JP6572371B2 - ウエハ検査装置 - Google Patents
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Description
15 テストヘッド
17 フランジ
27 整備用台車
29 台車基部
30 リフト機構
31 テストヘッドケース
35 水平位置調整ステージ
37 スライドレール
38 ストッパ機構
41 ガイドレール
43 ガイド部
43b ローラ
Claims (2)
- ローダ及び整備空間の間に配置された複数の検査室が並列に配置されたセルタワーと、
前記セルタワーの前記整備空間側の下方に配されたガイドレールと、を備え、
前記複数の検査室のうちの少なくとも1つの検査室から被整備テストヘッドを引き出す際に用いられる整備用台車は前記ガイドレールに沿って移動することを特徴とするウエハ検査装置。 - 前記整備用台車は前記ガイドレールと遊合するガイド部を有することを特徴とする請求項1に記載のウエハ検査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018208410A JP6572371B2 (ja) | 2018-11-05 | 2018-11-05 | ウエハ検査装置 |
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Family Applications (1)
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