JPH0665879U - 試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェハープローバやハンドラが装置の上方向
あるいは横方向に位置しても、ウェハープローバやハン
ドラにテストヘッドを接続することが容易で安全に行え
る試験装置を実現することを目的にする。 【構成】 本装置は、テストヘッドを保持するテストヘ
ッドホルダーと、このテストヘッドホルダーを支える３
以上の第１のボールキャスターと、この第１のボールキ
ャスターを介してテストヘッドホルダーが乗せられるテ
ーブルと、このテーブルに設けられている穴部と、この
穴部を貫通していて、一端はテストヘッドホルダーに結
合された部材と、テーブルと部材の他端の間に介在して
いて、テーブルに対して部材が面方向に移動可能に設け
られる第２のボールキャスターと、を有することを特徴
とする装置である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウェハープローバやハンドラにテストヘッドを接続し、電子回路の 試験をする試験装置に関し、特にウェハープローバやハンドラにテストヘッドを 接続することが容易で安全に行える試験装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ウェハーやＬＳＩを試験する場合、ウェハーに電気的に接続するウェハープロ ーバや、ＬＳＩを順次搬送するハンドラに、テストヘッドを電気的に接続するこ とにより行われる。ウェハープローバやハンドラは、テストヘッドを搭載する試 験装置に対して上方向あるいは横方向に位置している。 従来の試験装置を図３に示す。従来例において、上方向に位置するウェハープ ローバやハンドラに電気的に接続する試験装置を示す。 図において、１はテストヘッドで、ウェハープローバやハンドラに接続する。 ２はボールキャスターで、テストヘッド１を支持する。３はテーブルで、ボール キャスター２が設けられ、ボールキャスター２を介して、テストヘッド１が乗せ られる。つまり、テストヘッド１は、テーブル３上をテーブル３に対して前後左 右に移動自在になっている。４はテーブルを搭載するベースで、テーブル３を搭 載し、キャスター４１により移動可能であり、レベリングボルト４２により位置 止めが行われる。そして、ハンドル４３に結合されているウォームギア（図示せ ず）にかみ合うギア４４により、テーブル３に設けられたウォームギア３２を上 下方向に移動させる。ウォームギア３２を上下方向に移動することにより、ウォ ームギア３２に結合しているテーブル３が、上下方向に移動し、テストヘッド１ も上下方向に移動する。３１はガイドバーで、ベース４に形成された穴に挿入さ れていて、テーブル３の上下方向の移動をガイドする。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

このような装置は、ボールキャスタ２によりテーブル３に対してテストヘッド １が、前後左右に容易に移動可能であるので、ウェハープローバあるいはハンド ラに接続が容易に行える。ここで、ウェハープローバやハンドラが、テストヘッ ドを搭載する試験装置に対して横方向に位置しているときの構成は、水平状態か らテストヘッドの一端を支点にテストヘッドを回転させ、直立させる。このよう な装置には、例えば、特開昭６１−２３２６３０号公報に開示されているような 装置がある。しかし、このような構成を図３に示した装置に適用すると、テスト ヘッド１が回転するに伴って変化するモーメントにより、テストヘッドが不安定 となり、危険であるという問題点があった。

【０００４】 本考案の目的は、ウェハープローバやハンドラが装置の上方向あるいは横方向 に位置しても、ウェハープローバやハンドラにテストヘッドを接続することが容 易で安全に行える試験装置を実現することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、 ウェハープローバやハンドラにテストヘッドを接続し、電子回路の試験をする 試験装置において、 前記テストヘッドを保持するテストヘッドホルダーと、 このテストヘッドホルダーを支える３以上の第１のボールキャスターと、 この第１のボールキャスターを介してテストヘッドホルダーが乗せられるテー ブルと、 このテーブルに設けられている穴部と、 この穴部を貫通していて、一端は前記テストヘッドホルダーに結合された部材 と、 前記テーブルと前記部材の他端の間に介在していて、テーブルに対して部材が 面方向に移動可能に設けられる第２のボールキャスターと、 を有することを特徴とすることを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】 このような本考案では、第１のボールキャスタをテーブルとテストヘッドホル ダーの間に介在させる。そして、テストヘッドホルダーに設けられた部材が、テ ーブルの穴部を貫通して、テーブルとの間に第２のボールキャスタを介在させる 。その結果、部材が、テストヘッドが回転の状態でも、安定状態を作りだす。

【０００７】

【実施例】

以下図面を用いて本考案を説明する。 図１は本考案の一実施例を示した構成図である。図２は図１の装置の要部構成 図である。（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。以下図３と同一のものは同 一符号を付す。 図において、５はテストヘッドホルダーで、テストヘッド１を保持する。そし て、テストヘッドホルダー５に設けられた回転軸５１を支点にテストヘッド１を 回転自在に支持し、テストヘッド１がＡに示す直立状態になったときも支持する 。このとき、一端がテストヘッド１に回転自由に固定され、他端が水平移動可能 なエアーダンパ１１により、テストヘッド１を支える。６は第１のボールキャス ターで、テストヘッドホルダー５の底に設けられていて、テストヘッドホルダー ５を支える。７はテーブルで、第１のボールキャスター６を介してテストヘッド ホルダー５が乗せられる。７１は穴部で、テーブル７に設けられている（図２参 照）。７２はケーブルガイドで、テストヘッド１に接続するケーブル（図示せず ）を案内する。５２は部材で、穴部７１を貫通している。そして、部材５２の一 端はテストヘッドホルダー５と結合している。テストヘッドホルダー５に結合し 、穴部７１ごとにテーブル７の面方向に移動可能に設けられ、それぞれ穴部７１ を貫通する（図２参照）。８は第２のボールキャスターで、テーブル７と部材５ ２の他端の間に介在していて、テーブル７に対して部材５２を面方向に移動可能 に支持する。９はベースで、キャスター９１により移動可能で、レベラー９２に より固定され、設置される。そして、ベース９に設けられた昇降機構９３がポー ル９４に沿ってテーブル７を上下に移動させる。

【０００８】 このような装置の動作を以下で説明する。ウェハープローバーやハンドラがテ ストヘッド１に対して横方向に位置している場合について説明する。 昇降機構９３により、ウェハープローバやハンドラの接続位置にテストヘッド １の上下方向の位置を合わせる。そして、テストヘッド１を回転軸５１を支点に して回転させ、直立状態Ａにする。直立状態になる間に、テストヘッド１が、回 転に伴って変化するモーメントにより不安定な状態になる。そこで、部材５２が 、第２のボールキャスター８を介して、テーブル７からテストヘッド１が不安定 になるのを支える。 そして、テストヘッド１に水平方向の力を加えると、テストヘッド１が、テー ブル７の上面を、第１のボールキャスター６と第２のボールキャスター８とによ り移動が行われる。そのとき、部材５２はテストヘッド１を支えて、テーブル７ から不安定になるのを支える。そして、テストヘッド１をウェハープローバやハ ンドラの接続の位置に合わせる。 ウェハープローバやハンドラがテストヘッド１に対して上方向に位置している 場合は、従来例の動作と変わらないので説明を省略する。

【０００９】 なお、本考案はこれに限定されるものではなく、第１，第２のボールキャスタ ーをテーブル側に設けた構成にしてもよい。また、第１のボールキャスターは少 なくとも３つあれば、テストヘッドを支えることができる。そして、部材と第２ のボールキャスターは少なくとも１つあれば、部材がテストヘッドを不安定な状 態になるのを防止することができる。かつ、部材やボールキャスターに弾性を持 たせることにより、さらに、テストヘッドの不安定な状態を防止できる。

【００１０】

【考案の効果】

本考案によれば、以下のような効果がある。 第１のボールキャスターと第２のボールキャスターにより、テーブルに対して 、水平方向に移動可能である。そして、部材が、第２のボールキャスターを介し てテストヘッドをテーブルから不安定になるのを支えている。その結果、ウェハ ープローバやハンドラにテストヘッドを接続することが容易で安全に行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示した構成図である。

【図２】図１の装置の要部構成図である。

【図３】従来の試験装置を示した構成図である。

【符号の説明】

１ テストヘッド ５ テストヘッドホルダー ６ 第１のボールキャスター ７ テーブル ８ 穴部 ５２ 部材

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハープローバやハンドラにテストヘ
   ッドを接続し、電子回路の試験をする試験装置におい
   て、 前記テストヘッドを保持するテストヘッドホルダーと、 このテストヘッドホルダーを支える３以上の第１のボー
   ルキャスターと、 この第１のボールキャスターを介してテストヘッドホル
   ダーが乗せられるテーブルと、 このテーブルに設けられている穴部と、 この穴部を貫通していて、一端は前記テストヘッドホル
   ダーに結合された部材と、 前記テーブルと前記部材の他端の間に介在していて、テ
   ーブルに対して部材が面方向に移動可能に設けられる第
   ２のボールキャスターと、 を有することを特徴とする試験装置。