KR20100118780A - 비주얼검사용 머니퓰레이터부 및 프로브블록부를 구비한 프로브 유닛 - Google Patents

비주얼검사용 머니퓰레이터부 및 프로브블록부를 구비한 프로브 유닛 Download PDF

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Abstract

본 발명은 그로스검사와 비주얼검사가 가능한 프로브 유닛에 관한 것이다. 상기 발명은 유닛베이스부, 유닛베이스부에 장착된 그로스검사용 머니퓰레이터부; 그로스검사용 머니퓰레이터부에 장착되고 그로스검사용 패드와 접촉하는 탐침을 포함하는 그로스검사용 프로브블록부; 유닛베이스부에 장착된 비주얼검사용 머니퓰레이터부; 및 비주얼검사용 머니퓰레이터부에 결합되고 비주얼검사용 패드와 접촉하는 탐침을 포함하는 비주얼검사용 프로브블록부;를 구비하고, 비주얼검사용 머니퓰레이터부는, 비주얼검사용 프로브블록부와 결합된 베이스몸체와, 베이스몸체에 대하여 좌우 회전하여 선택적으로 결합하는 것이 가능하며 유닛베이스부의 측면에 고정되는 고정몸체와, 베이스몸체와 고정몸체를 결합하는 결합부재와, 결합부재에 의하여 고정몸체와 베이스몸체의 수직 결합간격이 조정된 경우 조정된 수직 결합간격을 고정시키도록 베이스몸체의 전면에 형성된 높이고정모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 본 발명은 비주얼검사용 패드의 배치 위치 및 특성의 변경에 대응하여 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 구조를 변경하는 것이 가능하여 보다 용이한 비주얼검사를 수행할 수 있다.
프로브 유닛, 비주얼검사용 머니퓰레이터부, 비주얼검사용 프로브블록부

Description

비주얼검사용 머니퓰레이터부 및 프로브블록부를 구비한 프로브 유닛{Probe unit including manupulator and probe-block for visual test}
본 발명은 LCD 패널 등에 신호를 인가하여 패널의 상태를 검사하는 프로브 유닛(Probe Unit)에 관한 것이다.
프로브 유닛은 LCD 패널 등 평판 디스플레이 패널이 정상 작동되는지 여부를 확인하기 위한 테스트 장비이다. 프로브 유닛은, 검사모듈로부터 전기적인 신호를 검사의 대상인 패널로 인가하거나 패널로부터 검침된 신호를 검사모듈로 제공하는 기능을 수행한다. 프로브 유닛은 상황에 따라 비주얼검사와 그로스검사를 수행한다. 비주얼검사는 게이트라인 및/또는 소오스라인에 사전에 정해진 신호를 인가하여 게이트라인 및/또는 소오스라인의 배선 불량여부를 검사하는 공정으로 일반적으로 그로스검사틀 수행하기 전에 수행된다. 그로스검사는 패널의 실제 동작시와 동일한 구동환경에서 패널을 검사하는 공정이다. 검사 대상인 패널은 실제 동작환경과 동일한 조건의 구동신호를 인가하기 위한 그로스검사용 패드와 비주얼검사를 수행하기 위해 사전에 정해진 신호를 인가하기 위한 비주얼검사용 패드를 구비한다. 비주얼검사용 패드는 주로 단락바(shorting bar) 방식으로 마련된다.
도1은 비주얼검사 및 그로스검사가 가능한 종래의 프로브 유닛의 개략도이다. 도1에 도시된 바와 같이, 종래의 프로브 유닛(10)은 프로브 스테이지(도시되지 않음)의 상부에 플레이트 구조를 갖는 유닛베이스부(12)를 구비하고, 유닛베이스부(12)의 전면을 따라 그로스검사용 머니퓰레이터부(14)가 다수 개 장착되어 있고, 세로 방향의 유닛베이스부(12)의 전면에는 그로스검사용 머니퓰레이부(14)들과 함께 패널(P)에 배치된 비주얼검사용 패드의 위치에 대응하여 비주얼검사용 머니퓰레이터부(16)가 장착된다. 그로스검사용 프로브블록부(15)는 그로스검사용 머니퓰레이터부(14)에 장착되어 그로스검사용 패드와 접촉하는 탐침을 구비한다. 비주얼검사용 프로브블록부(17)는 비주얼검사용 머니퓰레이터부(16)에 장착되어 비주얼검사용 패드을 접촉하는 탐침을 구비한다.
그런데, 패널(P)의 종류에 따라 비주얼검사용 패드의 배치위치가 변경된다. 그리고, 다량의 패널(P)의 검사로 인해 접촉 오류가 발생하지 않도록 비주얼검사용 프로브블록부(17)에 장착된 탐침의 점검 및 보수가 필수적이다.
그러나, 종래의 프로브 유닛(10)은 비주얼검사용 패드의 배치위치에 대응하여 비주얼검사용 머니퓰레이터(16) 및 프로브블록부(17)의 구조의 조정이 용이하지 않은 어려움을 가지고 있다. 그리고, 어느 정도 비주얼검사용 머니퓰레이터(16) 및 프로브블록부(17)의 구조의 조정이 가능하더라도 종래의 프로브 유닛(10)은 비주얼검사용 프로브블록부(17)에 장착된 탐침의 점검 및 보수가 용이하지 않은 문제를 가지고 있다.
본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해, 검사대상인 패널에 마련된 비주얼검사용 패드의 배치 위치 및 특성의 변경에 대응하여 조정가능하도록 비주얼검사용 머니퓰레이터 및 비주얼검사용 프로브블록부의 구성 및 구조를 개선함으로써 비주얼검사를 보다 효율적이고 용이하게 수행할 수 있는 프로브 유닛을 제공하는 데 목적이 있다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 그로스검사를 위한 그로스검사용 패드와 비주얼검사를 위한 비주얼검사용 패드가 형성된 패널을 검사하는 프로브 유닛에 관한 것으로, 상기 프로브 유닛은, 유닛베이스부; 상기 유닛베이스부의 전면을 따라 장착된 그로스검사용 머니퓰레이터부; 상기 그로스검사용 머니퓰레이터부에 장착되고, 상기 그로스검사용 패드와 접촉하는 탐침을 포함하는 그로스검사용 프로브블록부; 상기 유닛베이스부의 전면을 따라 장착된 비주얼검사용 머니퓰레이터부; 및 상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부에 결합되고, 상기 비주얼검사용 패드와 접촉하는 탐침을 포함하는 비주얼검사용 프로브블록부;를 구비하고, 상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부는, 하부면이 상기 비주얼검사용 프로브블록부와 결합된 베이스몸체와, 상기 베이스몸체의 상부면에 대하여 좌우 회전하여 선택적으로 결합하는 것이 가능하며 상기 유닛베이스부의 측면에 고정되는 고정몸체와, 상기 베이스몸체와 상기 고정몸체를 결합하는 결합부재와, 상기 결합부재에 의하여 상기 고정몸체와 상기 베이스몸체의 수직 결합간격이 조정된 경우 상기 조정된 수 직 결합간격을 고정시키도록 상기 베이스몸체의 전면에 형성된 높이고정모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 베이스몸체는 상부면에 가이드샤프트 및 결합공을 구비하며, 상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 고정몸체는 상기 가이드샤프트에 대응하여 조립되는 가이드홀 및 상기 결합공에 결합되는 상기 결합부재를 수용하는 결합부재수용홈을 좌우 대칭으로 구비하여 상기 베이스몸체의 상부면에 대하여 좌우 회전하여 선택적으로 결합하는 것이 가능하다.
여기서, 상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 높이고정모듈은, 상기 베이스몸체의 전면으로부터 상기 베이스몸체의 결합공의 내부까지 횡으로 관통하는 고정홀을 구비하고, 상기 고정홀을 통하여 상기 결합공을 관통한 상기 결합부재의 측면을 압착하여 고정시키는 고정부재를 구비한다.
한편, 상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 고정몸체는 상기 베이스몸체와 결합되는 제1고정몸체부와 상기 제1고정몸체부의 측면으로부터 연장 형성되고 상기 유닛베이스부와 결합하기 위한 볼트공이 형성된 제2고정몸체부를 구비하고, 상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부를 상기 유닛베이스부의 측면에 고정하는 경우, 상기 제2고정몸체부가 상기 유닛베이스부의 측면에 대면하도록 상기 고정몸체를 회전시켜 상기 베이스몸체의 상부면에 결합한다.
그리고, 상기 비주얼검사용 프로브블록부는, 블록부몸체와; 상기 블록부몸체의 전단부에 위치하며 상기 탐침의 하단부를 상기 비주얼검사용 패드와 접촉하는 방향으로 수용하는 홀이 다수개 형성된 탐침수용홈과; 상기 탐침수용홈에 대응하여 형성되고 상기 탐침의 상단부와 비주얼검사를 위해 사전에 정해진 신호를 인가하는 외부신호공급기에 전기적으로 연결하는 연결인쇄회로기판과; 상기 탐침과 상기 연결인쇄회로기판을 상기 탐침수용홈에 착탈 가능하게 고정하는 덮개모듈을 구비한다.
또한, 상기 비주얼검사용 프로브블록부의 탐침은 포고핀으로 마련되는 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 발명에 따른 프로브 유닛은 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 비주얼검사용 프로브블록부를 이루는 고정몸체가 좌우 대칭으로 마련되어 비주얼검사용 패드의 배치위치에 대응하여 유닛베이스부에 대한 고정위치를 용이하게 변경할 수 있고, 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 전면에 마련된 높이고정모듈에 의하여 탐침과 비주얼검사용 패드 사이의 간격도 개방된 공간에서 조정할 수 있어, 추가비용 없이 패널에 대한 비주얼검사를 용이하게 수행할 수 있다..
또한, 본 발명에 따른 프로브 유닛의 비주얼검사용 프로브블록부는 고정나사를 분리함으로써 탐침수용홈에 수용된 탐침을 핀셋과 같은 공구를 이용하여 분리가능하여, 비주얼검사용 프로브블록부의 보수 및 관리를 용이하게 할 수 있다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 구성 및 동작을 구체적으로 설명한다. 도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛에 대한 개략도이고, 도3 및 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 비주얼검 사용 머니퓰레이부에 대한 분해 사시도 및 조립 사시도이며, 도5 및 도6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 비주얼검사용 프로브블록부에 대한 분해 사시도 및 조립 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛(1)은, 도2에 도시된 바와 같이, 프로브 스테이지(도시되지 않음)의 상부에 플레이트 구조를 갖는 유닛베이스부(10), 유닛베이스부(10)의 전면을 따라 장착된 그로스검사용 머니퓰레이터부(20), 그로스검사용 머니퓰레이터부(20)에 장착되어 그로스검사용 패드와 접촉하는 탐침을 구비한 그로스검사용 프로브블록부(25), 유닛베이스부(10)의 전면의 외측에 위치한 그로스검사용 머니퓰레이터부(20)의 옆에 이격되어 장착된 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30), 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)에 장착되어 비주얼검사용 패드와 접촉하는 탐침을 구비한 비주얼검사용 프로브블록부(35)를 구비하고 있다. 본 실시예에 따른 프로브 유닛(1)은 비주얼검사와 그로스검사를 선택적으로 수행할 수 있다.
유닛베이스부(10)는 프로브 유닛(1)의 지지대로서, 패널 지지테이블(미도시)과 검사모듈(도시되지 않음)에 인접하여 배치된다. 이 패널 지지테이블의 상부에는 LCD 또는 PDP등 패널(P)이 위치하며, 프로브 유닛(1)은 그로스검사를 위한 검사모듈과 연동하여 실제 동작 환경과 동일한 조건에서 패널에 대한 그로스검사를 수행한다. 여기서, 검사모듈은 그로스검사를 위해 다양한 측정기와 점등기를 구비한다. 또한 프로브 유닛(1)은, 비주얼 검사를 위해, 검사할 패널에 대응하여 사전에 정해진 신호를 공급하는 외부신호공급기(도시되지 않음)를 구비한다.
그로스검사용 머니퓰레이터부(20)는 유닛베이스부(10)의 전면 가장자리를 따 라 설치되며, 패널(P)의 크기 및 그로스검사용 패드의 갯수 및 배치 위치에 대응하여 마련된다. 그로스검사용 프로브블록부(25)는 그로스검사용 머니퓰레이터부(20)의 전단에 설치되며 피검사체(P)의 그로스검사용 패드와 접촉하는 탐침을 구비하고 있다. 이와 같이, 도2에 도시된 바와 같이, 그로스검사용 머니퓰레이터부(20)와 그로스검사용 프로브블록부(25)는 유닛베이스부(10)에 장착되어 그로스검사에 사용된다.
비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)는, 도2에 도시된 바와 같이, 비주얼검사용 패드의 위치에 대응하여 유닛베이스부(10)의 전면의 맨 외측에 위치한 그로스검사용 머니퓰레이터부(20)의 옆에 이격되어 되어 장착된다. 비주얼검사용 프로브블록부(35)는 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)의 하부면에 설치되며 비주얼검사용 패드와 접촉하는 탐침을 구비하고 있다. 이하에서는 도3 및 도4를 참조하여 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)에 대해 구체적으로 설명한다.
도3은 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)의 분해사시도이다. 도3에 도시된 바와 같이, 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)는, 베이스몸체(32), 고정몸체(34), 높이고정모듈(33)을 구비한다.
베이스몸체(32)는 하부면이 비주얼검사용 프로브블록부(35)에 결합되고 상부면에 가이드샤프트(322) 및 결합공(324)이 형성되어 있다. 베이스몸체(32)의 전면에는 비주얼검사용 프로브블록부(35)와 결합하기 위한 관통홀(326) 및 체결부재(328)가 구비되어 있다. 여기서 체결부재(328)는 기계적 외란을 고려하여 클램프너트(3282)와 클램프스크루(3284), 부시(3286), 볼트(3288)를 조립하여 구성되며, 관통홀(326)을 통하여 비주얼검사용 프로브블록부(35)의 체결홈(도5, 3512)에 체결된다.
고정몸체(34)는, 도3에 도시된 바와 같이, 전술한 베이스몸체(32)의 상부면과 결합되는 제1고정몸체부(342)와 유닛베이스부(10)의 측면에 고정되는 제2고정몸체부(344)로 이루어져 있다. 제1고정몸체부(342)는, 도3에 도시된 바와 같이, 가이드샤프트(322)에 대응하여 조립되는 가이드홀(3422) 및 전술한 베이스몸체(32)의 결합공(324)에 결합되는 결합부재(3424)를 수용하기 위한 결합부재수용홈(3426)을 제1고정몸체부(342)의 양 측면의 상부에 좌우 대칭되게 쌍으로 구비한다. 여기서 베이스몸체(32)와 고정몸체(34)를 결합하기 위해 가이드샤프트(322)와 가이드홀(3422)을 조립하는 경우, 도3에 도시된 바와 같이 스프링 부재를 가이드샤프트(322)에 끼워서 가이드홀(3422)에 조립하는 것이 일반적이다. 이와 같이, 제1고정몸체부(342)는, 가이드홀(3422) 및 결합부재수용홈(3426)이 세로 중심축에 대해 좌우 대칭으로 형성된다. 제2고정몸체부(344)는 제1고정몸체부(342)의 측면으로부터 연장 형성되고 유닛베이스부(10)의 정해진 영역에 결합된다. 제2고정몸체부(344)에는 유닛베이스부(10)와의 결합을 위한 장공(3442)이 길이방향으로 길게 형성되어 유닛베이스부(10)에 대한 고정몸체(34)의 설치위치를 장공(3442)의 유격의 한도 내에서 전후방향으로 조정하는 것이 가능하다.
도4에 도시된 바와 같이, 고정몸체(34)는 베이스몸체(32)의 상부면에 대하여 좌우 대칭으로 회전이동한 상태에서 고정된다. 도2에 도시된 바와 같이 비주얼검사용 머니퓰레이부(30)를 유닛베이스부(10)의 좌측면 고정하는 경우, 도4의 (a)에 도 시된 바와 같이, 제2고정몸체부(344)를 유닛베이스부(10)의 좌측면에 대면하는 방향으로 회전시킨 상태에서 제1고정몸체부(342)를 베이스몸체(32)의 상부면에 결합한다. 만일, 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)를 유닛베이스부(10)의 우측면에 고정하는 경우, 도4의 (b)에 도시된 바와 같이 고정몸체(34)는 베이스몸체(32)에 결합된다.
도4에 도시된 바와 같이, 결합부재(3424)에 의해 고정몸체(34)와 베이스몸체(32)가 결합된 경우, 고정몸체(34)와 베이스몸체(32)의 수직 결합간격이 정해진다. 고정몸체(34)가 유닛베이스부(10)에 고정되어 있기 때문에, 이러한 수직 결합간격을 정하는 것은 베이스몸체(32)의 하단에 결합된 비주얼검사용 프로브블록부(35)에 장착된 탐침과 비주얼검사용 패드 사이의 간격을 정하는 것과 동일하다. 따라서, 결합부재(3424)에 의한 고정몸체(34)와 베이스몸체(32)의 결합정도에 대응하여 수직 결합간격이 조정되며 이에 의해 비주얼검사용 패드와 탐침 사이의 간격이 조정된다.
높이고정모듈(33)은, 결합부재(3424)에 의해 결합된 상태를 고정시키는 역할을 수행한다. 높이고정모듈(33)은 도4에 도시된 바와 같이, 베이스몸체(32)의 전면에 형성된다. 만약 높이고정모듈(33)이 종래발명 중 하나와 같이 베이스몸체(32)의 측면에 설치된 경우 옆에 설치된 그로스검사용 머니퓰레이터(20)와 같은 인접 구성에 의해 수동으로 조작하는데 어려움이 발생한다. 따라서, 본 실시예에서는 전면에 높이고정모듈(33)을 형성함으로써 패널(P)측의 전방 개방된 공간에서 높이고정모듈(33)을 수동으로 보다 용이하게 조정하는 것이 가능하다. 도4에 도시된 바와 같 이 높이고정모듈(33)은 베이스몸체(32)의 전면으로부터 베이스몸체(32)의 결합홀(324)의 내부까지 횡으로 관통하는 고정홀(332)과, 이 고정홀(332)과의 나사결합에 의하여 고정홀(332)을 관통하여 베이스몸체(32) 결합홀(324)을 통과한 결합부재(3424)의 측면을 압착하여 고정시키는 고정부재(334)를 구비한다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)는 비주얼검사용 프로브블록부(35)는 고정몸체(34)가 좌우 대칭으로 마련되어 비주얼검사용 패드의 배치위치에 대응하여 유닛베이스부(10)에 대한 고정위치를 용이하게 변경할 수 있다. 그리고, 결합부재(3424)와 패널(P)의 전면에 마련된 높이고정모듈(33)에 의하여 탐침과 비주얼검사용 패드 사이의 간격 조정이 용이하다.
이하에서는, 도5 및 도6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 비주얼검사용 프로브블록부(35)에 대해 설명한다. 비주얼검사용 프로브블록부(35)는 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)에 의해 유닛베이스부(10)에 고정된다.
비주얼검사용 프로브블록부(35)는, 도5 및 도6에 도시된 바와 같이, 블록부몸체(351)와 블록부몸체(351)의 전단부에 위치하는 탐침수용홈(353)과 외부신호공급기(도시되지 않음)와 탐침(357)을 연결하는 인터페이스기판(356)과 덮개모듈(358)을 구비한다. 여기서, 블록부몸체(351)는 상부면의 일 영역에 비주얼검사용 머니퓰레이터부(30)의 체결부재(328)와 결합되는 체결홈(3512)이 형성되어 있다. 탐침수용홈(353)은, 도5에 도시된 바와 같이, 블록부몸체(351)의 전단부에 형성되며 탐침(357)의 하단부를 비주얼검사용 패드와 접촉하는 방향으로 수직으로 수용하는 홀(3532)을 다수개 구비한다. 인터페이스기판(356)은, 하부면에 각 탐침(357)의 상단부(3572)와 연결되는 배선 패턴이 형성되어 있고 상부면에 외부신호공급기으로부터 인출된 케이블(359)과 연결되는 배선 패턴이 형성되어 있다. 여기서, 상부면에 형성된 배선 패턴은 솔더링에 의해 외부신호공급기으로부터 인출된 케이블(359)과 연결되어 있고, 하부면에 형성된 배선 패턴은 덮개모듈(358)의 고정에 의해 각 탐침(357)의 상단부(3572)에 압착되면서 전기적으로 연결된다. 덮개모듈(358)은 인터페이스기판(356)을 탐침수용홈(353)에 착탈 가능한 방식으로 고정한다. 도6에 도시된 바와 같이, 덮개모듈(358)은 인터페이스기판(356)을 덮어주며 덮개모듈(358)을 인터페이스기판(356)의 하부면에 형성된 배선 패턴이 탐침(357)의 상단부(3572)에 압착되도록 블록부몸체(351)의 전단부의 홈(3514)에 고정시키는 고정나사(3582)로 이루어진다. 여기서, 비주얼검사용 프로브블록부(35)는 탐침(357)으로서 포고핀을 사용한다. 이것은 탐침(357)과 접촉하는 비주얼검사용 패드가 단락바(shorting bar) 형태인 경우에 보다 적합하다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 비주얼검사용 프로브블록부(35)는 고정나사(3582)를 분리함으로써 탐침수용홈(353)에 수용된 탐침(357)을 핀셋과 같은 공구를 이용하여 용이하게 분리가 가능하여, 비주얼검사용 프로브블록부(35)의 점검 및 관리가 용이하게 이루어질 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명은 LCD 패널 등 평판 디스플레이 패널이 정상 작동되는 여부를 검사하는 장비로서, 반도체 및 평판 디스플레이 패널의 검사와 관련된 전자분야에서 유용하게 사용될 수 있다.
도1은 종래 프로브 유닛의 개략도이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛에 대한 개략도이다.
도3 및 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 비주얼검사용 머니퓰레이부에 대한 분해 사시도 및 조립 사시도이다.
도5 및 도6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 비주얼검사용 프로브블록부에 대한 분해 사시도 및 조립 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 유닛베이스부 20 : 그로스검사용 머니퓰레이터부
25 : 그로스검사용 프로브블록부 30 : 비주얼검사용 머니퓰레이터부
32 : 베이스몸체 33 : 높이고정모듈
34 : 고정몸체 342 : 제1고정몸체부
344 : 제2고정몸체부 35 : 비주얼검사용 프로브블록부

Claims (6)

  1. 그로스검사를 위한 그로스검사용 패드와 비주얼검사를 위한 비주얼검사용 패드가 형성된 패널을 검사하는 프로브 유닛에 있어서,
    유닛베이스부,
    상기 유닛베이스부의 전면을 따라 장착된 그로스검사용 머니퓰레이터부;
    상기 그로스검사용 머니퓰레이터부에 장착되고, 상기 그로스검사용 패드와 접촉하는 탐침을 포함하는 그로스검사용 프로브블록부;
    상기 유닛베이스부의 전면을 따라 장착된 비주얼검사용 머니퓰레이터부; 및
    상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부에 결합되고, 상기 비주얼검사용 패드와 접촉하는 탐침을 포함하는 비주얼검사용 프로브블록부;를 구비하고,
    상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부는, 하부면이 상기 비주얼검사용 프로브블록부와 결합된 베이스몸체와, 상기 베이스몸체의 상부면에 대하여 좌우 회전하여 선택적으로 결합하는 것이 가능하며 상기 유닛베이스부의 측면에 고정되는 고정몸체와, 상기 베이스몸체와 상기 고정몸체를 결합하는 결합부재와, 상기 결합부재에 의하여 상기 고정몸체와 상기 베이스몸체의 수직 결합간격이 조정된 경우 상기 조정된 수직 결합간격을 고정시키도록 상기 베이스몸체의 전면에 형성된 높이고정모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 베이스몸체는 상부면에 가이드샤프트 및 결합공을 구비하며,
    상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 고정몸체는 상기 가이드샤프트에 대응하여 조립되는 가이드홀 및 상기 결합공에 결합되는 상기 결합부재를 수용하는 결합부재수용홈을 좌우 대칭으로 구비하여 상기 베이스몸체의 상부면에 대하여 좌우 회전하여 선택적으로 결합하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 높이고정모듈은, 상기 베이스몸체의 전면으로부터 상기 베이스몸체의 결합공의 내부까지 횡으로 관통하는 고정홀을 구비하고, 상기 고정홀을 통하여 상기 결합공을 관통한 상기 결합부재의 측면을 압착하여 고정시키는 고정부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부의 고정몸체는 상기 베이스몸체와 결합되는 제1고정몸체부와 상기 제1고정몸체부의 측면으로부터 연장 형성되고 상기 유닛베이스부와 결합하기 위한 볼트공이 형성된 제2고정몸체부를 구비하고,
    상기 비주얼검사용 머니퓰레이터부를 상기 유닛베이스부의 측면에 고정하는 경우, 상기 제2고정몸체부가 상기 유닛베이스부의 측면에 대면하도록 상기 고정몸체를 회전시켜 상기 베이스몸체의 상부면에 결합하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 비주얼검사용 프로브블록부는, 블록부몸체와; 상기 블록부몸체의 전단부에 위치하며 상기 탐침의 하단부를 상기 비주얼검사용 패드와 접촉하는 방향으로 수용하는 홀이 다수개 형성된 탐침수용홈과; 상기 탐침수용홈에 대응하여 형성되고 상기 탐침의 상단부와 비주얼검사를 위해 사전에 정해진 신호를 인가하는 외부신호공급기에 전기적으로 연결하는 연결인쇄회로기판과; 상기 탐침과 상기 연결인쇄회로기판을 상기 탐침수용홈에 착탈 가능하게 고정하는 덮개모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 비주얼검사용 프로브블록부의 탐침은 포고핀으로 마련된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
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