KR102475092B1 - 프로브 장치 - Google Patents

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KR102475092B1
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이상욱
강대현
양주열
신서원
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주식회사 프로이천
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Abstract

본 발명에 따른 프로브 장치는 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 복수개의 프로브 블록들; 상기 프로브 블록들을 지지하는 메인 프레임; 상기 메인 프레임과 탈착 가능하도록 결합하는 서브 프레임; 및 상기 메인 프레임의 길이방향에 대응하는 양측 단부에 각각 안착되며, 상기 서브 프레임의 길이방향에 대응하는 양측 단부와 각각 결합하는 2개의 슬라이딩 블록들을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 장치{PROBE DEVICE}
본 발명은 프로브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이 패널 검사의 신뢰성을 높일 수 있도록 프로브 블록들을 지지하는 프레임의 변형을 최소화하기 위한 프로브 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 패널이란 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode), 액정디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display), 피디피(PDP: Plasma Display Panel) 등의 표시장치를 말하는 것으로서, LCD는 TFT(Thin Film Transistor), TN(Twisted Nematic), STN(Super Twisted Nematic), CSTN(Color Super Twisted Nematic), DSTN(Double Super Twisted Nematic) 타입 및 유기EL(Electro Luminescence) 타입이 있으며, 이러한 패널은 대형 가전 이외에도 소형의 예컨대, 휴대폰과 같은 통신 기기의 액정 표시 패널에 채택된다.
이러한 디스플레이 패널에 대하여 특성 검사시 패널의 리드선들과 접촉하여 검사신호를 전송하는 접촉라인들을 포함하는 프로브 블록들을 지지하는 메인 프레임을 이용하게 된다. 이때, 메인 프레임은 주로 가벼운 재질이며 열팽창계수가 큰 재질인 알루미늄으로 이루어진다.
그러나 열팽창계수가 큰 재질인 알루미늄으로 이루어진 메인 프레임을 구비한 프로브장치는 디스플레이 패널에 대하여 특성 검사시 발생되는 열에 의해 메인 프레임이 열팽창되어 프로브블록과 결합하는 부분의 길이가 팽창됨에 따라 프로브 블록의 접촉라인들이 패널의 리드선들과 정확한 접촉이 이루어지지 못하는 접촉 불량이 발생되는 문제점이 있다. 이로 인해, 열팽창계수가 큰 재질인 알루미늄으로 이루어진 메인 프레임을 구비한 프로브 장치는 메인 프레임의 열팽창에 의해 프로브블록의 접촉라인들과 패널의 리드선들과의 얼라인 시 정확도를 안정적으로 할 수 없어 발생되는 접촉 불량에 의해 디스플레이 패널 검사의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 디스플레이 패널 검사 중에 동반되는 고온 분위기에서도 프로브 블록의 접촉라인들과 패널의 리드선들과의 정렬 정확도를 확보할 수 있도록 하는 프로브 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 프로브 장치는 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 복수개의 프로브 블록들; 상기 프로브 블록들을 지지하는 메인 프레임; 상기 메인 프레임과 탈착 가능하도록 결합하는 서브 프레임; 및 상기 메인 프레임의 길이방향에 대응하는 양측 단부에 각각 안착되며, 상기 서브 프레임의 길이방향에 대응하는 양측 단부와 각각 결합하는 2개의 슬라이딩 블록들을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 서브 프레임은, 상기 메인 프레임보다 열팽창률이 적은 인바(invar) 재질 또는 티타늄(titanium) 재질로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이딩 블록들 각각은, 상기 메인 프레임의 양측 단부 각각에 형성된 블록 안착부에 안착되는 슬라이딩 본체; 및 상기 슬라이딩 본체의 일면에서 돌출되며, 상기 서브 프레임의 양측 단부 각각과 나사 결합을 위한 결합 홈이 형성되어 있는 블록 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 블록 돌출부는, 적어도 2개 이상의 결합 홈들을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이딩 블록들 각각은, 상기 메인 프레임의 상기 블록 안착부와 길이 방향에 대해 일정 거리 이상 이격되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 프로브블록의 지지를 위한 프로브 장치에 관한 것으로서, 메인 프레임보다 열팽창률이 적은 재질로 이루어진 서브 프레임에 프로브 블록들이 결합되고, 메인 프레임과 일정 거리만큼 이격되어 삽입 결합되는 슬라이딩 블록이 서브 프레임의 양측 단부와 결합함으로써, 디스플레이 패널의 특성 검사시 발생되는 열에 의한 메인 프레임의 열팽창에도 불구하고, 프로브 블록과 결합되는 서브 프레임은 열팽창되지 않게 된다.
즉, 서브 프레임의 양측 단부가 메인 프레임의 양측 단부와 결합하는 대신에, 별도의 슬라이딩 블록들과 결합되어 있으며, 이러한 슬라이딩 블록들은 메인 프레임의 블록 안착부와의 이격 거리 범위 내에서 이동할 수 있다. 이에 따라, 메인 프레임의 양측 단부가 열팽창에 의해 변형되더라도, 서브 프레임의 양측 단부는 메인 프레임의 양측 단부와 직접적으로 결합하고 있지 않기 때문에, 서브 프레임의 열팽창에 따른 변형을 방지할 수 있다.
따라서, 프로브 블록의 결합 부위의 길이가 팽창되지 않기 때문에, 프로브 블록의 접촉라인들이 패널의 리드선들과 정확한 접촉이 이루어져 접촉 불량이 발생되지 않게 된다. 또한, 프로브블록의 접촉라인들과 패널의 리드선들과의 얼라인 시에는 얼라인 정확도가 향상되어 디스플레이 패널에 대한 전기적 검사를 안정적으로 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은, 메인 프레임과 탈착 가능하도록 결합된 서브 프레임을 포함함으로써, 결합프레임과 지지프레임은 서로 분리 가능함에 따라 지지프레임은 공용화할 수 있고, 서로 다른 서브 프레임 각각은 동일한 하나의 메인 프레임에 교체되어 결합될 수 있기 때문에, 피검사체인 디스플레이 패널의 다양성에 따라 서브 프레임만 교체하여 사용할 수 있기 때문에 경제적 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 1a는 본 발명에 따른 따른 프로브 장치의 일측 사시도이고, 도 1b는 본 발명에 따른 따른 프로브 장치의 타측 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 프로브 장치의 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 메인 프레임을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 2의 서브 프레임을 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 하나의 슬라이딩 블록을 나타내는 사시도이다.
도 6은 메인 프레임의 블록 안착부에 안착되어 있는 슬라이딩 블록과 메인 프레임 사이의 이격 거리를 나타내는 참조도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 아래의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공하는 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 “포함한다(comprise)” 및/또는 “포함하는(comprising)”은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다. 본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 용어 “및/또는”은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 영역 및/또는 부위들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부위들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 특정 순서나 상하, 또는 우열을 의미하지 않으며, 하나의 부재, 영역 또는 부위를 다른 부재, 영역 또는 부위와 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1 부재, 영역 또는 부위는 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2 부재, 영역 또는 부위를 지칭할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면, 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1a는 본 발명에 따른 따른 프로브 장치(10)의 일측 사시도이고, 도 1b는 본 발명에 따른 따른 프로브 장치(10)의 타측 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 프로브 장치(10)의 분해 사시도이다.
도 1a, 도 1b 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 프로브장치(10)는 프로브 블록(100), 메인 프레임(200), 서브 프레임(300) 및 슬라이딩 블록들(400)을 포함한다.
프로브 블록들(100)은 피검사체인 디스플레이 패널 등의 전기적 특성을 검사하는 블록들이다.
프로브 블록들(100) 각각은 디스플레이 패널(미도시)의 리드선들과 접촉하여 검사신호를 전송하는 접촉라인들을 포함한다. 이때, 프로브 블록들(100) 각각은 접촉라인이 대응하는 디스플레이 패널의 리드선과 접촉하여 디스플레이 패널을 검사한다. 여기서, 리드선들은 일정한 간격으로 배열될 수 있으며, 디스플레이 패널의 리드선들이 배열된 간격과 동일한 간격 또는 유사한 간격으로 배열된다. 이때, 리드선들은 미세 피치(Pitch)로 배열될 수 있다.
메인 프레임(200)은 프로브 블록들(100)을 지지하는 프레임이다.
도 3은 도 2에 도시된 메인 프레임(200)을 나타낸 사시도이다.
도 3을 참조하면, 메인 프레임(200)은 외부에 고정되는 스틱 구조의 프레임 본체(210) 및 프레임 본체(210)의 길이방향에 대응하는 스틱의 양측 단부에 형성된 블록 안착부(220)를 포함한다.
프레임 본체(210)는 일면에 다수의 프로브블록들(100)이 지지되어 있을 수 있도록 스틱 형태의 구조를 갖는다. 이러한 프레임 본체(210)는 알루미늄 재질로 형성되고, 여기서, 알루미늄은 비중이 약 2.81 g/㎤일 수 있다.
블록 안착부(220)는 스틱 형태의 프레임 본체(210)의 양측 단부에 형성된 직사각형 형태의 홀 구조를 포함한다. 이러한 직사각형 형태의 홀 구조에 슬라이딩 블록들(400)이 각각 안착될 수 있다. 블록 안착부(220)는 적어도 2개 이상일 수 있다.
블록 안착부(220)는 슬라이딩 블록들(400)이 안착되는 구조를 포함하되, 슬라이딩 블록들(400)의 측부와 블록 안착부(220)의 측부가 일정 거리 이상 이격될 수 있도록 여유 공간을 포함할 수 있다. 블록 안착부(220)는 후술하는 슬라이딩 블록들(400)의 블록 돌출부(420)가 서브 프레임(300)과 결합하기 위해 삽입될 수 있는 블록 삽입홀(220-1)을 포함할 수 있다.
블록 삽입홀(220-1)은 프레임 본체(210)의 일면에서 타면을 관통하는 관통 구조를 포함한다. 블록 삽입홀(220-1)의 단면 구조는 직사각형일 수도 있고, 원형일 수도 있으며, 다양한 형태로 변형 가능하다. 블록 삽입홀(220-1)은 슬라이딩 블록들(400)의 블록 돌출부(420)가 삽입되더라도, 블록 돌출부(420)와 일정 거리 이상 이격될 수 있도록 유격이 형성된 것일 수 있다. 이에 따라, 메인 프레임(200)의 양측 단부와 결합되어 있는 슬라이딩 블록들(400)이 메인 프레임(200)의 열팽창으로 인해 이격 거리 범위 내에서는 움직일 수 있는 공간을 제공한다.
이러한 블록 삽입홀(220-1)은 적어도 2개 이상일 수 있다. 도 3에서는 하나의 블록 안착부(220)에 각각 3개의 블록 삽입홀(220-1)이 형성된 것을 도시하고 있다. 다만, 이러한 블록 삽입홀(220-1)의 개수는 슬라이딩 블록들(400)의 블록 돌출부(420)와 대응하여 그 개수가 증감될 수 있다.
블록 안착부(220)는 슬라이딩 블록들(400)이 안착되는 구조를 포함하되, 슬라이딩 블록들(400)의 측부와 블록 안착부(220)의 측부가 일정 거리 이상 이격될 수 있도록 유격이 형성된 것일 수 있다. 이에 따라, 메인 프레임(200)의 양측 단부와 결합되어 있는 슬라이딩 블록들(400)이 메인 프레임(200)의 열팽창으로 인해 이격 거리 범위 내에서는 움직일 수 있는 공간을 제공한다.
서브 프레임(300)은 메인 프레임(100)과 탈착 가능하도록 결합한다. 서브 프레임(300)은 메인 프레임(200)보다 열팽창률이 적은 인바(invar) 재질 또는 티타늄(titanium) 재질로 구성된 것일 수 있다. 여기서, 인바는 비중이 약 8.1 g/㎤일 수 있다.
도 4는 도 2의 서브 프레임(300)을 나타낸 사시도이다.
도 4를 참조하면, 서브 프레임(300)은 장공들(310), 제1 결합통공(320), 제2 결합통공(330) 및 제3 결합통공(340)을 포함한다.
장공들(310)은 서브 프레임(300)의 길이방향으로 일정간격을 가지며 형성된 홀 구조를 포함한다. 여기서, 장공들(310)은 서브 프레임(300)의 길이방향으로 일정간격을 가지며 통공되되, 각각이 서브 프레임(300)의 길이방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖는 홀이다. 또한, 장공들(310)은 예를 들어 10개 이상 25개 이하일 수 있다. 이때, 프로브블록들(100)은 서브 프레임(300)의 장공들(310)을 통하여 PCB와 연결될 수 있다.
제1 결합통공(320)은 프로브블록들(100)과 결합할 수 있도록 형성된 복수개의 홀 구조를 포함한다. 서브 프레임(300)은 볼트와 너트, 나사 등 결합수단을 이용하여 제1 결합통공(320)을 통해 프로브블록들(100)과 결합된다.
여기서, 제1 결합통공(320)은 각 장공들(310)의 일측과 서브 프레임(300)의 끝단 사이에 형성된다. 또한, 제1 결합통공(320)은 적어도 한개 이상을 단위로 예를 들어 3개를 단위로 하여 각 장공(310)의 일측에 형성될 수 있다. 도 4에서는 하나의 프로브블록(100)과 결합하기 위해, 3개의 홀 구조를 갖는 제1 결합통공(320)이 도시되어 있으나, 이는 예시적인 것이며, 2개 또는 4개 이상의 홀 구조를 갖는 것일 수도 있다.
제2 결합통공(330)은 메인 프레임(200)의 프레임 본체(210)와 탈착 가능하게 결합되도록 형성된 복수의 홀 구조를 포함한다. 서브 프레임(300)은 볼트와 너트, 나사 등 결합수단을 이용하여 제2 결합통공(330)을 통해 메인 프레임(200)의 프레임 본체(210)와 결합된다.
제2 결합통공(330)은 서브 프레임(300)의 폭 방향으로 적어도 하나 이상 예를 들어 2개를 단위로 하여 복수개가 쌍으로 형성된 것일 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 결합통공(330)은 서브 프레임(300)의 길이 방향으로 따라 2개의 홀 구조가 한쌍으로 배치되어 있다. 이러한 제2 결합통공(330)은 서브 프레임(300)의 중심부에 배치되어 있다. 제2 결합통공(330)의 홀 개수는 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있다.
제3 결합통공(340)은 슬라이딩 블록들(400)과 탈착 가능하게 결합할 수 있도록 형성된 복수개의 홀 구조를 포함한다. 서브 프레임(300)은 볼트와 너트, 나사 등 결합수단을 이용하여 제3 결합통공(340)을 통해 슬라이딩 블록들(400)과 결합된다.
제3 결합통공(340)은 서브 프레임(300)의 폭 방향으로 적어도 하나 이상 예를 들어 2개를 단위로 하여 복수개가 쌍으로 형성된 것일 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제3 결합통공(340)은 서브 프레임(300)의 길이 방향으로 따라 2개의 홀 구조가 한쌍으로 배치되어 있다. 이러한 제3 결합통공(340)은 서브 프레임(300)의 양측 단부에 각각 배치되어 있다. 제3 결합통공(340)의 홀 개수는 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있다.
슬라이딩 블록들(400)은 메인 프레임(200)의 길이방향에 대응하는 양측 단부에 각각 삽입되며, 서브 프레임(300)의 길이방향에 대응하는 양측 단부와 각각 결합한다. 슬라이딩 블록들(400)은 열팽창률이 적은 재질로 구성된 것일 수 있다.
도 5는 도 1에 도시된 하나의 슬라이딩 블록(400)을 나타내는 사시도이다.
도 5를 참조하면, 슬라이딩 블록(400)은 슬라이딩 본체(410) 및 블록 돌출부(420)을 포함하고 있다.
슬라이딩 본체(410)는 메인 프레임(200)의 양측 단부에 각각 형성된 블록 안착부(220)에 안착된다. 슬라이딩 본체(410)는 블록 안착부(220)에 안착될 수 있도록 블록 안착부(220)와 대응하는 구조를 갖는다. 도 5에서는 스틱 형태의 슬라이딩 본체(410)를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것이며, 다양한 형태로 변형될 수 있다.
블록 돌출부(420)는 슬라이딩 본체(410)의 일면에서 돌출된 형태를 포함한다. 슬라이딩 본체(410)에 형성된 블록 돌출부(420)는 적어도 하나 이상일 수 있으며, 필요에 따라 2개 이상 구비된 것일 수도 있다. 도 5에서는 3개의 블록 돌출부(420)가 형성된 것을 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것이다.
블록 돌출부(420)는 상부 끝단에 서브 프레임(300)의 양측 단부와 각각 나사 결합을 위한 결합 홈(420-1)이 형성되어 있다. 결합 홈(420-1)은 적어도 한개 이상일 수 있으며, 필요에 따라 2개 이상일 수 있다. 도 5에서는 블록 돌출부(420)에 2개의 결합 홈(420-1)이 형성되어 있는 것을 도시하고 있다.
이러한, 슬라이딩 블록들(400) 각각은 메인 프레임(200)의 블록 안착부(220)와 길이 방향에 대해 일정 거리 이상 이격되어 배치될 수 있다.
도 6은 메인 프레임(200)의 블록 안착부(220)에 안착되어 있는 슬라이딩 블록(400)과 메인 프레임(200) 사이의 이격 거리를 나타내는 참조도이다.
도 6을 참조하면, 메인 프레임(200)의 블록 안착부(220)에 안착되어 있는 슬라이딩 블록(400)이 블록 안착부(220)의 측부와 각각 D1 및 D2 만큼 이격 거리를 형성하고 있음을 도시하고 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 블록(400)이 메인 프레임(200)의 블록 안착부(220)와 일정 거리만큼 이격되어 있고, 서브 프레임의 양측 단부가 메인 프레임(200)이 아닌 슬라이딩 블록들(400)과 결합되어 있다. 이에 따라, 메인 프레임(200)의 양측 단부는 서브 프레임(300)에 구속되지 않은 상태에서 열팽창률에 따라 슬라이딩 블록(400)과 블록 안착부(220)의 이격 거리 범위 내에서 길이가 변형될 수 있다.
따라서, 메인 프레임(200)의 양측 단부가 열팽창에 의해 변형되더라도, 서브 프레임(300)의 양측 단부는 메인 프레임(200)의 양측 단부와 직접적으로 결합하고 있지 않기 때문에, 서브 프레임(300)의 열팽창에 따른 변형을 방지할 수 있다.
서브 프레임(300)은 열팽창에 따른 변형이 방지되므로, 서브 프레임(300)과 결합되어 있는 프로브 블록(100)의 정렬 위치도 변형되지 않게 된다. 결국, 프로브 블록(100)의 접촉라인들이 디스플레이 패널의 리드선들과 정확한 접촉이 이루어져 접촉 불량이 발생되지 않음에 따라 프로브블록의 접촉라인들과 디스플레이 패널의 리드선들과의 얼라인 시에는 얼라인 정확도가 향상되며, 디스플레이 패널에 대한 전기적 검사를 안정적으로 수행할 수 있다.
이러한, 서브 프레임(300)은 메인 프레임(200)과 탈착 가능하도록 결합된다. 즉, 서브 프레임(300)과 메인 프레임(200)은 필요에 따라 용이하게 분리될 수 있다. 이때, 메인 프레임(200)은 공용화할 수 있고, 서로 다른 서브 프레임(300) 각각은 동일한 하나의 메인 프레임(200)에 교체되어 결합될 수 있다. 예를 들어, 동일한 하나의 메인 프레임(200)에는 19개의 장공을 포함한 서브 프레임이 결합될 수 있고, 상기 19개의 장공을 포함한 서브 프레임을 분리한 다음, 21개의 장공을 포함한 서브 프레임이 결합될 수 있다. 이로 인해, 피검사체인 디스플레이 패널의 다양성에 따라, 종래기술과 같이 메인 프레임을 교체할 필요 없이 메인 프레임과 분리된 서브 프레임만을 교체하기 때문에 경제적 효율성이 향상될 수 있다.
또한, 서브 프레임(300)은 알루미늄보다 열팽창률이 적은 인바, 티타늄 등의 재질로 이루어진다. 이때, 디스플레이 패널에 대하여 특성 검사시 발생되는 열에 의해 열팽창률이 큰 재질인 알루미늄으로 이루어진 메인 프레임(200)이 열팽창되어도 프로브블록(100)과 결합되는 서브 프레임(300)은 열팽창되지 않는다. 이로 인해, 프로브블록(100)의 결합부위의 길이가 팽창되지 않아 프로브블록(100)의 접촉라인들이 상기 패널의 리드선들과 정확한 접촉이 이루어져 접촉 불량이 발생되지 않기 때문에, 프로브블록의 접촉라인들과 패널의 리드선들과의 얼라인 시에는 정확도를 안정적으로 할 수 있다.
상술한 바와 같이 실시예에 따른 프로브장치는 디스플레이 패널에 대하여 특성 검사시 발생되는 열에 의해 열팽창률이 큰 재질로 이루어진 메인 프레임(200)이 열팽창되어도 프로브블록(100)과 결합되는 서브 프레임(300)은 열팽창되지 않아 프로브 블록(100)의 결합부위의 길이가 팽창되지 않는다. 이에 따라, 프로브 블록(100)의 접촉라인들이 상기 패널의 리드선들과 정확한 접촉이 이루어져 접촉 불량이 발생되지 않음에 따라 프로브블록의 접촉라인들과 패널의 리드선들과의 얼라인 시에는 얼라인 정확도가 향상되어 디스플레이 패널에 대한 전기적 검사를 안정적으로 수행할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 프로브장치는 메인 프레임(200)과 탈착 가능하도록 결합된 서브 프레임(300)을 포함함으로써, 서브 프레임(300)과 메인 프레임(200)은 서로 분리 가능함에 따라 메인 프레임(200)은 공용화할 수 있고, 서로 다른 서브 프레임(300) 각각은 동일한 하나의 메인 프레임(200)에 교체되어 결합될 수 있기 때문에, 피검사체인 디스플레이 패널의 다양성에 따라 서브 프레임(300)만 교체하기 때문에 경제적 효율성을 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 따른 프로브장치에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다. 그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 프로브장치
100: 프로브 블록
200: 메인 프레임
300: 서브 프레임
400: 슬라이딩 블록들

Claims (5)

  1. 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 복수개의 프로브 블록들;
    상기 프로브 블록들을 지지하는 메인 프레임;
    상기 메인 프레임과 탈착 가능하도록 결합하는 서브 프레임; 및
    상기 메인 프레임의 길이방향에 대응하는 양측 단부에 각각 안착되며, 상기 서브 프레임의 길이방향에 대응하는 양측 단부와 각각 결합하는 2개의 슬라이딩 블록들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 서브 프레임은,
    상기 메인 프레임보다 열팽창률이 적은 인바(invar) 재질 또는 티타늄(titanium) 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬라이딩 블록들 각각은,
    상기 메인 프레임의 양측 단부 각각에 형성된 블록 안착부에 안착되는 슬라이딩 본체; 및
    상기 슬라이딩 본체의 일면에서 돌출되며, 상기 서브 프레임의 양측 단부 각각과 나사 결합을 위한 결합 홈이 형성되어 있는 블록 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 블록 돌출부는,
    적어도 2개 이상의 결합 홈들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 슬라이딩 블록들 각각은,
    상기 메인 프레임의 상기 블록 안착부와 길이 방향에 대해 일정 거리 이상 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
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