JP2003160299A - 重量物搭載用治具 - Google Patents
重量物搭載用治具Info
- Publication number
- JP2003160299A JP2003160299A JP2001360005A JP2001360005A JP2003160299A JP 2003160299 A JP2003160299 A JP 2003160299A JP 2001360005 A JP2001360005 A JP 2001360005A JP 2001360005 A JP2001360005 A JP 2001360005A JP 2003160299 A JP2003160299 A JP 2003160299A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame body
- heavy load
- heavy
- test
- load supporting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 重量物を装置上に搭載する際の作業者の負担
を軽減すると共に作業性を向上させる。 【解決手段】 所定の装置Ｈ上に固定される第１の枠体
１と、第２の枠体２と、これら第１の枠体１と第２の枠
体２との間に設けられ、第２の枠体２を水平方向に摺動
自在に支持するスライド機構３Ａ，３Ｂと、上記第２の
枠体２の互いに対向する部位に各々設けられ、第２の枠
体２が水平方向に移動することにより重量物Ｂの両外側
下方を挿入される重量物支持部材４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ
1，４Ｂ2と、該重量物支持部材４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，
４Ｂ2と上記第２の枠体２との間に設けられ、重量物支
持部材４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2を昇降させる昇降機
構Ｓとを具備する。
を軽減すると共に作業性を向上させる。 【解決手段】 所定の装置Ｈ上に固定される第１の枠体
１と、第２の枠体２と、これら第１の枠体１と第２の枠
体２との間に設けられ、第２の枠体２を水平方向に摺動
自在に支持するスライド機構３Ａ，３Ｂと、上記第２の
枠体２の互いに対向する部位に各々設けられ、第２の枠
体２が水平方向に移動することにより重量物Ｂの両外側
下方を挿入される重量物支持部材４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ
1，４Ｂ2と、該重量物支持部材４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，
４Ｂ2と上記第２の枠体２との間に設けられ、重量物支
持部材４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2を昇降させる昇降機
構Ｓとを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、比較的重量のある
テストボードをテストヘッド上に搭載するために用いる
重量物搭載用治具に関する。
テストボードをテストヘッド上に搭載するために用いる
重量物搭載用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
集積回路試験装置にける被測定デバイスの並列試験個数
は年々増加しており、これに伴って被測定デバイスが装
着されるテストボードの重量も増加傾向にある。テスト
ボードは、被測定デバイスの品種に応じて各々専用品が
用意されており、被測定デバイスの品種が変更になる度
にテストヘッド上から取り外されて、新たに試験対象と
なる被測定デバイスに応じたテストボードが搭載され
る。
集積回路試験装置にける被測定デバイスの並列試験個数
は年々増加しており、これに伴って被測定デバイスが装
着されるテストボードの重量も増加傾向にある。テスト
ボードは、被測定デバイスの品種に応じて各々専用品が
用意されており、被測定デバイスの品種が変更になる度
にテストヘッド上から取り外されて、新たに試験対象と
なる被測定デバイスに応じたテストボードが搭載され
る。
【０００３】ここで、このようなテストボードの中に
は、重量が５０ｋｇを超えるものも出現している。この
ような比較的重量のあるテストボードを交換する際に
は、テストヘッドに隣接する場所に台車を用意し、テス
トヘッド上に搭載されているテストボードを台車上に移
載して他所に搬送する。そして、新たに使用するテスト
ボードが搭載された台車をテストヘッド近傍まで搬送
し、人手によってテストボードを台車上からテストヘッ
ド上に移載している。。
は、重量が５０ｋｇを超えるものも出現している。この
ような比較的重量のあるテストボードを交換する際に
は、テストヘッドに隣接する場所に台車を用意し、テス
トヘッド上に搭載されているテストボードを台車上に移
載して他所に搬送する。そして、新たに使用するテスト
ボードが搭載された台車をテストヘッド近傍まで搬送
し、人手によってテストボードを台車上からテストヘッ
ド上に移載している。。
【０００４】このような交換作業は、１人ではできない
作業であり、最低でも２人の作業者が必要となる。ま
た、上述したようにテストボードは重量物であるため、
作業者に与える負担が大きいと共に作業性が悪いという
問題点がある。
作業であり、最低でも２人の作業者が必要となる。ま
た、上述したようにテストボードは重量物であるため、
作業者に与える負担が大きいと共に作業性が悪いという
問題点がある。
【０００５】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされ
たもので、重量物を装置上に搭載する際の作業者の負担
を軽減すると共に作業性を向上させることを目的とす
る。
たもので、重量物を装置上に搭載する際の作業者の負担
を軽減すると共に作業性を向上させることを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、第１の手段として、所定の装置上に固
定される第１の枠体と、第２の枠体と、第１の枠体と第
２の枠体との間に設けられ、第２の枠体を水平方向に摺
動自在に支持するスライド機構と、第２の枠体の互いに
対向する部位に各々設けられ、第２の枠体が水平方向に
移動することにより重量物の両外側下方を挿入される重
量物支持部材と、該重量物支持部材と第２の枠体との間
に設けられ、重量物支持部材を昇降させる昇降機構とを
具備する手段を採用する。
に、本発明では、第１の手段として、所定の装置上に固
定される第１の枠体と、第２の枠体と、第１の枠体と第
２の枠体との間に設けられ、第２の枠体を水平方向に摺
動自在に支持するスライド機構と、第２の枠体の互いに
対向する部位に各々設けられ、第２の枠体が水平方向に
移動することにより重量物の両外側下方を挿入される重
量物支持部材と、該重量物支持部材と第２の枠体との間
に設けられ、重量物支持部材を昇降させる昇降機構とを
具備する手段を採用する。
【０００７】また、第２の手段として、上記第１の手段
において、重量物支持部材は、第２の枠体の互いに対向
する部位に離間して各々２カ所設けられるという手段を
採用する。
において、重量物支持部材は、第２の枠体の互いに対向
する部位に離間して各々２カ所設けられるという手段を
採用する。
【０００８】第３の手段として、上記第第１または２の
手段において、昇降機構は、回転操作される操作ハンド
ルと、該操作ハンドルの回転を上下方向の直線運動に変
換して重量物支持部材を上下動させる運動変換機構とか
ら構成されるという手段を採用する。
手段において、昇降機構は、回転操作される操作ハンド
ルと、該操作ハンドルの回転を上下方向の直線運動に変
換して重量物支持部材を上下動させる運動変換機構とか
ら構成されるという手段を採用する。
【０００９】第４の手段として、上記第３の手段におい
て、１つの操作ハンドルの回転を各重量物支持部材にそ
れぞれ伝達する伝達機構をさらに備えるという手段を採
用する。
て、１つの操作ハンドルの回転を各重量物支持部材にそ
れぞれ伝達する伝達機構をさらに備えるという手段を採
用する。
【００１０】第５の手段として、上記第１〜第４いずれ
かの手段において、装置が半導体集積回路試験装置にお
けるテストヘッドであり、重量物は、被測定デバイスが
装着されるテストボードであるという手段を採用する。
かの手段において、装置が半導体集積回路試験装置にお
けるテストヘッドであり、重量物は、被測定デバイスが
装着されるテストボードであるという手段を採用する。
【００１１】第６の手段として、上記第５の手段におい
て、重量物支持部材は、テストボードの両側部に各々設
けられた取っ手の下方にそれぞれ挿入され、昇降機構の
作動によって上下動することにより前記取っ手を下から
支持するという手段を採用する。
て、重量物支持部材は、テストボードの両側部に各々設
けられた取っ手の下方にそれぞれ挿入され、昇降機構の
作動によって上下動することにより前記取っ手を下から
支持するという手段を採用する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わる重量物搭載用治具の一実施形態について説明す
る。
係わる重量物搭載用治具の一実施形態について説明す
る。
【００１３】図１は、本実施形態の概要構成を示す斜視
図である。この図１にいて、符号Ｈはテストヘッド（装
置）、Ｂはテストボード（重量物）、Ｊはテストボード
搭載治具、またＤは台車である。なお、この図１は、台
車Ｄ上に載置されたテストボードＢを搭載治具Ｊを用い
てテストヘッドＨ上に搭載する前の状態を示しており、
説明の便宜上、台車Ｄの停止位置を本来の停止位置Ｅか
らずらした状態に描いている。
図である。この図１にいて、符号Ｈはテストヘッド（装
置）、Ｂはテストボード（重量物）、Ｊはテストボード
搭載治具、またＤは台車である。なお、この図１は、台
車Ｄ上に載置されたテストボードＢを搭載治具Ｊを用い
てテストヘッドＨ上に搭載する前の状態を示しており、
説明の便宜上、台車Ｄの停止位置を本来の停止位置Ｅか
らずらした状態に描いている。
【００１４】搭載治具Ｊは、外枠１（第１の枠体）、内
枠２（第２の枠体）、スライド機構３Ａ，３Ｂ、フック
４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2（重量物支持部材）及び昇
降機構Ｓ（図示略）から構成されている。外枠１は、図
示するように「コ」字形状に形成されており、ボルトに
よってテストヘッドＨ上に固定される。このような外枠
１の互いに対向する内面にはスライド機構３Ａ，３Ｂが
設けられており、当該スライド機構３Ａ，３Ｂによって
同じく「コ」字形状の内枠２が水平移動するように支持
されている。
枠２（第２の枠体）、スライド機構３Ａ，３Ｂ、フック
４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2（重量物支持部材）及び昇
降機構Ｓ（図示略）から構成されている。外枠１は、図
示するように「コ」字形状に形成されており、ボルトに
よってテストヘッドＨ上に固定される。このような外枠
１の互いに対向する内面にはスライド機構３Ａ，３Ｂが
設けられており、当該スライド機構３Ａ，３Ｂによって
同じく「コ」字形状の内枠２が水平移動するように支持
されている。
【００１５】すなわち、上記外枠１と内枠２とは、間に
スライド機構３Ａ，３Ｂを介在させることにより水平方
向への摺動が自在な二重枠構造を有しており、内枠２は
テストヘッドＨに固定された外枠１に対して引き出し／
収納自在になっている。なお、この図１では、内枠２を
外枠１に対して引き出した状態を示している。スライド
機構３Ａ，３Ｂは、２本のレールを摺動自在にかみ合わ
せたものであり、一方のレールが外枠１に固定され、他
方のレールが内枠２に固定されている。
スライド機構３Ａ，３Ｂを介在させることにより水平方
向への摺動が自在な二重枠構造を有しており、内枠２は
テストヘッドＨに固定された外枠１に対して引き出し／
収納自在になっている。なお、この図１では、内枠２を
外枠１に対して引き出した状態を示している。スライド
機構３Ａ，３Ｂは、２本のレールを摺動自在にかみ合わ
せたものであり、一方のレールが外枠１に固定され、他
方のレールが内枠２に固定されている。
【００１６】また、上記「コ」字形状の内枠２において
互いに対向する部位２ａ，２ｂには、図示するように離
間した４カ所にフック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2が設
けられている。これら各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，
４Ｂ2は、互いに同一高さとなるように内枠２に設けら
れており、本来の停止位置Ｅに停車した台車Ｄ上のテス
トボードＢに対し、内枠２が水平方向にスライドするこ
とにより両側に設けられた取っ手ｂ1〜ｂ4（取っ手ｂ
1，ｂ2に対してテストボードＢの反対側に位置する取っ
手ｂ3,ｂ4については図示略）の下方にそれぞれ挿入さ
れる。図示しない昇降機構Ｓは、このように内枠２に設
けられたフック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2と内枠２と
の間に設けられる機構であり、各フック４Ａ1，４Ａ2，
４Ｂ1，４Ｂ2を全く同様に昇降させる。
互いに対向する部位２ａ，２ｂには、図示するように離
間した４カ所にフック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2が設
けられている。これら各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，
４Ｂ2は、互いに同一高さとなるように内枠２に設けら
れており、本来の停止位置Ｅに停車した台車Ｄ上のテス
トボードＢに対し、内枠２が水平方向にスライドするこ
とにより両側に設けられた取っ手ｂ1〜ｂ4（取っ手ｂ
1，ｂ2に対してテストボードＢの反対側に位置する取っ
手ｂ3,ｂ4については図示略）の下方にそれぞれ挿入さ
れる。図示しない昇降機構Ｓは、このように内枠２に設
けられたフック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2と内枠２と
の間に設けられる機構であり、各フック４Ａ1，４Ａ2，
４Ｂ1，４Ｂ2を全く同様に昇降させる。
【００１７】続いて、昇降機構Ｓの詳細構成について図
２を参照して説明する。この図２は、搭載治具Ｊがテス
トヘッドＨ上に固定された状態を示す側面図であり、昇
降機構Ｓは、操作ハンドル５、第１シャフト６、ウオー
ムギヤ７Ａ，７Ｂ、中継ギヤ８Ａ，８Ｂ、駆動ギヤ９Ａ
2，９Ｂ2（ピニオン）、ラック１０Ａ2，１０Ｂ2及び第
２シャフト１１Ａ，１１Ｂ等から構成されている。
２を参照して説明する。この図２は、搭載治具Ｊがテス
トヘッドＨ上に固定された状態を示す側面図であり、昇
降機構Ｓは、操作ハンドル５、第１シャフト６、ウオー
ムギヤ７Ａ，７Ｂ、中継ギヤ８Ａ，８Ｂ、駆動ギヤ９Ａ
2，９Ｂ2（ピニオン）、ラック１０Ａ2，１０Ｂ2及び第
２シャフト１１Ａ，１１Ｂ等から構成されている。
【００１８】これら構成要素のうち、駆動ギヤ９Ａ2と
ラック１０Ａ2とはフック４Ａ2に対して、駆動ギヤ９Ｂ
2とラック１０Ｂ2とはフック４Ｂ2に対してそれぞれ設
けられ、また同様にして、図示しない駆動ギヤ９Ａ1と
ラック１０Ａ1とは上記フック４Ａ1に対して、同じく図
示しない駆動ギヤ９Ｂ1とラック１０Ｂ1とは上記フック
４Ｂ1に対してそれぞれ設けられている。これら各駆動
ギヤ９Ａ1，９Ａ2，９Ｂ1，９Ｂ2及び各ラック１０Ａ
1，１０Ａ2，１０Ｂ1，１０Ｂ2は、本実施形態における
運動変換機構Ｃを構成しており、また第１シャフト６、
ウオームギヤ７Ａ，７Ｂ、中継ギヤ８Ａ，８Ｂ及び第２
シャフト１１Ａ，１１Ｂは、上記運動変換機構Ｃに対す
る伝達機構Ｔを構成している。
ラック１０Ａ2とはフック４Ａ2に対して、駆動ギヤ９Ｂ
2とラック１０Ｂ2とはフック４Ｂ2に対してそれぞれ設
けられ、また同様にして、図示しない駆動ギヤ９Ａ1と
ラック１０Ａ1とは上記フック４Ａ1に対して、同じく図
示しない駆動ギヤ９Ｂ1とラック１０Ｂ1とは上記フック
４Ｂ1に対してそれぞれ設けられている。これら各駆動
ギヤ９Ａ1，９Ａ2，９Ｂ1，９Ｂ2及び各ラック１０Ａ
1，１０Ａ2，１０Ｂ1，１０Ｂ2は、本実施形態における
運動変換機構Ｃを構成しており、また第１シャフト６、
ウオームギヤ７Ａ，７Ｂ、中継ギヤ８Ａ，８Ｂ及び第２
シャフト１１Ａ，１１Ｂは、上記運動変換機構Ｃに対す
る伝達機構Ｔを構成している。
【００１９】操作ハンドル５は、第１シャフト６を回転
操作するために設けられている。第１シャフト６は、上
記内枠２の対向する部位２ａ，２ｂ間にさし渡すように
設けられると共に、その両端部には、中継ギヤ８Ａに噛
み合うウオームギヤ７Ａと中継ギヤ８Ｂに噛み合う７Ｂ
がそれぞれ固定配置されている。すなわち、ウオームギ
ヤ７Ａ，７Ｂは、第１シャフト６を軸として回転するこ
とにより、各中継ギヤ８Ａ，８Ｂを同様に回転させる。
操作するために設けられている。第１シャフト６は、上
記内枠２の対向する部位２ａ，２ｂ間にさし渡すように
設けられると共に、その両端部には、中継ギヤ８Ａに噛
み合うウオームギヤ７Ａと中継ギヤ８Ｂに噛み合う７Ｂ
がそれぞれ固定配置されている。すなわち、ウオームギ
ヤ７Ａ，７Ｂは、第１シャフト６を軸として回転するこ
とにより、各中継ギヤ８Ａ，８Ｂを同様に回転させる。
【００２０】中継ギヤ８Ａには第２シャフト１１Ａに挿
通された駆動ギヤ９Ａ2が、また中継ギヤ８Ｂには第２
シャフト１１Ｂに挿通された駆動ギヤ９Ｂ2が各々噛み
合うように配置されている。すなわち、操作ハンドル５
の回転操作によって第２シャフト１１Ａ、１１Ｂ及び各
駆動ギヤ９Ａ1，９Ａ2，９Ｂ1，９Ｂ2が同様に回転す
る。
通された駆動ギヤ９Ａ2が、また中継ギヤ８Ｂには第２
シャフト１１Ｂに挿通された駆動ギヤ９Ｂ2が各々噛み
合うように配置されている。すなわち、操作ハンドル５
の回転操作によって第２シャフト１１Ａ、１１Ｂ及び各
駆動ギヤ９Ａ1，９Ａ2，９Ｂ1，９Ｂ2が同様に回転す
る。
【００２１】また、駆動ギヤ９Ａ2にはフック４Ａ2に固
定されたラック１０Ａ2が、駆動ギヤ９Ｂ2にはフック４
Ｂ2に固定されたラック１０Ｂ2が、また図示しない駆動
ギヤ９Ａ1にはフック４Ａ1に固定されたラック１０Ａ1
が、駆動ギヤ９Ｂ1にはフック４Ｂ1に固定されたラック
１０Ｂ1がそれぞれ噛み合うように配置されており、し
たがって各ラック１０Ａ1，１０Ａ2，１０Ｂ1，１０Ｂ2
（すなわち各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2）は、
操作ハンドル５の回転操作によって全て同様に上下動す
る。
定されたラック１０Ａ2が、駆動ギヤ９Ｂ2にはフック４
Ｂ2に固定されたラック１０Ｂ2が、また図示しない駆動
ギヤ９Ａ1にはフック４Ａ1に固定されたラック１０Ａ1
が、駆動ギヤ９Ｂ1にはフック４Ｂ1に固定されたラック
１０Ｂ1がそれぞれ噛み合うように配置されており、し
たがって各ラック１０Ａ1，１０Ａ2，１０Ｂ1，１０Ｂ2
（すなわち各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2）は、
操作ハンドル５の回転操作によって全て同様に上下動す
る。
【００２２】次に、このように構成されたテストボード
搭載治具Ｊを用いたテストヘッドＨへのテストボードＢ
の搭載方法について説明する。
搭載治具Ｊを用いたテストヘッドＨへのテストボードＢ
の搭載方法について説明する。
【００２３】まず最初に、外枠１を図１に示すようにテ
ストヘッドＨ上にボルト固定し、テストヘッドＨが載置
された台車Ｄを停止位置Ｅに停車させる。なお、この状
態では、内枠２は外枠１に対して収納された状態になっ
ており、また各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2の位
置は、操作ハンドル５の回転操作によって上下動範囲の
下端に設定されている。この状態において内枠２が引き
出されて各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2がテスト
ボードＢの各取っ手ｂ1〜ｂ4の下方にそれぞれ挿入され
る。
ストヘッドＨ上にボルト固定し、テストヘッドＨが載置
された台車Ｄを停止位置Ｅに停車させる。なお、この状
態では、内枠２は外枠１に対して収納された状態になっ
ており、また各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2の位
置は、操作ハンドル５の回転操作によって上下動範囲の
下端に設定されている。この状態において内枠２が引き
出されて各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2がテスト
ボードＢの各取っ手ｂ1〜ｂ4の下方にそれぞれ挿入され
る。
【００２４】この状態において、操作ハンドル５を回転
操作することにより各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４
Ｂ2を同様に上昇させてテストボードＢを台車Ｄ上から
多少持ち上げ、さらにテストボードＢを押し込むことに
より内枠２を外枠１に収納させてテストボードＢをテス
トヘッドＨ上に移動させる。そして、操作ハンドル５を
再度回転操作することにより各フック４Ａ1，４Ａ2，４
Ｂ1，４Ｂ2を下降させてテストボードＢをテストヘッド
Ｈ上に載置して固定する。以上の作業によってテストボ
ードＢのテストヘッドＨへの搭載は完了したので、外枠
１のテストヘッドＨへの固定を解除してテストボード搭
載治具Ｊを撤去する。
操作することにより各フック４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４
Ｂ2を同様に上昇させてテストボードＢを台車Ｄ上から
多少持ち上げ、さらにテストボードＢを押し込むことに
より内枠２を外枠１に収納させてテストボードＢをテス
トヘッドＨ上に移動させる。そして、操作ハンドル５を
再度回転操作することにより各フック４Ａ1，４Ａ2，４
Ｂ1，４Ｂ2を下降させてテストボードＢをテストヘッド
Ｈ上に載置して固定する。以上の作業によってテストボ
ードＢのテストヘッドＨへの搭載は完了したので、外枠
１のテストヘッドＨへの固定を解除してテストボード搭
載治具Ｊを撤去する。
【００２５】本実施形態によれば、作業者はテストボー
ドＢを労することなく容易にテストヘッドＨ上に搭載す
ることができるので、作業者の負担を軽減すると共に、
作業性を向上させることができる。
ドＢを労することなく容易にテストヘッドＨ上に搭載す
ることができるので、作業者の負担を軽減すると共に、
作業性を向上させることができる。
【００２６】なお、上記実施形態では動力を何ら持ちい
ない構成を採用しているが、必要に応じて動力を用いて
内枠２の引き出し／収納及び各フック４Ａ1，４Ａ2，４
Ｂ1，４Ｂ2の上下動を行うように変更しても良い。
ない構成を採用しているが、必要に応じて動力を用いて
内枠２の引き出し／収納及び各フック４Ａ1，４Ａ2，４
Ｂ1，４Ｂ2の上下動を行うように変更しても良い。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
所定の装置上に固定される第１の枠体と、第２の枠体
と、第１の枠体と第２の枠体との間に設けられ、第２の
枠体を水平方向に摺動自在に支持するスライド機構と、
第２の枠体の互いに対向する部位に各々設けられ、第２
の枠体が水平方向に移動することにより重量物の両外側
下方を挿入される重量物支持部材と、該重量物支持部材
と第２の枠体との間に設けられ、重量物支持部材を昇降
させる昇降機構とを具備するので、重量物を装置上に搭
載する際の作業者の負担を軽減することが可能であると
共に、作業性を向上させることが可能である。
所定の装置上に固定される第１の枠体と、第２の枠体
と、第１の枠体と第２の枠体との間に設けられ、第２の
枠体を水平方向に摺動自在に支持するスライド機構と、
第２の枠体の互いに対向する部位に各々設けられ、第２
の枠体が水平方向に移動することにより重量物の両外側
下方を挿入される重量物支持部材と、該重量物支持部材
と第２の枠体との間に設けられ、重量物支持部材を昇降
させる昇降機構とを具備するので、重量物を装置上に搭
載する際の作業者の負担を軽減することが可能であると
共に、作業性を向上させることが可能である。
【図１】 本発明の一実施形態の概要構成を示す斜視
図である。
図である。
【図２】 本発明の一実施形態の詳細構成を示す側面
図である。
図である。
Ｈ……テストヘッド（装置）
Ｂ……テストボード（重量物）
ｂ1〜ｂ4……取っ手
Ｊ……テストボード搭載治具
１……外枠（第１の枠体）
２……内枠（第２の枠体）
３Ａ，３Ｂ……スライド機構
４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2……フック（重量物支持部
材） Ｓ……昇降機構 ５……操作ハンドル
材） Ｓ……昇降機構 ５……操作ハンドル
Claims (6)
- 【請求項１】 所定の装置（Ｈ）上に固定される第１
の枠体（１）と、 第２の枠体（２）と、 前記第１の枠体（１）と第２の枠体（２）との間に設け
られ、第２の枠体（２）を水平方向に摺動自在に支持す
るスライド機構（３Ａ，３Ｂ）と、 前記第２の枠体（２）の互いに対向する部位に各々設け
られ、第２の枠体（２）が水平方向に移動することによ
り重量物（Ｂ）の両外側下方を挿入される重量物支持部
材（４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2）と、 該重量物支持部材（４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2）と前
記第２の枠体（２）との間に設けられ、重量物支持部材
（４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2）を昇降させる昇降機構
（Ｓ）と、 を具備することを特徴とする重量物搭載用治具。 - 【請求項２】 重量物支持部材（４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ
1，４Ｂ2）は、第２の枠体（２）の互いに対向する部位
に離間して各々２カ所設けられることを特徴とする請求
項１記載の重量物搭載用治具。 - 【請求項３】 昇降機構（Ｓ）は、回転操作される操
作ハンドル（５）と、該操作ハンドル（５）の回転を上
下方向の直線運動に変換して重量物支持部材（４Ａ1，
４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2）を上下動させる運動変換機構
（Ｃ）とから構成されることを特徴とする請求項１また
は２記載の重量物搭載用治具。 - 【請求項４】 １つの操作ハンドル（５）の回転力を
各重量物支持部材（４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ1，４Ｂ2）にそ
れぞれ伝達する伝達機構（Ｔ）をさらに備えることを特
徴とする請求項３記載の重量物搭載用治具。 - 【請求項５】 装置（Ｈ）が半導体集積回路試験装置
におけるテストヘッドであり、重量物（Ｂ）は、被測定
デバイスが装着されるテストボードであることを特徴と
する請求項１〜４いずれかに記載の重量物搭載用治具。 - 【請求項６】 重量物支持部材（４Ａ1，４Ａ2，４Ｂ
1，４Ｂ2）は、テストボードの両側部に各々設けられた
取っ手（ｂ1〜ｂ4）の下方にそれぞれ挿入され、昇降機
構（Ｓ）の作動によって上下動することにより前記取っ
手（ｂ1〜ｂ4）を下から支持することを特徴とする請求
項５記載の重量物搭載用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001360005A JP2003160299A (ja) | 2001-11-26 | 2001-11-26 | 重量物搭載用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001360005A JP2003160299A (ja) | 2001-11-26 | 2001-11-26 | 重量物搭載用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003160299A true JP2003160299A (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=19170901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001360005A Withdrawn JP2003160299A (ja) | 2001-11-26 | 2001-11-26 | 重量物搭載用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003160299A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008003073A (ja) * | 2006-05-25 | 2008-01-10 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ及びテストボードの着脱方法 |
| KR101174861B1 (ko) * | 2012-02-15 | 2012-08-20 | (주)버금시스템 | 디스플레이 글래스 테스트기판의 교체장치 |
| JP2017112387A (ja) * | 2017-01-30 | 2017-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査システム |
| JP2017130681A (ja) * | 2017-03-14 | 2017-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| JP2019016822A (ja) * | 2018-11-05 | 2019-01-31 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| JP2019036750A (ja) * | 2018-11-05 | 2019-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| JP2020021967A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査システム |
| US10753972B2 (en) | 2013-10-29 | 2020-08-25 | Tokyo Electron Limited | Wafer inspection system, wafer inspection apparatus and prober |
-
2001
- 2001-11-26 JP JP2001360005A patent/JP2003160299A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008003073A (ja) * | 2006-05-25 | 2008-01-10 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ及びテストボードの着脱方法 |
| KR101174861B1 (ko) * | 2012-02-15 | 2012-08-20 | (주)버금시스템 | 디스플레이 글래스 테스트기판의 교체장치 |
| US10753972B2 (en) | 2013-10-29 | 2020-08-25 | Tokyo Electron Limited | Wafer inspection system, wafer inspection apparatus and prober |
| US10976364B2 (en) | 2013-10-29 | 2021-04-13 | Tokyo Electron Limited | Test head and wafer inspection apparatus |
| US11061071B2 (en) | 2013-10-29 | 2021-07-13 | Tokyo Electron Limited | Wafer inspection system, wafer inspection apparatus and prober |
| US11567123B2 (en) | 2013-10-29 | 2023-01-31 | Tokyo Electron Limited | Wafer inspection system |
| US11762012B2 (en) | 2013-10-29 | 2023-09-19 | Tokyo Electron Limited | Wafer inspection system |
| JP2017112387A (ja) * | 2017-01-30 | 2017-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査システム |
| JP2017130681A (ja) * | 2017-03-14 | 2017-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| JP2019016822A (ja) * | 2018-11-05 | 2019-01-31 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| JP2019036750A (ja) * | 2018-11-05 | 2019-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
| JP2020021967A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6933475B2 (ja) | メンテナンス機構 | |
| US8573921B2 (en) | Method and a device for lifting and rotating a massive container | |
| CN107984216A (zh) | 多品种低压开关设备混线生产的自动化生产线及作业方法 | |
| JP2003160299A (ja) | 重量物搭載用治具 | |
| CN104528591B (zh) | 一种变压器拆装转运装置 | |
| JP2007153178A (ja) | 搬送台車 | |
| CN107720287A (zh) | 一种耐高温叠层升降运输装置 | |
| CN110155856B (zh) | 安葬工作系统及运载平台对位方法 | |
| CN214653004U (zh) | 一种楼板搬运夹持爪 | |
| CN210012541U (zh) | 顶升装置 | |
| JPS6246521Y2 (ja) | ||
| JPS61226243A (ja) | 物品移送装置 | |
| CN218899964U (zh) | 一种可以平移病人的平车 | |
| CN220131838U (zh) | 一种双向调节堆垛机 | |
| CN214271513U (zh) | 一种轨枕运输装置 | |
| CN220639956U (zh) | 一种平板转运车 | |
| JP2549491B2 (ja) | ユニット式建物の構築方法および建物ユニットの支持具 | |
| CN211249025U (zh) | 用于电抗器的拾取机构和装配装置 | |
| JP2859132B2 (ja) | トランスファプレスのトランスファ装置 | |
| CN105576539B (zh) | 中置柜智能检修小车承载台 | |
| JP2754952B2 (ja) | 搬送装置 | |
| KR20030079021A (ko) | 부품 장착용 승강장치 | |
| JP2003238070A (ja) | 吊下搬送装置 | |
| JP2021049335A (ja) | 遺体収容システム、および、吊り上げ装置 | |
| JPH07242394A (ja) | 大型部品着脱用作業台 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050201 |