 또는 양측에 형성될 수 있다. 각각의 제4 얼라인 슬롯(167)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제4 얼라인 슬롯들(167)에는 상기 얼라인 핀들이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제4 얼라인 슬롯들(167)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하 여, 제2 및 제4 지지대들(141,161), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
고정부(163)의 상면(163a)에는 제1 방향으로 홈(162)이 형성될 수 있다. 이 경우, 고정부(163)의 상면(163a)에는 두 행의 제4 핀 슬롯들(165)과 두 행의 제4 얼라인 슬롯들(167)이 형성될 수 있다.
고정부(163)의 전면(163b)에는 제2 프로브 핀들(120)에 삽입되는 제4 결합바(164)가 형성된다. 제4 결합바(164)는 도 7에 도시한 제2 프로브 핀(120)의 제4 고정홈(123)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라서 형성된다. 제4 결합바(164)는 제4 고정홈(123)의 높이(H32)와 실질적으로 동일한 높이(H63)를 갖는다. 경우에 따라서 제4 결합바(164)의 높이(H63)는 제4 고정홈(123)의 높이(H32)와 다소 상이할 수 있다.
제4 결합바(164)는 제2 프로브 핀들(120)의 제4 고정홈들(123)에 삽입된다. 이 경우, 제4 결합바(164)는 제4 고정홈들(123)에 꽉 끼워져 제2 프로브 핀들(120)이 유동되지 않도록 고정한다. 고정부(163)의 양측에는 프레스부(166)가 각각 형성된다.
각각의 프레스부(166)는 삼각기둥 형상을 가지며, 제2 프레임(180)의 제3 수용홈(187)의 길이(L63) 보다는 짧은 길이(L64)로 형성된다. 경우에 따라서 프레스부(166)의 길이(L64)는 제3 수용홈(187) 길이(L63)와 실질적으로 동일할 수 있다.
프레스부들(166)은 제3 수용홈(187)에 각각 삽입되어 제4 지지대(161)를 제2 프레임(180)에 고정한다. 이 경우, 제3 수용홈(187)에 삽입되어 제3 체결공(195a)을 마주보는 프레스부(166)의 후면(166a)은 경사진다. 이하 설명하겠지만, 후면(166a)에는 제3 체결부재(195)가 접하여 프레스부(166)를 제2 및 제3 방향으로 가압한다. 이하, 프로브 유닛(100)의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 15 내지 도 20은 도 2에 도시한 프로브 유닛의 제조 방법을 순차적으로 설명하기 위한 개략적인 사시도들과 확대 단면도들을 도시한 것이다.
도 15를 더 참조하면, 제1 프레임(170)에 제1 지지부재(130)를 배치한다. 가이드 블록들(173) 사이에 제1 지지대(131)를 배치하고, 제1 수용홈(176)에 제2 지지대(141)를 배치한다. 이 경우, 제1 지지대(131)의 제1 결합바(134)가 제2 지지대(141)의 제2 결합바(144)를 마주보도록 제1 및 제2 지지대들(131,141)을 배치한다.
제1 지지대(131)는 가이드 블록들(173)의 간격과 실질적으로 동일한 폭으로 제조되어 가이드 블록들(173) 사이에 배치됨과 동시에 제1 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다.
제1 지지대(131)의 가이드 바(133) 하면을 제1 프레임(170)의 상면(170a)에 밀착시킨 상태에서 제1 지지대(131)를 제2 방향으로 이동시키면, 제1 지지대(131)의 단차가 제1 프레임(170)의 전면에 밀착된다. 이 결과, 제2 방향에 대한 제1 지지대(131)의 위치가 결정된다. 제1 지지대(131)의 제1 및 제2 방향 위치가 결정되면 제1 프레임(170)에 제1 지지대(131)를 고정한다.
제2 지지대(141)는 제1 수용홈(176)과 실질적으로 동일한 폭으로 제조되어 제1 수용홈(176)에 삽입됨과 동시에 제1 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 따라서 제2 지지대(141)는 제1 수용홈(176)에 삽입됨과 동시에 제1 방향에 대한 위치가 결정될 수 있다. 제2 지지대(141)는 제1 수용홈(176)보다 작은 길이를 갖는다. 따라서 제1 수용홈(176)에 배치된 제2 지지대(141)는 제2 방향을 유동될 수 있다.
도 16을 더 참조하면, 제1 프레임(170)에 제1 프로브 핀(110)을 배치한다. 이 경우, 제1 프로브 핀(110)의 접촉부(114)는 도 10에 도시한 제1 지지대(131)의 제1 핀 슬롯(135) 내에 위치하고, 제1 프로브 핀(110)의 연결부(117)는 도 11에 도시한 제2 지지대(141)의 제2 핀 슬롯(145) 내에 위치한다.
제1 핀 슬롯(135) 또는 제2 핀 슬롯(145)의 개수가 제1 프로브 핀(110)의 개수보다 많을 경우, 제1 프로브 핀들(110)을 일정한 간격으로 나열하는 것이 바람직하다. 보다 자세하게, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀들(110)의 접촉부들(114)을 제2 간격(G12)으로 나열하고, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)은 제4 간격(G14)으로 나열한다. 제2 간격(G12)과 제4 간격(G14)은 실질적으로 동일하다.
제1 프로브 핀들(110)의 접촉부들(114) 간격(G12)은 접촉부들(114)이 접촉하는 피검체의 단자들의 개수에 따라서 변화될 수 있다. 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117) 간격(G14)은 접촉부들(114)이 접촉하는 집적회로의 단자 간격에 따라서 변화될 수 있다.
이어서, 제1 프로브 핀들(110)을 제1 지지대(131)에 결합시킨다. 제1 프로브 핀(110)을 제2 방향으로 이동시켜 제1 고정홈(112)에 제1 지지대(131)의 제1 결합바(134)를 삽입한다. 제1 결합바(134)는 제1 고정홈(112)과 실질적으로 동일한 높이를 가져, 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)은 제1 지지대(131)에 맞물린다. 이 결과, 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)은 제1 방향으로의 유동이 제한된다.
도 17을 더 참조하면, 제1 프레임(170)의 제1 체결공들(191a)에 제1 체결부재들(191)을 각각 체결하여 제1 프로브 핀들(110)에 제2 지지대(141)를 결합시킨다.
제1 체결부재들(191)은 제1 체결공들(191a)을 관통하여 제1 수용홈(176)에 노출된다. 제1 체결부재들(191)의 단부들은 제2 지지대(141)의 후면(146c)에 접한다. 제1 체결부재들(191)은 제2 지지대(141)를 제2 방향으로 이동시켜 제2 지지대(141)의 전면(143a)을 제1 수용홈(176)의 내벽(176d)에 밀착시킨다.
제2 지지대(141)가 이동됨과 동시에 제2 지지대(141)는 제1 프로브 핀들(110)에 결합된다. 보다 자세하게, 제2 지지대(141)의 제2 결합바(144)는 제1 프로브 핀들(110)의 제2 고정홈들(113)에 삽입된다.
제2 결합바(144)는 제2 고정홈들(122)과 실질적으로 동일한 높이를 가져, 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)은 제2 지지대(131)에 맞물린다. 이 결과, 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)은 유동이 제한된다.
보다 발전적으로, 제1 체결부재들(191)이 제1 프레임(170)으로부터 이탈되는 것을 억제하기 위하여, 제4 체결공들(197a)에 제4 체결부재들(197)을 각각 체결한 다. 제4 체결부재들(197)은 제1 체결공(191a)에 체결된 제1 체결부재들(191)에 각각 접하여 제1 체결부재들(191)이 제1 체결공들(191a)로부터 이탈하는 것을 억제한다.
제1 및 제2 결합바들(131,141)에 결합된 제1 프로브 핀들(110)은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 간격(G12) 또는 제4 간격(G14)으로 배열된다. 이 경우, 제1 프로브 핀들(110)의 접촉부들(114)은 제1 결합바(131)로부터 돌출되고, 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)은 제2 결합바(141)로부터 돌출된다.
이어서, 제1 프레임(170)의 제2 체결공들(193a)에 제2 체결부재들(193)을 각각 체결하여 제2 지지대(141)를 제1 프레임(170)에 고정한다.
제2 체결부재들(193)은 제2 체결공들(193a)을 관통하여 제1 수용홈(176)에 노출된다. 제2 체결부재들(193)의 단부들은 제2 지지대(141)의 양측면에 접한다. 제2 체결부재들(193)은 제2 지지대(141)를 제1 및 제3 방향으로 가압하여 제2 지지대(141)를 제1 및 제3 방향으로 고정한다.
전술한 바와 같이, 제1 프로브 핀들(110)이 제1 프레임(170) 상의 제1 및 제2 지지대들(131,141)에 고정되면 제1 프레임 세트(140)가 완성된다. 제1 프레임 세트(140)는 이하 설명할 제2 프레임 세트를 조립하기 전 또는 후에 조립될 수 있다.
도 12 및 18을 참조하면, 제2 프레임(180)에 제2 지지부재(150)를 배치한다. 제2 수용홈(182)에 제3 지지대(151)를 배치하고, 제3 수용홈(187)에 제4 지지대(161)를 배치한다. 이 경우, 제3 지지대(151)의 제3 결합바(154)가 제4 지지 대(161)의 제4 결합바(164)를 마주보도록 제3 및 제4 지지대들(151,161)을 배치한다.
제3 지지대(151)는 제2 수용홈(182)의 폭(W62)과 실질적으로 동일한 폭(W64)으로 제조되어 제2 수용홈(182)에 배치됨과 동시에 제1 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 또한, 제3 지지대(151)를 제2 방향으로 이동시키면, 제3 지지대(151)의 걸림턱(156)이 제2 수용홈(182)의 내면에 밀착되어 제2 방향에 대한 제3 지지대(151)의 위치가 결정된다. 제3 지지대(151)의 제1 및 제2 방향 위치가 결정되면 제2 프레임(180)에 제3 지지대(151)를 고정한다.
제4 지지대(161)의 프레스부들(166)은 제3 수용홈들(187)에 삽입하여 제2 프레임(180)에 제4 지지대(161)를 배치한다.
프레스부들(166)이 제3 수용홈들(187)에 삽입된 경우, 제4 지지대(161)의 고정부(163)는 제2 프레임(180)의 지지부들(185) 사이에 개재된다. 이 경우, 고정부(163)는 도 12에 도시된 바와 같이 지지부들(185)의 간격(W63)과 실질적으로 동일한 폭을 가져 지지부들(185)의 내측면(185b)에 고정부(163)의 양측면(163c)이 밀착된다. 이 결과, 제1 방향에 대한 제4 지지대(161)의 위치가 고정된다.
제2 프레임(180)의 제3 및 제4 지지대들(151,161) 상에 제2 프로브 핀들(120)을 배치한다. 이 경우, 제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124)은 도 13에 도시한 제3 지지대(151)의 제3 핀 슬롯들(155) 내에 위치하고, 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)은 도 14에 도시한 제4 지지대(161)의 제4 핀 슬롯들(165) 내에 위치한다.
제3 핀 슬롯(155) 또는 제4 핀 슬롯(165)의 개수가 제2 프로브 핀(120)의 개수보다 많을 경우, 제2 프로브 핀들(120)을 일정한 간격으로 나열하는 것이 바람직하다. 보다 자세하게, 도 4에 도시된 바와 같이 제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124)을 제6 간격(G16)으로 나열하고, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)은 제8 간격(G18)으로 나열한다. 제6 간격(G16)과 제8 간격(G18)은 실질적으로 동일하다.
제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124) 간격(G16)은 접촉부들(124)이 접촉하는 피검체의 단자들의 개수에 따라서 변화될 수 있다. 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127) 간격(G18)은 접촉부들(124)이 접촉하는 집적회로의 단자 간격에 따라서 변화될 수 있다.
이어서, 제2 프로브 핀들(120)을 제3 지지대(151)에 결합시킨다. 제2 프로브 핀(120)을 제2 방향으로 이동시켜 제3 고정홈(122)에 제3 지지대(151)의 제3 결합바(154)를 삽입한다. 제3 결합바(154)는 제3 고정홈(122)과 실질적으로 동일한 높이를 가져, 제2 프로브 핀(150)의 제1 단(121a)은 제3 지지대(151)에 맞물린다. 이 결과, 제2 프로브 핀(120)의 제1 단(121a)은 제1 방향으로의 유동이 제한된다.
도 19를 더 참조하면, 제2 프레임(180)의 제3 체결공들(195a)에 제3 체결부재들(195)을 각각 체결하여 제2 프로브 핀들(120)에 제4 지지대(161)를 결합시킨 다.
제3 체결부재들(195)은 제3 체결공들(195a)을 관통하여 제3 수용홈(187)에 노출된다. 제3 체결부재들(195)의 단부들은 제4 지지대(161)의 프레스부들(166) 후면(166a)에 접한다. 제3 체결부재들(195)은 제4 지지대(161)를 제2 방향으로 이동시켜 프레스부들(166)의 전면을 제3 수용홈(187)의 내벽(187a)에 밀착시킨다. 이 경우, 제3 체결부재들(195)은 프레스부들(166)을 제3 방향으로 가압하여 제3 방향에 대한 제4 지지대(161)의 유동을 제한한다.
제4 지지대(161)가 이동됨과 동시에 제4 지지대(161)는 제2 프로브 핀들(120)에 결합된다. 보다 자세하게, 제4 지지대(161)의 제4 결합바(164)는 제2 프로브 핀들(120)의 제4 고정홈들(123)에 삽입된다.
제4 결합바(164)는 제4 고정홈들(123)과 실질적으로 동일한 높이를 가져, 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)은 제4 지지대(161)에 맞물린다. 이 결과, 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)은 제1 방향으로의 유동이 제한된다.
제3 및 제4 결합바들(151,161)에 결합된 제2 프로브 핀들(120)은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제6 간격(G16) 또는 제8 간격(G18)으로 배열된다. 이 경우, 제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124)은 제3 결합바(151)로부터 돌출되고, 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)은 제4 결합바(161)로부터 돌출된다.
전술한 바와 같이, 제2 프로브 핀들(120)이 제2 프레임(180) 상의 제3 및 제4 지지대들(151,161)에 고정되면 제2 프레임 세트(160)가 완성된다. 제2 프레임 세 트(160)는 제1 프레임 세트(140)를 조립하기 전 또는 후에 조립될 수 있다.
도 20을 참조하면, 제2 프레임 세트(160)를 제1 프레임 세트(140) 상에 고정한다. 보다 자세하게 설명하면, 제2 프레임(180)의 제2 고정공들(190b)이 제1 프레임(170)의 제1 고정공들(190a) 상부에 위치하도록 얼라인한다. 제2 고정공들(190b)에 고정부재들(190)을 삽입한다. 고정부재들(190)은 제2 프레임(180)을 관통하고, 상기 관통한 고정부재들(190)을 제1 프레임(170)의 제1 고정공들(190a)에 체결한다. 이 결과 제2 프레임(180)이 제1 프레임(170)에 고정된다.
제2 프로브 핀들(120)은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀들(110) 사이사이에 위치한다. 보다 자세하게 설명하면, 제2 프로브 핀(120)의 접촉부(124)는 제1 프로브 핀(110)의 접촉부(114)로부터 제9 간격(G19)만큼 이격된다. 제2 프로브 핀(120)의 연결부(127)도 제1 프로브 핀(110)의 연결부(117)로부터 제9 간격(G19)만큼 이격된다. 이 경우, 제1 프로브 핀들(110)의 제2 간격(G12)과 제4 간격(G14)은 실질적으로 동일하고, 제2 프로브 핀들(120)의 제6 간격(G16)과 제8 간격(G18)은 실질적으로 동일하다.
제1 프로브 핀들(110)의 제2 및 제4 간격(G12,G14)과 제2 프로브 핀들(120)의 제6 및 제8 간격(G16,G18)을 조절하면, 제9 간격(G19)은 다양하게 변화될 수 있다. 따라서 다양한 간격으로 배치된 피검체의 단자들에 대응하게 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 배열할 수 있다. 당연히 다양한 간격으로 배치된 집적회로의 단자들 에 대응하게 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 배열할 수 있다.
전술한 바와 같이, 제1 프로브 핀들(110)은 제1 지지부재(130)에 고정됨과 동시에 제1 내지 제3 방향으로 나란하게 배열된다. 제2 프로브 핀들(120)은 제2 지지부재(150)에 고정됨과 동시에 제1 내지 제3 방향으로 나란하게 배열된다. 그리고 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 제2 프레임(180)을 제1 프레임(170)에 고정함과 동시에 제1 내지 제3 방향으로 나란하게 정렬된다. 즉, 간단한 조립과정을 통하여 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 정확하게 정렬할 수 있을 뿐만 아니라, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 간격도 다양하게 변화시킬 수 있다.
나아가, 전술한 바와 같은 본 발명에 따르면 제2 프레임(180)을 제1 프레임(170)으로부터 간단하게 분리할 수 있어 프로브 유닛(100)의 정비도 용이하게 수행할 수 있다.
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 장치의 일부분이 절개된 측면도를 도시한 것이고, 도 22는 도 21에 도시한 프로브 장치의 내부의 프로브 유닛을 부분적으로 확대 도시한 사시도이다.
도 21 및 도 22를 참조하면, 프로브 장치(200)는 도 2에 도시한 프로브 유닛(100)을 포함한다. 따라서 도 2와 동일한 참조번호에 대한 설명은 생략하지만 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
프로브 장치(200)는 하우징(210), 스테이지(230), 프로브 유닛(100) 및 테스트 유닛(도시되지 않음)을 포함한다.
하우징(210)은 프로브 장치(200)의 외관을 이루는 장치로서, 내부에 스테이 지(230), 프로브 유닛(100) 및 테스트 유닛을 수용하기 위한 공간이 마련된다.
하우징(210)의 전방부에는 하우징(210)의 내부를 육안으로 확인할 수 있으며, 하우징(210)을 개폐하는 투명 셔터(215)가 설치된다.
스테이지(230)는 디스플레이 패널과 같은 피검체(201)를 지지하기 위한 장치로서, 하우징(210) 내부에 설치된다. 스테이지(230)는 피검체(201)에 대응하는 크기를 갖는다. 피검체(201)는 수 내지 수백 인치의 크기를 가질 수 있어, 스테이지(230)도 수 내지 수백 인치의 크기로 제조될 수 있다.
스테이지(230)는 배치 공간을 줄이기 위하여 기울어지게 배치된다. 그러나 스테이지(230)는 수평 또는 수직으로도 배치될 수도 있다.
스테이지(230)에는 하우징(210) 내부에 스테이지(230)를 이동시키기 위한 구동 유닛(도시되지 않음)이 설치된다. 상기 구동 유닛은 스테이지(230)를 수평 및 수직 방향으로 이동시키고 또한 틸팅시키기도 한다. 피검체(201)는 상기 구동 유닛에 의하여 프로브 장치(200) 내부로 이동될 수 있으며, 또한, 프로브 장치(200)로부터 외부로 반출된다. 상기 구동 유닛은 종래와 실질적으로 동일하므로 이에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다. 검사 위치로 이동된 스테이지(230)의 주변부에는 프로브 유닛(100)이 배치된다.
프로브 유닛(100)은 하우징(210)의 내측벽에 고정된 설치 플레이트(225)에 장착된다. 이 경우, 프로브 유닛(100)은 홀더(220)를 매개로 설치 플레이트(225)에 장착된다.
홀더(220)는 프로브 유닛(100)을 설치 플레이트(225)에 고정한다. 이 경우, 홀더(220)는 프로브 유닛(100)의 제1 프레임(170)에 결합된다. 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 피검체(201)를 향하도록 배치된다.
설치 플레이트(225)에는 복수개의 프로브 유닛(100)이 장착된다. 프로브 유닛(100)의 개수는 피검체(201)의 단자모듈(205)의 개수에 따라서 결정될 수 있다.
단자모듈(205)은 복수개의 단자들(207)로 이루어진다. 단자들(207)은 등간격으로 배열된다. 최근에는 단자들(207)이 약 25㎛의 미세한 간격으로 배치되기도 한다. 단자들(207)에는 프로브 유닛(100)의 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)이 각각 접촉된다. 정확한 접촉을 위하여, 단자들(207)의 간격과 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 간격은 동일한 것이 바람직하다.
이미 전술한 바와 같이 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 간격은 다양하게 조절될 수 있다. 그리고 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 약 20㎛의 미세한 간격으로도 배치될 수 있다. 따라서 최근에는 단자들(207)의 간격에 부합되도록 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 배열할 수 있다.
각각의 프로브 유닛(100)은 테스트 유닛(도시되지 않음)과 전기적으로 연결된다. 상기 테스트 유닛은 TCP와 같은 회로기판을 매개로 각각의 프로브 유닛(110)에 연결된다. 상기 테스트 유닛은 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)에 전기적 신호를 제공하여 피검체(201)의 정상작동 여부를 확인한다. 상기 테스트 유닛은 종래와 실질적으로 동일한 바 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
전술한 실시예들에서는, 프로브 유닛(110)이 복층으로 구성된 경우 즉, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 갖는 경우, 에 대하여 설명하였다. 비록 도면으로 도시하지는 않았으나, 프로브 유닛(120)은 1층으로 구성될 수 있다. 이 경우, 프로브 유닛(110)은 제1 프로브 핀들(110) 또는 제2 프로브 핀들(110)을 포함한다. 또한, 프로브 유닛(110)은 3층 이상으로도 구성될 수 있다. 이 경우, 프로브 유닛(110)은 제1 프로브 핀들(110)과, 제2 프로브 핀들(120)뿐만 아니라 제3 프로브 핀들까지 포함한다. 이러한 다양한 프로브 유닛의 실시예들은 구지 도면으로 도시하지 않아도 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 프로브 핀들의 간격을 종래에 비하여 크게 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 다양하게 변화시킬 수도 있다. 또한, 프로브 핀들을 조립식으로 구성함으로써 프로브 유닛을 신속 및 용이하게 제조할 수 있으며, 프로브 유닛의 정비도 신속 및 용이하게 수행할 수 있다. 결과적으로는 고성능 및 고집적의 피검체를 효과적으로 검사할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들을 갖는 제1 프레임;
    상기 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 상기 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들을 갖는 제2 프레임;
    상기 제2 프레임을 상기 제1 프레임 상에 고정하는 고정부재;
    상기 각각의 제1 프로브 핀의 양단부들을 지지하며 상기 제1 프레임 상에 배치되는 제1 지지부재; 및
    상기 각각의 제2 프로브 핀의 양단부들을 지지하며 상기 제2 프레임 상에 배치되는 제2 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 지지부재는 상기 각각의 제1 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제1 지지대 및 상기 각각의 제1 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제2 지지대를 포함하고;
    상기 제2 지지부재는 상기 각각의 제2 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제3 지지대 및 상기 각각의 제2 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제4 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제1 지지대의 상면에는 상기 제1 프로브 핀들의 일단부들이 각각 삽입되는 제1 핀 슬롯들이 형성되고,
    상기 제2 지지대의 상면에는 상기 제1 프로브 핀들의 타단부들이 각각 삽입되는 제2 핀 슬롯들이 형성되고,
    상기 제3 지지대의 상면에는 상기 제2 프로브 핀들의 일단부들이 각각 삽입되는 제3 핀 슬롯들이 형성되고,
    상기 제4 지지대의 상면에는 상기 제2 프로브 핀들의 타단부들이 각각 삽입되는 제4 핀 슬롯들이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 제1 및 제3 지지대들의 상면들에는 상기 제1 방향에 직교하는 방향에 대하여 상기 제1 및 제3 지지대들의 위치를 정렬하기 위한 얼라인 슬롯들이 각각 형성되고,
    상기 제2 및 제4 지지대들의 상면들에는 상기 제1 방향에 직교하는 방향에 대하여 상기 제2 및 제4 지지대들의 위치를 정렬하기 위한 얼라인 슬롯들이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 제1 프레임의 상면 양측 모서리들 상에는 상기 제1 지지대의 폭과 실질적으로 동일한 간격으로 이격된 가이드 블록들이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제1 지지대는 상기 제1 지지대의 후면에 상기 제1 방향을 따라 형성되어 상기 가이드 블록들 사이에 삽입되는 가이드 바(bar)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  8. 제 3 항에 있어서, 상기 제1 프레임의 상면 중심부에는 상기 제2 지지대의 폭과 실질적으로 동일한 폭을 갖는 수용홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 수용홈의 양측면들에는 상기 제1 방향을 따라 상기 제1 프레임을 관통하는 체결공들이 각각 형성되고,
    상기 제1 프레임은, 상기 체결공들에 각각 삽입되며 상기 제2 지지대의 양측부들에 각각 접하여 상기 제2 지지대를 상기 제1 방향에 수직하는 방향으로 고정하는 체결부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 제2 지지대는 상기 제2 지지대의 전면(front surface)에 상기 수용홈의 깊이와 실질적으로 동일한 높이로 상기 제1 방향을 따라 형성되고 양측면이 상기 제1 방향에 대하여 경사진 가이드 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  11. 제 3 항에 있어서, 상기 제2 프레임은,
    상기 제3 지지대의 폭과 실질적으로 동일한 폭을 갖는 제1 수용홈과, 상기 제1 수용홈을 기준으로 양측에 상기 고정부재들이 각각 삽입되는 고정공들이 형성된 프레임부; 및
    상기 프레임부의 후방 양측 모서리들로부터 상기 제1 방향에 직교하는 방향으로 각각 연장되며, 상기 제4 지지대의 양단부들을 수용하기 위한 제2 수용홈들이 각각 형성된 지지부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 제3 지지대는 상기 제3 지지대의 후면에 상기 제1 방향을 따라 형성되어 상기 제1 수용홈에 끼워지는 가이드 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 제2 수용홈들에는 상기 직교하는 방향으로 지지부들을 관통하는 체결공들이 각각 형성되고,
    상기 제2 프레임은, 상기 체결공들에 각각 삽입되며 상기 제4 지지대의 후방부에 각각 접하여 상기 제4 지지대를 상기 직교하는 방향으로 고정하는 체결부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 제4 지지대의 양단부는 상기 제1 방향에 직교하는 방향에 대하여 경사진 경사면들을 각각 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  15. 제 3 항에 있어서, 상기 제1 프로브 핀들을 상기 제1 지지대와 상기 제2 지지대 사이에서 고정하기 위하여, 상기 제1 지지대 또는 제2 지지대는 상기 제1 프레임 상에 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  16. 제 3 항에 있어서, 상기 제2 프로브 핀들을 상기 제3 지지대와 상기 제4 지지대 사이에서 고정하기 위하여, 상기 제3 지지대 또는 제4 지지대는 상기 제2 프레임 상에 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  17. 피검체를 전기적으로 검사하기 위한 공간이 마련된 하우징;
    상기 하우징 내부에 배치되어 상기 피검체를 지지하는 스테이지;
    상기 작업 스테이지 상에 지지된 피검체의 주변부에 배치되며, ⅰ)제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들을 갖는 제1 프레임, ⅱ)상기 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 상기 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들을 갖는 제2 프레임, ⅲ)상기 제2 프레임을 상기 제1 프레임 상에 고정하는 고정부재, ⅳ) 상기 각각의 제1 프로브 핀의 양단부들을 지지하며 상기 제1 프레임 상에 배치되는 제1 지지부재 및 ⅴ)상기 각각의 제2 프로브 핀의 양단부들을 지지하며 상기 제2 프레임 상에 배치되는 제2 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛; 그리고
    상기 제1 및 제2 프로브 핀들에 전기적 신호를 제공하여 상기 피검체의 이상 여부를 검사하는 테스트 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  18. 디스플레이 패널의 이상 유무를 검사하는 프로브 유닛에 있어서,
    제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들을 갖는 제1 프레임;
    상기 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 상기 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들을 갖는 제2 프레임; 및
    상기 제2 프레임을 상기 제1 프레임 상에 고정하거나 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임을 분리할 수 있도록 상기 제2 프레임을 관통하여 상기 제1 프레임에 체결되는 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
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