KR101444258B1 - 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법 - Google Patents

기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성을 판단하는 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 기판 상의 측정영역(FOV) 내에서 최외곽의 패드들의 좌표를 구하는 단계, 상기 기판 상의 FOV 내에서 최외곽 특징객체들의 좌표를 구하는 단계, 상기 최외곽 패드들의 좌표를 연결한 제1 다각형의 제1 면적에 대한, 상기 제1 각형과 상기 최외곽의 특징객체들의 좌표를 연결한 제2 다각형의 중첩되는 제2 면적의 비율을 계산하는 단계, 및 상기 비율과 미리 설정된 기준값을 비교하여 보상 매트릭스의 유효성을 판단하는 단계를 포함한다. 상기 방법에 의해 보상 매트릭스의 유효성을 판단함으로써, 기판 검사 시의 검사 결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법{METHOD FOR DETERMINING A VALIDITY OF A COMPENSATION MATRIX DURING A CIRCUIT BOARD INSPECTION}
본 발명은 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는, FOV 상의 최외곽 패드들의 좌표로 이루어진 제1 다각형과 상기 FOV 상의 최외곽 특징객체들의 좌표로 이루어진 제2 다각형의 면적을 이용하여 패드의 위치를 보상하기 위한 보상 매트릭스의 유효성을 판단하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자장치 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB)이 구비되며, 이러한 인쇄회로기판 상에는 회로패턴, 연결 패드부, 상기 연결 패드부와 전기적으로 연결된 구동칩 등 다양한 회로 소자들이 실장되어 있다.
일반적으로 상기와 같은 다양한 회로 소자들이 상기 인쇄회로기판에 제대로 형성 또는 배치되었는지 확인하기 위하여 형상 측정장치가 사용된다.
종래의 형상 측정장치는 소정의 측정영역을 설정하여, 상기 측정영역 내에서 소정의 회로 소자가 제대로 형성되어 있는지를 검사한다.
측정영역은 측정을 원하는 위치에 정확히 설정되어 있어야 측정을 요하는 회로 소자의 측정이 제대로 수행될 수 있지만, 인쇄회로기판과 같은 측정 대상물은 베이스 기판이 휨(warp), 뒤틀림(distortion) 등의 왜곡이 발생할 수 있기 때문에 이를 보상해 주어야 한다.
이를 위하여 PCB 상의 굽은 패턴 또는 홀 패턴 등과 같은 특징객체를 이용하여 보상 매트릭스를 생성하여 패드 위치를 보상할 수 있는데, 이때 보상 매트릭스가 유효한지 여부가 문제될 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 FOV 상의 패드의 위치를 보상하기 위하여 FOV 상의 특징객체들의 좌표를 이용하여 생성한 보상 매트릭스의 유효성을 판단할 수 있는 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법은 기판 상의 측정영역(FOV) 내에서 최외곽의 패드들의 좌표를 구하는 단계, 상기 기판 상의 FOV 내에서 최외곽 특징객체들의 좌표를 구하는 단계, 상기 최외곽 패드들의 좌표를 연결한 제1 다각형의 제1 면적에 대한, 상기 제1 다각형과 상기 최외곽의 특징객체들의 좌표를 연결한 제2 다각형의 중첩되는 제2 면적의 비율을 계산하는 단계, 및 상기 비율이 미리 설정된 기준값 이상인지 여부를 기초로 상기 FOV 내의 패드의 좌표를 보상하기 위하여 상기 FOV 내의 특징객체들의 좌표값을 이용하여 생성하는 보상 매트릭스의 유효성을 판단하는 단계를 포함한다.
상기 최외곽 패드들의 좌표는 상기 최외곽 패드들의 중심좌표이고, 상기 최외곽 특징객체들의 좌표는 상기 최외곽 특징객체들의 중심좌표일 수 있다.
상기 특징객체는 상기 기판 상의 홀 패턴, 서클 패턴 또는 굽은 패턴의 코너 부분 중 적어도 하나일 수 있다.
상기 비율은 (상기 제1 다각형과 상기 제2 다각형의 중첩되는 면적)/상기 제1 면적 X 100 으로 결정될 수 있다.
상기 미리 설정된 기준값은 50일 수 있다.
상기 방법은 상기 비율이 미리 설정된 기준값 이상인 경우, 보상 매트릭스가 유효한 것으로 판정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 비율이 미리 설정된 기준값 미만인 경우, 보상 매트릭스가 유효하지 않은 것으로 판정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 방법은 상기 FOV 내에 복수의 분할영역이 포함되는 경우, 상기 각 단계는 상기 복수의 분할영역 별로 수행하고, 상기 유효성을 판단하는 단계는 상기 분할영역 내의 특징객체의 좌표를 이용하여 생성한 보상 매트릭스에 대한 유효성을 판단할 수 있다.
상기 복수의 분할영역은 상기 FOV에 포함된 복수의 패널 또는 복수의 부품 중 하나일 수 있다.
상기 기판은 FPCB(FLEXIBLE PRINTED CIRCUIT BOARD)일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법에 의하면, FOV 상의 특징객체들의 좌표를 이용하여 생성한 보상 매트릭스의 유효성을 판단함으로써 기판 검사 시의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
본 발명에 효과는 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성으 판단하기 위한 기판검사장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단방법을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단방법을 설명하기 위한 측정영역의 예시도이다.
도 4는 기판이 FPCB인 경우에, FOV 상에 복수의 패널이 배열되어 있는 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 기판이 FPCB인 경우, FOV 상의 동일 패널 내에 복수의 부품이 실장 되어 있는 상태를 도시한 도면이다.
본 발명의 목적 및 효과, 그리고 그것들을 달성하기 위한 기술적 구성들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 뒤에 설명이 되는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐를 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 뒤에 설명되는 용어들은 본 발명에서의 구조, 역할 및 기능 등을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.
그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 오로지 특허청구범위에 기재된 청구항의 범주에 의하여 정의될 뿐이다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하며, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성으 판단하기 위한 기판검사장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단방법을 나타낸 흐름도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단방법을 설명하기 위한 측정영역의 예시도이다.
상기 도 1에 도시된 바와 같이 기판검사장치(100)는 기판검사장치(100)의 작동을 제어하고 각종 기능을 수행하기 위한 연산을 처리하는 제어부(110)와, 검사 대상인 기판을 이송 및 탑재하여 고정하는 스테이지부(120), 상기 스테이지부(120)에 탑재된 기판에 대하여 검사를 수행하기 위한 측정부(130)와 기판검사장치(100)를 구동하기 위한 프로그램 및 데이터를 저장하는 메모리부(140), 기판검사장치(100)의 작동 상태 및 검사 결과 등을 출력하기 위한 디스플레이부(150) 및 사용자의 명령을 입력 받기 위한 사용자인터페이스부(160) 등을 포함할 수 있다.
우선, 검사영역을 설정하기 위하여 기판 상에 측정영역(FOV)를 설정한다. 상기 측정영역(FOV)는 상기 기판의 불량 여부를 검사하기 위하여 상기 기판 상에 설정된 소정의 영역을 의미하며, 예를 들어, 상기 측정부(130)에 포함된 카메라(미도시)의 촬영범위(Field of View)를 기준으로 설정될 수 있다.
이어서, 상기 측정영역(FOV)에 대한 기준 데이터를 획득한다. 상기 기준 데이터는 예를 들어 기판에 대한 이론적인 평면 이미지일 수 있다. 상기 기준 데이터는 상기 기판에 대한 형상을 기록한 캐드(CAD)정보나 거버(gerber) 정보로부터 획득될 수 있다. 상기 캐드정보나 거버정보는 상기 기판의 설계 기준정보를 포함하며, 일반적으로 패드, 회로 패턴, 홀 패턴 등에 관한 배치정보를 포함한다.
한편, 상기 기준 데이터는 학습모드에 의해 얻어진 학습정보로부터 획득될 수 있다. 상기 학습모드는 예를 들어 상기 메모리부(140)에서 기판정보를 검색하여 검색 결과 기판정보가 없으면 베어기판 학습을 실시하고, 이어서 상기 베어기판 학습이 완료되어 베어기판의 패드 및 배선정보 등과 같은 기판 정보가 산출되면 상기 기판정보를 상기 데이터베이스에 저장하는 방식 등과 같이 구현될 수 있다. 즉, 상기 학습모드에서 인쇄회로기판의 베어기판을 학습하여 인쇄회로기판의 설계 기준정보가 획득되며, 상기 학습모드를 통하여 학습정보를 획득함으로써 상기 기준 데이터를 획득할 수 있다.
다음으로 상기 측정영역(FOV)에 대한 측정 데이터를 획득한다. 상기 측정 데이터는 상기 기준 데이터에 대응하는 상기 기판을 상기 기판검사장치(100)으로 실제 촬영한 이미지일 수 있다. 상기 측정 데이터는 기준 데이터와 유사하지만, 상기 기판의 휨 또는 뒤틀림에 의하여 기준 데이터에 비하여 다소 왜곡될 수 있다.
따라서 이와 같은 왜곡을 보상하기 위하여 측정영역(FOV)의 특징객체들의 좌표를 이용하여 보상 매트릭스를 생성하고, 이를 이용하여 측정영역(FOV) 상의 패드의 위치를 보상할 수 있다. 상기 특징객체(feature)는 상기 기판 상의 홀 패턴, 서클 패턴 또는 굽은 패턴의 코너 부분 중 적어도 하나일 수 있다.
이때, 상기 측정영역(FOV) 상에서 상기 특징객체들이 상기 패드들 사이에 고루 분포되어 있지 않고, 특정 패드들 사이에 집중되어 분포하는 경우에, 상기 보상 매트릭스는 상기 특정 패드들의 위치 보상에 대해서는 그 결과를 신뢰할 수 있지만, 그 이외의 패드들에 대한 위치 보상에 대해서는 그 결과를 신뢰할 수 없게 된다. 따라서, 보상 매트릭스의 유효성에 대한 판단이 요구된다.
이하에서는 본 발명의 실시예에서는 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성을 판단하기 위한 방법을 구체적으로 설명하기로 한다.
도 2와 도 3을 참조하면, 우선, 기판 상의 측정영역(FOV)(200) 내에서 최외곽의 패드들의 좌표(210)를 구한다(S100). 그리고 나서, 상기 기판 상의 FOV(200) 내에서 최외곽 특징객체들의 좌표(220)를 구한다(S110).
상기 FOV(200) 내에서 최외곽 패드들 및 최외곽 특징객체들은 상기 FOV(200)을 둘레에 가장 인접한 패드 및 특징 객체를 의미한다.
상기 최외곽 패드들의 좌표(210)를 연결하면 제1 다각형(P1)이 형성되고, 상기 최외곽 특징객체들의 좌표(220)을 연결하면 제2 다각형(P2)가 형성된다.
이때, 상기 제1 다각형(P1)의 제1 면적(S1)에 대한, 상기 제1 다각형(S1)과 상기 제2 다각형(S2)의 중첩되는 제2 면적(S2)의 비율을 계산한다(S120).
그리고 나서, 상기 비율과 미리 설정된 기준값을 비교하여 보상 매트릭스의 유효성을 판단한다(S130). 보다 상세하게는, 상기 비율이 미리 설정된 기준값 이상인지 여부를 기초로 상기 FOV(200) 내의 패드의 좌표를 보상하기 위하여 상기 FOV(200) 내의 특징객체들의 좌표값을 이용하여 생성하는 보상 매트릭스의 유효성을 판단한다.
이때, 상기 비율은 FOV(200) 내의 특징객체가 패드 내에서 균일하게 분포하고 있다는 것을 나타내는 균일성(uniformity)의 지표로 사용될 수 있다. 상기 비율이 크면 클수록 균일성이 높음을 의미하고 이는 상기 보상 매트릭스의 유효성이 높다는 것을 의미하게 된다.
상기 최외곽 패드들의 좌표는 상기 최외곽 패드들의 중심좌표이고, 상기 최외곽 특징객체들의 좌표는 상기 최외곽 특징객체들의 중심좌표일 수 있다. 하지만, 경우에 따라서는 특징객체가 굽은 회로 패턴의 코너의 부분과 같은 경우에는 코너 포인트의 좌표를 특징객체의 좌표로 설정할 수 있다.
상기 비율은 다음과 같은 수학식 1로 구체적으로 정의할 수 있다.
Figure 112013083674804-pat00001
또한, 상기 미리 설정된 기준값은 여러 번의 테스트를 통해 보상 매트릭스의 유효성을 보증할 수 있는 기준값으로 설정될 수 있으며, 이는 경우에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
예를 들어, 상기 미리 설정된 기준값은 50일 수 있으며, 이는 일 예에 불과한 것으로 이에 국한되는 것은 아니다.
한편, 상기 S130단계는 상기 비율이 미리 설정된 기준값 이상인 경우, 보상 매트릭스가 유효한 것으로 판단하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 비율이 미리 설정된 기준값 미만인 경우, 보상 매트릭스가 유효하지 않은 것으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
만약, 상기 비율이 미리 설정된 기준값 이상인 경우에는 보상 매트릭스가 유효한 것으로 판단하여 보상 매트릭스를 적용하고, 상기 비율이 미리 설정된 기준값 미만인 경우에는 보상 매트릭스가 유효하지 않은 것으로 판단하여 보상 매트릭스를 적용하지 않고 현재의 FOV와 이웃한 FOV의 특징객체를 이용하여 보상 매트릭스를 생성할 수 있으며, 이때의 보상 매트릭스에 대해서도 위에서 설명한 방법을 통해 보상 매트릭스의 유효성을 판단할 수 있다.
상기와 같인 보상 매트릭스의 유효성의 판단함으로써, 기판 검사 시의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 다른 실시예로서, 기판이 FPCB(Flexible Printed Circuit Board)인 경우에 기판 검사 시의 보상 매트릭스 유효성 판단 방법의 신뢰도를 보다 향상시킬 수 있는 방법을 설명하기로 한다.
기판이 FPCB인 경우에 FPCB의 휨 성질로 인하여 FOV에 포함되는 복수의 분할 영역이 동일한 평면에 존재하지 않을 가능성이 높다. 이때, FOV 전체에 대한 보상 매트릭스를 생성하고 이에 대한 유효성을 판단하는 경우, 분할영역 각각에 대해서는 보상 매트릭스의 신뢰도가 낮아질 가능성이 높다.
따라서, 본 실시예에서는 FOV 내의 분할영역 별로 상기에서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스 유효성 판단 방법을 적용할 것을 제안한다.
도 4는 기판이 FPCB인 경우에, FOV 상에 복수의 패널이 배열되어 있는 상태를 도시한 도면이다. 도 5는 기판이 FPCB인 경우, FOV 상의 동일 패널 내에 복수의 부품이 실장 되어 있는 상태를 도시한 도면이다.
예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, FOV(400) 내에 서로 다른 패널, 즉 제1 패널(410)과 제2 패널(420)이 위치하는 경우, FPCB의 휨에 의하여 제1 패널(410)과 제2 패널(420)이 위치하는 평면이 상이할 수 있다. 따라서, 상기에서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법을 적용함에 있어서, 제1 패널(410)과 제2 패널(420)의 각각에 대하여 보상 매트릭스를 생성하고, 제1 패널(410)과 제2 패널(420)의 각각에 대하여 보상 매트릭스의 유효성을 판단한 후에, 유효성이 있다고 판단된 보상 매트릭스를 제1 패널(410) 영역과 제2 패널(420)영역에 각각 개별적으로 적용할 수 있다.
한편, 동일 패널 내에서도 영역을 분할하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 시의 보상 매트릭스 유효성 판단 방법을 적용할 수 있다.
예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, FOV(500) 상의 동일 패널 내에 복수의 부품, 즉 제1 부품(510) 및 제2 부품(520)이 존재하는 경우, 부품(component) 별로, 보상 매트릭스를 생성하고, 부품 별로 보상 매트릭스의 유효성을 판단한 후에, 유효성이 있다고 판단되는 보상 매트릭스를 각 부품 영역에 대하여 개별적으로 적용할 수 있다.
상기에서는 분할영역의 예로서, 패널과 부품을 예로 들었지만, 이는 하나의 예에 불과한 것으로, FOV내에서 다양하게 분할영역을 설정할 수 있다.
상기와 같은 방법에 의해, 기판이 FPCB인 경우에 보상 매트릭스의 신뢰도를 더욱 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
100: 기판 검사 장치 110: 제어부
120: 스테이지부 130: 측정부
140: 메모리부 150: 디스플레이부
160: 사용자인터페이스부 200: FOV
210: 패드 220: 특징객체
P1: 제1 다각형 P2: 제2 다각형
S1: 제1 면적 S2: 제2 면적

Claims (11)

  1. 기판 상의 측정영역(FOV) 내에서 최외곽의 패드들의 좌표를 구하는 단계;
    상기 기판 상의 FOV 내에서 최외곽 특징객체들의 좌표를 구하는 단계;
    상기 최외곽 패드들의 좌표를 연결한 제1 다각형의 제1 면적에 대한, 상기 제1 다각형과 상기 최외곽의 특징객체들의 좌표를 연결한 제2 다각형의 중첩되는 제2 면적의 비율을 계산하는 단계;
    상기 비율과 미리 설정된 기준값을 비교하여 보상 매트릭스의 유효성을 판단하는 단계를 포함하는,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 최외곽 패드들의 좌표는 상기 최외곽 패드들의 중심좌표이고, 상기 최외곽 특징객체들의 좌표는 상기 최외곽 특징객체들의 중심좌표인,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 특징객체는 상기 기판 상의 홀 패턴, 서클 패턴 또는 굽은 패턴의 코너 부분 중 적어도 하나인,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 비율은
    (상기 제1 다각형과 상기 제2 다각형의 중첩되는 면적)/상기 제1 면적 X 100 으로 결정되는,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 미리 설정된 기준값은 50인
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 유효성을 판단하는 단계는
    상기 비율이 미리 설정된 기준값 이상인 경우, 보상 매트릭스가 유효한 것으로 판정하는 단계를 포함하는,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 유효성을 판단하는 단계는
    상기 비율이 미리 설정된 기준값 미만인 경우, 보상 매트릭스가 유효하지 않은 것으로 판정하는 단계를 더 포함하는,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 보상 매트릭스는 상기 FOV 내의 특징 객체를 이용하여 생성하는,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 방법은 상기 FOV 내에 복수의 분할영역이 포함되는 경우, 상기 각 단계는 상기 복수의 분할영역 별로 수행하고,
    상기 유효성을 판단하는 단계는 상기 분할영역 내의 특징객체의 좌표를 이용하여 생성한 보상 매트릭스에 대한 유효성을 판단하는 것을 특징으로 하는,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 분할영역은 상기 FOV에 포함된 복수의 패널 또는 복수의 부품 중 하나인 것을 특징으로 하는,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 기판은 FPCB(FLEXIBLE PRINTED CIRCUIT BOARD)인,
    기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법.
KR20130109906A 2013-09-12 2013-09-12 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법 KR101444258B1 (ko)

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