JP5767963B2 - 外観検査装置、外観検査方法及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
2 外観検査装置
3 表示装置
4 可搬型記録媒体
5 コンピュータプログラム
6 外部制御機器
7 画像処理部
8 画像表示部
21 主制御部
22 メモリ
23 記憶手段
24 入力手段
25 出力手段
26 通信手段
27 補助記憶手段
28 内部バス
Claims (18)
- 検査対象物を撮像した画像を、良品とされる画像群と比較して良否判定を行う外観検査装置において、
良品とされる画像群を構成する複数の画像の入力を受け付けて記憶する画像入力手段と、
記憶された複数の画像に基づいて、検査対象物の欠陥部分を検出するための欠陥閾値を設定する閾値設定手段と、
設定された欠陥閾値に基づいて、記憶されている複数の画像それぞれについて、検査対象物の良否判定を行うための判定閾値と比較する欠陥量を算出する欠陥量算出手段と、
算出した欠陥量が、それぞれ外れ値であるか否かを統計処理により検定する外れ値検定手段と、
外れ値であると検定された欠陥量を有する画像を特定する外れ値情報を表示出力する情報表示手段と
を備えることを特徴とする外観検査装置。 - 良品とされる画像群から削除する画像の選択を受け付ける選択受付手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記外れ値検定手段は、パラメトリック手法又はノンパラメトリック手法のうち、少なくとも1つを用いて検定することを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査装置。
- 前記外れ値検定手段は、パラメトリック手法及びノンパラメトリック手法の両方を用いて検定することを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査装置。
- 前記欠陥量算出手段は、画像中で濃度が前記欠陥閾値より大きい連続した領域に含まれる差分濃度を合算した濃度積算値として前記欠陥量を算出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記情報表示手段は、前記欠陥量の多い順に前記外れ値情報を表示出力することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 検査対象物を撮像した画像を、良品とされる画像群と比較して良否判定を行う外観検査装置で実行することが可能な外観検査方法において、
良品とされる画像群を構成する複数の画像の入力を受け付けて記憶するステップと、
記憶された複数の画像に基づいて、検査対象物の欠陥部分を検出するための欠陥閾値を設定するステップと、
設定された欠陥閾値に基づいて、記憶されている複数の画像それぞれについて、検査対象物の良否判定を行うための判定閾値と比較する欠陥量を算出するステップと、
算出した欠陥量が、それぞれ外れ値であるか否かを統計処理により検定するステップと、
外れ値であると検定された欠陥量を有する画像を特定する外れ値情報を表示出力するステップと
を含むことを特徴とする外観検査方法。 - 良品とされる画像群から削除する画像の選択を受け付けるステップを含むことを特徴とする請求項7に記載の外観検査方法。
- パラメトリック手法又はノンパラメトリック手法のうち、少なくとも1つを用いて検定することを特徴とする請求項7又は8に記載の外観検査方法。
- パラメトリック手法及びノンパラメトリック手法の両方を用いて検定することを特徴とする請求項7又は8に記載の外観検査方法。
- 画像中で濃度が前記欠陥閾値より大きい連続した領域に含まれる差分濃度を合算した濃度積算値として前記欠陥量を算出することを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載の外観検査方法。
- 前記欠陥量の多い順に前記外れ値情報を表示出力することを特徴とする請求項7乃至11のいずれか一項に記載の外観検査方法。
- 検査対象物を撮像した画像を、良品とされる画像群と比較して良否判定を行う外観検査装置で実行することが可能なコンピュータプログラムにおいて、
前記外観検査装置を、
良品とされる画像群を構成する複数の画像の入力を受け付けて記憶する画像入力手段、
記憶された複数の画像に基づいて、検査対象物の欠陥部分を検出するための欠陥閾値を設定する閾値設定手段、
設定された欠陥閾値に基づいて、記憶されている複数の画像それぞれについて、検査対象物の良否判定を行うための判定閾値と比較する欠陥量を算出する欠陥量算出手段、
算出した欠陥量が、それぞれ外れ値であるか否かを統計処理により検定する外れ値検定手段、及び
外れ値であると検定された欠陥量を有する画像を特定する外れ値情報を表示出力する情報表示手段
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 前記外観検査装置を、良品とされる画像群から削除する画像の選択を受け付ける選択受付手段として機能させることを特徴とする請求項13に記載のコンピュータプログラム。
- 前記外れ値検定手段を、パラメトリック手法又はノンパラメトリック手法のうち、少なくとも1つを用いて検定する手段として機能させることを特徴とする請求項13又は14に記載のコンピュータプログラム。
- 前記外れ値検出手段を、パラメトリック手法及びノンパラメトリック手法の両方を用いて検定する手段として機能させることを特徴とする請求項13又は14に記載のコンピュータプログラム。
- 前記欠陥量算出手段を、画像中で濃度が前記欠陥閾値より大きい連続した領域に含まれる差分濃度を合算した濃度積算値として前記欠陥量を算出する手段として機能させることを特徴とする請求項13乃至16のいずれか一項に記載のコンピュータプログラム。
- 前記情報表示手段を、前記欠陥量の多い順に前記外れ値情報を表示出力する手段として機能させることを特徴とする請求項13乃至17のいずれか一項に記載のコンピュータプログラム。
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