KR101617622B1 - 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법 - Google Patents

마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체는, 복수의 마이크로 핀과, 상기 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀이 형성된 고정 필름 및 상기 고정 필름의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나에 형성된 적어도 하나의 보조층을 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그는, 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀이 형성된 고정 필름의 제1 면이 고정되고, 내부에 상기 복수의 관통 홀이 위치하도록 제1 주입 공간이 형성된 제1 플레이트 및 상기 고정 필름의 제2 면이 고정되고, 내부에 상기 제1 주입 공간에 대응하는 형상의 제2 주입 공간이 형성된 제2 플레이트를 포함하며, 상기 고정 필름이 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 사이에 고정된 상태에서, 상기 복수의 마이크로 핀이 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 복수의 관통 홀에 삽입 결합된 후, 상기 제1 주입 공간 및 상기 제2 주입 공간 중 적어도 하나를 통해 경화제가 주입되어 상기 고정 필름의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나에 적어도 하나의 보조층이 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법{Micro-pin assembly, Jig for manufacturing the micro-pin assembly and Method for manufacturing the micro-pin assembly}
본 발명은 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 마이크로 핀의 위치를 정밀하게 조절할 수 있고, 복수의 마이크로 핀이 피검사체에 형성된 복수의 단자에 접촉할 때에 피검사체의 손상을 줄이고 정확한 접촉이 이루어질 수 있도록 할 수 있는 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자, 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 등과 같이 회로 패턴이 형성된 제품은 제조 공정 중 회로 패턴 등의 전기적 상태를 검사하는 과정이 반드시 필요하다.
예를 들어, 실리콘 웨이퍼 상에 전기 회로가 형성된 반도체 소자는 전기적인 특성을 검사하기 위해 EDS(Electrical die sorting) 공정을 수행하는데, 검사 장치는 실리콘 웨이퍼 상에 형성된 칩에 전기적 신호를 인가하고, 칩으로부터 출력되는 전기적 신호를 획득하여 칩의 불량 여부를 판단하여 EDS 공정을 수행할 수 있다.
또 다른 예로, 액정 디스플레이(Liquid crystal display, LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display panel, PDP) 등과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)는 셀(Cell) 공정을 거쳐 제조된 후, 제조 공정상 발생할 수 있는 결함의 유무를 검사하는 공정을 수행하는데, 검사 장치는 디스플레이 패널에 구비된 복수의 단자에 테스트 신호를 인가하여 디스플레이 패널의 픽셀 에러 모드(Pixel error mode), 즉, 컬러(Color), 해상도(Resolution), 밝기(Brightness) 등을 확인할 수 있다.
이와 같이, 검사 장치는 피검사체에 구비된 칩 또는 단자에 직접 접촉하는 프로브(Probe, 탐침)를 이용하여 피검사체에 대한 검사 공정을 수행한다. 최근에는 고밀도로 집적된 전기 회로가 형성된 반도체 소자, 디스플레이 패널 등이 지속적으로 개발되고 있으며, 이러한 반도체 소자, 디스플레이 패널 등의 피검사체를 검사하기 위한 검사 장치의 개발이 활발하게 이루어지고 있다.
종래에 반도체 소자 검사 등에 사용되는 검사 장치는 소켓(Socket)이라고 부르는데, 이러한 소켓은 플라스틱에 마이크로 홀을 가공하고 포고 핀(Pogo Pin)을 삽입하여 사용하는 방식을 사용하고 있었다.
그러나, 종래에 사용하던 소켓 형태의 검사 장치는 포고 핀의 직경이 수백 마이크로미터에 달하는데다가 포고 핀의 내부에 탄성력을 제공하기 위한 스프링의 설치로 인해 검사 장치의 소형화에 매우 제한적이다는 문제점이 있었다. 또한, 포고 핀 자체가 매우 고가인데다가, 포고 핀의 위치를 정밀하게 조절하기 위해서 플라스틱에 마이크로 홀을 가공하는 비용이 매우 높다는 문제점이 있었다.
따라서, 복수의 마이크로 핀의 위치를 정밀하게 조절할 수 있고, 복수의 마이크로 핀이 피검사체에 형성된 복수의 단자에 접촉할 때에 피검사체의 손상을 줄이고 정확한 접촉이 이루어질 수 있도록 할 수 있는 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법이 요구된다.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 고정 필름의 일 면 또는 양 면에 실리콘 러버를 사용하여 보조층을 형성함으로써, 복수의 관통 홀에 삽입 결합되는 마이크로 핀의 위치를 정밀하게 조절할 수 있고, 마이크로 핀 조립체 전체에 탄성력을 제공하여 복수의 마이크로 핀이 피검사체에 형성된 복수의 단자에 접촉할 때에 피검사체의 손상을 줄이고 정확한 접촉이 이루어질 수 있도록 할 수 있는 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체는, 복수의 마이크로 핀과, 상기 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀이 형성된 고정 필름 및 상기 고정 필름의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나에 형성된 적어도 하나의 보조층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 복수의 마이크로 핀 각각은 상기 고정 필름의 제1 면에 맞닿는 돌출부가 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 고정 필름은 폴리이미드 필름(Polyimide film)이고, 상기 적어도 하나의 보조층은 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그는, 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀이 형성된 고정 필름의 제1 면이 고정되고, 내부에 상기 복수의 관통 홀이 위치하도록 제1 주입 공간이 형성된 제1 플레이트 및 상기 고정 필름의 제2 면이 고정되고, 내부에 상기 제1 주입 공간에 대응하는 형상의 제2 주입 공간이 형성된 제2 플레이트를 포함하며, 상기 고정 필름이 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 사이에 고정된 상태에서, 상기 복수의 마이크로 핀이 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 복수의 관통 홀에 삽입 결합된 후, 상기 제1 주입 공간 및 상기 제2 주입 공간 중 적어도 하나를 통해 경화제가 주입되어 상기 고정 필름의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나에 적어도 하나의 보조층이 형성되는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 고정 필름은 폴리이미드 필름(Polyimide film)이고, 상기 적어도 하나의 보조층은 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 고정 필름의 제2 면이 고정된 제2 플레이트의 반대면에 제1 면이 고정되고, 상기 복수의 관통 홀과 대응되는 위치에 상기 복수의 마이크로 핀이 삽입되는 복수의 지지 홀이 형성된 가이드 필름을 더 포함하며, 상기 복수의 마이크로 핀은 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 복수의 관통 홀에 삽입 결합될 때에 상기 가이드 필름에 형성된 상기 복수의 지지 홀에 의해 축 방향으로 정렬되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드 필름의 제2 면이 고정되고, 내부에 상기 제2 주입 공간에 대응하는 형상의 제3 주입 공간이 형성되며, 상기 가이드 필름의 제2 면과 맞닿는 면에 투명판이 구비되는 제3 플레이트를 더 포함하며, 상기 복수의 마이크로 핀은 상기 투명판에 의해 길이 방향으로 정렬되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조 방법은, 복수의 마이크로 핀을 제조하는 단계와, 고정 필름에 상기 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀을 형성하는 단계와, 내부에 상기 복수의 관통 홀이 위치하도록 제1 주입 공간이 형성된 제1 플레이트와, 내부에 상기 제1 주입 공간에 대응하는 상기 제2 주입 공간이 형성된 제2 플레이트의 사이에 상기 고정 필름을 고정하는 단계와, 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 고정 필름에 형성된 상기 복수의 관통 홀에 상기 복수의 마이크로 핀을 삽입 결합하는 단계 및 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 고정 필름의 제1 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제1 면에 제1 보조층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2 주입 공간을 통해 상기 고정 필름의 제2 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제2 면에 제2 보조층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 고정 필름은 폴리이미드 필름(Polyimide film)이고, 상기 제1 보조층 및 상기 제2 보조층은 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조 방법은, 복수의 마이크로 핀을 제조하는 단계와, 고정 필름에 상기 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀을 형성하는 단계와, 내부에 상기 복수의 관통 홀이 위치하도록 제1 주입 공간이 형성된 제1 플레이트와, 내부에 상기 제1 주입 공간에 대응하는 상기 제2 주입 공간이 형성된 제2 플레이트의 사이에 상기 고정 필름을 고정하는 단계와, 상기 고정 필름이 고정된 상기 제2 플레이트의 반대면에 상기 복수의 관통 홀과 대응되는 위치에 복수의 지지 홀이 형성된 가이드 필름을 고정하는 단계와, 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 복수의 관통 홀에 상기 복수의 마이크로 핀을 삽입 결합하고, 상기 복수의 지지 홀에 의해 상기 복수의 마이크로 핀을 축 방향으로 정렬하는 단계 및 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 고정 필름의 제1 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제1 면에 제1 보조층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2 주입 공간을 통해 상기 고정 필름의 제2 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제2 면에 제2 보조층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 내부에 상기 제2 주입 공간에 대응하는 형상의 제3 주입 공간이 형성되고, 상기 가이드 필름과 맞닿는 면에 투명판이 구비된 제3 플레이트를 상기 가이드 필름에 고정하는 단계 및 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 복수의 관통 홀에 상기 복수의 마이크로 핀을 삽입 결합할 때에, 상기 투명판에 의해 상기 복수의 마이크로 핀을 길이 방향으로 정렬하는 단계를 더 포함하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 고정 필름은 폴리이미드 필름(Polyimide film)이고, 상기 제1 보조층 및 상기 제2 보조층은 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법에 따르면, 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 고정 필름의 일 면 또는 양 면에 실리콘 러버를 사용하여 보조층을 형성함으로써, 복수의 관통 홀에 삽입 결합되는 마이크로 핀의 위치를 정밀하게 조절할 수 있고, 마이크로 핀 조립체 전체에 탄성력을 제공하여 복수의 마이크로 핀이 피검사체에 형성된 복수의 단자에 접촉할 때에 피검사체의 손상을 줄이고 정확한 접촉이 이루어질 수 있도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법에 따르면, 복수의 지지 홀이 형성된 가이드 필름을 이용하여 복수의 마이크로 핀의 일단을 축 방향으로 정렬함으로써, 복수의 마이크로 핀의 위치를 보다 용이하고 정확하게 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법에 따르면, 투명판이 구비된 제3 플레이트를 이용하여 복수의 마이크로 핀의 일단을 길이 방향으로 정렬함으로써, 복수의 마이크로 핀의 위치를 보다 용이하고 정확하게 조절할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 마이크로 핀 조립체, 마이크로 핀 조립체 제조용 지그 및 마이크로 핀 조립체 제조 방법을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체(100)는 복수의 마이크로 핀(110), 고정 필름(120) 및 적어도 하나의 보조층(130)을 포함하여 구성될 수 있다.
이러한 마이크로 핀 조립체(100)는 검사 장치(도시되지 않음)로부터 전송 받은 테스트 신호를 피검사체(도시되지 않음)에 전송하고 피검사체로부터 출력되는 신호를 전달 받아 다시 검사 장치로 전송함으로써 검사 장치가 피검사체의 상태를 검사할 수 있도록 한다. 여기서 피검사체는 테스트 신호를 이용하여 검사 공정을 수행하는 대상으로, 다양한 형태의 전기/전자 부품을 의미하는 포괄적인 개념이다.
마이크로 핀(Micro pin)(110)은 일단이 피검사체에 구비된 복수의 단자(도시되지 않음)에 전기적으로 연결되고, 타단이 검사 장치와 전기적으로 연결되며, 복수의 단자에 테스트 신호를 전송하거나 복수의 단자로부터 출력되는 신호를 검사 장치에 전송하는 역할을 수행할 수 있다.
이러한 마이크로 핀(110)은 피검사체에 구비된 복수의 단자에 대응하도록 복수개가 미리 정해진 형태로 배열되며, 니켈(Ni), 금(Auu), 구리(Cu) 등과 같이 전도성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다. 바람직하게는, 마이크로 핀(110)은 반도체 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 공정에 의해 제조될 수 있다.
도 1 및 도 2에서는 마이크로 핀(110)이 사각 단면을 가지고 길게 형성된 몸체(111)로 형성된 예를 도시하고 있으나, 마이크로 핀(110)의 형상은 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
고정 필름(120)은 얇고 플렉셔블한 필름 형태(121)로 이루어지고, 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀(122)이 형성될 수 있다. 바람직하게는, 고정 필름(120)은 고온 및 저온 환경에서 특성 변화가 없고 굴곡성, 내화학성, 내마모성이 뛰어난 폴리이미드 필름(Polyimide film)을 사용할 수 있다. 또한, 고정 필름(120)에 형성되는 복수의 관통 홀(122)은 레이저 가공에 의해 형성될 수 있으며, 관통 홀(122)의 단면 형상은 마이크로 핀(110)의 단면 형상에 따라 원 형상, 사각 형상 등 다양하게 결정될 수 있다.
보조층(130)은 고정 필름(120)의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나에 형성될 수 있다. 이러한 보조층(130)은 복수의 마이크로 핀(110)이 고정 필름(120)에 형성된 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합된 후, 복수의 마이크로 핀(110) 각각의 결합 부분과 고정 필름(120)의 사이에 형성될 수 있다.
예를 들어, 보조층(130)은 복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합되는 고정 필름(120)의 제1 면(도 2에서는 고정 필름(120)의 상부면)에만 형성될 수 있으나, 도 2에 도시된 바와 같이, 보조층(130)은 고정 필름(120)의 양 면에 모두 형성되는 것이 바람직하다. 한편, 이러한 보조층(130)은 탄성력 및 복귀력이 뛰어난 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 보조층(130)의 두께는 피검사체에 형성된 복수의 단자에 직접 접촉하는 마이크로 핀(110)의 일단(111a)과 검사 장치에 직접 연결되는 마이크로 핀(110)의 타단(111b)이 노출될 정도로 형성되는 것이 바람직하다.
이와 같이, 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합되는 고정 필름(120)의 일 면 또는 양 면에 실리콘 러버를 사용하여 보조층(130)을 형성함으로써, 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합되는 마이크로 핀(110)의 위치를 정밀하게 조절할 수 있을 뿐 아니라, 스프링 등 별도의 탄성 구조가 없이도 마이크로 핀 조립체(100) 전체에 탄성력을 제공할 수 있으므로, 복수의 마이크로 핀(110)이 피검사체에 형성된 복수의 단자에 접촉할 때에 피검사체의 손상을 줄이고 정확한 접촉이 이루어질 수 있도록 할 수 있다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 마이크로 핀(110) 각각은 고정 필름(120)의 제1 면에 맞닿는 돌출부(112)가 형성될 수 있다. 즉, 마이크로 핀(110)은 일단이 관통 홀(122)에 삽입 결합될 때에 관통 홀(122)의 직경보다 크게 형성된 돌출부(112)에 의해 삽입 결합되는 깊이가 용이하게 조절할 수 있다. 이와 같이, 마이크로 핀(110)에 돌출부(112)가 형성되는 경우, 마이크로 핀(110)을 고정 필름(120)에 형성된 관통 홀(122)에 삽입 결합할 때에 마이크로 핀(110)의 길이 방향 위치를 보다 정확하게 조절할 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 14를 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하기 위한 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200) 및 이를 이용한 제조 방법에 대해 자세히 설명하기로 한다.
먼저, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하기 위한 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200) 및 이를 이용한 제조 방법에 대한 제1 실시예를 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)는 제1 플레이트(210), 제2 플레이트(220) 및 가이드 샤프트(230)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1 플레이트(210)는 대략 얇은 직육면체 형상(211)을 가지고, 일 면(도 4에서 제1 플레이트(210)의 하부면)에 복수의 관통 홀(122)이 형성된 고정 필름(120)의 제1 면(도 4에서 고정 필름(120)의 상부면)이 고정될 수 있다. 또한, 제1 플레이트(210)는 복수의 마이크로 핀(110)을 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합하기 위해, 내부에 복수의 관통 홀(122)이 위치하도록 제1 주입 공간(212)이 형성될 수 있다. 이러한 제1 플레이트(210)는 제1 주입 공간(212)에 액체 상태의 경화제를 주입할 때에 형태를 유지할 수 있도록 금속 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
제2 플레이트(220)는 제1 플레이트(210)와 같이 대략 얇은 직육면체 형상(221)을 가지고, 일 면(도 4에서 제2 플레이트(220)의 상부면)에 고정 필름(120)의 제2 면(도 4에서 고정 필름(120)의 하부면)이 고정될 수 있다. 또한, 제2 플레이트(220)는 내부에 제1 주입 공간(212)에 대응하는 형상의 제2 주입 공간(222)이 형성될 수 있다. 이러한 제2 플레이트(220)는 제1 플레이트(210)와 마찬가지로, 제2 주입 공간(222)에 액체 상태의 경화제를 주입할 때에 형태를 유지할 수 있도록 금속 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
가이드 샤프트(230)는 고정 필름(120)을 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)의 사이에 고정할 때에 고정 필름(120)이 정확한 위치에 고정될 수 있도록 제1 플레이트(210), 고정 필름(120) 및 제2 플레이트(220)의 위치를 셋팅하는 역할을 수행할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210), 고정 필름(120) 및 제2 플레이트(220)는 복수의 가이드 샤프트(230)가 삽입되는 복수의 가이드 홀(213, 123, 223)이 형성될 수 있다.
도 3 및 도 4에서는 제1 플레이트(210), 고정 필름(120) 및 제2 플레이트(220)의 모서리 부분에 각각 4 개의 가이드 홀(213, 123, 223)이 형성되고, 4 개의 가이드 샤프트(230)로 제1 플레이트(210), 고정 필름(120) 및 제2 플레이트(220)의 위치를 셋팅하는 예를 도시하고 있으나, 제1 플레이트(210), 고정 필름(120) 및 제2 플레이트(220)에 형성되는 가이드 홀(213, 123, 223) 및 가이드 샤프트(230)의 개수 및 위치는 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)는 고정 필름(120)이 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)의 사이에 고정된 상태에서, 복수의 마이크로 핀(110)이 제1 주입 공간(212)을 통해 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합된 후, 제1 주입 공간(212) 및 제2 주입 공간(222) 중 적어도 하나를 통해 경화제가 주입되어 고정 필름(120)의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나에 적어도 하나의 보조층(130)이 형성될 수 있다.
예를 들어, 도 1 및 도 2에 도시된 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하고자 하는 경우, 복수의 마이크로 핀(110)이 제1 주입 공간(212)을 통해 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합된 후, 제1 주입 공간(212)과 제2 주입 공간(222)에 순차적으로 경화제를 주입하여 고정 필름(120)의 제1 면(도 4에서 고정 필름(120)의 상부면)과 제2 면(도 4에서 고정 필름(120)의 하부면)에 한 쌍의 보조층(130)을 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이, 고정 필름(120)은 폴리이미드 필름(Polyimide film)을 사용할 수 있고, 고정 필름(120)의 일 면 또는 양 면에 보조층(130)을 형성하기 위해 주입되는 경화제는 실리콘 러버(Silicon rubber) 재질을 사용할 수 있다.
한편, 도 4에서는 고정 필름(120)에 형성된 복수의 관통 홀(122) 각각의 단면이 원 형상을 가지는 예를 도시하고 있으나, 관통 홀(122)의 단면 형상은 마이크로 핀(110)의 단면 형상에 따라 다양하게 결정될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이고, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)를 이용하여 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하기 위해서는, 먼저 복수의 마이크로 핀(110)을 제조할 수 있다(S310). 상술한 바와 같이, 마이크로 핀(110)은 반도체 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 공정을 이용하여 제조되는 것이 바람직하다.
복수의 마이크로 핀(110)을 제조한 후(S310), 고정 필름(120)에 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀(122)을 형성할 수 있다(S320). 상술한 바와 같이, 고정 필름(120)은 폴리이미드 필름(Polyimide film)을 사용하고, 고정 필름(120)에 구비되는 복수의 관통 홀(122)은 레이저 가공에 의해 형성될 수 있다.
복수의 마이크로 핀(110)과 고정 필름(120)이 구비되고 나면(S310, S320), 내부에 복수의 관통 홀(122)이 위치하도록 제1 주입 공간(212)이 형성된 제1 플레이트(210)와, 내부에 제1 주입 공간(212)에 대응하는 제2 주입 공간(222)이 형성된 제2 플레이트(220)의 사이에 고정 필름(120)을 고정할 수 있다(S330). 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 고정 필름(120)을 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)의 사이에 고정할 때에는, 복수의 가이드 샤프트(230)를 제1 플레이트(210), 고정 필름(120) 및 제2 플레이트(220)에 형성된 복수의 가이드 홀(213, 123, 223)에 삽입하여 제1 플레이트(210), 고정 필름(120) 및 제2 플레이트(220)의 위치를 셋팅할 수 있다.
고정 필름(120)을 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)의 사이에 고정한 후(S330), 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210)에 형성된 제1 주입 공간(212)을 통해 고정 필름(120)에 형성된 복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)을 순차적으로 삽입 결합할 수 있다(S340). 상술한 바와 같이, 각각의 마이크로 핀(110)에 돌출부(112)가 형성된 경우에는, 복수의 마이크로 핀(110)이 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합되는 깊이를 용이하게 조절할 수 있다. 비록 도시되지는 않았으나, 복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합된 후, 투명판 등을 이용하여 복수의 마이크로 핀(110)의 타단(도 1의 111b)을 살짝 눌러 복수의 마이크로 핀(110)의 높이를 일정하게 조절할 수도 있다.
복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합된 상태에서, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210)의 제1 주입 공간(212)을 통해 고정 필름(120)의 제1 면(도 4에서 고정 필름(120)의 상부면)에 경화제(S)를 주입하여 고정 필름(120)의 제1 면에 제1 보조층(130)을 형성할 수 있다(S350). 상술한 바와 같이, 제1 주입 공간(212)을 통해 주입되는 경화제(S)는 액체 상태의 실리콘 러버(Silicon rubber)를 사용할 수 있다. 또한, 제1 주입 공간(212)을 통해 주입되는 경화제(S)는 한 번에 주입될 수도 있으나, 필요에 따라 수 회에 나누어 주입될 수도 있다.
만약, 도 1 및 도 2에 도시된 마이크로 핀 조립체(100)(고정 필름(120)의 양 면에 보조층(130)이 형성된 경우)를 제조하고자 하는 경우에는, 제1 보조층(130)이 어느 정도 경화된 이후에, 제2 플레이트(220)의 제2 주입 공간(222)을 통해 고정 필름(120)의 제2 면(도 4에서 고정 필름(120)의 하부면)에 경화제(S)를 주입하여 고정 필름(120)의 제2 면에 제2 보조층(130)을 추가적으로 형성할 수 있다(S360).
비록 도시되지는 않았으나, 제1 보조층(130)과 제2 보조층(130)이 경화되는 동안 복수의 마이크로 핀(110)의 위치는 미세하게 조절될 수 있으며, 제1 보조층(130)과 제2 보조층(130)이 완전히 경화된 이후에는, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)를 분해하여 고정 필름(120)으로부터 제거하면 최종적으로 도 1 및 도 2에 도시된 마이크로 핀 조립체(100)를 제조할 수 있다.
한편, 도 3 및 도 4에서는 복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합되는 제1 주입 공간(212)에 경화제(S)를 주입하여 제1 보조층(130)을 먼저 형성하고, 이후 제2 주입 공간(222)에 경화제(S)를 주입하여 제2 보조층(130)을 형성하는 예를 도시하고 있으나, 이와 반대로, 제2 보조층(130)을 먼저 형성하고 제1 보조층(130)을 형성할 수도 있다.
이하, 도 7 내지 도 10을 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하기 위한 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200) 및 이를 이용한 제조 방법에 대한 제2 실시예를 설명하기로 한다. 설명의 편의상, 도 3 내지 도 6에 도시된 제1 실시예와 동일한 구조 및 과정에 대한 설명은 생략하며, 이하 차이점 만을 위주로 설명하기로 한다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)는, 도 3 및 도 4에 도시된 제1 실시예와는 달리, 복수의 마이크로 핀(110)의 일단(도 2의 111a)을 지지하여 복수의 마이크로 핀(110)을 축 방향으로 정렬시키기 위한 가이드 필름(240)을 더 포함할 수 있다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 가이드 필름(240)은 얇은 필름 형상(241)을 가지고, 고정 필름(120)의 제2 면(도 7에서 고정 필름(120)의 하부면)이 고정된 제2 플레이트(220)의 반대면(도 7에서 제2 플레이트(220)의 하부면)에 제1 면(도 7에서 가이드 필름(240)의 상부면)이 고정되며, 복수의 관통 홀(122)과 대응되는 위치에 복수의 마이크로 핀(110)의 일단(도 2의 111a)이 삽입되는 복수의 지지 홀(242)이 형성될 수 있다. 즉, 가이드 필름(240)은 복수의 마이크로 핀(110)이 제1 주입 공간(212)을 통해 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합될 때에, 복수의 마이크로 핀(110)의 일단이 삽입되는 복수의 지지 홀(242)에 의해 복수의 마이크로 핀(110)을 축 방향으로 정렬할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)는 복수의 지지 홀(242)이 형성된 가이드 필름(240)을 이용하여 복수의 마이크로 핀(110)의 위치를 보다 용이하고 정확하게 조절할 수 있다.
한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210)와 가이드 필름(240)의 사이에 배치되는 제2 플레이트(220)는 제2 주입 공간(222)의 내부로 경화제(S)를 주입하기 위해 적어도 하나의 일 측에 경화제(S) 주입구(224)가 형성될 수 있다. 바람직하게는, 제2 플레이트(220)의 마주보는 양 측에 2 개의 경화제(S) 주입구(224)가 형성될 수 있다.
이와 같이, 제2 플레이트(220)의 양 측에 2 개의 경화제(S) 주입구(224)가 형성된 경우에는, 일 측에 형성된 경화제(S) 주입구(224)를 통해 경화제(S)를 주입하되, 타 측에 형성된 경화제(S) 주입구(224)를 통해 경화제(S)가 배출될 때까지 주입함으로써, 제2 주입 공간(222)의 내부에 잔존하는 기체를 제거하여 제2 주입 공간(222)에 의해 형성되는 보조층(130)(도 6에서 고정 필름(120)의 하부면에 형성되는 제2 보조층(130))의 균일성을 확보할 수 있다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이고, 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 9 및 도 10에 도시된 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀(110) 조립체 제조 방법은, 도 5 및 도 6에 도시된 제1 실시예와는 달리, 제2 플레이트(220)에 가이드 필름(240)을 고정하는 단계와, 가이드 필름(240)에 형성된 복수의 지지 홀(242)에 의해 복수의 마이크로 핀(110)을 축 방향으로 정렬하는 단계를 더 포함할 수 있다.
즉, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)를 이용하여 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하기 위해서는, 먼저 복수의 마이크로 핀(110)을 제조하고(S410), 고정 필름(120)에 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀(122)을 형성한 후(S420), 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)의 사이에 고정 필름(120)을 고정할 수 있다(S430). 단계 S410 내지 단계 S430는 도 5에 도시된 단계 S310 내지 S330과 실질적으로 동일하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)의 사이에 고정 필름(120)을 고정한 후(S430), 고정 필름(120)이 고정된 제2 플레이트(220)의 반대면(도 8에서 제2 플레이트(220)의 하부면)에 복수의 관통 홀(122)과 대응되는 위치에 복수의 지지 홀(242)이 형성된 가이드 필름(240)을 고정할 수 있다(S440).
제1 플레이트(210), 제2 플레이트(220) 및 가이드 필름(240)을 고정한 후, 도 10의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210)에 형성된 제1 주입 공간(212)을 통해 고정 필름(120)에 형성된 복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)을 순차적으로 삽입 결합할 수 있다(S450). 이 때, 복수의 관통 홀(122)을 통과한 마이크로 핀(110)의 일단(도 2의 111a)은 가이드 필름(240)에 형성된 복수의 지지 홀(242)에 의해 지지됨으로써, 가이드 필름(240)은 복수의 마이크로 핀(110)을 축 방향으로 정렬할 수 있다.
복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)을 순차적으로 삽입 결합한 후(S450), 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210)의 제1 주입 공간(212)을 통해 고정 필름(120)의 제1 면(도 10에서 고정 필름(120)의 상부면)에 경화제(S)를 주입하여 고정 필름(120)의 제1 면에 제1 보조층(130)을 형성할 수 있다(S460).
또한, 필요한 경우, 제1 보조층(130)이 어느 정도 경화된 이후에, 제2 플레이트(220)의 제2 주입 공간(222)을 통해 고정 필름(120)의 제2 면(도 10에서 고정 필름(120)의 하부면)에 경화제(S)를 주입하여 고정 필름(120)의 제2 면에 제2 보조층(130)을 추가적으로 형성할 수 있다(S470). 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 고정 필름(120)에 제2 보조층(130)을 형성하고자 하는 경우, 제2 플레이트(220)의 일 측에 형성된 경화제(S) 주입구(224)를 통해 경화제(S)를 주입시킬 수 있다.
이하, 도 11 내지 도 14를 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하기 위한 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200) 및 이를 이용한 제조 방법에 대한 제3 실시예를 설명하기로 한다. 설명의 편의상, 도 3 내지 도 6에 도시된 제1 실시예 및 도 7 내지 도 10에 도시된 제2 실시예와 동일한 구조 및 과정에 대한 설명은 생략하며, 이하 차이점 만을 위주로 설명하기로 한다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그의 구조를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 11 및 도 12에 도시된 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)는, 도 7 및 도 8에 도시된 제2 실시예와는 달리, 복수의 마이크로 핀(110)의 일단(도 2의 111a)을 지지하여 복수의 마이크로 핀(110)을 길이 방향으로 정렬시키기 위한 제3 플레이트(250)를 더 포함할 수 있다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제3 플레이트(250)는 대략 얇은 직육면체 형상(251)을 가지고, 가이드 필름(240)의 제2 면(도 12에서 가이드 필름(240)의 하부면)이 고정되며, 내부에 제2 주입 공간(222)에 대응하는 형상의 제3 주입 공간(252)이 형성되고, 가이드 필름(240)의 제2 면과 맞닿는 면에 투명판(254)이 구비될 수 있다. 즉, 제3 플레이트(250)는 복수의 마이크로 핀(110)이 제1 주입 공간(212)을 통해 복수의 관통 홀(122)에 삽입 결합될 때에, 복수의 마이크로 핀(110)의 일단(도 2의 111a)이 맞닿는 투명판(254)에 의해 복수의 마이크로 핀(110)을 길이 방향으로 정렬할 수 있다. 또한, 제3 플레이트(250)에 구비되는 투명판(254)을 사용하는 경우, 마이크로 핀(110)의 정렬 상태를 육안으로 확인할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)는 투명판(254)이 구비된 제3 플레이트(250)를 이용하여 복수의 마이크로 핀(110)의 위치를 보다 용이하고 정확하게 조절할 수 있다.
도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이고, 도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그를 이용하여 마이크로 핀 조립체를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 13 및 도 14에 도시된 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)는, 도 9 및 도 10에 도시된 제2 실시예와는 달리, 가이드 필름(240)에 제3 플레이트(250)를 고정하는 단계와, 제3 플레이트(250)에 구비된 투명판(254)에 의해 복수의 마이크로 핀(110)을 길이 방향으로 정렬하는 단계를 더 포함할 수 있다.
즉, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마이크로 핀 조립체 제조용 지그(200)를 이용하여 마이크로 핀 조립체(100)를 제조하기 위해서는, 먼저 복수의 마이크로 핀(110)을 제조하고(S510), 고정 필름(120)에 복수의 마이크로 핀(110)이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀(122)을 형성한 후(S520), 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)의 사이에 고정 필름(120)을 고정하고(S530), 제2 플레이트(220)의 반대면(도 12에서 제2 플레이트(220)의 하부면)에 가이드 필름(240)을 고정할 수 있다(S540). 단계 S510 내지 단계 S540는 도 9에 도시된 단계 S410 내지 S440과 실질적으로 동일하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 13에 도시된 바와 같이, 제2 플레이트(220)의 반대면(도 12에서 제2 플레이트(220)의 하부면)에 가이드 필름(240)을 고정한 후(S540), 가이드 필름(240)과 맞닿는 면에 투명판(254)이 구비된 제3 플레이트(250)를 가이드 필름(240)에 고정할 수 있다(S550).
제1 플레이트(210), 제2 플레이트(220) 및 가이드 필름(240)을 고정한 후, 도 14의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(210)에 형성된 제1 주입 공간(212)을 통해 고정 필름(120)에 형성된 복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)을 순차적으로 삽입 결합할 수 있다(S560, S570). 이 때, 복수의 관통 홀(122)을 통과한 마이크로 핀(110)의 일단(도 2의 111a)은 가이드 필름(240)에 형성된 복수의 지지 홀(242)과 제3 플레이트(250)에 구비된 투명판(254)에 의해 지지됨으로써, 가이드 필름(240)과 제3 플레이트(250)는 복수의 마이크로 핀(110)을 축 방향과 길이 방향으로 정렬할 수 있다. 한편, 도 13에서는, 설명의 편의상 단계 S560과 단계 S570을 순차적으로 나누어 설명하고 있으나, 단계 S560과 단계 S570은 실질적으로 동시에 수행될 수 있따.
이와 같이, 복수의 관통 홀(122)에 복수의 마이크로 핀(110)을 순차적으로 삽입 결합한 후(S560), 제1 플레이트(210)의 제1 주입 공간(212)을 통해 고정 필름(120)의 제1 면(도 14에서 고정 필름(120)의 상부면)에 경화제(S)를 주입하여 고정 필름(120)의 제1 면에 제1 보조층(130)을 형성하고(S580), 필요한 경우, 제2 플레이트(220)의 제2 주입 공간(222)을 통해 고정 필름(120)의 제2 면(도 14에서 고정 필름(120)의 하부면)에 경화제(S)를 주입하여 고정 필름(120)의 제2 면에 제2 보조층(130)을 형성할 수 있다(S590).
한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 마이크로 핀 조립체
110: 마이크로 핀 120: 고정 필름
130: 보호 층
200: 마이크로 핀 조립체 제조용 지그
210: 제1 플레이트 220: 제2 플레이트
230: 가이드 샤프트 240: 가이드 필름
250: 제3 플레이트

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀이 형성된 고정 필름의 제1 면이 고정되고, 내부에 상기 복수의 관통 홀이 위치하도록 제1 주입 공간이 형성된 제1 플레이트; 및
    상기 고정 필름의 제2 면이 고정되고, 내부에 상기 제1 주입 공간에 대응하는 형상의 제2 주입 공간이 형성된 제2 플레이트를 포함하며,
    상기 고정 필름이 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 사이에 고정된 상태에서, 상기 복수의 마이크로 핀이 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 복수의 관통 홀에 삽입 결합된 후, 상기 제1 주입 공간 및 상기 제2 주입 공간 중 적어도 하나를 통해 경화제가 주입되어 상기 고정 필름의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 하나에 적어도 하나의 보조층이 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조용 지그.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 고정 필름은 폴리이미드 필름(Polyimide film)이고, 상기 적어도 하나의 보조층은 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조용 지그.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 고정 필름의 제2 면이 고정된 제2 플레이트의 반대면에 제1 면이 고정되고, 상기 복수의 관통 홀과 대응되는 위치에 상기 복수의 마이크로 핀이 삽입되는 복수의 지지 홀이 형성된 가이드 필름을 더 포함하며,
    상기 복수의 마이크로 핀은 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 복수의 관통 홀에 삽입 결합될 때에 상기 가이드 필름에 형성된 상기 복수의 지지 홀에 의해 축 방향으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조용 지그.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 가이드 필름의 제2 면이 고정되고, 내부에 상기 제2 주입 공간에 대응하는 형상의 제3 주입 공간이 형성되며, 상기 가이드 필름의 제2 면과 맞닿는 면에 투명판이 구비되는 제3 플레이트를 더 포함하며,
    상기 복수의 마이크로 핀은 상기 투명판에 의해 길이 방향으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조용 지그.
  8. 복수의 마이크로 핀을 제조하는 단계;
    상기 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀이 형성된 고정 필름을 제조하는 단계;
    내부에 상기 복수의 관통 홀이 위치하도록 제1 주입 공간이 형성된 제1 플레이트와, 내부에 상기 제1 주입 공간에 대응하는 제2 주입 공간이 형성된 제2 플레이트를 제조하는 단계;
    상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 사이에 상기 고정 필름을 고정하는 단계;
    상기 제1 플레이트에 형성된 상기 제1 주입 공간을 통해, 상기 고정 필름에 형성된 상기 복수의 관통 홀에 상기 복수의 마이크로 핀을 삽입 결합하는 단계; 및
    상기 제1 플레이트에 형성된 상기 제1 주입 공간을 통해, 상기 고정 필름의 제1 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제1 면에 제1 보조층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 보조층을 형성하는 단계 이후에,
    상기 제2 플레이트에 형성된 상기 제2 주입 공간을 통해, 상기 고정 필름의 제2 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제2 면에 제2 보조층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 고정 필름은 폴리이미드 필름(Polyimide film)이고, 상기 제1 보조층 및 상기 제2 보조층은 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조 방법.
  11. 복수의 마이크로 핀을 제조하는 단계;
    상기 복수의 마이크로 핀이 삽입 결합되는 복수의 관통 홀이 형성된 고정 필름을 제조하는 단계;
    내부에 상기 복수의 관통 홀이 위치하도록 제1 주입 공간이 형성된 제1 플레이트와, 내부에 상기 제1 주입 공간에 대응하는 제2 주입 공간이 형성된 제2 플레이트를 제조하는 단계;
    상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 사이에 상기 고정 필름을 고정하는 단계;
    상기 고정 필름이 고정된 상기 제2 플레이트의 반대면에 상기 복수의 관통 홀과 대응되는 위치에 복수의 지지 홀이 형성된 가이드 필름을 고정하는 단계;
    상기 제1 플레이트에 형성된 상기 제1 주입 공간을 통해, 상기 고정 필름에 형성된 상기 복수의 관통 홀에 상기 복수의 마이크로 핀을 삽입 결합하고, 상기 가이드 필름에 형성된 상기 복수의 지지 홀에 의해 상기 복수의 마이크로 핀을 축 방향으로 정렬하는 단계; 및
    상기 제1 플레이트에 형성된 상기 제1 주입 공간을 통해, 상기 고정 필름의 제1 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제1 면에 제1 보조층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 보조층을 형성하는 단계 이후에,
    상기 제2 플레이트에 형성된 상기 제2 주입 공간을 통해, 상기 고정 필름의 제2 면에 경화제를 주입하여 상기 고정 필름의 제2 면에 제2 보조층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제2 플레이트의 반대면에 상기 가이드 필름을 고정하는 단계 이후에,
    내부에 상기 제2 주입 공간에 대응하는 형상의 제3 주입 공간이 형성되고, 상기 가이드 필름과 맞닿는 면에 투명판이 구비된 제3 플레이트를 상기 가이드 필름에 고정하는 단계를 더 포함하고,
    상기 복수의 마이크로 핀을 축 방향으로 정렬한 이후에,
    상기 제1 플레이트에 형성된 상기 제1 주입 공간을 통해 상기 고정 필름에 형성된 상기 복수의 관통 홀에 상기 복수의 마이크로 핀을 삽입 결합할 때에, 상기 투명판에 의해 상기 복수의 마이크로 핀을 길이 방향으로 정렬하는 단계를 더 포함하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 고정 필름은 폴리이미드 필름(Polyimide film)이고, 상기 제1 보조층 및 상기 제2 보조층은 실리콘 러버(Silicon rubber)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 핀 조립체 제조 방법.
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