JP2002310942A - 異物検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異物検査装置において検査パラメータ値の管
理を容易とし、検査パラメータ値の編集、設定を容易と
する。 【解決手段】 予めプリセットされた検査パラメータ値
に従って、異物検査に伴う各種処理を行う異物検査装置
本体と、検査パラメータ値をセット管理する検査パラメ
ータ管理手段とを備え、検査パラメータ管理手段を異物
検査装置本体の外部とする構成とし、異物検査装置本体
との間で検査パラメータ値のデータを交換可能とする。
また、検査パラメータ管理手段は、異物検査装置本体の
外部において、異物検査装置本体が出力した各検査パラ
メータ値を保存する構成を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線検査装置等の
異物検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線を検査対象物に照射し、透過した透
過Ｘ線像を撮像して撮像画像を求め、この撮像画像を画
像処理して得られる処理結果に基づいて、検査対象物内
に混入している異物を検出する異物検査装置が知られて
いる。また、この異物検査装置で異物検査された検査対
象物は、検査結果に基づいて異物を含む検査対象物を排
除したり、異物の有無に応じて検査対象物を振り分ける
等の後処理を行う場合がある。

【０００３】異物検査装置で検査を行うには、検査対象
物の種類、異物検査装置の使用状態や設置環境等に応じ
て、異物検査装置の各部分を予め設定しておく必要があ
る。設定項目としては、例えば、発生するＸ線のＸ線条
件、透過Ｘ線を検出するＸ検出器の検出感度、検出対象
物を順次搬送する搬送コンベアの速度、排除装置の動作
時間、あるいはセンサの取り付け位置、検出対象物に対
する撮像画像の拡大倍率、搬送コンベアに検出対象物を
連続的に導入する際の検出対象物間の間隔等がある。

【０００４】このような異物検査装置では、上記設定項
目を検査パラメータ項目とし、種々の設定値からなるプ
リセット値を幾つか予め用意しておき、このプリセット
値の中から検査対象物の種類、異物検査装置の使用状態
や設置環境等に応じて所定の検査パラメータ値を取り出
し、異物検査装置に設定することによって異物検査を行
っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】通常、異物検査装置の
使用状態や設置環境が変化する頻度はそれほど高くな
く、また検査対象物の種類もそれほど多くない場合が多
いため、異物検査装置が予めプリセットできる検査パラ
メータ値のプリセット数は例えば２０程度の少ない個数
に限定されている。プリセットの個数を制限する一つの
要因は、装置の製造コストにある。装置の構成上から
は、記憶容量を増大させることによって、予め予約でき
る検査パラメータ値のプリセット数を増大させることは
可能であるが、記憶容量を増大させることは装置全体の
製造コストを上昇させることになる。したがって、プリ
セットの個数は、利便性とコストの兼合いから定めるこ
とになる。

【０００６】しかしながら、異物検査装置は単独で使用
する場合の他、同じ場所に複数台の異物検査装置を配置
したり、あるいは異なる場所であってもＬＡＮやインタ
ーネット等のネットワークを介して複数台の異物検査装
置を接続して使用するといった複数台を使用する場合が
あり、このような複数台の利用が増える状況にある。こ
のような状況では、プリセット数が制限されていること
によって、異物検査装置の利便性に問題が生じることに
なる。

【０００７】例えば、複数台の異物検査装置を使用する
場合には、個々の異物検査装置の使用条件や検査対象物
は、通常それぞれ異なると予想され、各異物検査装置は
検査パラメータを個々に設定する必要がある。各異物検
査装置は、他の異物検査装置の検査パラメータを利用す
ることで設定や編集を容易とすることができるが、従来
の異物検査装置のように個々に保存するプリセット数に
制限がある場合には、利用できるプリセットの種類が少
ないため、プリセットを利用できない場合が生じる場合
がある。

【０００８】他の異物検査装置から取り出した検査パラ
メータを利用してパラメータ設定を行うには、取り込ん
だ検査パラメータを各異物検査装置内で編集する必要が
あるが、このような検査パラメータの設定や編集を異物
検査装置で行うには、使用頻度の高い検査パラメータか
ら使用頻度の低い検査パラメータまで全ての検査パラメ
ータについて、設定や編集を行うための操作ボタンを各
異物検査装置毎に用意する必要がある。しかしながら、
このような操作ボタンは必ずしも必要となるわけではな
く、ほとんど不要な操作ボタンとなり、通常の操作性を
低下させることになる。

【０００９】そこで、本発明は前記した従来の異物検査
装置が備える課題を解決し、異物検査装置において検査
パラメータ値の管理を容易とすることを目的とし、ま
た、検査パラメータ値の編集、設定を容易とすることを
目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、予めプリセッ
トされた検査パラメータ値に従って、異物検査に伴う各
種処理を行う異物検査装置本体と、検査パラメータ値を
セット管理する検査パラメータ管理手段とを備え、検査
パラメータ管理手段を異物検査装置本体の外部とする構
成とし、異物検査装置本体との間で検査パラメータ値の
データを交換可能とする。

【００１１】この構成によれば、異物検査装置本体と検
査パラメータ管理手段との間で検査パラメータ値のデー
タを交換することで、異物検査装置本体が備える検査パ
ラメータ値を外部の検査パラメータ管理手段に出力した
り、あるいは、逆に、検査パラメータ管理手段で定めた
り編集した検査パラメータ値を異物検査装置本体に取り
込むことができる。

【００１２】また、本発明は、予めプリセットされた検
査パラメータ値に従って、異物検査に伴う各種処理を行
う異物検査装置本体と、検査パラメータ値を管理する検
査パラメータ管理手段とを備えた構成とし、検査パラメ
ータ管理手段は、異物検査装置本体の外部において、異
物検査装置本体が出力した各検査パラメータ値を保存す
る構成を備える。

【００１３】検査パラメータ管理手段は、異物検査装置
本体の外部において、各検査パラメータ値を保存する構
成とすることよって、検査パラメータのプリセットする
個数制限を排除することができ、また、保存する検査パ
ラメータのセットを複数の異物検査装置本体に適用させ
ることができる。

【００１４】また、本発明は、予めプリセットされた検
査パラメータ値に従って、異物検査に伴う各種処理を行
う異物検査装置本体と、検査パラメータ値を管理する検
査パラメータ管理手段とを備えた構成とし、検査パラメ
ータ管理手段は、異物検査装置本体の外部において、検
査パラメータ値を編集し、編集した各検査パラメータ値
を異物検査装置本体に設定する構成を備える。

【００１５】検査パラメータ管理手段は、検査パラメー
タ値の編集を異物検査装置本体の外部で行うことがで
き、また、編集した各検査パラメータ値の異物検査装置
本体への設定を異物検査装置本体の外部から行うことが
できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
を参照しながら詳細に説明する。図１，２は本発明の異
物検査装置の概要構成を説明するための概略構成図を示
し、図３は本発明の異物検査装置の機能を説明するため
の概略機能図を示し、図４は本発明の異物検査装置のパ
ラメータ管理が備えるデータ構成例を示している。ま
た、図５〜図１０は本発明の異物検査装置の動作例を説
明するための動作説明図である。

【００１７】図１において、異物検査装置１は、予めプ
リセットされた検査パラメータ値に従って異物検査に伴
う各種処理を行う異物検査装置本体２と、検査パラメー
タ値を管理するパラメータ管理手段３とを備え、パラメ
ータ管理手段３は異物検査装置本体２の外部に設け、ケ
ーブル、ＬＡＮ、あるいはインターネットを介して接続
する他、移動可能な記録媒体によってデータ交換可能と
して分離配置する構成とすることもできる。

【００１８】異物検査装置本体２は、異物検査装置が通
常に備える構成とすることができる。以下、Ｘ線を検査
対象物に照射し透過Ｘ線を検出することで検査対象物内
に含まれる異物を検査するＸ線異物検査装置を例として
説明する。異物検査装置２は、筐体上部Ａに設けたＸ線
発生手段２ｄから、筐体Ｂ内に設けた搬送コンベア２ｆ
上を移動する検査対象物ＳにＸ線を照射し、検査対象物
Ｓを透過した透過Ｘ線を搬送コンベア２ｆの下方に設け
たＸ線ラインセンサ等のＸ線検出器２ｅによって撮像
し、撮像画像を画像処理手段２ｉで画像処理することに
よって、検査対象物内に存在する異物を検出する。

【００１９】Ｘ線発生手段２ｄは、Ｘ線を発生するＸ線
発生ユニット２ｄ−１と、Ｘ線発生ユニット２ｄ−１に
印加する電圧等を調整して発生するＸ線強度を制御する
Ｘ線制御手段２ｄ−２を備える。搬送コンベア２ｆの上
流側には光電センサ等の位置センサ２ｈが設けられ、図
中の矢印方向に搬送される検査対象物がＸ線照射位置に
到達したことを検出する。異物検査装置本体２は制御手
段２ａを備え、Ｘ線発生手段２ｄ，Ｘ線検出器２ｅ，搬
送コンベア２ｆ，位置センサ２ｈなどの各電装部品や画
像処理手段２ｉを制御する他、操作パネル２ｃの操作に
基づいて各電装部品の検査パラメータを設定したり、設
定した検査パラメータを記憶手段２ｂに格納する。

【００２０】また、図２において、本発明のパラメータ
管理手段３は、異物検査装置本体２との間でデータ交換
を行うデータ入出力制御手段３ａと、検査パラメータや
画像データを格納する記憶手段３ｂと、検査パラメータ
値や各種処理の指令を入力する入力手段３ｃと、データ
読み出し・書込み処理，検査パラメータの検証，調整処
理等の各種データ処理を行うデータ処理手段３ｄと、検
査パラメータ値や画像を表示する表示手段３ｅを備え
る。

【００２１】本発明のパラメータ管理手段３は、データ
処理手段３ｄによって検査パラメータ値をデータ処理す
ることによってパラメータ管理を行う。データ処理手段
３ｄが行うデータ処理として、例えば、データ読み出し
・書込み処理，検査パラメータの検証・調整処理，検査
パラメータの編集処理、検査パラメータの送信・設定処
理、画像表示処理等がある。データ読み出し・書込み処
理は、異物検査装置本体２から取り込んだ検査パラメー
タあるいは画像データ、又は編集した検査パラメータを
記憶手段３ｂに書込む処理、あるいは、記憶手段３ｂに
格納される検査パラメータあるいは画像データを読み出
す処理である。検査パラメータの検証・調整処理は、異
物検査装置本体２から取り込んだ検査パラメータ値と記
憶手段３ｂに格納される検査パラメータ値とを比較し、
異物検査装置本体２に設定されている検査パラメータ値
にずれが生じていないかを照合して検証し、ずれがある
場合には調整する処理である。検査パラメータの編集処
理は、異物検査装置本体２から取り込んだ検査パラメー
タ値あるいは記憶手段３ｂから読み出した検査パラメー
タ値に対して入力手段３ｃを用いてパラメータ値の編集
を行う処理である。検査パラメータの送信・設定処理
は、記憶手段３ｂから読み出した検査パラメータや編集
した検査パラメータを、異物検査装置本体２に送信する
ことによって、異物検査装置本体２の外部から検査パラ
メータの設定を行う処理である。

【００２２】また、画像表示処理は、異物検査装置本体
２から送信された画像データあるいは記憶手段３ｂから
読み出した画像データを表示手段３ｅに表示させる処理
であり、この表示画像を参照することによって検査パラ
メータ値の編集を行うことができる。なお、筐体下部Ｃ
には、電源装置２ｇが設けられ、Ｘ線発生手段２ｄ，搬
送コンベア２ｆ、Ｘ線検出器２ｅの他、異物検査装置本
体２が備える各部分に対する電力供給を行っている。

【００２３】上記構成の異物検査装置により、パラメー
タ管理部によって、異物検査装置本体の外部において検
査パラメータの管理を行うことができる。図３は、本発
明による検査パラメータの管理を説明するための概略図
である。異物検査装置本体２は、パラメータ保存領域２
Ｂに、一連の検査パラメータ項目について検査パラメー
タ値を定めたプリセットを複数備え、検査対象物や検査
環境に応じて、所定のプリセットの検査パラメータ値を
読み出し、異物検査装置本体に設定する。各プリセット
の検査パラメータ値は、操作パネル２Ｃから入力するこ
とで定めることができる。

【００２４】設定する検査パラメータ項目として、使用
頻度の高い検査パラメータと使用頻度の低い検査パラメ
ータがある。使用頻度の高い検査パラメータとしては、
例えば、検査対象物の種類名、発生するＸ線のＸ線条
件、透過Ｘ線を検出するＸ検出器の検出感度や面積値、
ラインセンサのコントラスト及び検査範囲、検出対象物
を順次搬送する搬送コンベアの速度、排除装置（振り分
け装置）の動作時間、Ｘ線画像の画像処理を行うマスク
設定値等がある。また、使用頻度の低い検査パラメータ
としては、例えば、センサ（光電センサ）の取り付け位
置、検出対象物に対する撮像画像の拡大倍率、搬送コン
ベアに検出対象物を連続的に導入する際の検出対象物間
の間隔、ビデオプリンタ出力の有無、アラーム時の動作
設定、ウオームアップ時間等がある。なお、排除装置
（振り分け装置）は、異物検査の結果に応じて検査対象
物を排除したり振り分ける処理を行う装置である。

【００２５】本発明の異物検査装置本体２の操作パネル
２Ｃは、これら各種検査パラメータのすべてに対して入
力することもできるが、使用頻度の高い検査パラメータ
のみを入力する構成とすることで、通常の使用時におけ
る操作性を高めることができる。また、本発明の異物検
査装置本体２のパラメータ保存領域２Ｂが格納する検査
パラメータのプリセット数は例えば通常使用する２０程
度とし、その他の多数のプリセットについてはパラメー
タ管理部３側で管理させることによって、各異物検査装
置本体２が要する記憶手段の容量を抑えてコストを低減
することができる。

【００２６】一方、パラメータ管理部３は、パラメータ
保存領域３Ｂに、多数の検査パラメータをプリセットと
して外部保存する他、検証，調整、編集、設定等の各処
理によって検査パラメータを管理する。各処理は、入力
手段３Ｃから入力することで行うことができる。ここ
で、パラメータ管理部３の入力手段３Ｃは、使用頻度の
高い検査パラメータ項目と使用頻度の低い検査パラメー
タ項目の両検査パラメータ項目について入力可能とする
ことによって、異物検査装置本体２において使用頻度の
高い検査パラメータ項目のみ設定する構成であっても、
異物検査装置本体２の外部から検査パラメータを設定す
ることができる。

【００２７】なお、図４は、パラメータ管理部３のパラ
メータ保存領域３Ｂ（記憶手段３ｂ）が格納するデータ
構成例を示している。この例では、検査パラメータ値の
プリセットをその履歴、日付、設定者や画像データと共
に異物検査装置の装置毎に格納する。なお、履歴によっ
て、プリセット値が設定されたこと、既設定から編集さ
れたこと、あるいは異物検査装置本体２の検査パラメー
タ値を調整したこと等を知ることができる。また、共に
格納される画像データは、その検査パラメータ値の設定
によって撮像される画像例を示すものであり、この画像
データを画像表示することで検査パラメータ値のプリセ
ット毎の特性を画像で確認することができる。

【００２８】次に、本発明の異物検査装置のパラメータ
管理部による処理例について、図５〜図１０を用いて説
明する。なお、図５〜図１０では、異物検査装置本体側
とパラメータ管理部側間におけるデータ移動について、
番号と共に示している。第１の処理例は、異物検査装置
本体が備える検査パラメータ値を外部保存する処理であ
る。図５に示すように、外部保存処理では、異物検査装
置本体２のパラメータ保存領域２Ｂから検査パラメータ
値のプリセットを読み出し（１）、検査パラメータ管理
部３に転送する（２）。検査パラメータ管理部３は、転
送された検査パラメータ値のプリセットをパラメータ保
存領域３Ｂに保存する（３）。これによって、検査パラ
メータ値のプリセットは、異物検査装置本体２の外部に
任意の個数を保存することができる。

【００２９】第２の処理例は、異物検査装置本体に設定
される検査パラメータ値を検証し、調整する処理であ
る。図６に示すように、検証，調整処理では、異物検査
装置本体２のパラメータ保存領域２Ｂから検査パラメー
タ値のプリセットｘを読み出し（１）、検査パラメータ
管理部３に転送する（２）。検査パラメータ管理部３
は、パラメータ保存領域３Ｂから対応するプリセットＸ
を読み出し（３）、転送された検査パラメータ値のプリ
セットｘと比較する（４）。異物検査装置本体２に設定
されているプリセットｘにずれがある場合には、プリセ
ットＸに基づいて調整し（５）、修正後のプリセットｘ
を異物検査装置本体２に転送する（６）。異物検査装置
本体２は、転送されたプリセットｘをパラメータ保存領
域２Ｂに保存、あるいは、転送されたプリセットｘに基
づいて検査パラメータ記載を設定する（７）。これによ
って、異物検査装置本体に設定する検査パラメータ記載
を検証し、設定値からずれている場合には調整すること
ができる。なお、調整したことをパラメータ保存領域３
Ｂに記録することもできる（８）。

【００３０】第３の処理例は、異物検査装置本体に設定
される検査パラメータ値を編集する処理である。図７に
示すように、編集処理では、異物検査装置本体２のパラ
メータ保存領域２Ｂから設定中の検査パラメータ値の現
プリセットを読み出すと共に（１）、Ｘ線撮像による画
像データを取り込み（２）、プリセット及び画像データ
を検査パラメータ管理部３に転送する（３）。検査パラ
メータ管理部３は、転送された画像データに基づいて画
像表示して画質を検討し（４）、検査パラメータ値を修
正し（５）修正したプリセットを異物検査装置本体２を
転送する（６）。異物検査装置本体２は、修正したプリ
セットにより検査パラメータ値を設定し（７）、当該設
定に基づいて異物検査を行い（８）、再度Ｘ線撮像によ
る画像データを取り込む（２）。なお、編集した検査パ
ラメータ値は、パラメータ保存領域３Ｂに保存すること
ができ、編集したことを記録することができる（９）。
上記の処理を繰り返すことによって、検査パラメータ値
を編集することができる。

【００３１】また、第４〜６の処理例は、異物検査装置
本体に検査パラメータ値を保存し、設定する処理であ
り、第４，５の設定処理例は、検査パラメータ管理部側
から設定を行う例であり、第６の設定処理例は異物検査
装置本体側で設定を行う例である。

【００３２】第４の処理例（設定例１）は、検査パラメ
ータ管理部において検索キーを用いてプリセットを検索
し、当該プリセットを異物検査装置本体に保存し、検査
パラメータ値を設定する。図８に示すように、この設定
処理では、検査パラメータ管理部３のパラメータ保存領
域３Ｂから検索キーを用いて（１）検査パラメータのプ
リセットＹを読み出し（２）、異物検査装置本体２に転
送する（３）。異物検査装置本体２は転送されたプリセ
ットＹをパラメータ保存領域２Ｂに格納し（４）、この
プリセットＹに基づいて検査パラメータ値を設定する。
なお、検索キーとしては、装置番号や各種検査パラメー
タ項目を用いることができ、例えば、類似する検査対象
物を異なる異物検査装置本体で検査する際に、検査対象
物を検索キーとして検査パラメータ値を読み出し設定す
ることで、はじめから検査パラメータ値を定める場合と
比較して、設定操作を簡易なものとし設定時間を短縮す
ることができる。

【００３３】第５の処理例（設定例２）は、検査パラメ
ータ管理部において画像を用いてプリセットを検索し、
当該プリセットを異物検査装置本体に保存し、検査パラ
メータ値を設定する。図９に示すように、この設定処理
では、検査パラメータ管理部３のパラメータ保存領域３
Ｂから、各プリセットに対応する画像データを読み出し
て（１）表示し（２）、表示画像を参照して検査パラメ
ータ値のプリセットＹを検索して読み出し（３）、異物
検査装置本体２に転送する（４）。異物検査装置本体２
は転送されたプリセットＹをパラメータ保存領域２Ｂに
格納し（５）、このプリセットＹに基づいて検査パラメ
ータ値を設定する。なお、画像データは、装置番号や各
種検査パラメータ項目を用いて検索することができる。
例えば、類似する検査対象物を異なる異物検査装置本体
で検査する際に、検査対象物を検索キーとして画像デー
タを読み出し、この画像表示を参照して検査パラメータ
値を読み出し設定することで、はじめから検査パラメー
タ値を定める場合と比較して、設定操作を簡易なものと
し設定時間を短縮することができる。

【００３４】第６の処理例（設定例３）は、異物検査装
置本体側でプリセットを定めて異物検査装置本体に保存
し、検査パラメータ値を設定する。図１０に示すよう
に、この設定処理では、異物検査装置本体２において、
操作パネルによって検査パラメータ値を入力することで
検査パラメータを定め、各部分の検査パラメータ値を設
定する他、これら検査パラメータ値をプリセットとして
パラメータ保存領域２Ｂに保存する（１）。異物検査装
置本体２側で定めた検査パラメータ値は、検査パラメー
タ管理部３に転送し（２）、パラメータ保存領域３Ｂに
保存することができる（３）。なお、操作パネルで入力
可能な検査パラメータ項目が、高頻出の検査パラメータ
値などに制限されている場合には、入力可能な検査パラ
メータ項目のみ入力し、その他の検査パラメータ項目は
デフォルト値を用いて設定することができる。

【００３５】本発明の検査パラメータ管理手段３は、図
１１に示すように、複数台の異物検査装置本体２−１，
２−２，〜２−ｎに対して、直接あるいはＬＡＮやイン
ターネット等のネットワーク４を介して接続することが
できる。この構成によれば、一台の検査パラメータ管理
手段３によって、複数台の異物検査装置本体の検査パラ
メータを管理することができる。また、一台の検査パラ
メータ管理手段３から各異物検査装置本体の検査パラメ
ータ値を設定、編集することができる。

【００３６】本発明の実施形態によれば、異物検査装置
本体にプリセットされている検査パラメータ値を、外部
のパラメータ管理手段に出力し、保存することができ
る。また、パラメータ管理手段の記憶容量を増大させた
り、記憶媒体を交換することによって、プリセットする
個数の制限を不要とすることができる。

【００３７】本発明の実施形態によれば、異物検査装置
本体において、使用頻度の高い検査パラメータ値のみを
設定する構成とすることで、設定のための構成や操作を
簡易化することができる。本発明の実施形態によれば、
一台のパラメータ管理手段によって、複数の異物検査装
置に対して個々に適した検査パラメータ値をプリセット
することができる。

【００３８】本発明の実施形態によれば、パラメータ管
理手段に管理する検査パラメータ値と各異物検査装置に
設定される検査パラメータ値とを比較・対照すること
で、異物検査装置に設定される検査パラメータ値を検証
し、調整することができる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の異物検査
装置によれば、検査パラメータ値の管理を容易とするこ
とができ、また、検査パラメータ値の編集、設定を容易
とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の異物検査装置の概要構成を説明するた
めの概略構成図である。

【図２】本発明の異物検査装置の概要構成を説明するた
めの概略構成図である。

【図３】本発明の異物検査装置の機能を説明するための
概略機能図である。

【図４】本発明の異物検査装置のパラメータ管理が備え
るデータ構成例である。

【図５】本発明の異物検査装置の外部保存の動作例を説
明するための動作説明図である。

【図６】本発明の異物検査装置の検証の動作例を説明す
るための動作説明図である。

【図７】本発明の異物検査装置の編集の動作例を説明す
るための動作説明図である。

【図８】本発明の異物検査装置の設定第１の動作例を説
明するための動作説明図である。

【図９】本発明の異物検査装置の設定第２の動作例を説
明するための動作説明図である。

【図１０】本発明の異物検査装置の設定第３の動作例を
説明するための動作説明図である。

【図１１】本発明の異物検査装置の複数の異物検査装置
本体と検査パラメータ管理部との関係を説明するための
概略図である。

【符号の説明】

１…異物検査装置、２，２−１，２−２…異物検査装置
本体、２ａ…制御手段、２ｂ…記憶手段、２ｃ…操作パ
ネル、２ｄ…Ｘ線発生手段、２ｄ−１…Ｘ線発生ユニッ
ト、２ｄ−２…Ｘ線制御手段、２ｅ…Ｘ線検出器（Ｘ線
ラインセンサ）、２ｆ…搬送コンベア、２ｇ…電源装
置、２ｈ…センサ（光電センサ）、２ｉ…画像処理手
段、２Ａ…制御手段、２Ｂ…パラメータ保存領域、２Ｃ
…操作パネル、３…検査パラメータ管理部、３ａ…デー
タ入出力制御手段、３ｂ…記憶手段、３ｃ…入力手段、
３ｄ…データ処理手段、３ｅ…表示手段、３Ａ…制御手
段、３Ｂ…パラメータ保存領域、３Ｃ…入力手段、４…
ネットワーク。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植村 清雄 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA08 FA06 HA13 JA09 KA04

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予めプリセットされた検査パラメータ値
   に従って、異物検査に伴う各種処理を行う異物検査装置
   本体と、前記検査パラメータ値を管理する検査パラメー
   タ管理手段とを備え、前記検査パラメータ管理手段は異
   物検査装置本体の外部に備え、異物検査装置本体との間
   で検査パラメータ値のデータを交換可能とすることを特
   徴とする異物検査装置。
2. 【請求項２】 予めプリセットされた検査パラメータ値
   に従って、異物検査に伴う各種処理を行う異物検査装置
   本体と、前記検査パラメータ値を管理する検査パラメー
   タ管理手段とを備え、前記検査パラメータ管理手段は、
   前記異物検査装置本体の外部において、前記異物検査装
   置本体が出力した各検査パラメータ値を保存することを
   特徴とする異物検査装置。
3. 【請求項３】 予めプリセットされた検査パラメータ値
   に従って、異物検査に伴う各種処理を行う異物検査装置
   本体と、前記検査パラメータ値を管理する検査パラメー
   タ管理手段とを備え、前記検査パラメータ管理手段は、
   前記異物検査装置本体の外部において、検査パラメータ
   値を編集し、編集した各検査パラメータ値を異物検査装
   置本体に戻すことを特徴とする異物検査装置。