JP2002107411A - テストヘッドの支持台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストヘッドの検査時におけるメンテナンス
作業を容易にする。 【解決手段】 テストヘッド２の検査時に用いるテスト
ヘッドの支持台１である。テストヘッド２が装着される
テストヘッド装着部２０と、テストヘッド装着部２０の
両側部を回動可能な状態で支持する架台１０とを備え
る。テストヘッド２上面のポゴピンリング３が上方を向
く第１回動位置と、テストヘッド２底面のピンカード出
入用の開口部４ａが前方或いは後方を向く第２回動位置
の各々で、テストヘッド２が回動不能に固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テストヘッドの検
査時に用いるテストヘッドの支持台に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣなどの被測定デバイスの電気的特性
を試験するにあたって、例えばＩＣテスタが用いられ
る。ＩＣテスタはテスタ本体とテストヘッドにより構成
され、これらはケーブルを介して電気的に接続される。
テスタ本体には主要な制御回路、電源回路等が備えられ
る一方、テストヘッドには被測定デバイスを搭載したテ
ストボードが装着される。テストヘッドの内部には複数
のピンカードが放射状に配置され、これらピンカードの
上端部には、テストボードを装着可能なポゴピンリング
が結合される。また、テストヘッドの底面には開口部が
設けられ、ピンカードの交換時には、前記開口部を介し
てピンカードが出し入れされる。

【０００３】従来、上記テストヘッドの検査時には、テ
ストボードの装着面（ポゴピンリング側）を上にしてテ
ストヘッドを略水平に支持する支持台が用いられてい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のテストヘッドの支持台では、テストボードの装着面
を上にしてテストヘッドを単に支持するのみであったた
め、テストヘッド底面の開口部が常に下を向いた状態と
なり、例えば、検査に際してピンカードを交換する場合
などには、作業者がテストヘッドの下に潜り込んで作業
する必要があった。つまり、上記従来のテストヘッドの
支持台では、テストヘッドの検査時におけるメンテナン
ス作業に手間がかかるという問題点があった。例えば、
テストヘッドの位置決め機能を備える支持台として、ハ
ンドラやプローバとの接続に用いるマニピュレータが知
られている。ところが、マニピュレータの場合には、機
構が大掛かりでコストが高く、しかも重量物である（移
動に手間がかかる）ので、テストヘッドの検査時に用い
る支持台としては適当ではなかった。

【０００５】本発明の課題は、テストヘッドの検査時に
おけるメンテナンス作業を容易にすることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、例えば、図１〜図６に示す
ように、テストヘッド（２）の検査時に用いるテストヘ
ッドの支持台（１）であって、前記テストヘッドが装着
されるテストヘッド装着部（２０）と、前記テストヘッ
ド装着部の両側部を回動可能な状態で支持する架台（１
０）とを備えることを特徴とする。

【０００７】請求項１記載の発明によれば、テストヘッ
ドがテストヘッド装着部に装着されると共に、該テスト
ヘッド装着部の両側部が架台により回動可能な状態で支
持されるので、テストヘッドの検査に際してテストヘッ
ドの向きを変えることができる。従って、検査に際して
ピンカードを交換する場合などに、作業者がテストヘッ
ドの下に潜り込んで作業する必要がなくなり、テストヘ
ッドの検査時におけるメンテナンス作業が容易となる。
また、当該テストヘッドの支持台はマニピュレータと比
べ機構が簡素であることから、低コストや軽量化を実現
でき、テストヘッドの検査時に好適に使用できる。

【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載のテ
ストヘッドの支持台において、例えば、図１〜図６に示
すように、前記テストヘッド装着部の一方の側部（例え
ば、側板２２Ａなど）には、側方に向けて支軸（２３）
が突設される一方、前記テストヘッド装着部の他方の側
部（例えば、側板２２Ｂなど）には、複数の摺動部（例
えば、摺動ブロック２４など）が設けられ、前記架台に
は、前記支軸を回動自在に保持する軸受け（１３）が設
けられると共に、前記支軸の軸線上に中心を有する円弧
に沿って前記摺動部を案内する円弧状の案内レール（１
５）が設けられることを特徴とする。

【０００９】請求項２記載の発明によれば、テストヘッ
ド装着部の一方の側部が、支軸と軸受けの相互作用によ
り回動自在に支持される一方で、テストヘッド装着部の
他方の側部が、案内レールと摺動部の相互作用により回
動自在に支持される。また、テストヘッドの回動中心か
ら離れた位置に案内レールと摺動部が配置されることか
ら、テストヘッドの回動中心付近に開口部や切欠部を形
成できる。これにより、テストヘッド側部のメンテナン
ス作業が容易となると共に、テストヘッド側部から延び
るケーブル類を配線するのが容易となる。

【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１又は２に
記載のテストヘッドの支持台において、例えば、図４に
示すように、前記テストヘッドの回動範囲を規制する回
動規制部（例えば、ストッパブロック１６など）を備え
ることを特徴とする。

【００１１】請求項３記載の発明によれば、回動規制部
がテストヘッドの回動範囲を規制するので、テストヘッ
ドが必要以上に回動して、例えば、テストヘッドから延
びるケーブル類が捩れたり、テストヘッドが周囲の機器
等に衝突したりすることを防止できる。

【００１２】請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載のテストヘッドの支持台において、例えば、
図４及び図７に示すように、前記テストヘッドを所定の
回動位置で回動不能に固定或いは解放する固定手段（例
えば、位置決め穴２５ａ・２５ｂ・２５ｃと位置決めピ
ン１７とからなる固定手段など）を備えることを特徴と
する。

【００１３】請求項４記載の発明によれば、固定手段に
よりテストヘッドを回動不能に固定した状態で、テスト
ヘッドのメンテナンス作業を実施できる。従って、テス
トヘッドのメンテナンス作業が容易となる。

【００１４】ここで、固定手段としては、例えば、テス
トヘッド装着部と架台の何れか一方に設けられた位置決
め穴と、他方に設けられ位置決め穴と係合離脱自在な位
置決めピンとにより構成される固定手段などが挙げられ
る。例えば、位置決め穴を複数設けることで、テストヘ
ッドの固定位置を選択的に切換可能となる。

【００１５】請求項５記載の発明は、請求項４記載のテ
ストヘッドの支持台において、例えば、図１〜図６に示
すように、前記テストヘッドの上面にはテストボードを
装着可能な装着部（例えば、ポゴピンリング３など）が
設けられる一方、前記テストヘッドの底面にはピンカー
ドを出入自在とする開口部（４ａ）が設けられており、
前記所定の回動位置には、前記装着部が上方を向く第１
回動位置と、前記開口部が前方或いは後方を向く第２回
動位置とが含まれることを特徴とする。

【００１６】請求項５記載の発明によれば、装着部が上
方を向く第１回動位置と、開口部が前方或いは後方を向
く第２回動位置の各々で、テストヘッドが回動不能に固
定されるので、テストヘッドのメンテナンス作業が容易
となる。すなわち、第１回動位置でテストヘッドを回動
不能に固定することによりテストボード等の交換作業が
容易となり、第２回動位置でテストヘッドを回動不能に
固定することによりピンカード等の交換作業が容易とな
る。

【００１７】請求項６記載の発明は、請求項５記載のテ
ストヘッドの支持台において、例えば、図３及び図４に
示すように、前記第１回動位置から前記第２回動位置へ
の回動方向に付勢力を付与する付勢手段（例えば、ダン
パー８など）を備えることを特徴とする。

【００１８】請求項６記載の発明によれば、第１回動位
置から第２回動位置への回動方向に付勢手段が付勢力を
付与するので、第１回動位置から第２回動位置にテスト
ヘッドを回動変換するのが容易となる。一方、第２回動
位置から第１回動位置に復帰する際には、付勢手段がテ
ストヘッドの位置エネルギーを吸収するので、テストヘ
ッドの回転速度を減衰でき、テストヘッドの停止に伴う
衝撃を緩衝できる。従って、テストヘッドを円滑に回動
させることができる。

【００１９】ここで、付勢手段としては、例えば、弾性
力を利用したものや、電力や磁力を利用したもの、或い
は重力を利用したものなどが挙げられる。

【００２０】請求項７記載の発明は、請求項１〜６の何
れかに記載のテストヘッドの支持台において、例えば、
図１に示すように、水平方向に前記架台を移動自在とす
るキャスター（６）を備えることを特徴とする。

【００２１】請求項７記載の発明によれば、当該テスト
ヘッドの支持台を搬送台として使用できる。従って、テ
ストヘッドの搬送台を別途用意する必要がなくなる。ま
た、テストヘッドの搬送に際して、支持台から搬送台に
テストヘッドを載せ替える作業を省略できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。まず、構成を説明する。図１
〜図６に示すように、本発明に係るテストヘッドの支持
台１は、テストヘッド２が装着されるテストヘッド装着
部２０と、該テストヘッド装着部２０の両側部を回動可
能な状態で支持する架台１０とにより概略構成される。

【００２３】図１及び図２に示すように、テストヘッド
装着部２０はテストヘッド２を前後に挟んだ状態で取付
可能な一対の取付板２１を備えると共に、該取付板２１
の各々の端部同士を相互に結合する一対の側板２２Ａ・
２２Ｂを備える。すなわち、テストヘッド装着部２０は
平面視でほぼ矩形の枠状をなしている。図１〜図３に示
すように、一方の側板２２Ａ（図１から見て左側の側
板）の外壁面には側方に向けて支軸２３が突設されてい
る。一方、図４に示すように、他方の側板２２Ｂ（図１
から見て右側の側板）の外壁面には支軸２３の軸線（テ
ストヘッド装着部２０の回動中心Ｃ）上に中心を有する
円弧に沿って一対の摺動ブロック（摺動部）２４が配設
されている。各摺動ブロック２４の間隔は中心角で約９
０度に設定されている。また、側板２２Ｂの外壁面に
は、支軸２３の軸線上に中心を有する円弧状の係合板２
５が取り付けられ、係合板２５には位置決めピン１７
（後述）の先端部を挿入可能な複数の位置決め穴２５ａ
・２５ｂ・２５ｃが形成されている。

【００２４】図２及び図５に示すように、架台１０は平
面視でほぼ矩形の枠状をなし、各角部に柱部１１ａ・１
１ｂ・１１ｃ・１１ｄを備える。図１に示すように、各
柱部１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄの下端にはそれぞ
れキャスター６とレベルフット７が取り付けられてい
る。例えば、当該テストヘッドの支持台１を移動させる
とき（例えば、テストヘッド２の搬送時など）には、キ
ャスター６が床面に当接するように、一方、テストヘッ
ドの支持台１を固定するとき（例えば、テストヘッド２
の検査時など）には、レベルフット７が床面に当接する
ように、各レベルフット７の突出長さを調節する。ま
た、テストヘッド２をプローバ（図示省略）に搭載する
ときなどには、レベルフット７の突出長さを調節するこ
とで、テストヘッド２の高さ位置或いは水平度を調整す
る。これにより、テストヘッド２をプローバに接続・搭
載するのが容易となる。

【００２５】図２から見て左側に配置される一対の柱部
１１ａ・１１ｂの上部には、図３に示すように、柱部１
１ａ・１１ｂどうしを相互に結合する梁部１２ａが一体
的に設けられ、梁部１２ａの上端中央には、支軸２３を
回動自在に保持する軸受け１３が設置されている。一
方、図２から見て右側に配置される一対の柱部１１ｃ・
１１ｄの下側には、図４に示すように、柱部１１ｃ・１
１ｄどうしを相互に結合する梁部１２ｂが一体的に設け
られ、梁部１２ｂから柱部１１ｃ・１１ｄへと連続する
架台１０の内壁面には、図１に示すように、側板２２Ｂ
と平行に対向配置される状態で回動保持板１４が取り付
けられている。回動保持板１４の内壁面には、図４に示
すように、支軸２３の軸線上に中心を有する円弧に沿っ
て摺動ブロック２４を案内する円弧状の案内レール１５
が敷設されている。すなわち、テストヘッド装着部２０
の一方の側板２２Ａが、支軸２３と軸受け１３の相互作
用により回動自在に支持される一方で、他方の側板２２
Ｂが、案内レール１５と摺動ブロック２４の相互作用に
より回動自在に支持される。そして、各側板２２Ａ・２
２Ｂの回動軸が同一直線上に配置され、かつ各側板２２
Ａ・２２Ｂが一対の取付板２１により相互に結合されて
いるので、架台１０に対してテストヘッド装着部２０が
一体的に回動する。また、図４に示すように、案内レー
ル１５の両端部には、摺動ブロック２４の移動範囲を制
限することによりテストヘッド２の回動範囲を規制する
ストッパブロック（回動規制部）１６がそれぞれ設けら
れている。従って、テストヘッド２が必要以上に回動し
て、例えば、テストヘッド２から延びるケーブル類２ａ
（図１）が捩れたり、テストヘッド２が周囲の機器等に
衝突したりすることを防止できる。

【００２６】図２及び図４に示すように、回動保持板１
４には貫通状態で位置決めピン１７が取り付けられてい
る。位置決めピン１７は先端部を係合板２５の各位置決
め穴２５ａ・２５ｂ・２５ｃに挿入し得る位置に配置さ
れている。すなわち、位置決めピン１７の先端部を係合
板２５の位置決め穴２５ａ・２５ｂ・２５ｃの何れかに
挿入した状態において、テストヘッド装着部２０が架台
１０に対して回動不能に固定される。また、位置決めピ
ン１７を挿入する位置決め穴２５ａ・２５ｂ・２５ｃに
応じてテストヘッド装着部２０の固定位置が変化する。
つまり、本発明に係る固定手段が位置決めピン１７と位
置決め穴２５ａ・２５ｂ・２５ｃとにより構成されてい
る。

【００２７】また、位置決めピン１７には、係合板２５
と近接する方向に付勢力を付与するコイルばね（図示省
略）が取り付けられている。図７に示すように、回動保
持板１４の外壁面には、コイルばねの付勢力に抗して位
置決めピン１７を係止する係止ブロック１８が突設され
る一方、位置決めピン１７の軸部には、係止ブロック１
８による係止を回避する切欠部１７ａが形成されてい
る。すなわち、常時は、コイルばねの付勢力により、図
７（ａ）に示すように、位置決めピン１７の先端部が位
置決め穴２５ａ・２５ｂ・２５ｃの一つに挿入されて位
置決めピン１７と係合板２５とが係合し、テストヘッド
装着部２０が架台１０に対して回動不能に固定された状
態となっている。この状態から、位置決めピン１７を引
張って、位置決めピン１７と係合板２５との係合を解除
すると、テストヘッド装着部２０が架台１０に対して回
動自在な状態に変換される。このときに、位置決めピン
１７を軸周りにまわして、図７（ｂ）に示すように、係
止ブロック１８により位置決めピン１７を係止させれ
ば、この状態を維持できる。また、位置決めピン１７を
さらにまわして、係止ブロック１８と切欠部１７ａを対
向させれば、上記係止を解除できる。例えば、上記係止
を解除した状態で、テストヘッド装着部２０を架台１０
に対して回動させると、位置決めピン１７の先端部が係
合板２５の上面を押し付けながら進んだ後、位置決め穴
２５ａ・２５ｂ・２５ｃの何れかと出会い、その出会っ
た時点で、コイルばねの付勢力により位置決めピン１７
の先端部が上記位置決め穴に挿入され、その時点で、テ
ストヘッド装着部２０が架台１０に対して回動不能に固
定される。

【００２８】なお、この実施の形態では、係合板２５に
３つの位置決め穴２５ａ・２５ｂ・２５ｃが形成されて
おり、第１の位置決め穴２５ａは第１回動位置で、第２
の位置決め穴２５ｂは第２回動位置で、第３の位置決め
穴２５ｃは第３回動位置で、それぞれテストヘッド装着
部２０を回動不能に固定し得る位置に配置されている。
ここで、第１回動位置とは、テストヘッド２上面のポゴ
ピンリング３（装着部）が上方を向く回動位置（図１と
図２に示す回動位置）であり、第２回動位置とは、テス
トヘッド２底面の開口部４ａ（図６では蓋部材４により
閉塞されている）が前方を向く回動位置（図５と図６に
示す回動位置）であり、第３回動位置とは、第１回動位
置と第２回動位置の間に位置する回動位置であって、テ
ストヘッド２上面が水平面に対して約６０度傾斜する回
動位置である。例えば、テストボード等の交換作業を行
う場合やテストヘッド２を搬送する場合などには、第１
回動位置でテストヘッド装着部２０を回動不能に固定
し、一方、ピンカード等の交換作業を行う場合などに
は、第２回動位置或いは第３回動位置でテストヘッド装
着部２０を回動不能に固定する。

【００２９】図４に示すように、回動保持板１４と側板
２２Ｂの各々には、テストヘッド２側部から延びるケー
ブル類２ａを通すための切欠部１４ａ・１４ｂがテスト
ヘッド２の回動中心Ｃ付近に形成されている。また、回
動保持板１４には、回動保持板１４とテストヘッド装着
部２０との間にケーブル類２ａが挟まるのを防止するガ
イド部材１９が切欠部１４ａの周縁に沿って取り付けら
れている。従って、ケーブル類２ａを容易に配線でき、
かつ配線したケーブル類２ａが回動保持板１４とテスト
ヘッド装着部２０との間に挟まることを防止できる。

【００３０】図１に示すように、架台１０の柱部１１ａ
・１１ｄとテストヘッド装着部２０の側板２２Ａ・２２
Ｂとの間には、第１回動位置から第２回動位置への回動
方向に付勢力を付与する付勢手段として例示するダンパ
ー８がそれぞれ取り付けられている。ダンパー８はシリ
ンダ８ａとピストンロッド８ｂにより構成されており、
シリンダ８ａ内には高圧ガスが封入されている。テスト
ヘッド装着部２０が第２回動位置にある場合に、シリン
ダ８ａ内の圧力は、第１回動位置より低下する。このた
め、テストヘッド装着部２０が第１回動位置にある場合
には、図３及び図４に示すように、ピストンロッド８ｂ
がシリンダ８ａの奥まで挿入されることによりシリンダ
８ａ内の高圧ガスが圧縮されて、シリンダ８ａ内の圧力
は第２回動位置よりも高い状態となる。従って、第１回
動位置から第２回動位置にテストヘッド装着部２０を回
動させる場合には、空気圧によるダンパー８の弾性復帰
力（付勢力）がテストヘッド装着部２０に作用すること
から、テストヘッド装着部２０を容易に回動させること
ができる。一方、第２回動位置から第１回動位置にテス
トヘッド装着部２０を回動復帰させる場合には、回動復
帰させる過程でダンパー８がテストヘッド装着部２０
（テストヘッド２を含む）の位置エネルギーを吸収する
ので、テストヘッド装着部２０の回転速度を減衰でき、
テストヘッド装着部２０の停止に伴う衝撃を緩衝でき
る。従って、テストヘッド２を円滑に回動させることが
できる。

【００３１】次に、テストヘッドの支持台１の使用方法
を説明する。

【００３２】常時は、位置決めピン１７を第１の位置決
め穴２５ａに挿入することにより、テストヘッド装着部
２０を第１回動位置で回動不能に固定して使用する。例
えば、テストヘッド２内のピンカードを交換するときに
は、テストヘッド装着部２０を回動させて、第２回動位
置或いは第３回動位置で回動不能に固定する。例えば、
テストヘッド装着部２０を第２回動位置で回動不能に固
定する場合には、先ず、位置決めピン１７を引き出して
係止ブロック１８により位置決めピン１７を係止させた
状態（位置決めピン１７と係合板２５との係合を解除し
た状態）としてから、操作ハンドル５（図２）を操作し
て、テストヘッド装着部２０を架台１０に対して回動さ
せる。そして、第２回動位置の近傍までテストヘッド装
着部２０を回動させたら、位置決めピン１７を軸周りに
まわして係止ブロック１８による上記係止を解除した状
態とし、さらにテストヘッド装着部２０をゆっくりと回
動させる。すると、暫く回動させたところで、位置決め
ピン１７が第２の位置決め穴２５ｂと出会って第２の位
置決め穴２５ｂに挿入され、テストヘッド装着部２０が
第２回動位置で回動不能に固定される。この状態でピン
カードの交換作業を行い、ピンカードの交換作業が終了
したら、上記と同様に、テストヘッド装着部２０を回動
させることによりテストヘッド装着部２０を第１回動位
置に復帰させ、テストヘッド装着部２０を第１回動位置
で回動不能に固定する。

【００３３】以上のように、この実施の形態のテストヘ
ッドの支持台１によれば、ポゴピンリング３が上方を向
く第１回動位置（図１と図２に示す回動位置）と、開口
部４ａ（蓋部材４）が前方を向く第２回動位置（図５と
図６に示す回動位置）の各々で、テストヘッド２が回動
不能に固定されるので、例えば、検査に際してピンカー
ドを交換する場合などに、作業者がテストヘッド２の下
に潜り込んで作業する必要がなくなり、テストヘッド２
の検査時におけるメンテナンス作業が容易となる。ま
た、架台１０とテストヘッド装着部２０の各々を枠状に
構成して軽量化を図ると共に、架台１０にキャスター６
を取り付けて架台１０を床面に沿って移動自在としたの
で、当該テストヘッドの支持台１を搬送台としても使用
できる。従って、テストヘッド２の搬送台を別途用意す
る必要がなくなる。また、テストヘッド２の搬送に際し
て、支持台１から搬送台にテストヘッド２を載せ替える
作業を省略できる。

【００３４】なお、本発明は、以上の実施の形態で示し
たテストヘッドの支持台１に限定されるものではなく、
これ以外にも種々のバリエーションが有り得る。例え
ば、付勢手段として高圧ガスを利用したダンパー８を例
示したが、コイルばねを利用したダンパーなどであって
もよい。これ以外にも、例えば、電力や磁力、或いは重
力バランスなどを利用して、付勢力を付与するものであ
ってもよい。また、この実施の形態では、テストヘッド
装着部２０の一方の側板２２Ａが、支軸２３と軸受け１
３の相互作用により回動自在に支持される一方で、他方
の側板２２Ｂが、案内レール１５と摺動ブロック２４の
相互作用により回動自在に支持される構成としたが、例
えば、両側板２２Ａ・２２Ｂが支軸と軸受けの相互作用
によりそれぞれ回動自在に支持される構成としたり、両
側板２２Ａ・２２Ｂが案内レールと摺動ブロックの相互
作用によりそれぞれ回動自在に支持される構成としたり
することも可能である。その他、具体的な細部構造等に
ついても本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更可
能であることは勿論である。

【００３５】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、テストヘ
ッドの検査に際してテストヘッドの向きを変えることが
できる。従って、検査に際してピンカードを交換する場
合などに、作業者がテストヘッドの下に潜り込んで作業
する必要がなくなり、テストヘッドの検査時におけるメ
ンテナンス作業が容易となる。また、当該テストヘッド
の支持台はマニピュレータと比べ機構が簡素であること
から、低コストや軽量化を実現でき、テストヘッドの検
査時に好適に使用できる。

【００３６】請求項２記載の発明によれば、テストヘッ
ドの回動中心付近に開口部や切欠部を形成できる。これ
により、テストヘッド側部のメンテナンス作業が容易と
なると共に、テストヘッド側部から延びるケーブル類を
配線するのが容易となる。

【００３７】請求項３記載の発明によれば、テストヘッ
ドが必要以上に回動して、例えば、テストヘッドから延
びるケーブル類が捩れたり、テストヘッドが周囲の機器
等に衝突したりすることを防止できる。

【００３８】請求項４記載の発明によれば、固定手段に
よりテストヘッドを回動不能に固定した状態で、テスト
ヘッドのメンテナンス作業を実施できる。従って、テス
トヘッドのメンテナンス作業が容易となる。

【００３９】請求項５記載の発明によれば、第１回動位
置でテストヘッドを回動不能に固定することによりテス
トボード等の交換作業が容易となり、第２回動位置でテ
ストヘッドを回動不能に固定することによりピンカード
等の交換作業が容易となる。

【００４０】請求項６記載の発明によれば、第１回動位
置から第２回動位置にテストヘッドを回動変換するのが
容易となる。一方、第２回動位置から第１回動位置に復
帰する際には、付勢手段がテストヘッドの位置エネルギ
ーを吸収するので、テストヘッドの回転速度を減衰で
き、テストヘッドの停止に伴う衝撃を緩衝できる。従っ
て、テストヘッドを円滑に回動させることができる。

【００４１】請求項７記載の発明によれば、当該テスト
ヘッドの支持台を搬送台として使用できる。従って、テ
ストヘッドの搬送台を別途用意する必要がなくなる。ま
た、テストヘッドの搬送に際して、支持台から搬送台に
テストヘッドを載せ替える作業を省略できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るテストヘッドの支持台の一実施の
形態例を示す正面図である。

【図２】同、平面図である。

【図３】同、左側面図である。

【図４】同、右側面図である。

【図５】図２の状態変化図である。

【図６】図１の状態変化図である。

【図７】位置決めピンの動作説明図である。

【符号の説明】

１ テストヘッドの支持台 ２ テストヘッド ３ ポゴピンリング（装着部） ４ａ 開口部 ６ キャスター ８ ダンパー（付勢手段） １０ 架台 １３ 軸受け １４ 回動保持板 １５ 案内レール １６ ストッパブロック（回動規制部） １７ 位置決めピン（固定手段） ２０ テストヘッド装着部 ２３ 支軸 ２４ 摺動ブロック（摺動部） ２５ａ、２５ｂ、２５ｃ 位置決め穴（固定手段）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テストヘッドの検査時に用いるテストヘッ
   ドの支持台であって、 前記テストヘッドが装着されるテストヘッド装着部と、 前記テストヘッド装着部の両側部を回動可能な状態で支
   持する架台とを備えることを特徴とするテストヘッドの
   支持台。
2. 【請求項２】前記テストヘッド装着部の一方の側部に
   は、側方に向けて支軸が突設される一方、前記テストヘ
   ッド装着部の他方の側部には、複数の摺動部が設けら
   れ、 前記架台には、前記支軸を回動自在に保持する軸受けが
   設けられると共に、前記支軸の軸線上に中心を有する円
   弧に沿って前記摺動部を案内する円弧状の案内レールが
   設けられることを特徴とする請求項１記載のテストヘッ
   ドの支持台。
3. 【請求項３】前記テストヘッドの回動範囲を規制する回
   動規制部を備えることを特徴とする請求項１又は２に記
   載のテストヘッドの支持台。
4. 【請求項４】前記テストヘッドを所定の回動位置で回動
   不能に固定或いは解放する固定手段を備えることを特徴
   とする請求項１〜３の何れかに記載のテストヘッドの支
   持台。
5. 【請求項５】前記テストヘッドの上面にはテストボード
   を装着可能な装着部が設けられる一方、前記テストヘッ
   ドの底面にはピンカードを出入自在とする開口部が設け
   られており、 前記所定の回動位置には、前記装着部が上方を向く第１
   回動位置と、前記開口部が前方或いは後方を向く第２回
   動位置とが含まれることを特徴とする請求項４記載のテ
   ストヘッドの支持台。
6. 【請求項６】前記第１回動位置から前記第２回動位置へ
   の回動方向に付勢力を付与する付勢手段を備えることを
   特徴とする請求項５記載のテストヘッドの支持台。
7. 【請求項７】水平方向に前記架台を移動自在とするキャ
   スターを備えることを特徴とする請求項１〜６の何れか
   に記載のテストヘッドの支持台。