JP2017130681A - ウエハ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ検査装置10は、ローダ13と整備空間との間に配置された複数のセル11であって、半導体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられるテストヘッド15と、該テストヘッド15を整備空間側に引き出すスライドレールと、を備えた複数のセル11と、ウエハを搬送先のセル11内に搬送するローダ13と、を備え、テストヘッド15を引き出す整備空間側とウエハを搬送するローダ13側とが複数のセル11が配置されたセルタワー12の反対側である。
【選択図】図1
Description
15 テストヘッド
17 フランジ
27 整備用台車
29 台車基部
30 リフト機構
31 テストヘッドケース
35 水平位置調整ステージ
37 スライドレール
38 ストッパ機構
41 ガイドレール
43 ガイド部
43b ローラ
Claims (2)
- ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって、半導体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと、前記被整備テストヘッドを前記整備空間側に引き出すガイドレールと、を備えた複数の検査室と、
ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと、を備え、
前記被整備テストヘッドを引き出す整備空間側と前記ウエハを搬送するローダ側とが前記複数の検査室が配置されたセルタワーの反対側であることを特徴とするウエハ検査装置。 - ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって、半導体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと、前記被整備テストヘッドを前記整備空間側に引き出すガイドレールと、を備えた複数の検査室と、
ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと、を備え、
前記被整備テストヘッドを引き出す整備空間と前記ウエハを搬送するローダが前記複数の検査室を挟んで対向することを特徴とするウエハ検査装置。
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WO2023244066A1 (ko) * | 2022-06-17 | 2023-12-21 | (주)쎄믹스 | 다중 웨이퍼 검사 시스템 |
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-
2017
- 2017-03-14 JP JP2017048907A patent/JP6283760B2/ja active Active
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