JP2017112387A - 基板検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
15 テストヘッド
17 フランジ
27 整備用台車
29 台車基部
30 リフト機構
31 テストヘッドケース
35 水平位置調整ステージ
37 スライドレール
38 ストッパ機構
41 ガイドレール
43 ガイド部
43b ローラ
Claims (6)
- 基板を搬送する搬送機構が配される搬送エリアと、
前記基板を検査する際に用いられるテストヘッドが配される検査エリアと、
前記テストヘッドが整備される整備エリアとを備え、
前記検査エリアは前記搬送エリア及び前記整備エリアに挟まれ、
前記検査エリアには前記テストヘッドを収容する複数の検査室が互いに隣接して配され、
前記テストヘッドは前記検査室から前記整備エリアへ引き出し可能に構成されることを特徴とする基板検査システム。 - 前記整備エリアには、移動可能であって前記引き出されたテストヘッドを支持する整備用台車が配されることを特徴とする請求項1記載の基板検査システム。
- 前記整備用台車は、前記テストヘッドを収容可能であり、且つ昇降可能なケースを有し、
前記整備用台車の移動及び前記ケースの昇降によって前記ケースを前記複数の検査室のいずれかに対向させることを特徴とする請求項2記載の基板検査システム。 - 前記整備用台車及び前記ケースは位置を固定可能に構成されることを特徴とする請求項2又は3記載の基板検査システム。
- 前記整備用台車の移動方向を規制するガイドレールが配されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の基板検査システム。
- 各前記検査室は前記整備エリアに向けて開設される開口部を有し、
前記テストヘッドは前記開口部を介して前記整備エリアへ引き出されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の基板検査システム。
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JP2003160299A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-06-03 | Ando Electric Co Ltd | 重量物搭載用治具 |
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2017
- 2017-01-30 JP JP2017013791A patent/JP6383022B2/ja active Active
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US11347214B2 (en) | 2018-11-28 | 2022-05-31 | Tokyo Electron Limited | Inspection device, maintenance method, and program |
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