JP6903725B2 - ウエハ検査システム - Google Patents
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Description
15 テストヘッド
17 フランジ
27 整備用台車
29 台車基部
30 リフト機構
31 テストヘッドケース
35 水平位置調整ステージ
37 スライドレール
38 ストッパ機構
41 ガイドレール
43 ガイド部
43b ローラ
Claims (5)
- ウエハを搬送する搬送機構が配された搬送エリアと、
被整備テストヘッドを整備する整備エリアと、
前記搬送エリアと前記整備エリアとの間に配置された、半導体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドを備えた複数の検査室と、
前記整備エリアに配された前記被整備テストヘッドを支持する整備用台車と、を備え、 前記被整備テストヘッドは各前記検査室から前記整備用台車の上に引き出されることを特徴とするウエハ検査システム。 - 各前記検査室は上下に重ねられて配されることを特徴とする請求項1に記載のウエハ検査システム。
- 各前記検査室内に、前記被整備テストヘッドを各前記検査室から前記整備用台車の上に引き出すための第一のスライドレールを有することを特徴とする請求項1に記載のウエハ検査システム。
- 前記整備用台車に、各前記検査室から前記整備用台車の上に引き出された前記被整備テストヘッドを支持する第二のスライドレールを有することを特徴とする請求項1に記載のウエハ検査システム。
- 各前記検査室から前記整備用台車の上に引き出された前記被整備テストヘッドを支持し且つ前記整備用台車が有する第二のスライドレールを、各前記検査室内に配置され且つ前記被整備テストヘッドを各前記検査室から前記整備用台車の上に引き出すための第一のスライドレールに正対する高さに固定するためのリフト機構を前記整備用台車に有することを特徴とする請求項1に記載のウエハ検査システム。
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