CN111243987A - 检查装置、维护方法和记录有程序的记录介质 - Google Patents

检查装置、维护方法和记录有程序的记录介质 Download PDF

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Abstract

本公开涉及一种检查装置、维护方法和记录有程序的记录介质。检查装置具有：显示设备，其显示用于操作检查装置的画面；维护控制设备，其进行用于维护与检查室相关联的机构的维护处理；显示控制设备，其使显示设备显示接受用于进行维护处理的操作的维护画面；连接设备，其使检查装置与外部装置连接；以及排他控制设备，其进行禁止针对同一机构的检查处理或维护处理的竞争的排他控制，显示控制设备使与连接设备连接的外部装置显示维护画面，维护控制设备根据针对显示于外部装置的维护画面进行的操作来进行维护处理，排他控制设备在针对一个机构进行维护处理时，只使来自显示于外部装置的维护画面或显示于显示设备的画面中的任一方的操作有效。

Description

检查装置、维护方法和记录有程序的记录介质
技术领域
本公开涉及一种检查装置、维护方法以及程序。
背景技术
在半导体制造工艺中，利用一种对制造出的半导体器件(晶圆)进行电气特性测试等检查的检查装置。作为这种检查装置，有一种具有多个检查室从而能够同时检查多个晶圆的检查装置。
在专利文献1中公开了如下一种结构：在具有多个检查室的检查装置中，将被布置测试头的检查区配置在被布置用于搬送晶圆的搬送机构的搬送区与保养(日语：整備)测试头的保养区之间，以提高搭载有作为检查电路的主板的测试头的更换作业性，在检查区，将收容测试头的多个检查室彼此相邻地布置，能够将测试头从检查室向保养区拉出。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-112387号公报
发明内容
发明要解决的问题
本公开提供一种有利于提高具有多个检查室的检查装置的维护性的技术。
用于解决问题的方案
基于本公开的一个方式的检查装置具有多个检查室，在各个检查室中进行检查对象物的检查处理，所述检查装置具有：显示设备，其显示用于操作检查装置的画面；维护控制设备，其进行用于维护与检查室相关联的机构的维护处理；显示控制设备，其使显示设备显示接受用于进行所述维护处理的操作的维护画面；连接设备，其使检查装置与外部装置连接；以及排他控制设备，其进行禁止针对同一机构的检查处理或维护处理的竞争的排他控制，其中，显示控制设备使与连接设备连接的外部装置显示维护画面，维护控制设备根据针对显示于外部装置的维护画面进行的操作来进行维护处理，排他控制设备在对一个机构进行维护处理时，只使来自显示于外部装置的维护画面或显示于显示设备的画面中的任一方的操作有效。
发明的效果
根据本公开，能够提供一种有利于提高具有多个检查室的检查装置的维护性的技术。
附图说明
图1是表示实施方式所涉及的检查装置的外观结构的一例的立体图。
图2是表示实施方式所涉及的检查装置的内部结构的一例的图。
图3是表示实施方式所涉及的检查区的结构的一例的、图2中的III-III截面图。
图4是表示实施方式所涉及的检查装置的功能结构的一例的框图。
图5是概念性地表示在实施方式所涉及的检查装置中执行检查处理和维护处理时的状态的一例的图。
图6是概念性地表示实施方式所涉及的显示控制部的功能的一例的图。
图7是表示实施方式所涉及的检查装置中的处理的一例的流程图。
图8是表示实施方式所涉及的本地画面的一例的图。
图9是表示在实施方式所涉及的本地画面中设定了维护模式的情况下的状态的一例的图。
图10是表示实施方式所涉及的外部装置识别画面的一例的图。
图11是表示实施方式所涉及的连接请求画面的一例的图。
图12是表示实施方式所涉及的显示于外部装置的维护画面的一例的图。
图13是表示在实施方式所涉及的本地画面中排他控制发挥功能的状态的第一例的图。
图14是表示在实施方式所涉及的外部装置的维护画面中排他控制发挥功能的状态的第二例的图。
图15是表示在实施方式所涉及的本地画面中排他控制发挥功能的状态的第三例的图。
具体实施方式
下面，参照附图来说明实施方式。此外，在本说明书和附图中，对实质相同的结构标注相同的标记，由此省略重复的说明。
图1是表示实施方式所涉及的检查装置1的外观结构的一例的立体图。检查装置1具有单元室柜(日语：セルタワー)12、加载器13、主监视器14(显示设备)、以及连接器15(连接设备)。在图中，X轴表示宽度方向，Y轴表示深度方向，Z轴表示高度方向。
单元室柜12为将多个检查室(单元室)11以多层式配置而得到的单元。本实施方式所涉及的单元室柜12具有12(3层×4列)个检查室11。
加载器13与单元室柜12相邻地配置，为内置用于搬送成为检查对象的晶圆的机构的单元。
主监视器14被设置于检查装置1，为用于操作检查装置1的用户界面。主监视器14与内置于检查装置1的计算机连接，显示用于执行检查装置1具有的各种功能的各种操作画面。主监视器14除了具有显示图像的显示器以外还具有接受用户的输入操作的操作部(键盘、触摸面板机构等)。本实施方式所涉及的主监视器14显示的操作画面包括接受与检查处理等全部的处理有关的操作的本地画面、以及接受与维护处理有关的操作的维护画面。
连接器15为用于将检查装置1与外部装置17连接从而建立通信的接口。在此，例示经由线缆将一台外部装置17(例如通用的PC：Personal Computer：个人计算机)连接于连接器15的状态，但连接方法、连接台数不限于此。
图2是表示实施方式所涉及的检查装置1的内部结构的一例的图。在检查装置1的内部包括检查区21、搬入搬出区22以及搬送区23。
检查区21为用于对晶圆20进行电气特性测试等检查的区域，各检查室11内的空间包括于检查区21。搬入搬出区22为用于进行晶圆20、探针卡等的搬入搬出的区域，加载器13内的空间包括于搬入搬出区22。搬送区23为设置于搬入搬出区22与检查区21之间的空间。
搬入搬出区22被进一步分隔为多个单位搬入搬出区25。在各单位搬入搬出区25例如设置有前开式晶圆传送盒26的接受机构。在搬送区23设置有搬入搬出机构31。搬入搬出机构31将从搬入搬出区22的前开式晶圆传送盒26接受到的检查前的晶圆20沿着搬送区23进行搬送，并交接至检查区21的后述的搬送机构32。另外，搬入搬出机构31从检查区21接受检查后的晶圆20，并搬送至搬送区22。
图3是表示实施方式所涉及的检查区21的结构的一例的、图2中的III-III截面图。在检查区21设置有多个测试器35。在此处所例示的结构中，相邻的测试器35之间没有被分区，在连续的空间内排列有多个测试器35。
搬送机构32将被搬入搬出机构31搬送至检查区21与搬送区23之间的边界部的检查前的晶圆20接受至该搬送机构32的晶圆板34上，并搬送该晶圆20使其与安装于测试器35的探针卡接触。另外，搬送机构32将检查后的晶圆20搬送至检查区21与搬送区23之间的边界部，并将该晶圆20交接至搬入搬出机构31。
图4是表示实施方式所涉及的检查装置1的功能结构的一例的框图。检查装置1具有探测部101(探测设备)、主控制部102、显示控制部103(显示控制设备)、显示部104(显示设备)以及连接部105(连接设备)。
探测部101探测在与检查室11相关联的机构中发生的异常。探测部101基于表示成为探测的对象的各机构的状态的信息(设置于各机构的各种传感器的检测信号等)来探测异常。成为探测对象的机构例如能够为测试器35、加载器13、搬入搬出机构31、搬送机构32等。此外，“异常”不限于故障状态，例如可以包括到了定期的维护时期、到了针对每个构件设定的可使用期限等。探测部101能够利用各种传感器、CPU、控制程序等来构成。
主控制部102为控制检查装置1的电子控制单元，具有检查控制部111、维护控制部112(维护控制设备)以及排他控制部113(排他控制设备)。主控制部102能够利用CPU、控制程序等来构成。
检查控制部111利用测试器35进行检查晶圆20的检查处理。
维护控制部112进行用于维护与检查室11相关联的机构的维护处理。可以对被探测部101探测到异常的机构等进行维护处理，即使是没有被探测到异常的机构也可以根据来自用户的请求等对其进行维护处理。根据检查装置1具备的机构的种类来适当地决定维护处理的具体内容，而不应对维护处理的具体内容特别地进行限定，例如能够为测试器35、加载器13、搬入搬出机构31、搬送机构32等的修理作业、更换作业等。
排他控制部113进行禁止针对同一机构的检查处理或维护处理的竞争的排他控制。本实施方式所涉及的排他控制部113进行避免针对一个机构同时进行检查处理和维护处理的第一排他控制。另外，在针对一个机构进行维护处理时，排他控制部113进行只使来自显示于外部装置17的维护画面202或显示于主监视器14的操作画面(维护画面202或本地画面201)中的任一方的操作有效的第二排他控制。在后文详述这些排他控制。
显示控制部103进行用于显示用于执行检查装置1的功能的操作画面的处理。显示控制部103具有本地画面显示部121和维护画面显示部122。显示控制部103能够利用CPU、控制程序等来构成。
本地画面显示部121进行用于使显示部104(主监视器14)显示用于执行检查处理等通常处理的操作画面即本地画面201的处理。主控制部102的检查控制部111根据针对显示于显示部104的本地画面201进行的操作来控制检查处理。
维护画面显示部122进行用于使显示部104(主监视器14)或外部装置17显示用于执行维护处理的操作画面即维护画面202的处理。即，维护画面显示部122不仅使主监视器14显示维护画面202，还使与连接部105连接的外部装置17的显示器显示维护画面202。主控制部102的维护控制部112根据针对显示于显示部104(检查装置1的主监视器14)的维护画面202或显示于外部装置17的维护画面202进行的操作来控制维护处理。
显示部104基于显示控制部103的控制来显示本地画面201和维护画面202。显示部104能够利用主监视器14、CPU、控制程序、图像处理用电路(FPGA：Field ProgrammableGate Array(现场可编程门阵列)、ASIC：Application Specific Integrated Circuit(专用集成电路))等来构成。
连接部105使检查装置1与外部装置17连接。连接部105例如能够利用以太网(注册商标)、USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)、无线LAN等来构成。
如上所述，本实施方式所涉及的检查装置1具有如下功能：使与连接部105连接的外部装置17显示维护画面202，能够借助显示于外部装置17的维护画面202来执行检查装置1的维护处理。由此，例如，能够一边借助显示于主监视器14的本地画面201来针对没有被探测到异常的机构(检查室11)继续进行检查处理等，一边借助显示于外部装置17的维护画面202来针对被探测到异常的机构进行维护处理。
另外，本实施方式所涉及的检查装置1在对一个机构进行维护处理时，只使来自显示于外部装置17的维护画面202或显示于主监视器14的操作画面(维护画面202或本地画面201)中的任一方的操作有效，换言之，执行避免针对一个机构同时进行基于多个维护画面202的维护处理的第二排他控制。由此，例如在针对某个测试器31执行基于显示于外部装置17的维护画面202的维护处理的期间，不能够针对该测试器31进行基于显示于主监视器14的维护画面202或本地画面201的维护处理。由此，能够防止针对成为维护处理的对象的一个机构的多个指示发生竞争。
图5是概念性地表示在实施方式所涉及的检查装置1中执行检查处理和维护处理时的状态的一例的图。检查装置1的显示控制部103生成用于显示本地画面201的图像数据和用于显示维护画面202的图像数据。在某用户U1借助显示于主监视器14的本地画面201进行检查处理时，维护画面202成为被隐藏于本地画面201的状态。在这种状态下，当用户U1想要针对某个机构进行维护处理时，在主监视器14中成为本地画面201被隐藏于维护画面202的状态，不能够继续执行检查处理。或者，需要进行本地画面201与维护画面202之间的切换，因此成为难以进行检查处理和维护处理的各个处理的操作的状况。
在这种情况下，当使检查装置1连接外部终端17时，在外部终端17的显示器显示维护画面202。而且，其他的用户U2能够通过操作显示于外部终端17的维护画面202，来对检查装置1进行维护处理。由此，用户U1能够借助显示于主监视器14的本地画面201继续执行检查处理，并且用户U2能够借助显示于外部终端17的维护画面202执行维护处理。此外，在此示出了由2名用户U1、U2分别操作主监视器14或外部终端17中的任一个的例子，也可以是由1名用户操作主监视器14和外部终端17这两方。
图6是概念性地表示实施方式所涉及的显示控制部103的功能的一例的图。外部装置17具有用于借助维护画面202来执行检查装置1的维护处理的维护工具151。检查装置1的显示控制部103具有用于进行维护画面202的生成的维护画面工序155、用于与维护工具151进行信息共享的Windows(注册商标)捕获工序156。
Windows捕获工序156从维护画面工序155获取表示维护画面202的画面结构的画面结构数据(例如JPG、GIF、PNG、BMP等图像数据)，并发送到维护工具151。此时，维护工具151接收维护画面202的画面结构数据而不是在维护画面202上进行的工序的实际状态，并使基于画面结构数据的维护画面202显示于外部装置17的显示器。而且，维护工具151将针对显示于显示器的维护画面202进行的操作的操作信息(被按下的画面的坐标信息等)发送至Windows捕获工序156。Windows捕获工序156发行与从维护工具151获取到的操作信息对应的事件，并从维护画面工序155获取反映了该事件的维护画面202的画面结构数据并发送至维护工具151。维护工具151基于从Windows捕获工序156接收到的画面结构数据来使显示于外部装置17的显示器的维护画面202迁移。由此，外部装置17即使不具备用于执行维护处理的实质性的功能，也能够借助外部装置17的显示器来进行检查装置1的维护处理。另外，由于外部装置17不具备用于执行维护处理的实质性的功能(软件)，因此例如在变更了检查装置1的软件的情况下，也不需要伴随该变更来更新外部装置17侧的软件。
图7是表示实施方式所涉及的检查装置1中的处理的一例的流程图。首先，本地画面显示部121使检查装置1的主监视器14显示本地画面201(S101)。
图8是表示实施方式所涉及的本地画面201的一例的图。此处例示的本地画面201是与图1所示的那样的具有12个检查室11(单元室1～12)的检查装置1对应的画面。本例所涉及的本地画面201包括单元室状态显示部211、维护模式设定按钮212以及维护模式解除按钮213。单元室状态显示部211为示出各单元室的状态的部分。维护模式设定按钮212为用于将任意的单元室设定为维护模式(从检查模式转移到维护模式)的操作部。维护模式解除按钮213为用于解除被设定为维护模式的单元室(从维护模式恢复到检查模式)的操作部。
返回图7来继续说明流程图。用户借助上述那样的本地画面201来开始进行例如将全部的检查室11作为对象的检查处理(S102)。即，将全部单元室1～12设为检查模式。
之后，当探测部101例如探测到单元室1异常时(S103)，用户借助本地画面201来选择是否将单元室1设定为维护模式(S104)。在不将单元室1设定为维护模式的情况下(S104：“否”)，用户借助本地画面201将单元室1从检查处理的对象切离，继续执行其它单元室2～12的检查处理(S105)。
另一方面，在将单元室1设定为维护模式的情况下(S104：“是”)，用户借助本地画面201将单元室1转移到维护模式(S106)。由此，单元室1被从检查处理的对象切离，并且成为维护处理的对象。
图9是表示在实施方式所涉及的本地画面201中设定了维护模式的情况下的状态的一例的图。在此，在表示单元室1的状态的部分显示有表示被设定维护模式的维护模式显示215。
返回图7，继续说明流程图。如上所述，在将被探测到异常的单元室1设定为维护模式后，当使检查装置1的连接部105(连接器15)连接外部装置17时(S107)，本地画面显示部121使主监视器14显示表示被识别出与连接器15连接的外部装置17的外部装置识别画面(S108)。之后，当操作外部终端17的用户操作显示于外部终端17的显示器的连接请求画面进行了用于与检查装置1连接的操作时(S109)，在外部装置17的显示器显示维护画面202(S110)。用户借助显示于外部装置17的显示器的维护画面202来执行维护处理(S111)。
图10是表示实施方式所涉及的外部装置识别画面221的一例的图。此处例示的外部装置识别画面221包括用于确定由检查装置1识别出的外部装置17的特定信息225。在此，作为特定信息225，显示IP地址、终端名称以及显示中画面名称，但并不限定于此。
图11是表示实施方式所涉及的连接请求画面231的一例的图。此处例示的连接请求画面231为安装于外部装置17的维护工具启动时的画面，包括请求与检查装置1的连接的连接请求按钮235。用户通过进行按连接请求按钮235的操作，来使检查装置1与外部装置17之间建立通信。此外，可以插入用于建立通信的认证处理。
图12是表示实施方式所涉及的显示于外部装置17的维护画面202的一例的图。此处例示的维护画面202包括单元室状态显示部251和维护内容设定部252。单元室状态显示部251为表示多个单元室中的哪个单元室被设定为维护模式的部分，在本例中为表示单元室1被设定为维护模式的状态。维护内容设定部252为用于选择对被设定为维护模式的单元室进行的维护处理的种类等的部分。
返回图7，继续说明流程图。在借助如上述那样显示于外部装置17的维护画面202进行的维护处理结束后，当确认到单元室1正常动作时(S112)，用户借助显示于外部装置17的维护画面202解除单元室1的维护模式(S113)。之后，用户借助显示于主监视器14的本地画面201使单元室1恢复为检查对象(S114)。
在上述步骤S106～S114的执行过程中，进行第一排他控制和第二排他控制。第一排他控制为避免针对一个机构(在本例中为单元室1)同时进行检查处理和维护处理的排他控制。第二排他控制为在对一个机构进行维护处理时、只使来自显示于外部装置17的维护画面202或显示于主监视器14的操作画面(维护画面202或本地画面201)中的任一方的操作有效的排他控制。
图13是表示在实施方式所涉及的本地画面201中排他控制发挥功能的状态的第一例的图。在此，例示想要针对被设定为维护模式的单元室1执行检查处理的情况。在这种情况下，显示由于所指定的单元室被设定为维护模式因此无法执行检查处理的意思的禁止消息261。该处理为上述第一排他控制的一例。
图14是表示在实施方式所涉及的外部装置17的维护画面202中排他控制发挥功能的状态的第二例的图。在此，例示想要针对被设定为检查模式的单元室2～12中的任一个执行维护处理的情况。在这种情况下，显示由于所指定的单元室被设定为检查模式因此无法执行维护处理的意思的禁止消息262。该处理为上述第一排他控制的一例。
图15是表示在实施方式所涉及的本地画面201中排他控制发挥功能的状态的第三例的图。在此，例示想要借助显示于主监视器14的本地画面201来针对借助显示于外部装置17的维护画面202正被进行维护处理的单元室1解除维护模式的情况。在这种情况下，显示由于正在利用外部装置17对所指定的单元室进行操作因此无法解除维护处理的意思的禁止消息271。该处理为上述第二排他控制的一例。
实现检查装置1的各功能的程序可以构成为，以可安装的形式或可执行的形式的文件记录于CD-ROM、软盘(FD)、CD-R、DVD(Digital Versatile Disk：数字多功能磁盘)等计算机可读取的记录介质来提供。另外，也可以构成为将程序保存在与英特网等网络连接的其它计算机上，通过经由网络下载来提供。另外，还可以构成为借助网络来提供或发布程序。
如以上那样，根据本实施方式，能够提供一种有利于提高具有多个检查室的检查装置的维护性的技术。
应认为本次公开的实施方式的所有点均是例示性的而非限制性的。可以不脱离所附的权利要求书及其主旨地对上述的实施方式以各种方式进行省略、置换、变更。

Claims (6)

1.一种检查装置，具有多个检查室，在各个所述检查室中进行检查对象物的检查处理，所述检查装置具有：
显示设备，其显示用于操作所述检查装置的画面；
维护控制设备，其进行用于维护与所述检查室相关联的机构的维护处理；
显示控制设备，其使所述显示设备显示接受用于进行所述维护处理的操作的维护画面；
连接设备，其使所述检查装置与外部装置连接；以及
排他控制设备，其进行禁止针对同一所述机构的所述检查处理或所述维护处理的竞争的排他控制，
其中，所述显示控制设备使与所述连接设备连接的所述外部装置显示所述维护画面，
所述维护控制设备根据针对显示于所述外部装置的所述维护画面进行的操作来进行所述维护处理，
在对一个所述机构进行所述维护处理时，所述排他控制设备只使来自显示于所述外部装置的所述维护画面或显示于所述显示设备的画面中的任一方的操作有效。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述显示控制设备将在所述检查装置内生成的所述维护画面的画面结构数据发送到所述外部装置，
所述外部装置基于接收到的画面结构数据来显示所述维护画面。
3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，
所述外部装置将表示针对显示于本机的所述维护画面进行的操作的操作信息发送到所述检查装置，
所述维护控制设备基于从所述外部装置接收到的所述操作信息来控制所述维护处理。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的检查装置，其特征在于，
还具有探测设备，所述探测设备探测同与所述检查室相关联的机构有关的异常，
所述维护控制设备进行同被探测到异常的与所述检查室相关联的机构有关的所述维护处理。
5.一种维护方法，是具有显示设备和多个检查室、并在各个所述检查室中进行检查对象物的检查处理的装置中的维护方法，所述维护方法包括以下工序：
使所述显示设备显示用于操作所述装置的画面；
进行用于维护与所述检查室相关联的机构的维护处理；
使所述显示设备显示接受用于进行所述维护处理的操作的维护画面；
使所述装置与外部装置连接；
进行禁止针对同一所述机构的所述检查处理或所述维护处理的竞争的排他控制；
使连接的所述外部装置显示所述维护画面；
根据针对显示于所述外部装置的所述维护画面进行的操作来控制所述维护处理；以及
在针对一个所述机构进行所述维护处理时，只使来自显示于所述外部装置的所述维护画面或显示于所述显示设备的画面中的任一方的操作有效。
6.一种记录有程序的记录介质，该程序使对具有显示设备和多个检查室、并在各个所述检查室中进行检查对象物的检查处理的装置进行控制的计算机执行以下处理：
使所述显示设备显示用于操作所述装置的画面；
控制用于维护与所述检查室相关联的机构的维护处理；
使所述显示设备显示接受用于进行所述维护处理的操作的维护画面；
使所述装置与外部装置连接；
进行禁止针对同一所述机构的所述检查处理或所述维护处理的竞争的排他控制；
使连接的所述外部装置显示所述维护画面；
根据针对显示于所述外部装置的所述维护画面进行的操作来控制所述维护处理；以及
在针对一个所述机构进行所述维护处理时，只使来自显示于所述外部装置的所述维护画面或显示于所述显示设备的画面中的任一方的操作有效。
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