TWI292198B - Single axis manipulator with controlled compliance - Google Patents

Description

1292198 玖、發明說明： 相關之申請案資訊 本申睛案主張美國臨時申請案第6〇/373,〇65號之優先 權’其係申請於2002年4月日。 發明所屬之技術領域 本發明一般而言係有關於半導體元件之製造，而更特 別的是，有關於機械n其將測試器定位在相對於自動 測試系統中的材料處理單元之位置。 先前技術 在半導體的製造中，在制袢强从、丄 在Ik細作過程中通常會測試半 導體裝置至少一次。基於、、目峙十沾田 、測忒之、纟σ果，再進一步地從事該 裝置之處理程序。測試動作 乍了用末£为適當操作之裝置以 及不能適當操作之裝置。麸而 . "、、而測4動作同樣也能夠用來 將貧料回授給予製造摔作Φ i ,^ 料中其他的載物台，藉以從事會增 里田十 之调整。在其他的例子中，該測試結 果用來將裝置分類成為效能之種類

操作在200腿的資料速率，卻不/ 置W 、击安M 卩不此知作在400MHz的資料 速率。採用測試動作，便可以將裝置區 、 士 刀4 200MHz的裝詈 且可以買比400MHz裝置更低的價格。 一測試載物台同樣也可以用來從 變。許多且右 丹而4置之實際改 夕八有记憶肢的半導體裝置係包含 ^ 'Htl ^ 'J3L -to 夕餘的元件。如 /、y k私中叙現有缺陷的記憶體 干凡，則可以將該半 1292198 導體裝置送至維修站，諸如一種雷射維修站，其中會重新 安排裝置上的連接點，藉以分解故障的單元，並且於該位 置上連接多餘之元件。 通常藉由自動測試設備（ATE)來執行測試動作。一個測 試器包含有產生並且測試用以判斷其裝置是否適當作用所 =的電氣信號之電路。分離的材料處理裝置會將該半導體 裝置移至測試器。冑已經包裝之後在測試該半導體裝置時 ’材料處理裝置-般稱為—種，，處理機，，。材料處理裝置可 ，代地稱為-種”探針”，其乃是於半導體裝置測試同時尚 迢在曰曰片之上時使用。一般而言，係將測試器以及材料處 =ϋ合成為n單元’丨同時具有基於所要測試 勺名置之型式而選擇的測試器以及材料處理裝置特定之特 性。 、 在製造半導體上，係期望裝配流暢之設備在服務維修 上盡可能地多樣。接受無維修服務的設備，即使從事嗜設 備的例行調整，仍能夠降低整個製造操作之成本效益/ “例如，大多數的測試器會設計用以測試許多不同形式 的半導體裝置。由於不同的半導體裝置具有不同的尺寸以 及=試點數目’因此ΑΤΕ通常係包含一介面單元，諸如一 裝肖置介面單元”⑽），此乃是配置以為所要測試的特定 垔式攻置之用’為了配4 ΑΤΕ以為特定型式的裝置之用， 而將不同的介面單元安裝於ATE之中。 。、通常，介面單元係置於測試器以及材料處理單元之間 :、、、了改、艾η面單元，需將測試器與材料處理單元分開。 1292198 ，此，ATE -般已經包含了 —測試 定位器，，。操# , π心铖作态或者，: 題為，，用於“ 範例顯示於美國專利5931048號，標 … ；動测試設備測試頭之操 試器具有兩個分齙罝办 ^ 、、、口 口其中的測 來說明該專利之/ —主體與一測試頭之測試系統 分放置倚靠著二=:致：般係將測試器之某些部 現於測試n之電子裳置。70吏所要測試的裝置能夠呈 的竿3=料_4處理裝置75是眾利知的。不同 例二二4 糊的方向來呈現所要測試的裝置。 以水平=以垂直平面來呈現該裝置。另外的-些則係 建立摔作哭以就此一理由而言，一般而言，係已經 元Γ所要測試的裝置之方向為何，該測試 呈現於於，1面鄰近之區域，材料處理機則係將裝置 二域中。上述的專利5,9物號為具有多樣自 由度的刼作器之範例。 理機提供多樣自由度卻會使之難以將測試器以及處 /對準校整，以為測試器與材料處理單元的適當結合之 ^將測試器附著於材料處理單元之處理程序有時稱為，，接 :。為:輔助接合動作’則必須使用在測試器以及處理單 的足位早。定位单元之一範例顯示於美國專利 广，182號中，標題為，’用於具有定位模組的自動測試設 備之介面裝置，，，其在此合併參考之。 1292198 專利5, 982, 182號之定位模組乃是設計成當測試器係 定位成靠近於處理裝置時的喃合之用。此喃合提供測試器 以及材料處理單元之-種進程校整。隨著將測試器以及材 料處理機推進在-起，定位模組的外型便會彼此相關地將 該組件準確定位。在該專利的較佳實施例中，定位模組包 含-種直線促動器，一但嚙合，便會將測試器以及材料處 理單元一起推出。 對所要藉由定位單元外型準確界定的測試器以及材料 處理單元相關之位置而·r，係需要操作器不施加過度的力 量於其測試器之上。因此，击六灶从4口 ^ 口口 A人 U此，較佳的刼作器包含一種順應模 式，允許測試頭充分的移動。然而，該移動並不必大到致 使測試器不可控地移動。說明於上述的美國專利 5, 982, 182號中之操作器乃是針對如此之順應性所設計的 。具有順應性的操作器之另一個範例為美國專利 5, 949, 002號所提供。 發明内容 留意之前的先前技術’本發明之目的為提供一種用於 測試器之操作g ’其能夠以所限制的自由度移動，以便提 供進程之校整，然而就接合動作而言，能夠以更多自由度 來移動，以便提供順應性之移動。 以-種具有基座部件以及承載測試器的載物台之操作 裔來提供如此之測试器。該美庙y 巧暴座以及載物台能夠彼此相對 地移動’而一引導構件則會侷限荖銘勤 曰们丨氏者栘動的自由度於順應性 1292198 區之外的區域。 實施方式 在較佳實施例中，本發明乃是用來連接材料處理單元 ，以為已封裝的元件測試之用。因&，所採用的較佳實施 例之說明使用已封裝元件處理機來作為範例。 貝e 圖1A顯不如此之處理機1〇〇。處理機1〇〇包含一介面 區域UG，其中在測試器⑽，圖1B)上之互補介面區_ 是介面於該處理機。-般而言，處理機包含—裝置介面板 咖）112。在其中-側上’⑽1〇6包含數個連接罢占，此 實施對所要測試的裝置之電氣連接。連接點連接至DIB 106所顯露的側邊上之傳導性接腳。在測試器介面區域中 的彈簧管腳（.並無顯示）使之連接到這些接腳，而產生從測 :器150到所要測試的裝置之信號路徑。然而，對用以確 貫工作之系統而言，測試器以及處理機必需要校整之。 "面區域110包含複數個介面模组114。就更為準確 的才父整而5 ’二個的模&且乃具# 7棂、、且乃疋較佳的。在較佳實施例中， 介面模組114為動力的介面模組’如上述的美國專利 5, 982’182號中所說明的，其於此合併參考之。 配對介面模組152係架置於測試器150之上。這些模 ，包含-些端子’其喃合著模組114中的洞孔，以為進程 板整之用。在模組114内部的閃鎖器會口齒合著端子，藉以 至處理機⑽。較佳的是，模組ιΐ4同 樣也包含有將模組152拉向模組114之直線促動器。以如 10 1292198 t動力配對表面便會嚙合 之最終位置。 以 此之方式’模組114與15 2 便界定測試器相對於處理機 就介面模組可靠地決定測 八裔以及處理機之相對位置 而言，需要用於測試器15 0夕P " 知作器在配對最後階段的過 程中提供順應性。然而，較佳 | 孕乂佳的是，當不是順應性模式時， ，操作器便會侷限於自由度之乾q 曰田度之數目。降低自由度數目之 作會致使測試器更為簡易地操作。更為簡易的操作則允許 測試器更為快速地接合或者分解，藉此增加工作單元作用 於測試半導體裝置之次數。 圖2顯示一種推車式揭& 4 早Λ樣的刼作器，其設計用以更為快 速地喃合於處理機。此同樣也是設計用以允許操作者快速 地將測試器以及處理機分離，諸如當需要改變则之時。 如此的操作器相當妥善地適合與快速改變则之改變器使 用，該操作器說明於我們臨時美國專利申請案第 60/372, 997號’標題為”具有簡易改變的介面單元之半導 體測試系統”，於相同於本中請案之日期中請，並且在此合 併麥考之。在該中請案巾，如果能夠以垂直於配對介面之 方向，快速地將測試器與處理機分離幾英吋，則會有明顯 的優點。 圖2顯示接合於處理機1〇〇的測試器15〇之側視圖。 在所闡述的實施例中，測試器15〇依靠著推車21〇，其推 車則是扮演著操作器之角色。推車21〇係設計成用以允許 具有多樣自由度之順應性移動，同時測試器15〇係相當地 罪近處理機1 〇 〇。然而，較佳的是，順應性之此一範圍僅 1292198 提供在介面模組114與152相對於處理機而將測試器定位 於其間的順應性區中。在順應性區的外部，如果僅允許測 試器150之移動於受限數目的方向上，此乃是較佳的。在 較佳實施例中，於順應性區的外部，僅允許主要的移動垂 直於配對介面，此稱為方向。 推車210包含允許推車21〇行進至處理機丨⑽之輪^ 212。處理機1GG以及推車212所包含之特徵為將推車？！ 閃鎖於處理機1G0 ’並且以χ、γ與z方向，將測試器之發

程校整提供給予處理機。 如同圖4中所更為清楚看到的，基座部件220具有_ 附者特徵4勿216 ’此藉由與處理機1〇〇中互補的特徵物: ^合，提供X一方向之進程定位。在所闡述的實施例中，P 者特徵物包含一些喃合著端子⑴6, υ之掛勾21 :掛勾喃合端子的附著特徵物於習知技術中乃是眾所周》

而二’已知如此的附著特徵物會隨著兩主體同時心 目σ。因此·，隨著推車210推進至處 216便能夠與附著特徵物116㈣合。 掛2 八山儘管提供X-方向以及2_方向之進程定位， 口鳊子的優點則是其允許推車21〇以 1 Υ-方向移動。在推+ 21〇的每一邊緣上使用機100 ^ 為用’以為與γ-抽有關的轉動之用。 機21s , 方向的進程定位，處理機100包含一起, 機218。起重機2 起1 裝置，或者是相類/疋一種眾所周知的，’托盤起重機 相類似的架構。起重機218將推+ 21〇的寿 12 1292198 ::起：直到掛勾216達到校整特徵物116之頂端為止。 k些進程校整之特徵物會以Y-方向相對於處理機100之介 面區域來實施測試器15。介面部分之定位。這些特徵二 樣也會補償與z-軸有關的處理機100所相關的測試器150 之任何-種轉動。例如，如果測試單元搁置於不平坦的地 面，則向著如此轉動之補償動作乃是重要的。 一旦在X-平面得到測試器150的進程校整，則測試器 150便=夠以2_方向移動’藉以使之更為靠近處理機_ 或者藉以進步地將之移離處理機，諸如可能是在需要 文艾DIB之日守。在所闡述的實施例中，測試器15 〇架置於 上方載物台226之上。上方載物台挪連接著直線的執道 =2 ’圖4) ’此允許z_方向之移動。以如此之方法，測試 器150便能夠以z_方向移動。因此，即使將推車21〇閃鎖 以便提供纟X-Y平面之進程校整，然該測㈣以及處理機 仍能“ 方向分離’藉以提供快速並· “接近途徑 ，以為調整、DIB更換、或者相類似的保養功能之用。 較佳的是，侷限其自由度，致使一旦將推車21〇附著 於處理機100時’測試器15〇的主要移動便會受限於z一方 向之移m ’推車21()乃是設剌以提供，，漏斗狀之順 應性”’致使在接合過程中適當的校整能夠發生。㉟斗狀之 順應性意味著該順應性會隨著測試器接近處理機而明顯地 增加，致使順應性有效用於最終的接合動作，而當測試器 移開之時，則有明顯降低之順應性。 圖3闡述此漏斗狀順應性是如何實現之原理。圖3以 13 1292198 不意方式顯示基座22G之俯視圖。直線軌道4i2 —般是以 Z_方向行進。一精密的引導$ 316形成於基座上，以z_方 向行進。喃合特㈣3U係延伸出上方載物台m，並且 沿著引導器316引導之。塑造弓丨導器316係塑形成用以允 坪之喷合著特徵物314,而以實質超過其在所侷限的區域 342中的長度許多之方向移動。在所闡述的實施例中，移 動侷限於所揭限的區域342 z_方向。因此，會阻止上 方載物台226(以及附著於其上的測試器15〇)於χ_方向之 移動或者於Χ-Ζ平面之轉動。以如此之方法’所有的進程 移動皆受限於Ζ-方向’同時測試n 150會處於所偈限的區 域中。將進程移動限制於單一方向之動作會致使測試系統 之簡易操作。 然而，引導器316具有兩個區域31〇與312，其中所 引導特徵物314之移動並不侷限於單一方向之移動。當測 4*為15 0逐漸罪近處理機1 〇 〇並且進入順應性區域3 4 〇時 ’所引導的特徵物314便會進入區域31〇與312。所引導 的特徵物314將不再侷限於引導器316，而僅於ζ—方向移 動。一旦到達區域310與312，所引導的特徵物3丨4便能 夠移動，超過順應性移動之某些範圍，而隨意於χ—平面中 移動。順應性移動的範圍由區域310與312之尺寸所決定 〇 在所闡述的圖3之實施例中，區域310係大於區域 312。此相對的尺寸提供較大的順應性，以為與γ—軸有關 的轉動之用’而不使X-方向之順應性移動範圍大到不合理 14 1292198 在車又佳實施例中，區域310與312定位於推車210前 而才關之位置，致使所引導的特徵物314不會進入所延展 的區域，直到測試器15〇足夠靠近處理機1〇〇而校整特徵 物152嗜合著校整特徵物114為止。以如此之方法，測試 器15〇便能夠在測試器進入順應性區域之前 機 100 。 ^ 也許’即使是當引導器316不是侷限移動之時，直線 軸承412仍然會侷限測試器以除了 z_方向之任何盆他方向 ㈣’而且也許不允許X-方向充分之順應性或者在Z_轴附 近的轉動。因此，在實現方式上，較佳實施例包含 由地允許順應性區域中上方載 .、、 。 τ刀執物σ 226順應性移動之架構 在圖4之實施例中’將中間载物台42。 物台226以及基座220之間。中 万載 後勅、f /no 1载物σ 42〇包含嚙合直 線執道412之特徵物424。以如此 台伽於Ζ-方向之移動。此之方法，允許中間載物 上方載物台226依靠著中間載物台42〇。中間載物台 以及上方载物台226之間的介面為低摩擦力的，以便 二：：台226能相對於中間载物台42〇而簡 在較佳貫施例中，藉由在令間载物台動 球形輪承似來提供低摩擦力的介面。將球形方表面之多數 限於管槽或者其他傳統之機構中。以如此之7，426侷 物台226便能夠以X-方向移動$ / ，上方载 移動或者於順應性區域令y-軸附 1292198 近轉動。 藉由延伸出上方載物台226下方表面之端子414來提 供所引導的特徵物。中間載物台420包含一洞孔422，其 允許端子414穿過上方載物台226而至溝槽416。 溝槽416用來充當一種導引器。將之塑造用以容納端 子416，而將其過大之長度製成具有緊密匹配端子416直 徑之寬度。以如此之方法，端子416之移動便會侷限於沿 著z軸之並進運動，超過上方載物台226移動的大部分範 圍。然而，溝槽416包含加大的區域48〇以及482。當端 子416進入這些加大區域時，其便會在χ—ζ平面中自由移 動或者轉動，藉以允許順應性移動。以如此之方法，便合 偈限上方載物纟W僅於Ζ—方向移動，直到其達到順雜 區域以及k供所需要的”漏斗狀順應性，，為止。 參照圖2，能夠看出在樞軸點252上，測試器15〇架 ,於支架250。僅有一樞軸點顯示於圖2、然而將會察知的 是’測試器、150架置於每一個皆具有一樞軸點的兩支竿之 :。樞軸請附近的轉動量會受到侷限。然而，該轉動 量仍是充分提供對X-軸方向之順應性轉動的。 …再者’經由彈t 254將樞軸點252架置於支架 舞黃架置作用允許每-個樞軸點252以γ一方向 下移動，因而提供Υ-方向之順_ ° ^ 獨立架置的，因此能夠以不同的 為 一 的里或者不同的方向移動， 精以允許對Ζ-軸之順應性轉動。 因此，一旦推車210 # 雜μ $ 係閃鎖於處理機100,則測試器 16 1292198 主要的進程移動便會沿著其中―轴作用—在所闡述的實施 例中之z-方向。然而，ATE系統配有一旦測試器進入順應 性區域則會增加之漏斗狀順應性。在順應性區域中，測試 器能夠具有大至六個的自由度，以為順應性移動之用。 已經說明了其中之一實施例，然可實施數種可替代實 施例或者變體。例如，說明各種移動乃是藉由人類操作者 推進該測試系統所導致的。各種移動能夠是馬達所驅動的 同樣的是，可以針對在此所顯示的實施例實施各種之 湖飾。例如，執道可以包含在處理機或者接近處理機1〇〇 之地面上’以便引導著推車㈣進人與處理機則之問鎖 再者， 上。例如， 範圍。 其他可調整的特徵物同樣也可以包含於操作器 可以將支架250擴張，藉以增加z_方向之移動

Μ述在垂直平面中具有介面區域之處理機作為較佳， 施例。此乃是稱為一種而垂直處理機。然而，應該察》 的是’可以實現其他配對的安排。例如，如果測試器的酉 對介面朝上，則漏斗狀的順應性便可以置於支架之弓 ，藉以允許Υ-方向所侷限的移動。 同樣地，應該察知的是，插入基座部件220的凹利 416並不只有所需的引導構件可以建構之方法。能夠藉由 放置一架構於基座之頂端表面來建構一凹槽，其中的基屋 則具有合成凹槽41 6内壁之障壁。 “ 17 1292198 再者，凹槽中之管腳並不僅為用來實現漏斗狀順應性 之機構。端子414可以具有u形狀之末端。u形狀之末端 可以嚙合基座構件22G上方表面上之軌道。以如此之配置 ，將藉由降低軌道厚度或者^全消除軌道來實現順應性。 同樣也能夠藉由形成端子414作為抓牢基座22〇上方 表面執道之卡甜來實現漏斗狀順應性。為了防止順應性， 卡鉗會閉合。為了增加順應性’其卡鉗則會打帛，而產生 卡钳與軌道之間更大的空7日卜藉由打開順應性區域中之卡 钳，便能夠實現漏斗狀之順應性❶卡钳能以馬達或者凸輪 裝置來打開，其中的凸輪裝置則會隨著測試器進入順應性 £域而使卡甜產生較大之伸展。 再者’應該察知的是，配對部分可以在方向上交換。 例如，掛勾216可以在處理機100之上，而端子116則在 推車210之上。或者凹槽可以刻在上方載物台226之上， 而端子則可以延伸出基座220。 再者’應該察知的是，較佳實施例的直線軌道提供_ 種簡單之方法藉以實現所侷限的直線移動，超過相對為大 的距離。在一些應用中，並不需要使用直線執道。其中的 直線軌道並非所需的，中間載物台420也並不需要，而且 能夠直接藉由上方載物台226以及基座220之間的低摩擦 力介面，來實現上方載物台226以及基座220之間的可滑 動介面。 因此，本發明應該僅受限於所附的申請專利範圍之精 神以及範疇。 18 1292198 圖式簡單說明 藉由參照本案之更為詳細之說明以及附圖，將更能了 解本發明，其中 圖1A為闡述材料處理單元之示意圖； 圖1B為闡述具有與材料處理單元分離的測試器之工作 早兀不意圖， 圖2為測試器接合於處理機之側視圖； 圖3為闡述漏斗狀順應性之示意圖；以及 圖4為操作器的基座構件之分解圖。 元件符號說明 100 處理機 110 介面區域 112 裝置介.面板（DIB) 114 介面模組 116 附著特徵物（端子） 150 測試器 152 配對介面 210 推車 212 輪子 216 附著特徵物（掛勾） 218 起重機 220 基座部件 226 上方載物台 19 支架 樞軸點 彈簧 引導器之區域 引導器之區域 所引導的特徵物 精密引導器 順應性區域 所侷限的區域 直線執道 下方表面之端子 溝槽 中間載物台 中間載物台之洞孔 直線執道之特徵物 球形軸承 溝槽加大的區域 溝槽加大的區域 20

Claims (1)

1292198 检、申請專利範圍： 1.:種自動測試系統，其之形式係具有一材料處理單 元以及一測成器，該自動測試系統包含一測試 ，包含·· 口口 a ) —基座部件； b) —可滑動地連接到基座部件之載物台； c) 連接於基座部件與载物台之間的引導構件，戈引 導部件具有揭限的區域與順應性區域，引導部件藉此㈣ 於順應性區域提供於所侷限的區域之更多維自由度之限制 2.如申請專利範圍第！項之自動測試系統，其 導構件包含： a) —具有主軸與垂直於主軸寬度之溝槽··以及 b) 至少一個延伸於其溝槽之中的端子； c) 其中該溝槽具有侷限的區域與順應性區域，其中在 順應性區域中的溝槽寬度係較大。 3·如申請專利範圍帛2項之自動測試系統，其中溝槽 的寬度實質地等於所侷限的區域中之端子直徑。 4·如申請專利細i項之自動測試系統，其中基座 部件包含一閃鎖機構，以用於將基座部件閃鎖於處理機。 “ 5·如申請專利範圍第4項之自動測試系統，其中該基 具有一前面部分，面對著材料處理單元，並且額外 :包含-位於基座下方之起重機，用以舉起前面部分而與 处理機上之參考點校整。 21 1292198 6. 如申請專利範圍第5項之自動測試系統，其中該處 理機包含至少-個的端子，而該閂鎖機構則包含一以充分 的間隙包圍著端子之掛勾，藉以允許其掛勾滑動，直到基 座的前面部分與參考點校整為止。 7. 如申請專利範圍第1項之自動測試系統，其係進-步包含： a) —組設置於基座部件上的直線執道； b) 具有第|面與第二表面之中間載物台，該中間 載物台在低摩擦力的第-與第二表面上具有可滑動喷合直 線執道之特徵物；且 C)其中該載物台與中間載物台的低摩擦力表面相配對 8·如申請專利範圍第7 間載物台具有一貫穿之開口 通過其開口。 9·如申請專利範圍第1 含： 項之自動測試系統，其中該中 ’而引導構件的一部份係突出 項之自動測試系統，額外地包 架； a) —對以相反於基座部件的 方向延伸出基座部件之支 b)附著於支架的樞軸裳備 一支架上之樞軸裝備。 其中該測試器係附著於每 其中該輸 其用於一 10. 如申請專利範圍第9項之自動測試系統 軸裝備乃是架置甩以提供順應性移動之彈手。 11. 如申請專利範圍第i項之自動測試系統 22 1292198 個製造半導體裝置之方法，包含： a) 將測試器向該製材料 b) 將測試器閃鎖於材料處理單元：動， c) 將測試器移動而更 試器接合於材料處更為^材料處料元，並且將測 域中； 疋，同時引導構件則處於順應性區 1以材料處理單元，將半導體裝置呈現至測試器； e)以測試器來測試半導體裝置；以及 〇基於m果’進—步地處理半導體裝置。 以乂2.二申請,"⑽第1項之自動測試系統，在測試器 牿 ^5里單70上’額外地包含校整之特徵物，該校整 播包含唾合而將測試器支承於材料處理單元之閃鎖架 、及將测5式益定位在相對於材料處理單元的位置之表 面。 —13· tt自動須"式系、统，其之形式係具有一材料處理單 :以及—㈣器’該自動測試系統係包含一測試器之定位 益’其包含： a) —基座部件； b) 一承載著測試器之載物台； c) 連接於基座與載物台之機件，用來侷限載物台之 移動成為所侷限的區域中之其中一種自由度，並且允許順 應性區域中平面之移動。 14 _如申凊專利範圍第13項之自動測試系統，其中該 機件允許在順應性區域中之順應性並進運動以及轉動。 23 1292198 15. 如申請專利範圍第13項之自動測試系統，額 包含—可移動地將基座部件牢固於材料處理單元之閂欽地 16. 如申請專利範圍第13項之自動測試系統，鎖。 包含複數個附著於基座部件之輪子。 卜地 17·-種操作自動測試系統之方法，其之系 有喃合在配對介面上之一測試器以及一材料 ：為具 方法包含·· 平凡，該

W將測試器置於裝有輪子可滾動之車； b )將该車以輪子滾動至材料處理單元； c) 將該車附著於材料處理單元； d) 將測試器之主要移動隸於垂直配對介面之 5 B守將測試器向前移動至材料處理單元； ^ 6 )將測試器附著於材料處理單元； 至材料試器之順應性移動，同時將測試器向心 =處理早凡，達到由測試器與峨 特政物所決定的位置。

移動之作W專利減第·17項之方法，其中允許順力 移^作用係包含允許垂直於配對介面的平面中之心 I9·如申請專利範圍第17項之方 於材料虛® σσ - 八中將6亥車附著 免里早70之動作包含該車之一 與材料虛神时_ 刀舉起，糟以使之 处里早元上的參考點校整。 進一步地包含： 20·如申請專利範圍第17項之方法 C以測試器來測試半導體裝置； 24 1292198 b )基於測試結果，進一步地處理半導體裝置。 拾壹、圖式： 如次頁

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