KR102184429B1 - 검사 장치, 메인터넌스 방법, 및 프로그램 - Google Patents

검사 장치, 메인터넌스 방법, 및 프로그램 Download PDF

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Abstract

[과제] 복수의 검사실을 갖는 검사 장치에 있어서의 메인터넌스성의 향상에 유리한 기술을 제공한다.
[해결 수단] 복수의 검사실을 갖고, 검사실의 각각에 있어서 대상물을 검사하는 검사 처리를 행하는 검사 장치로서, 검사 장치를 조작하기 위한 화면을 표시하는 표시 수단과, 검사실에 관련되는 기구를 메인터넌스하기 위한 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 제어 수단과, 표시 수단에 메인터넌스 처리를 행하기 위한 조작을 접수하는 메인터넌스 화면을 표시시키는 표시 제어 수단과, 검사 장치와 외부 장치를 접속시키는 접속 수단과, 동일한 기구에 대한 검사 처리 또는 메인터넌스 처리에 있어서의 경합을 금지하는 배타 제어를 행하는 배타 제어 수단을 갖고, 표시 제어 수단은, 접속 수단에 접속된 상기 외부 장치에 상기 메인터넌스 화면을 표시시키고, 메인터넌스 제어 수단은, 외부 장치에 표시된 메인터넌스 화면에 대해서 이루어진 조작에 따라 메인터넌스 처리를 행하고, 배타 제어 수단은, 하나의 기구에 대해서 메인터넌스 처리를 행할 때에, 외부 장치에 표시된 메인터넌스 화면 또는 표시 수단에 표시된 화면 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 한다.

Description

검사 장치, 메인터넌스 방법, 및 프로그램{INSPECTION DEVICE, MAINTENANCE METHOD, AND PROGRAM}
본 개시는, 검사 장치, 메인터넌스 방법, 및 프로그램에 관한 것이다.
반도체 제조 프로세스에 있어서, 제조된 반도체 디바이스(웨이퍼)에 전기적 특성 테스트 등의 검사를 행하는 검사 장치가 이용되고 있다. 이와 같은 검사 장치로서, 복수의 검사실을 갖고, 복수의 웨이퍼를 동시에 검사 가능한 검사 장치가 있다.
특허문헌 1에는, 복수의 검사실을 갖는 검사 장치에 있어서, 검사 회로인 메인 보드를 탑재한 테스트 헤드의 교환 작업성을 향상시키기 위해서, 테스트 헤드가 배치되는 검사 에어리어를, 웨이퍼를 반송하는 반송 기구가 배치되는 반송 에어리어와 테스트 헤드가 정비되는 정비 에어리어 사이에 배치하고, 검사 에어리어에, 테스트 헤드를 수용하는 복수의 검사실을 서로 인접해서 배치하고, 테스트 헤드를 검사실로부터 정비 에어리어로 인출 가능하게 하는 구성이 개시되어 있다.
일본 특허공개 2017-112387호 공보
본 개시는, 복수의 검사실을 갖는 검사 장치에 있어서의 메인터넌스성의 향상에 유리한 기술을 제공한다.
본 개시의 일 태양에 따른 검사 장치는, 복수의 검사실을 갖고, 검사실의 각각에 있어서 대상물을 검사하는 검사 처리를 행하는 검사 장치로서, 검사 장치를 조작하기 위한 화면을 표시하는 표시 수단과, 검사실에 관련되는 기구를 메인터넌스하기 위한 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 제어 수단과, 표시 수단에 상기 메인터넌스 처리를 행하기 위한 조작을 접수하는 메인터넌스 화면을 표시시키는 표시 제어 수단과, 검사 장치와 외부 장치를 접속시키는 접속 수단과, 동일한 기구에 대한 검사 처리 또는 메인터넌스 처리에 있어서의 경합을 금지하는 배타 제어를 행하는 배타 제어 수단을 갖고, 표시 제어 수단은, 접속 수단에 접속된 외부 장치에 메인터넌스 화면을 표시시키고, 메인터넌스 제어 수단은, 외부 장치에 표시된 메인터넌스 화면에 대해서 이루어진 조작에 따라 메인터넌스 처리를 행하고, 배타 제어 수단은, 하나의 기구에 대해서 메인터넌스 처리를 행할 때에, 외부 장치에 표시된 메인터넌스 화면 또는 표시 수단에 표시된 화면 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 한다.
본 개시에 의하면, 복수의 검사실을 갖는 검사 장치에 있어서의 메인터넌스성의 향상에 유리한 기술을 제공할 수 있다.
도 1은, 실시형태에 따른 검사 장치의 외관 구성의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 실시형태에 따른 검사 장치의 내부 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은, 실시형태에 따른 검사 영역의 구성의 일례를 나타내는, 도 2에 있어서의 III-III 단면도이다.
도 4는, 실시형태에 따른 검사 장치의 기능 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 5는, 실시형태에 따른 검사 장치에 있어서 검사 처리와 메인터넌스 처리를 실행할 때의 상태의 일례를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 6은, 실시형태에 따른 표시 제어부의 기능의 일례를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 7은, 실시형태에 따른 검사 장치에 있어서의 처리의 일례를 나타내는 플로 차트이다.
도 8은, 실시형태에 따른 로컬 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 9는, 실시형태에 따른 로컬 화면에 있어서 메인터넌스 모드가 설정된 경우의 상태의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은, 실시형태에 따른 외부 장치 인식 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은, 실시형태에 따른 접속 요구 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는, 실시형태에 따른 외부 장치에 표시되는 메인터넌스 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 13은, 실시형태에 따른 로컬 화면에 있어서 배타 제어가 기능하고 있는 상태인 제 1 예를 나타내는 도면이다.
도 14는, 실시형태에 따른 외부 장치의 메인터넌스 화면에 있어서 배타 제어가 기능하고 있는 상태인 제 2 예를 나타내는 도면이다.
도 15는, 실시형태에 따른 로컬 화면에 있어서 배타 제어가 기능하고 있는 상태인 제 3 예를 나타내는 도면이다.
이하, 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 한편, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이는 것에 의해 중복된 설명을 생략한다.
도 1은, 실시형태에 따른 검사 장치(1)의 외관 구성의 일례를 나타내는 사시도이다. 검사 장치(1)는, 셀 타워(12), 로더(13), 메인 모니터(14)(표시 수단), 및 커넥터(15)(접속 수단)를 갖는다. 도면 중, X축은 폭 방향, Y축은 깊이 방향, Z축은 높이 방향을 나타내고 있다.
셀 타워(12)는, 복수의 검사실(셀)(11)이 다단식으로 배치된 유닛이다. 본 실시형태에 따른 셀 타워(12)는, 12(3단×4열)의 검사실(11)을 갖고 있다.
로더(13)는, 셀 타워(12)에 인접해서 배치되고, 검사 대상이 되는 웨이퍼를 반송하는 기구를 내장하는 유닛이다.
메인 모니터(14)는, 검사 장치(1)에 구비되고, 검사 장치(1)를 조작하기 위한 유저 인터페이스이다. 메인 모니터(14)는, 검사 장치(1)에 내장된 컴퓨터와 접속하고 있고, 검사 장치(1)가 갖는 각종 기능을 실행하기 위한 각종 조작 화면을 표시한다. 메인 모니터(14)는, 화상을 표시하는 디스플레이 외에, 유저에 의한 입력 조작을 접수하는 조작부(키보드, 터치 패널 기구 등)를 갖고 있다. 본 실시형태에 따른 메인 모니터(14)가 표시시키는 조작 화면에는, 검사 처리 등의 전반적인 처리에 관한 조작을 접수하는 로컬 화면과, 메인터넌스 처리에 관한 조작을 접수하는 메인터넌스 화면이 포함된다.
커넥터(15)는, 검사 장치(1)와 외부 장치(17)를 접속하여, 통신을 확립하기 위한 인터페이스이다. 여기에서는, 커넥터(15)에 케이블을 통해서 1대의 외부 장치(17)(예를 들면 범용의 PC: Personal Computer)가 접속된 상태를 예시하고 있지만, 접속 방법이나 접속 대수는 이에 한정되는 것은 아니다.
도 2는, 실시형태에 따른 검사 장치(1)의 내부 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 검사 장치(1)의 내부에는, 검사 영역(21), 반출입 영역(22), 및 반송 영역(23)이 포함되어 있다.
검사 영역(21)은, 웨이퍼(20)에 대해서 전기적 특성 테스트 등의 검사를 행하기 위한 영역으로, 각 검사실(11) 내의 공간이 이에 포함된다. 반출입 영역(22)은, 웨이퍼(20), 프로브 카드 등의 반출입을 행하기 위한 영역으로, 로더(13) 내의 공간이 이에 포함된다. 반송 영역(23)은, 반출입 영역(22)과 검사 영역(21) 사이에 마련된 공간이다.
반출입 영역(22)은, 복수의 단위 반출입 영역(25)에 의해 구획되어 있다. 각 단위 반출입 영역(25)에는, 예를 들면, 후프(26)의 수용 기구가 마련되어 있다. 반송 영역(23)에는, 반출입 기구(31)가 마련되어 있다. 반출입 기구(31)는, 반출입 영역(22)의 후프(26)로부터 수취한 검사 전의 웨이퍼(20)를 반송 영역(23)을 따라 반송하고, 검사 영역(21)의 후술하는 반송 기구(32)에 수수한다. 또한, 반출입 기구(31)는, 검사 후의 웨이퍼(20)를 검사 영역(21)부터 수취하고, 반송 영역(22)까지 반송한다.
도 3은, 실시형태에 따른 검사 영역(21)의 구성의 일례를 나타내는, 도 2에 있어서의 III-III 단면도이다. 검사 영역(21)에는, 복수의 테스터(35)가 마련되어 있다. 여기에서 예시하는 구성에 있어서는, 인접하는 테스터(35) 사이는 구획되어 있지 않고, 연속하는 공간 내에 복수의 테스터(35)가 배열되어 있다.
반송 기구(32)는, 반출입 기구(31)에 의해서 검사 영역(21)과 반송 영역(23)의 경계부까지 반송된 검사 전의 웨이퍼(20)를 당해 반송 기구(32)의 웨이퍼 플레이트(34) 상에 수취하고, 당해 웨이퍼(20)를 테스터(35)에 장착된 프로브 카드에 접촉시키도록 반송한다. 또한, 반송 기구(32)는, 검사 후의 웨이퍼(20)를 검사 영역(21)과 반송 영역(23)의 경계부까지 반송하고, 당해 웨이퍼(20)를 반출입 기구(31)에 수수한다.
도 4는, 실시형태에 따른 검사 장치(1)의 기능 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 검사 장치(1)는, 검지부(101)(검지 수단), 주(主)제어부(102), 표시 제어부(103)(표시 제어 수단), 표시부(104)(표시 수단), 및 접속부(105)(접속 수단)를 갖는다.
검지부(101)는, 검사실(11)에 관련되는 기구에 발생한 이상을 검지한다. 검지부(101)는, 검지의 대상이 되는 각 기구 상태를 나타내는 정보(각 기구에 설치된 각종 센서에 의한 검출 신호 등)에 기초해서 이상을 검지한다. 검지 대상이 되는 기구란, 예를 들면, 테스터(35), 로더(13), 반출입 기구(31), 반송 기구(32) 등일 수 있다. 한편, 「이상」이란, 고장 상태에 한정되는 것은 아니라, 예를 들면, 정기적인 메인터넌스 시기의 도래, 부재마다 설정된 사용 가능 기한의 도래 등을 포함해도 된다. 검지부(101)는, 각종 센서, CPU, 제어 프로그램 등을 이용해서 구성될 수 있다.
주제어부(102)는, 검사 장치(1)를 제어하는 전자 제어 유닛으로, 검사 제어부(111), 메인터넌스 제어부(112)(메인터넌스 제어 수단), 및 배타 제어부(113)(배타 제어 수단)를 갖는다. 주제어부(102)는, CPU, 제어 프로그램 등을 이용해서 구성될 수 있다.
검사 제어부(111)는, 테스터(35)에 의해 웨이퍼(20)를 검사하는 검사 처리를 행한다.
메인터넌스 제어부(112)는, 검사실(11)에 관련되는 기구를 메인터넌스하기 위한 메인터넌스 처리를 행한다. 메인터넌스 처리는, 검지부(101)에 의해 이상이 검지된 기구 등에 대해서 행해져도 되고, 이상이 검지되어 있지 않은 기구여도 유저로부터의 요구 등에 따라 행해져도 된다. 메인터넌스 처리의 구체적 내용은 특별히 한정되어야 하는 것은 아니라, 검사 장치(1)가 구비하는 기구의 종류에 따라 적절히 결정되는 것이지만, 예를 들면, 테스터(35), 로더(13), 반출입 기구(31), 반송 기구(32) 등의 수리 작업, 교환 작업 등일 수 있다.
배타 제어부(113)는, 동일한 기구에 대한 검사 처리 또는 메인터넌스 처리에 있어서의 경합을 금지하는 배타 제어를 행한다. 본 실시형태에 따른 배타 제어부(113)는, 하나의 기구에 대해서 검사 처리와 메인터넌스 처리가 동시에 행해지지 않도록 하는 제 1 배타 제어를 행한다. 또한, 배타 제어부(113)는, 하나의 기구에 대해서 메인터넌스 처리를 행할 때에, 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202) 또는 메인 모니터(14)에 표시된 조작 화면(메인터넌스 화면(202) 또는 로컬 화면(201)) 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 하는 제 2 배타 제어를 행한다. 이들 배타 제어에 대해서는 후에 상술한다.
표시 제어부(103)는, 검사 장치(1)의 기능을 실행하기 위한 조작 화면을 표시하는 처리를 행한다. 표시 제어부(103)는, 로컬 화면 표시부(121) 및 메인터넌스 화면 표시부(122)를 갖는다. 표시 제어부(103)는, CPU, 제어 프로그램 등을 이용해서 구성될 수 있다.
로컬 화면 표시부(121)는, 검사 처리 등의 통상 처리를 실행하기 위한 조작 화면인 로컬 화면(201)을 표시부(104)(메인 모니터(14))에 표시시키기 위한 처리를 행한다. 주제어부(102)의 검사 제어부(111)는, 표시부(104)에 표시된 로컬 화면(201)으로 이루어진 조작에 따라 검사 처리를 제어한다.
메인터넌스 화면 표시부(122)는, 메인터넌스 처리를 실행하기 위한 조작 화면인 메인터넌스 화면(202)을 표시부(104)(메인 모니터(14)) 또는 외부 장치(17)에 표시시키기 위한 처리를 행한다. 즉, 메인터넌스 화면 표시부(122)는, 메인터넌스 화면(202)을 메인 모니터(14)뿐만 아니라, 접속부(105)에 접속된 외부 장치(17)의 디스플레이에도 표시시킨다. 주제어부(102)의 메인터넌스 제어부(112)는, 표시부(104)(검사 장치(1)의 메인 모니터(14))에 표시된 메인터넌스 화면(202) 또는 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)으로 이루어진 조작에 따라 메인터넌스 처리를 제어한다.
표시부(104)는, 표시 제어부(103)에 의한 제어에 기초해서 로컬 화면(201) 및 메인터넌스 화면(202)을 표시한다. 표시부(104)는, 메인 모니터(14), CPU, 제어 프로그램, 화상 처리용 회로(FPGA: Field Programmable Gate Array나 ASIC: Ap plication Specific Integrated Circuit) 등을 이용해서 구성될 수 있다.
접속부(105)는, 검사 장치(1)와 외부 장치(17)를 접속시킨다. 접속부(105)는, 예를 들면, 이더넷(ethernet)(등록상표), USB(Universal Serial Bus), 무선 LAN 등을 이용해서 구성될 수 있다.
상기와 같이, 본 실시형태에 따른 검사 장치(1)는, 접속부(105)에 접속된 외부 장치(17)에 메인터넌스 화면(202)을 표시시키고, 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 통해서 검사 장치(1)의 메인터넌스 처리를 실행 가능하게 하는 기능을 갖고 있다. 이에 의해, 예를 들면, 이상이 검지되어 있지 않은 기구(검사실(11))에 대해서는 메인 모니터(14)에 표시된 로컬 화면(201)을 통해서 검사 처리 등을 계속하면서, 이상이 검지된 기구에 대해서는 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 통해서 메인터넌스 처리를 행하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시형태에 따른 검사 장치(1)는, 하나의 기구에 대해서 메인터넌스 처리를 행할 때에, 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202) 또는 메인 모니터(14)에 표시된 조작 화면(메인터넌스 화면(202) 또는 로컬 화면(201)) 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 하는 제 2 배타 제어, 환언하면, 하나의 기구에 대해서 복수의 메인터넌스 화면(202)에 의한 메인터넌스 처리가 동시에 행해지지 않도록 하는 제 2 배타 제어가 실행된다. 이에 의해, 예를 들면, 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)에 의한 메인터넌스 처리가, 어느 테스터(31)에 대해서 실행되고 있는 동안은, 당해 테스터(31)에 대해서 메인 모니터(14)에 표시된 메인터넌스 화면(202) 또는 로컬 화면(201)에 의한 메인터넌스 처리를 행할 수 없게 된다. 이에 의해, 메인터넌스 처리의 대상이 된 하나의 기구에 대해서 복수의 지시가 경합하는 것을 방지할 수 있다.
도 5는, 실시형태에 따른 검사 장치(1)에 있어서 검사 처리와 메인터넌스 처리를 실행할 때의 상태의 일례를 개념적으로 나타내는 도면이다. 검사 장치(1)의 표시 제어부(103)는, 로컬 화면(201)을 표시시키기 위한 화상 데이터와, 메인터넌스 화면(202)을 표시시키기 위한 화상 데이터를 생성한다. 어느 유저(U1)가 메인 모니터(14)에 표시된 로컬 화면(201)을 통해서 검사 처리를 행하고 있을 때, 메인터넌스 화면(202)은 로컬 화면(201)에 숨겨진 상태가 된다. 이와 같은 상태에 있어서, 유저(U1)가 어느 기구에 대해서 메인터넌스 처리를 행하고자 하면, 메인 모니터(14)에 있어서 로컬 화면(201)이 메인터넌스 화면(202)에 숨겨진 상태가 되어, 검사 처리를 속행할 수 없게 된다. 또는, 로컬 화면(201)과 메인터넌스 화면(202)의 전환이 필요하기 때문에, 검사 처리 및 메인터넌스 처리의 각각의 조작을 하기 어려운 상황이 된다.
이와 같은 경우, 검사 장치(1)에 외부 단말(17)을 접속하면, 외부 단말(17)의 디스플레이에 메인터넌스 화면(202)이 표시된다. 그리고, 다른 유저(U2)가 외부 단말(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 조작하는 것에 의해, 검사 장치(1)에 대해서 메인터넌스 처리를 행할 수 있다. 이에 의해, 유저(U1)가 메인 모니터(14)에 표시된 로컬 화면(201)을 통해서 검사 처리를 속행하면서, 유저(U2)가 외부 단말(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 통해서 메인터넌스 처리를 실행할 수 있다. 한편, 여기에서는 2명의 유저(U1, U2)의 각각이 메인 모니터(14) 또는 외부 단말(17) 중 어느 하나를 조작하는 예를 나타냈지만, 1명의 유저가 메인 모니터(14) 및 외부 단말(17)의 양쪽을 조작해도 된다.
도 6은, 실시형태에 따른 표시 제어부(103)의 기능의 일례를 개념적으로 나타내는 도면이다. 외부 장치(17)는, 메인터넌스 화면(202)을 통해서 검사 장치(1)의 메인터넌스 처리를 실행하기 위한 메인터넌스 툴(151)을 갖고 있다. 검사 장치(1)의 표시 제어부(103)는, 메인터넌스 화면(202)의 생성을 행하는 메인터넌스 화면 프로세스(155)와, 메인터넌스 툴(151)과 정보 공유를 행하기 위한 윈도즈(등록상표) 캡처 프로세스(156)를 갖고 있다.
윈도즈 캡처 프로세스(156)는, 메인터넌스 화면 프로세스(155)로부터 메인터넌스 화면(202)의 화면 구성을 나타내는 화면 구성 데이터(예를 들면 JPG, GIF, PNG, BMP 등의 화상 데이터)를 취득하고, 메인터넌스 툴(151)에 송신한다. 이때, 메인터넌스 툴(151)은, 메인터넌스 화면(202) 상에서 행해지는 프로세스의 실태가 아니라 메인터넌스 화면(202)의 화면 구성 데이터를 수신하고, 화면 구성 데이터에 기초하는 메인터넌스 화면(202)을 외부 장치(17)의 디스플레이에 표시시킨다. 그리고, 메인터넌스 툴(151)은, 디스플레이에 표시되어 있는 메인터넌스 화면(202)에 대해서 이루어진 조작의 조작 정보(눌려진 화면의 좌표 정보 등)를 윈도즈 캡처 프로세스(156)에 송신한다. 윈도즈 캡처 프로세스(156)는, 메인터넌스 툴(151)로부터 취득한 조작 정보에 대응하는 이벤트를 발행하고, 당해 이벤트가 반영된 메인터넌스 화면(202)의 화면 구성 데이터를 메인터넌스 화면 프로세스(155)로부터 취득해서 메인터넌스 툴(151)에 송신한다. 메인터넌스 툴(151)은, 윈도즈 캡처 프로세스(156)로부터 수신한 화면 구성 데이터에 기초해서, 외부 장치(17)의 디스플레이에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 전이시킨다. 이에 의해, 외부 장치(17)가 메인터넌스 처리를 실행하기 위한 실질적인 기능을 구비하고 있지 않아도, 외부 장치(17)의 디스플레이를 통해서 검사 장치(1)의 메인터넌스 처리를 행하는 것이 가능해진다. 또한, 외부 장치(17)가 메인터넌스 처리를 실행하기 위한 실질적인 기능(소프트 웨어)을 구비하고 있지 않기 때문에, 예를 들면, 검사 장치(1)의 소프트 웨어가 변경된 경우에도, 그에 수반하는 외부 장치(17)측의 소프트 웨어의 갱신은 불필요하다.
도 7은, 실시형태에 따른 검사 장치(1)에 있어서의 처리의 일례를 나타내는 플로 차트이다. 우선, 로컬 화면 표시부(121)가 검사 장치(1)의 메인 모니터(14)에 로컬 화면(201)을 표시시킨다(S101).
도 8은, 실시형태에 따른 로컬 화면(201)의 일례를 나타내는 도면이다. 여기에서 예시하는 로컬 화면(201)은, 도 1에 나타내는 바와 같은 12의 검사실(11)(셀(1∼12))을 갖는 검사 장치(1)에 대응하는 것이다. 본 예에 따른 로컬 화면(201)에는, 셀 상태 표시부(211), 메인터넌스 모드 설정 버튼(212), 및 메인터넌스 모드 해제 버튼(213)이 포함되어 있다. 셀 상태 표시부(211)는, 각 셀 상태를 나타내는 부분이다. 메인터넌스 모드 설정 버튼(212)은, 임의의 셀을 메인터넌스 모드로 설정하기 위한(검사 모드로부터 메인터넌스 모드로 이행시키기 위한) 조작부이다. 메인터넌스 모드 해제 버튼(213)은, 메인터넌스 모드로 설정된 셀을 해제하기 위한(메인터넌스 모드로부터 검사 모드로 복귀시키기 위한) 조작부이다.
도 7로 되돌아가서, 플로 차트의 설명을 계속한다. 유저가 상기와 같은 로컬 화면(201)을 통해서 예를 들면 모든 검사실(11)을 대상으로 하는 검사 처리를 개시시킨다(S102). 즉, 전체 셀(1∼12)을 검사 모드로 한다.
그 후, 검지부(101)가 예를 들면 셀(1)의 이상을 검지하면(S103), 유저는 로컬 화면(201)을 통해서 셀(1)을 메인터넌스 모드로 설정할지 여부를 선택한다(S104). 셀(1)을 메인터넌스 모드로 설정하지 않는 경우(S104: No), 유저는 로컬 화면(201)을 통해서 셀(1)을 검사 처리의 대상으로부터 분리하여, 다른 셀(2∼12)의 검사 처리를 속행시킨다(S105).
한편, 셀(1)을 메인터넌스 모드로 설정하는 경우(S104: Yes), 유저는 로컬 화면(201)을 통해서 셀(1)을 메인터넌스 모드로 이행시킨다(S106). 이에 의해, 셀(1)은 검사 처리의 대상으로부터 분리됨과 함께, 메인터넌스 처리의 대상이 된다.
도 9는, 실시형태에 따른 로컬 화면(201)에 있어서 메인터넌스 모드가 설정된 경우의 상태의 일례를 나타내는 도면이다. 여기에서는, 셀(1)의 상태를 나타내는 부분에, 메인터넌스 모드가 설정된 것을 나타내는 메인터넌스 모드 표시(215)가 표시되어 있다.
도 7로 되돌아가서, 플로 차트의 설명을 계속한다. 상기와 같이, 이상이 검지된 셀(1)을 메인터넌스 모드로 설정한 후, 검사 장치(1)의 접속부(105)(커넥터(15))에 외부 장치(17)를 접속하면(S107), 로컬 화면 표시부(121)는 커넥터(15)로의 접속이 인식된 외부 장치(17)를 나타내는 외부 장치 인식 화면을 메인 모니터(14)에 표시시킨다(S108). 그 후, 외부 단말(17)을 조작하는 유저가, 외부 단말(17)의 디스플레이에 표시된 접속 요구 화면을 조작해서 검사 장치(1)와 접속하기 위한 조작을 행하면(S109), 외부 장치(17)의 디스플레이에 메인터넌스 화면(202)이 표시된다(S110). 유저는 외부 장치(17)의 디스플레이에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 통해서 메인터넌스 처리를 실행한다(S111).
도 10은, 실시형태에 따른 외부 장치 인식 화면(221)의 일례를 나타내는 도면이다. 여기에서 예시하는 외부 장치 인식 화면(221)에는, 검사 장치(1)에 의해 인식된 외부 장치(17)를 특정하는 특정 정보(225)가 포함되어 있다. 여기에서는 특정 정보(225)로서, IP 주소, 단말명, 및 표시 중 화면명이 표시되어 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 11은, 실시형태에 따른 접속 요구 화면(231)의 일례를 나타내는 도면이다. 여기에서 예시하는 접속 요구 화면(231)은, 외부 장치(17)에 인스톨된 메인터넌스 툴의 기동 시에 있어서의 화면으로, 검사 장치(1)와의 접속을 요구하는 접속 요구 버튼(235)을 포함하고 있다. 유저가 접속 요구 버튼(235)을 누르는 조작을 행하는 것에 의해, 검사 장치(1)와 외부 장치(17) 사이의 통신이 확립된다. 한편, 통신을 확립하기 위한 인증 처리가 개재되어도 된다.
도 12는, 실시형태에 따른 외부 장치(17)에 표시되는 메인터넌스 화면(202)의 일례를 나타내는 도면이다. 여기에서 예시하는 메인터넌스 화면(202)에는, 셀 상태 표시부(251) 및 메인터넌스 내용 설정부(252)가 포함되어 있다. 셀 상태 표시부(251)는, 복수의 셀 중 어떤 셀이 메인터넌스 모드로 설정되어 있는지를 나타내는 부분으로, 본 예에서는 셀(1)이 메인터넌스 모드로 설정되어 있는 것을 나타내는 상태가 되어 있다. 메인터넌스 내용 설정부(252)는, 메인터넌스 모드로 설정되어 있는 셀에 대해서 행해지는 메인터넌스 처리의 종류 등을 선택하기 위한 부분이다.
도 7로 되돌아가서, 플로 차트의 설명을 계속한다. 상기와 같이 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 통해서 행해진 메인터넌스 처리의 종료 후, 셀(1)의 정상 동작이 확인되면(S112), 유저는 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 통해서 셀(1)의 메인터넌스 모드를 해제한다(S113). 그 후, 유저는 메인 모니터(14)에 표시된 로컬 화면(201)을 통해서 셀(1)을 검사 대상으로 복귀시킨다(S114).
상기 스텝(S106∼S114)의 실행 중에 있어서는, 제 1 배타 제어 및 제 2 배타 제어가 행해진다. 제 1 배타 제어는, 하나의 기구(본 예에서는 셀(1))에 대해서 검사 처리와 메인터넌스 처리가 동시에 행해지지 않도록 하는 배타 제어이다. 제 2 배타 제어는, 하나의 기구에 대해서 메인터넌스 처리를 행할 때에, 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202) 또는 메인 모니터(14)에 표시된 조작 화면(메인터넌스 화면(202) 또는 로컬 화면(201)) 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 하는 배타 제어이다.
도 13은, 실시형태에 따른 로컬 화면(201)에 있어서 배타 제어가 기능하고 있는 상태인 제 1 예를 나타내는 도면이다. 여기에서는, 메인터넌스 모드로 설정된 셀(1)에 대해서 검사 처리를 실행하고자 한 경우가 예시되어 있다. 이와 같은 경우, 지정된 셀은 메인터넌스 모드로 설정되어 있기 때문에 검사 처리를 실행할 수 없는 취지의 금지 메시지(261)가 표시된다. 이 처리는 상기 제 1 배타 제어의 일례이다.
도 14는, 실시형태에 따른 외부 장치(17)의 메인터넌스 화면(202)에 있어서 배타 제어가 기능하고 있는 상태인 제 2 예를 나타내는 도면이다. 여기에서는, 검사 모드로 설정된 셀(2∼12) 중 어느 하나에 대해서 메인터넌스 처리를 실행하고자 한 경우가 예시되어 있다. 이와 같은 경우, 지정된 셀은 검사 모드로 설정되어 있기 때문에 메인터넌스 처리를 실행할 수 없는 취지의 금지 메시지(262)가 표시된다. 이 처리는 상기 제 1 배타 제어의 일례이다.
도 15는, 실시형태에 따른 로컬 화면(201)에 있어서 배타 제어가 기능하고 있는 상태인 제 3 예를 나타내는 도면이다. 여기에서는, 외부 장치(17)에 표시된 메인터넌스 화면(202)을 통해서 메인터넌스 처리가 행해지고 있는 셀(1)에 대해서, 메인 모니터(14)에 표시된 로컬 화면(201)을 통해서 메인터넌스 모드를 해제하고자 한 경우가 예시되어 있다. 이와 같은 경우, 지정된 셀은 외부 장치(17)에 의해 조작 중이기 때문에 메인터넌스 처리를 해제할 수 없는 취지의 금지 메시지(271)가 표시된다. 이 처리는 상기 제 2 배타 제어의 일례이다.
검사 장치(1)의 각 기능을 실현하는 프로그램은, 인스톨 가능한 형식 또는 실행 가능한 형식의 파일로 CD-ROM, 플렉시블 디스크(FD), CD-R, DVD(Digital Versatile Disk) 등의 컴퓨터에서 판독 가능한 기록 매체에 기록해서 제공하도록 구성해도 된다. 또한, 프로그램을, 인터넷 등의 네트워크에 접속된 다른 컴퓨터상에 저장하고, 네트워크 경유로 다운로드시키는 것에 의해 제공하도록 구성해도 된다. 또한, 프로그램을 네트워크 경유로 제공 또는 배포하도록 구성해도 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 복수의 검사실을 갖는 검사 장치에 있어서의 메인터넌스성의 향상에 유리한 기술을 제공할 수 있다.
이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 상기의 실시형태는, 첨부된 청구의 범위 및 그 취지를 일탈함이 없이, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 된다.
1: 검사 장치
11: 검사실
12: 셀 타워
13: 로더
14: 메인 모니터(표시 수단)
15: 커넥터(접속 수단)
17: 외부 장치
20: 웨이퍼
21: 검사 영역
22: 반출입 영역
23: 반송 영역
25: 단위 반출입 영역
26: 후프
31: 반출입 기구
32: 반송 기구
34: 웨이퍼 플레이트
35: 테스터
101: 검지부(검지 수단)
102: 주제어부
103: 표시 제어부(표시 제어 수단)
104: 표시부(표시 수단)
105: 접속부(접속 수단)
111: 검사 제어부
112: 메인터넌스 제어부(메인터넌스 제어 수단)
113: 배타 제어부(배타 제어 수단)
121: 로컬 화면 표시부
122: 메인터넌스 화면 표시부
151: 메인터넌스 툴
155: 메인터넌스 화면 프로세스
156: 윈도즈 캡처 프로세스
201: 로컬 화면
202: 메인터넌스 화면
211, 251: 셀 상태 표시부
212: 메인터넌스 모드 설정 버튼
213: 메인터넌스 모드 해제 버튼
215: 메인터넌스 모드 표시
221: 외부 장치 인식 화면
225: 특정 정보
231: 접속 요구 화면
235: 접속 요구 버튼
252: 메인터넌스 내용 설정부
261, 262, 271: 금지 메시지

Claims (6)

  1. 복수의 검사실을 갖고, 상기 검사실의 각각에 있어서 대상물을 검사하는 검사 처리를 행하는 검사 장치로서,
    상기 검사 장치를 조작하기 위한 화면을 표시하는 표시 수단과,
    상기 검사실에 관련되는 기구를 메인터넌스하기 위한 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 제어 수단과,
    상기 표시 수단에 상기 메인터넌스 처리를 행하기 위한 조작을 접수하는 메인터넌스 화면을 표시시키는 표시 제어 수단과,
    상기 검사 장치와 외부 장치를 접속시키는 접속 수단과,
    동일한 상기 기구에 대한 상기 검사 처리 또는 상기 메인터넌스 처리에 있어서의 경합을 금지하는 배타 제어를 행하는 배타 제어 수단
    을 갖고,
    상기 표시 제어 수단은, 상기 접속 수단에 접속된 상기 외부 장치에 상기 메인터넌스 화면을 표시시키고,
    상기 메인터넌스 제어 수단은, 상기 외부 장치에 표시된 상기 메인터넌스 화면에 대해서 이루어진 조작에 따라 상기 메인터넌스 처리를 행하고,
    상기 배타 제어 수단은, 하나의 상기 기구에 대해서 상기 메인터넌스 처리를 행할 때에, 상기 외부 장치에 표시된 상기 메인터넌스 화면 또는 상기 표시 수단에 표시된 화면 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 하는,
    검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시 제어 수단은, 상기 검사 장치 내에서 생성된 상기 메인터넌스 화면의 화면 구성 데이터를 상기 외부 장치에 송신하고,
    상기 외부 장치는, 수신한 화면 구성 데이터에 기초해서 상기 메인터넌스 화면을 표시하는,
    검사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 외부 장치는, 자기(自機)에 표시된 상기 메인터넌스 화면에 대해서 이루어진 조작을 나타내는 조작 정보를 상기 검사 장치에 송신하고,
    상기 메인터넌스 제어 수단은, 상기 외부 장치로부터 수신한 상기 조작 정보에 기초해서 상기 메인터넌스 처리를 제어하는,
    검사 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사실에 관련되는 기구에 관한 이상을 검지하는 검지 수단,
    을 더 갖고,
    상기 메인터넌스 제어 수단은, 이상이 검지된 상기 검사실에 관련되는 기구에 관한 상기 메인터넌스 처리를 행하는,
    검사 장치.
  5. 복수의 검사실과, 표시 수단을 갖고, 상기 검사실의 각각에 있어서 대상물을 검사하는 검사 처리를 행하는 장치에 있어서의 메인터넌스 방법으로서,
    상기 장치를 조작하기 위한 화면을 상기 표시 수단에 표시시키는 공정과,
    상기 검사실에 관련되는 기구를 메인터넌스하기 위한 메인터넌스 처리를 행하는 공정과,
    상기 표시 수단에 상기 메인터넌스 처리를 행하기 위한 조작을 접수하는 메인터넌스 화면을 표시시키는 공정과,
    상기 장치와 외부 장치를 접속시키는 공정과,
    동일한 상기 기구에 대한 상기 검사 처리 또는 상기 메인터넌스 처리에 있어서의 경합을 금지하는 배타 제어를 행하는 공정과,
    접속된 상기 외부 장치에 상기 메인터넌스 화면을 표시시키는 공정과,
    상기 외부 장치에 표시된 상기 메인터넌스 화면에 대해서 이루어진 조작에 따라 상기 메인터넌스 처리를 제어하는 공정과,
    하나의 상기 기구에 대해서 상기 메인터넌스 처리를 행할 때에, 상기 외부 장치에 표시된 상기 메인터넌스 화면 또는 상기 표시 수단에 표시된 화면 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 하는 공정,
    을 포함하는 메인터넌스 방법.
  6. 복수의 검사실과, 표시 수단을 갖고, 상기 검사실의 각각에 있어서 대상물을 검사하는 검사 처리를 행하는 장치를 제어하는 컴퓨터에,
    상기 장치를 조작하기 위한 화면을 상기 표시 수단에 표시시키는 처리와,
    상기 검사실에 관련되는 기구를 메인터넌스하기 위한 메인터넌스 처리를 제어하는 처리와,
    상기 표시 수단에 상기 메인터넌스 처리를 행하기 위한 조작을 접수하는 메인터넌스 화면을 표시시키는 처리와,
    상기 장치와 외부 장치를 접속시키는 처리와,
    동일한 상기 기구에 대한 상기 검사 처리 또는 상기 메인터넌스 처리에 있어서의 경합을 금지하는 배타 제어를 행하는 처리와,
    접속된 상기 외부 장치에 상기 메인터넌스 화면을 표시시키는 처리와,
    상기 외부 장치에 표시된 상기 메인터넌스 화면에 대해서 이루어진 조작에 따라 상기 메인터넌스 처리를 제어하는 처리와,
    하나의 상기 기구에 대해서 상기 메인터넌스 처리를 행할 때에, 상기 외부 장치에 표시된 상기 메인터넌스 화면 또는 상기 표시 수단에 표시된 화면 중 어느 한쪽으로부터의 조작만을 유효로 하는 처리,
    를 실행시키는 프로그램.
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