JP4627936B2 - 表示装置の検査装置、表示装置の検査システム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示装置の検査装置に関し、さらに詳しくは、表示装置に駆動信号を入力して表示状態の目視検査を行う表示装置の検査装置、表示装置の検査システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）には、製造上の欠陥に起因するドット不良やライン不良がしばしば発生する。この不良には常温での検査では発見が難しいものもあり、通常６０℃前後の高温下で、不良発見に有効な図柄（表示パターン）を表示して、目視により微妙な不良を検出することが効果的である。
【０００３】
そこで、従来、ＦＰＤモジュールの製造ラインの最終工程（検品工程）では、スクリーニング試験として、表示装置に動作条件よりも高温や高電圧の加速ストレスを加えて故障発生を加速し、短時間で不良品を取り除くバーンイン試験が行われている。
【０００４】
図１１および図１２を参照して、ＦＰＤモジュールの恒温目視検査装置であるバーンイン装置について説明する。
【０００５】
通常、ＦＰＤモジュールのバーンイン装置によれば、１６枚から８０枚のＦＰＤモジュールをチャンバ（高温槽）に収納して、高温下での通電およびテストパターン表示を行いながら一定時間放置する（エージング）ことができる。そして、チャンバの観察窓よりＦＰＤモジュールの表示状態を観察して、その経時変化を目視判定することができる。
【０００６】
また、上記バーンイン装置において、チャンバ内のＦＰＤモジュールに駆動信号を印加する方法としては、分配方式（図１１）および１対１方式（図１２）が一般的である。分配方式では、信号発生器を電装盤内に１台設置し、そこからの駆動信号をＦＰＤモジュール一つ一つに分配して入力する。一方、１対１方式では、信号発生器をＦＰＤモジュール一つ一つに設けて、信号をＦＰＤモジュールごとに入力する。
【０００７】
図１１に示すように、分配方式のバーンイン装置１００では、断熱材で囲まれたチャンバ１２０が、電装盤１１０に設けられたチャンバコントローラ１１２の制御により高温に維持される。また、電装盤１１０には信号発生器１１３が１台設置されており、信号発生器１１３が発生した駆動信号がチャンバ１２０に収納する複数のＦＰＤモジュールＤ…に入力される。ここで、信号発生器１１３が発生した信号は、チャンバ１２０において、ＦＰＤモジュールＤごとに分配され、波形成形回路１２１にてＦＰＤモジュールＤに入力される直前に信号波形が整形される。なお、バーンイン装置１００全体の制御はメインコントローラ１１１によって行われる。
【０００８】
これに対して、図１２に示すように、１対１方式のバーンイン装置２００では、断熱材で囲まれたチャンバ２２０が、電装盤２１０に設けられたチャンバコントローラ２１２の制御により高温に維持される。また、チャンバ２２０には、複数収納する各ＦＰＤモジュールＤ…に対して、それぞれ信号発生器２２１…が設けられており、各信号発生器２２１が発生した信号がＦＰＤモジュールＤにそれぞれ入力される。なお、バーンイン装置２００全体の制御はメインコントローラ２１１によって行われる。
【０００９】
ところで、ＦＰＤの製造工程のスクリーニング試験では、ＦＰＤモジュールに各色（ＲＧＢ）のベタ画像等の簡易な駆動信号（簡易検査用信号）を入力する。そして、スクリーニング試験で欠陥が発見されたＦＰＤモジュールには、さらに不良内容を特定するために、十字カーソル等の解析用の駆動信号（解析用信号）を入力して詳細な検査が行われる。なお、解析の結果、ＦＰＤモジュールの欠陥が修理可能であれば、修理、再検査の後出荷される。また、解析で得られた検査データは、蓄積され、製造工程にフィードバックするために活用される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、解析用信号の印加に上記１対１方式を適用すると（図１２）、チャンバ２２０内に収納するすべてのＦＰＤモジュールＤ…に対して信号発生器２２１…を設けることになるが、解析用の信号発生器が高価であるため、バーンイン装置２００が高価になる。
【００１１】
一方、解析用信号の印加に上記分配方式を適用すると（図１１）、複数のＦＰＤモジュールＤ…に対して信号発生器１１３の１台で済むが、信号発生器１１３が故障した場合、すべてのＦＰＤモジュールＤ…に解析用信号が印加できなくなる。また、信号発生器１１３が発生した高速の信号をチャンバ１２０内に点在するＦＰＤモジュールＤ…に分配する必要があり、そのための分配回路（図示せず）が高価であるため、バーンイン装置１００が高価になる。
【００１２】
このように、上記従来の構造では、解析用信号による検査を確実に実施可能な装置を安価に提供することができなかった。
【００１３】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、表示装置の目視検査のために、ベタ画像などの簡易検査用信号と、十字カーソルなどの解析用信号とを、それぞれ確実に供給できる安価な表示装置の検査装置、表示装置の検査システムを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の表示装置の検査装置は、複数の表示装置に駆動信号を入力して表示状態を提示する表示装置の検査装置であって、第１の駆動信号を生成する第１の駆動信号供給手段を備え、かつ、第２の駆動信号を外部より入力する入力手段、および、上記第１の駆動信号供給手段が生成した第１の駆動信号と上記入力手段を介して入力された第２の駆動信号との何れか一方を選択して上記表示装置に入力する切替手段を、上記表示装置ごとに備えることを特徴としている。
【００１５】
上記の構成により、まず、表示装置の検査装置は、内部の第１の駆動信号供給手段で生成した第１の駆動信号を表示装置に入力して表示状態を提示できる。また、表示装置の検査装置は、外部から入力手段を介して第２の駆動信号を表示装置に入力して表示状態を提示できる。そして、表示装置の検査装置は切替手段を備えており、上記第１の駆動信号と上記第２の駆動信号との何れか一方を選択して表示装置に入力できる。すなわち、上記表示装置の検査装置によれば、表示装置に、第１の駆動信号と上記第２の駆動信号とを切り替えて入力することができる。
【００１６】
ここで、上記表示装置の検査装置では、上記入力手段および上記切替手段が表示装置ごとに設けられている。よって、外部からの第２の駆動信号の入力を表示装置ごとに行うことができるとともに、内部の第１の駆動信号供給手段で生成した第１の駆動信号と、外部から入力手段を介して入力された第２の駆動信号との切り替えを、表示装置ごとに行うことができる。
【００１７】
よって、第２の駆動信号の供給は表示装置を選択して行うことが可能であるため、第２の駆動信号を生成する駆動信号供給装置は複数の表示装置に対して１台でよい。また、１台の駆動信号供給装置からの入力信号を複数の表示装置に分配する必要がないため、分配回路や波形成形回路を省略できる。また、上記駆動信号供給装置は上記表示装置の検査装置とは別体に設けることができるため、故障した場合でも交換が容易である。
【００１８】
したがって、上記表示装置の検査装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。それゆえ、内部で生成した駆動信号を用いた検査と、外部で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査装置を、低コストで実現できる。
【００１９】
例えば、上記表示装置の検査装置は、第１の駆動信号供給手段にて表示装置の製造ラインの検品工程に必要最低限の表示パターンを表示する第１の駆動信号を生成するとともに、第１の駆動信号で発見された欠陥の不良内容を調査するために必要な表示パターンを表示する第２の駆動信号を外部の駆動信号供給装置から入力するように構成してもよい。
【００２０】
そして、この表示装置の検査装置によれば、次のような検査が可能となる。まず、表示装置の製造ラインの検品工程において、第１の駆動信号によって各色（ＲＧＢ）のベタ画像等の簡易な表示パターンを表示して欠陥を発見する。つづいて、欠陥が発見された表示装置に対してのみ、第２の駆動信号によって十字カーソル等の精細な表示パターンを表示して不良内容を特定する。
【００２１】
このように、上記の構成によれば、表示装置に簡易検査用の駆動信号と解析用の駆動信号とを確実に印加できる恒温目視装置を、低コストで実現することが可能となる。
【００２２】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記切替手段は、上記第２の駆動信号の入力を検知した時、当該第２の駆動信号を上記表示装置に入力するものであることを特徴としている。
【００２３】
上記の構成により、さらに、上記切替手段は、上記入力手段を介して第２の駆動信号が入力されていなければ、上記第１の駆動信号供給手段から入力された第１の駆動信号を表示装置へ出力し、一方、上記入力手段を介して第２の駆動信号が入力されていれば、この第２の駆動信号を表示装置へ出力できる。
【００２４】
したがって、上記表示装置の検査装置によれば、第２の駆動信号を入力手段に入力するだけで、内部で生成した第１の駆動信号から外部で生成した第２の駆動信号に自動的に切り替えて、表示装置に供給することができる。
【００２５】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記表示装置を収納する内部の環境を制御可能なチャンバを備えるとともに、上記入力手段が上記チャンバの外部に露出して設けられていることを特徴としている。
【００２６】
上記の構成により、さらに、入力手段がチャンバの外部に露出して設けられているため、チャンバ内の状態を乱すことなく、外部から第２の駆動信号を入力できる。具体的には、外部の駆動信号供給装置と上記切替手段との接続を、チャンバを開けることなく行うことが可能である。なお、チャンバ内部の環境は、高温の他、低温、高湿、振動などの状態に制御されていてもよい。
【００２７】
なお、上記表示装置の検査装置は、チャンバ内を高温状態にして、高温下で通電およびパターン表示を行いながら一定時間放置する（エージング）工程のための熱処理工程に利用できる。この場合、バーンイン中に発生した欠陥の情報を収集するための高度な目視検査が可能である。
【００２８】
また、本発明の駆動信号供給装置は、上記の表示装置の検査装置に上記第２の駆動信号を供給する駆動信号供給装置であって、上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であることを特徴としている。
【００２９】
上記駆動信号供給装置は上記表示装置の検査装置に対して外部接続であるため、１台の駆動信号供給装置を複数の表示装置の検査装置に使用できる。そのため、作業者は複数の表示装置の検査装置を巡回しながら作業することになる。
【００３０】
この点、上記の構成により、上記駆動信号供給装置が上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易である。
【００３１】
また、本発明の表示装置の検査システムは、上記の表示装置の検査装置と、上記の駆動信号供給装置と、を含むことを特徴としている。
【００３２】
上記の構成により、上記表示装置の検査装置および駆動信号供給装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。したがって、表示装置の検査装置で生成した駆動信号を用いた検査と、駆動信号供給装置で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査システムを、低コストで実現できる。また、駆動信号供給装置が表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易である。
【００３３】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について図１から図６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００３４】
まず、図２〜図５を用いて、本実施の形態に係るバーンイン装置１について説明する。図２は、上記バーンイン装置１の構成の概略を示すシステムブロック図である。図３は、上記バーンイン装置１の外観を示す斜視図である。図４は、上記バーンイン装置１のチャンバ２０内にＦＰＤモジュールＤが収納された状態を示す説明図である。図５は、上記ＦＰＤモジュールＤと駆動ユニット２１との接続状態を示す説明図である。
【００３５】
図２に示すように、上記バーンイン装置（表示装置の検査装置）１は、複数のＦＰＤモジュール（表示装置）Ｄ…を収納する、断熱材で囲まれたチャンバ２０を備えた恒温目視検査装置である。そして、バーンイン装置１は、電装盤１０にメインコントローラ１１、チャンバコントローラ１２、タッチパネル１３、ワイヤレス受信機１４が設けられている。
【００３６】
上記バーンイン装置１の全体の制御は、メインコントローラ１１によって行われる。また、バーンイン装置１には、作業者が操作するユーザインタフェースとしてタッチパネル１３およびリモコン装置Ｒがある。リモコン装置Ｒからの無線信号は上記ワイヤレス受信機１４によって受信される。
【００３７】
また、上記チャンバ２０は、上記チャンバコントローラ１２の制御により高温に維持される。さらに、上記チャンバ２０内には、ＦＰＤモジュールＤごとに、駆動ユニット２１が設けられている。また、外部の解析用信号供給装置（駆動信号供給装置）５１から解析用信号（第２の駆動信号）を駆動ユニット２１の切替回路（切替手段）２３に入力するためのコネクタ（入力手段）２４が、バーンイン装置１の外部に露出して設けられている。なお、上記駆動ユニット２１については後述する。
【００３８】
なお、メインコントローラ１１と、チャンバコントローラ１２、タッチパネル１３、ワイヤレス受信機１４との通信は、例えばＲＳ−２３２Ｃによって行うことができる。また、メインコントローラ１１と各駆動ユニット２１との通信は、駆動ユニット２１にＣＰＵを設けてＲＳ−４８５等によって行うこともできるし、ＣＰＵを設けず接点やＴＴＬ等の制御信号のみで行うこともできる。
【００３９】
図４に示すように、恒温槽であるチャンバ２０内には、複数のＦＰＤモジュールＤを複数段に載置するモジュールラック３０が設置されている。図４の例では、モジュールラック３０は、表側と裏側にそれぞれ２０枚のＦＰＤモジュールＤを４枚ずつ５段に載置できる。
【００４０】
図５に示すように、上記モジュールラック３０には、載置したＦＰＤモジュールＤの後方に駆動ユニット２１が配設されている。ＦＰＤモジュールＤは、駆動ユニット２１と各種の接続ケーブル３４によって接続される。また、ＦＰＤモジュールＤは、チャンバ２０内において、背面を角度調節棒３１に、底辺を滑り止め３２に当てて立てかけられた状態で、上記モジュールラック３０に載置される。この角度調節棒３１は、角度調整ゲージ３３での係止位置を変更することで、ＦＰＤモジュールＤの表示面を作業者が見易いように、ＦＰＤモジュールＤの表示面の角度を調整できる。なお、図５では、駆動ユニット２１の切替回路２３とコネクタ２４とを接続するケーブルは省略されている。
【００４１】
図３に示すように、上記バーンイン装置１には、チャンバ２０を開けることなくＦＰＤモジュールＤの表示面を観察できるように、引き戸のガラス扉１５が設けられている。これにより、全面がガラス扉１５であるため、多数のＦＰＤモジュールＤ…の表示状態が一目で確認できる。また、チャンバ２０内のＦＰＤモジュールＤがガラス扉１５のもっとも近い位置に設置されるため、微妙な不具合も目視確認できる。
【００４２】
また、このガラス扉１５には、ＦＰＤモジュールＤの正面近傍にコネクタ２４（図２）が、ＦＰＤモジュールＤごとに配設されている。なお、コネクタ２４は、チャンバ２０内で対応する駆動ユニット２１の切替回路２３（図２）に接続されている。
【００４３】
また、上記バーンイン装置１には、作業者が操作するためのタッチパネル１３（図２）が設けられている。加えて、上記バーンイン装置１には、ワイヤレス受信機１４が設けられており、タッチパネル１３より離れた位置からでも作業者がリモコン装置Ｒ（図２）によって操作できるようになっている。
【００４４】
そして、作業者がタッチパネル１３あるいは上記リモコンで行った操作は、メインコントローラ１１を介して制御信号として、バーンイン装置１の各所に伝送される。これにより、作業者は、例えば以下のような操作が可能である。▲１▼すべてのＦＰＤモジュールＤの点灯／消灯、▲２▼すべてのＦＰＤモジュールＤの黒表示表示、▲３▼パターンの切り替え（先送り／後戻り）、▲４▼表示パターンの自動送り機能の一時停止／解除、▲５▼表示パターンの自動送り機能／手動送り機能の切り替え、▲６▼バックライトのみ点灯。さらに、タッチパネル１３では、電源制御条件、表示パターン（図柄）、エージング温度／時間などを、ＦＰＤモジュールＤごとに詳細に設定および確認できる。
【００４５】
つづいて、図１を参照しながら、チャンバ２０に収納したＦＰＤモジュールＤに駆動信号を供給するための構成について詳述する。
【００４６】
図１は、図２に示すようにＦＰＤモジュールＤごとに設けられた駆動ユニット２１…のうちの1つのコネクタ２４と解析用信号供給装置５１のコネクタ５３とを接続した状態を示すブロック図である。
【００４７】
第一に、駆動ユニット２１は、簡易検査用信号発生器（第１の駆動信号供給手段）２２、切替回路２３を備えて構成されている。
【００４８】
上記簡易検査用信号発生器２２は、パターン発生器４１、駆動回路４２、クロック信号発生器４３、電源４４を備えて構成されている。
【００４９】
上記パターン発生器４１は、メインコントローラ１１（図２）からの制御信号に応じて、上記クロック信号発生器４３が発生するクロック信号のタイミングに従って、上記制御信号で指定された表示パターンの画像信号を生成し、上記駆動回路４２へ出力する。
【００５０】
上記駆動回路４２は、上記パターン発生器４１から入力された画像信号に基づき、上記クロック信号発生器４３が発生するクロック信号のタイミングに従って、電源４４の電圧を用いて、ＦＰＤモジュールＤの駆動信号（簡易検査用信号（第１の駆動信号））を生成し、上記切替回路２３へ出力する。
【００５１】
ここで、上記パターン発生器４１には、ＦＰＤモジュールＤの製造ラインの検品工程で使用する、各色（ＲＧＢ）のベタ画像等の簡易な表示パターンがあらかじめ格納されている。
【００５２】
第二に、解析用信号供給装置５１は、解析用信号発生器５２を少なくともを備えている。そして、上記解析用信号発生器５２は、ＣＰＵ（central processing unit）６１、メモリ６２、パターン発生器６３、パターン発生用メモリ６４、駆動回路６５、クロック信号発生器６６、分周器６７、電源６８を備えて構成されている。
【００５３】
上記解析用信号供給装置５１は、メモリ６２に展開した所定のプログラムをＣＰＵ６１が実行することによって制御される。なお、ＣＰＵ６１は、上記クロック信号発生器６６が発生するクロック信号のタイミングに従って動作する。
【００５４】
上記パターン発生器６３は、ＣＰＵ６１からの制御信号に応じて、上記クロック信号発生器６６が発生するクロック信号に基づき上記分周器６７が発生するタイミング信号に従って、上記制御信号で指定された表示パターンの画像信号を生成し、上記駆動回路６５へ出力する。
【００５５】
上記駆動回路６５は、上記パターン発生器６３から入力された画像信号に基づき、上記分周器６７が発生するタイミング信号に従って、電源６８の電圧を用いて、ＦＰＤモジュールＤの駆動信号（解析用信号）を生成し、コネクタ５３へ出力する。
【００５６】
ここで、上記パターン発生器６３には、ＦＰＤモジュールＤの製造ラインの検品工程で発見された欠陥の原因を特定するための、十字カーソル等の精細な表示パターンがあらかじめ格納されている。なお、パターン発生器６３は、出力に先立って表示パターンの画像信号を生成してパターン発生用メモリ６４に格納しておき、出力時にはパターン発生用メモリ６４より読み出すことで画像信号を出力してもよい。
【００５７】
つぎに、上記駆動ユニット２１の切替回路２３は、コネクタ２４から解析用信号が入力されていなければ、駆動回路４２から入力された簡易検査用信号をＦＰＤモジュールＤへ出力し、一方、コネクタ２４から解析用信号が入力されていれば、この解析用信号をＦＰＤモジュールＤへ出力する回路である。すなわち、切替回路２３は、第２の駆動信号の入力を検知した時、当該第２の駆動信号をＦＰＤモジュールＤに入力する回路である。
【００５８】
よって、図１に示すように、コネクタ２４とコネクタ５３とが接続された状態では、上記切替回路２３は、チャンバ２０外部の解析用信号発生器５２からの入力解析用信号をＦＰＤモジュールＤへ出力する。
【００５９】
なお、切替回路２３における出力信号の解析用信号への切り替えは、例えばコネクタ５３の所定のピンを短絡するなどにより、信号の切り替えを指定する特別な信号を解析用信号に含めることによっても可能となる。すなわち、解析用信号を検知して出力信号を切り替える切替回路２３は、公知の技術に基づいて種々に実現できるものである。
【００６０】
これにより、コネクタ５３をコネクタ２４に接続するだけで、簡易検査用信号発生器２２で生成した簡易検査用信号に代えて、外部の解析用信号発生器５２で生成した解析用信号をＦＰＤモジュールＤに供給することができる。
【００６１】
つづいて、図６を参照しながら、上記解析用信号供給装置５１についてさらに説明する。
【００６２】
上記解析用信号供給装置５１は、解析用信号発生器５２による表示パターンの表示を、ピクセル・サブピクセル単位で制御できる。具体的には、例えば十字カーソルを表示する場合、交差点の座標を表示パネル５４に表示させながら、交差点の位置を操作ボタン５５で移動させることができる。
【００６３】
また、上記解析用信号供給装置５１は、複数種（ＳＶＧＡ、ＸＧＡ、ＳＸＧＡ、ＵＸＧＡ等）のＦＰＤモジュールＤの解析が行えるように、画面サイズ、駆動クロック、および表示パターン等の設定をあらかじめパターン発生器６３に格納しておいてもよい。
【００６４】
また、図６に示すように、上記解析用信号供給装置５１は、ＤＣ電源装置５６やコンピュータ５７とともにキャスタ付きラック５８に搭載されて、可搬式の解析装置５０を構成してもよい。
【００６５】
上記ＤＣ電源装置５６は、駆動するＦＰＤモジュールＤに供給する電源であり、複数のＦＰＤモジュールに対応可能な容量を備えている。
【００６６】
上記コンピュータ５７は、▲１▼複雑な表示パターン（図柄）の編集・作成、▲２▼解析用信号供給装置５１やＤＣ電源装置５６の設定の変更、▲３▼検出したＦＰＤモジュールＤの不良情報（不良箇所、不良内容等）の入力・保管を行うことができる。なお、上記コンピュータ５７で編集・作成した表示パターンは、解析用信号発生器５２で利用できる。
【００６７】
以上より、上記バーンイン装置１および解析用信号供給装置５１を含む表示装置の検査システムによれば、チャンバ２０にＦＰＤモジュールＤを複数枚収納し、パネル表面の温度分布を高精度で維持しながら、各ＦＰＤモジュールＤに駆動信号を入力して表示パターンを表示させ、表示状態をガラス扉１５を通して観察できる。上記駆動信号としては、内部の簡易検査用信号発生器２２で生成した簡易検査用信号と、外部の解析用信号発生器５２で生成してコネクタ５３・２４を介して入力された解析用信号とが利用できる。
【００６８】
ここで、上記バーンイン装置１は、コネクタ２４および切替回路２３がＦＰＤモジュールＤごとに設けられており、簡易検査用信号と解析用信号との切り替えをＦＰＤモジュールＤごとに行うことができる。
【００６９】
よって、スクリーニング試験で欠陥が発見されたＦＰＤモジュールに対してのみに、さらに不良内容を特定するための解析用信号を入力して詳細な検査を行うことが可能となる。
【００７０】
このように、上記表示装置の検査システムは、従来の分配方式の欠点を補う１対１方式であって、かつ、簡易検査用信号で欠陥が発見されたＦＰＤモジュールにのみ選択的に解析用信号を入力することで、従来の１対１方式の欠点を解決したものである。それゆえ、恒温槽内のＦＰＤモジュールに簡易検査用信号と解析用信号とを印加できる恒温目視装置を、低コストで実現できる。
【００７１】
なお、本実施の形態では、検査対象をＦＰＤモジュールとし、高温のチャンバ内で簡易検査用信号あるいは解析用信号を印加できる恒温目視検査装置について説明した。しかし、本実施の形態は本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能であり、例えば、以下のように構成することができる。
【００７２】
検査対象はＦＰＤモジュールに限定されず、ＣＲＴ（cathode ray tube）を含む表示装置全般の目視検査に広く適用できる。また、チャンバ２０内の環境は、チャンバコントローラ１２によって、低温、高湿、振動などの高温以外の状態に制御されていてもよい。また、信号印加時には、表示状態の目視検査とともに、出力信号波形をモニタしてもよい。
【００７３】
また、簡易検査用信号と解析用信号との切り替えは、ＦＰＤモジュールＤの直前で行ってもよいし、駆動回路４２の直前で行ってもよいし、解析用信号をパターン発生器４１に入力して簡易検査用信号の発生を停止させることで行ってもよい。
【００７４】
また、解析用信号供給装置５１を搬送可能としたが、解析用信号供給装置５１（および作業者）の位置を固定して、チャンバ２０すなわちＦＰＤモジュールＤを解析用信号供給装置５１の位置まで移動可能に構成してもよい。
【００７５】
また、一般にバーンイン装置は製造ラインの検査工程において使用されるため、複数台が同時に使用される。この点、上記解析用信号発生器５２は外部接続であるため、１台か２台程度の解析用信号発生器５２ですべてのバーンイン装置１に収納されているＦＰＤモジュールＤの解析用信号による検査を行うことができる。もちろん、解析用信号発生器５２の台数は、バーンイン装置１で確認される不良発生数に応じて検討される。なお、１台の解析用信号発生器５２が解析用信号発生器５２を複数備え、複数のＦＰＤモジュールＤ…に解析用信号を独立に入力可能に構成してもよい。
【００７６】
また、外部の解析用信号発生器５２と切替回路２３とをチャンバ２０内の環境を乱すことなく接続する構成としては、例えば、図７〜図１０に示すような構成が可能である。なお、図７〜図１０に示す構成は一例であり、ＦＰＤモジュールＤおよびコネクタ２４の数や位置あるいはガラス扉１５の形状などを限定するものではない。
【００７７】
図７では、バーンイン装置１（図３参照）のガラス扉１５が、横方向に並べて載置された４枚のＦＰＤモジュールＤごとに、４枚の表示状態を同時に観察可能に横長形状で設けられている。このガラス扉１５は、下端辺が回転軸であり、上端部に配設された開閉用つまみ１５ａによって、上端辺が操作者側へ引き出されるように開放される。そして、各ＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４は、ガラス扉１５の下端辺の下方位置においてガラス扉１５と隣接して配設されている。
【００７８】
図８では、バーンイン装置１（図３参照）のガラス扉１５が、縦方向に並べて載置された５枚のＦＰＤモジュールＤごとに、５枚の表示状態を同時に観察可能に縦長形状で設けられている。このガラス扉１５は、右端辺が回転軸であり、左端部に配設された開閉用つまみ１５ａによって、左端辺が操作者側へ引き出されるように開放される。そして、各ＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４は、ガラス扉１５の右端辺の右方位置においてガラス扉１５と隣接して配設されている。
【００７９】
このように、図７および図８の構成例では、コネクタ２４が対応するＦＰＤモジュールＤに近接して配設されている。よって、簡易検査用信号による表示状態を観察しながら解析用信号を入力すべきＦＰＤモジュールＤを特定し、その特定したＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４に解析用信号供給装置５１のコネクタ５３を確実に接続することが容易である。
【００８０】
図９では、バーンイン装置１（図３参照）のガラス扉１５が、横に２枚ずつ５段並べて載置された１０枚のＦＰＤモジュールＤごとに、１０枚の表示状態を同時に観察可能に縦長形状で設けられている。このガラス扉１５は、隣接する２枚１組で左右引き違いの引き戸を構成する。そのため、各ガラス扉１５には、右端辺あるいは／および左端辺に沿って開閉用引手１５ｂが配設されている。そして、各ＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４は、１組のガラス扉１５・１５が構成する引き戸ごとに、引き戸の額縁に配設されている。すなわち、図９では、右の組の引き戸９１内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応する２０個のコネクタ２４…が右方の額縁９３に配設され、左の組の引き戸９２内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応する２０個のコネクタ２４…が左方の額縁９４に配設されている。
【００８１】
また、図１０では、図９と同様に、バーンイン装置１のガラス扉１５が、隣接する２枚１組で左右引き違いの引き戸を構成する。そして、１組のガラス扉１５・１５が構成する引き戸ごとに、コネクタ２４と当該コネクタ２４から解析用信号を入力するＦＰＤモジュールＤを設定する切り替えスイッチ２４ａとが１個ずつ引き戸の額縁に配設されている。すなわち、図１０では、右の組の引き戸９１内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４とその切り替えスイッチ２４ａが右方の額縁９３に配設され、左の組の引き戸９２内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４とその切り替えスイッチ２４ａが左方の額縁９４に配設されている。なお、切り替えスイッチ２４ａは信号ラインの切り替えを機械的に行っても、電気的に行ってもよい。また、コネクタ２４を何枚のＦＰＤモジュールＤで共用するかは、コネクタ２４からＦＰＤモジュールＤまでの信号線の限界に基づいて決定できる。
【００８２】
このように、図９および図１０の構成例では、複数のＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４が１カ所にまとめて配設されている。よって、解析用信号供給装置５１のコネクタ５３をつなぎ換える際、作業者は移動する必要がない。なお、簡易検査用信号による表示状態を観察しながら解析用信号を入力すべきＦＰＤモジュールＤを決定し、コネクタ５３をつなぎ換える場合、このようなコネクタ２４の配置は小型のバーンイン装置１に適している。
【００８３】
さらに、コネクタ２４をチャンバ２０の外部に露出して設ける以外にも、チャンバ２０の外壁（ガラス扉１５を含む）にケーブルを通す孔や作業者が手を挿入する隙間を開閉自在に設けてもよい。
【００８４】
また、ＦＰＤモジュールＤに切り替えて入力する駆動信号を簡易検査用信号および解析用信号として説明したが、これら信号の用途は限定されない。すなわち、簡易検査用信号発生器２２で生成する信号は、信号発生器をバーンイン装置（チャンバ内を含む）に設けることが、信号発生器をバーンイン装置の外部に複数のＦＰＤモジュールに対して１つ設けるよりも望ましい信号であればよい。一方、解析用信号発生器５２で生成する信号は、信号発生器をバーンイン装置の外部に複数のＦＰＤモジュールに対して１つ設けることが、信号発生器をバーンイン装置に設けるよりも望ましい信号であればよい。
【００８５】
【発明の効果】
以上のように、本発明の表示装置の検査装置は、複数の表示装置に駆動信号を入力して表示状態を提示する表示装置の検査装置であって、第１の駆動信号を生成する第１の駆動信号供給手段を備え、かつ、第２の駆動信号を外部より入力する入力手段、および、上記第１の駆動信号供給手段が生成した第１の駆動信号と上記入力手段を介して入力された第２の駆動信号との何れか一方を選択して上記表示装置に入力する切替手段を、上記表示装置ごとに備える構成である。
【００８６】
それゆえ、外部からの第２の駆動信号の入力を表示装置ごとに行うことができるとともに、内部の第１の駆動信号供給手段で生成した第１の駆動信号と、外部から入力手段を介して入力された第２の駆動信号との切り替えを、表示装置ごとに行うことができる。
【００８７】
よって、第２の駆動信号の供給は表示装置を選択して行うことが可能であるため、第２の駆動信号を生成する駆動信号供給装置は複数の表示装置に対して１台でよい。また、１台の駆動信号供給装置からの入力信号を複数の表示装置に分配する必要がないため、分配回路や波形成形回路を省略できる。また、上記駆動信号供給装置は上記表示装置の検査装置とは別体に設けることができるため、故障した場合でも交換が容易である。
【００８８】
したがって、上記表示装置の検査装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。それゆえ、内部で生成した駆動信号を用いた検査と、外部で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査装置を、低コストで実現できるという効果を奏する。
【００８９】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記切替手段は、上記第２の駆動信号の入力を検知した時、当該第２の駆動信号を上記表示装置に入力するものである。
【００９０】
それゆえ、さらに、上記表示装置の検査装置によれば、第２の駆動信号を入力手段に入力するだけで、内部で生成した第１の駆動信号から外部で生成した第２の駆動信号に自動的に切り替えて、表示装置に供給することができるという効果を奏する。
【００９１】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記表示装置を収納する内部の環境を制御可能なチャンバを備えるとともに、上記入力手段が上記チャンバの外部に露出して設けられている構成である。
【００９２】
それゆえ、さらに、入力手段がチャンバの外部に露出して設けられているため、チャンバ内の状態を乱すことなく、外部から第２の駆動信号を入力できるという効果を奏する。
【００９３】
また、本発明の駆動信号供給装置は、上記の表示装置の検査装置に上記第２の駆動信号を供給する駆動信号供給装置であって、上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能である。
【００９４】
それゆえ、上記駆動信号供給装置が上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易であるという効果を奏する。
【００９５】
また、本発明の表示装置の検査システムは、上記の表示装置の検査装置と、上記の駆動信号供給装置と、を含む構成である。
【００９６】
それゆえ、上記表示装置の検査装置および駆動信号供給装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。したがって、表示装置の検査装置で生成した駆動信号を用いた検査と、駆動信号供給装置で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査システムを、低コストで実現できるという効果を奏する。また、駆動信号供給装置が表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２に示したバーンイン装置および解析用信号供給装置における駆動信号を生成する回路構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るバーンイン装置および解析用信号供給装置の構成の概略を示すブロック図である。
【図３】図２に示したバーンイン装置の外観を示す斜視図である。
【図４】図２に示したバーンイン装置のチャンバ内にＦＰＤモジュールが収納された状態を示す説明図である。
【図５】図２に示したバーンイン装置のチャンバ内におけるＦＰＤモジュールと駆動ユニットとの接続状態を示す説明図である。
【図６】図２に示した解析用信号供給装置を搭載した解析装置の概略を示す説明図である。
【図７】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタの一構成例を示す説明図である。
【図８】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタの他の構成例を示す説明図である。
【図９】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタのさらに他の構成例を示す説明図である。
【図１０】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタのさらに他の構成例を示す説明図である。
【図１１】従来の技術に係る分配方式のバーンイン装置の概略を示すブロック図である。
【図１２】従来の技術に係る１対１方式のバーンイン装置の概略を示すブロック図である。
【符号の説明】
Ｄ ＦＰＤモジュール（表示装置）
１ バーンイン装置（表示装置の検査装置）
２０ チャンバ
２２ 簡易検査用信号発生器（第１の駆動信号供給手段）
２３ 切替回路（切替手段）
２４ コネクタ（入力手段）
５１ 解析用信号供給装置（駆動信号供給装置）
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示装置の検査装置に関し、さらに詳しくは、表示装置に駆動信号を入力して表示状態の目視検査を行う表示装置の検査装置、表示装置の検査システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）には、製造上の欠陥に起因するドット不良やライン不良がしばしば発生する。この不良には常温での検査では発見が難しいものもあり、通常６０℃前後の高温下で、不良発見に有効な図柄（表示パターン）を表示して、目視により微妙な不良を検出することが効果的である。
【０００３】
そこで、従来、ＦＰＤモジュールの製造ラインの最終工程（検品工程）では、スクリーニング試験として、表示装置に動作条件よりも高温や高電圧の加速ストレスを加えて故障発生を加速し、短時間で不良品を取り除くバーンイン試験が行われている。
【０００４】
図１１および図１２を参照して、ＦＰＤモジュールの恒温目視検査装置であるバーンイン装置について説明する。
【０００５】
通常、ＦＰＤモジュールのバーンイン装置によれば、１６枚から８０枚のＦＰＤモジュールをチャンバ（高温槽）に収納して、高温下での通電およびテストパターン表示を行いながら一定時間放置する（エージング）ことができる。そして、チャンバの観察窓よりＦＰＤモジュールの表示状態を観察して、その経時変化を目視判定することができる。
【０００６】
また、上記バーンイン装置において、チャンバ内のＦＰＤモジュールに駆動信号を印加する方法としては、分配方式（図１１）および１対１方式（図１２）が一般的である。分配方式では、信号発生器を電装盤内に１台設置し、そこからの駆動信号をＦＰＤモジュール一つ一つに分配して入力する。一方、１対１方式では、信号発生器をＦＰＤモジュール一つ一つに設けて、信号をＦＰＤモジュールごとに入力する。
【０００７】
図１１に示すように、分配方式のバーンイン装置１００では、断熱材で囲まれたチャンバ１２０が、電装盤１１０に設けられたチャンバコントローラ１１２の制御により高温に維持される。また、電装盤１１０には信号発生器１１３が１台設置されており、信号発生器１１３が発生した駆動信号がチャンバ１２０に収納する複数のＦＰＤモジュールＤ…に入力される。ここで、信号発生器１１３が発生した信号は、チャンバ１２０において、ＦＰＤモジュールＤごとに分配され、波形成形回路１２１にてＦＰＤモジュールＤに入力される直前に信号波形が整形される。なお、バーンイン装置１００全体の制御はメインコントローラ１１１によって行われる。
【０００８】
これに対して、図１２に示すように、１対１方式のバーンイン装置２００では、断熱材で囲まれたチャンバ２２０が、電装盤２１０に設けられたチャンバコントローラ２１２の制御により高温に維持される。また、チャンバ２２０には、複数収納する各ＦＰＤモジュールＤ…に対して、それぞれ信号発生器２２１…が設けられており、各信号発生器２２１が発生した信号がＦＰＤモジュールＤにそれぞれ入力される。なお、バーンイン装置２００全体の制御はメインコントローラ２１１によって行われる。
【０００９】
ところで、ＦＰＤの製造工程のスクリーニング試験では、ＦＰＤモジュールに各色（ＲＧＢ）のベタ画像等の簡易な駆動信号（簡易検査用信号）を入力する。そして、スクリーニング試験で欠陥が発見されたＦＰＤモジュールには、さらに不良内容を特定するために、十字カーソル等の解析用の駆動信号（解析用信号）を入力して詳細な検査が行われる。なお、解析の結果、ＦＰＤモジュールの欠陥が修理可能であれば、修理、再検査の後出荷される。また、解析で得られた検査データは、蓄積され、製造工程にフィードバックするために活用される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、解析用信号の印加に上記１対１方式を適用すると（図１２）、チャンバ２２０内に収納するすべてのＦＰＤモジュールＤ…に対して信号発生器２２１…を設けることになるが、解析用の信号発生器が高価であるため、バーンイン装置２００が高価になる。
【００１１】
一方、解析用信号の印加に上記分配方式を適用すると（図１１）、複数のＦＰＤモジュールＤ…に対して信号発生器１１３の１台で済むが、信号発生器１１３が故障した場合、すべてのＦＰＤモジュールＤ…に解析用信号が印加できなくなる。また、信号発生器１１３が発生した高速の信号をチャンバ１２０内に点在するＦＰＤモジュールＤ…に分配する必要があり、そのための分配回路（図示せず）が高価であるため、バーンイン装置１００が高価になる。
【００１２】
このように、上記従来の構造では、解析用信号による検査を確実に実施可能な装置を安価に提供することができなかった。
【００１３】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、表示装置の目視検査のために、ベタ画像などの簡易検査用信号と、十字カーソルなどの解析用信号とを、それぞれ確実に供給できる安価な表示装置の検査装置、表示装置の検査システムを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の表示装置の検査装置は、複数の表示装置に駆動信号を入力して表示状態を提示する表示装置の検査装置であって、第１の駆動信号を生成する第１の駆動信号供給手段を備え、かつ、第２の駆動信号を外部より入力する入力手段、および、上記第１の駆動信号供給手段が生成した第１の駆動信号と上記入力手段を介して入力された第２の駆動信号との何れか一方を選択して上記表示装置に入力する切替手段を、上記表示装置ごとに備えることを特徴としている。
【００１５】
上記の構成により、まず、表示装置の検査装置は、内部の第１の駆動信号供給手段で生成した第１の駆動信号を表示装置に入力して表示状態を提示できる。また、表示装置の検査装置は、外部から入力手段を介して第２の駆動信号を表示装置に入力して表示状態を提示できる。そして、表示装置の検査装置は切替手段を備えており、上記第１の駆動信号と上記第２の駆動信号との何れか一方を選択して表示装置に入力できる。すなわち、上記表示装置の検査装置によれば、表示装置に、第１の駆動信号と上記第２の駆動信号とを切り替えて入力することができる。
【００１６】
ここで、上記表示装置の検査装置では、上記入力手段および上記切替手段が表示装置ごとに設けられている。よって、外部からの第２の駆動信号の入力を表示装置ごとに行うことができるとともに、内部の第１の駆動信号供給手段で生成した第１の駆動信号と、外部から入力手段を介して入力された第２の駆動信号との切り替えを、表示装置ごとに行うことができる。
【００１７】
よって、第２の駆動信号の供給は表示装置を選択して行うことが可能であるため、第２の駆動信号を生成する駆動信号供給装置は複数の表示装置に対して１台でよい。また、１台の駆動信号供給装置からの入力信号を複数の表示装置に分配する必要がないため、分配回路や波形成形回路を省略できる。また、上記駆動信号供給装置は上記表示装置の検査装置とは別体に設けることができるため、故障した場合でも交換が容易である。
【００１８】
したがって、上記表示装置の検査装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。それゆえ、内部で生成した駆動信号を用いた検査と、外部で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査装置を、低コストで実現できる。
【００１９】
例えば、上記表示装置の検査装置は、第１の駆動信号供給手段にて表示装置の製造ラインの検品工程に必要最低限の表示パターンを表示する第１の駆動信号を生成するとともに、第１の駆動信号で発見された欠陥の不良内容を調査するために必要な表示パターンを表示する第２の駆動信号を外部の駆動信号供給装置から入力するように構成してもよい。
【００２０】
そして、この表示装置の検査装置によれば、次のような検査が可能となる。まず、表示装置の製造ラインの検品工程において、第１の駆動信号によって各色（ＲＧＢ）のベタ画像等の簡易な表示パターンを表示して欠陥を発見する。つづいて、欠陥が発見された表示装置に対してのみ、第２の駆動信号によって十字カーソル等の精細な表示パターンを表示して不良内容を特定する。
【００２１】
このように、上記の構成によれば、表示装置に簡易検査用の駆動信号と解析用の駆動信号とを確実に印加できる恒温目視装置を、低コストで実現することが可能となる。
【００２２】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記切替手段は、上記第２の駆動信号の入力を検知した時、当該第２の駆動信号を上記表示装置に入力するものであることを特徴としている。
【００２３】
上記の構成により、さらに、上記切替手段は、上記入力手段を介して第２の駆動信号が入力されていなければ、上記第１の駆動信号供給手段から入力された第１の駆動信号を表示装置へ出力し、一方、上記入力手段を介して第２の駆動信号が入力されていれば、この第２の駆動信号を表示装置へ出力できる。
【００２４】
したがって、上記表示装置の検査装置によれば、第２の駆動信号を入力手段に入力するだけで、内部で生成した第１の駆動信号から外部で生成した第２の駆動信号に自動的に切り替えて、表示装置に供給することができる。
【００２５】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記表示装置を収納する内部の環境を制御可能なチャンバを備えるとともに、上記入力手段が上記チャンバの外部に露出して設けられていることを特徴としている。
【００２６】
上記の構成により、さらに、入力手段がチャンバの外部に露出して設けられているため、チャンバ内の状態を乱すことなく、外部から第２の駆動信号を入力できる。具体的には、外部の駆動信号供給装置と上記切替手段との接続を、チャンバを開けることなく行うことが可能である。なお、チャンバ内部の環境は、高温の他、低温、高湿、振動などの状態に制御されていてもよい。
【００２７】
なお、上記表示装置の検査装置は、チャンバ内を高温状態にして、高温下で通電およびパターン表示を行いながら一定時間放置する（エージング）工程のための熱処理工程に利用できる。この場合、バーンイン中に発生した欠陥の情報を収集するための高度な目視検査が可能である。
【００２８】
また、本発明の駆動信号供給装置は、上記の表示装置の検査装置に上記第２の駆動信号を供給する駆動信号供給装置であって、上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であることを特徴としている。
【００２９】
上記駆動信号供給装置は上記表示装置の検査装置に対して外部接続であるため、１台の駆動信号供給装置を複数の表示装置の検査装置に使用できる。そのため、作業者は複数の表示装置の検査装置を巡回しながら作業することになる。
【００３０】
この点、上記の構成により、上記駆動信号供給装置が上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易である。
【００３１】
また、本発明の表示装置の検査システムは、上記の表示装置の検査装置と、上記の駆動信号供給装置と、を含むことを特徴としている。
【００３２】
上記の構成により、上記表示装置の検査装置および駆動信号供給装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。したがって、表示装置の検査装置で生成した駆動信号を用いた検査と、駆動信号供給装置で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査システムを、低コストで実現できる。また、駆動信号供給装置が表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易である。
【００３３】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について図１から図６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００３４】
まず、図２〜図５を用いて、本実施の形態に係るバーンイン装置１について説明する。図２は、上記バーンイン装置１の構成の概略を示すシステムブロック図である。図３は、上記バーンイン装置１の外観を示す斜視図である。図４は、上記バーンイン装置１のチャンバ２０内にＦＰＤモジュールＤが収納された状態を示す説明図である。図５は、上記ＦＰＤモジュールＤと駆動ユニット２１との接続状態を示す説明図である。
【００３５】
図２に示すように、上記バーンイン装置（表示装置の検査装置）１は、複数のＦＰＤモジュール（表示装置）Ｄ…を収納する、断熱材で囲まれたチャンバ２０を備えた恒温目視検査装置である。そして、バーンイン装置１は、電装盤１０にメインコントローラ１１、チャンバコントローラ１２、タッチパネル１３、ワイヤレス受信機１４が設けられている。
【００３６】
上記バーンイン装置１の全体の制御は、メインコントローラ１１によって行われる。また、バーンイン装置１には、作業者が操作するユーザインタフェースとしてタッチパネル１３およびリモコン装置Ｒがある。リモコン装置Ｒからの無線信号は上記ワイヤレス受信機１４によって受信される。
【００３７】
また、上記チャンバ２０は、上記チャンバコントローラ１２の制御により高温に維持される。さらに、上記チャンバ２０内には、ＦＰＤモジュールＤごとに、駆動ユニット２１が設けられている。また、外部の解析用信号供給装置（駆動信号供給装置）５１から解析用信号（第２の駆動信号）を駆動ユニット２１の切替回路（切替手段）２３に入力するためのコネクタ（入力手段）２４が、バーンイン装置１の外部に露出して設けられている。なお、上記駆動ユニット２１については後述する。
【００３８】
なお、メインコントローラ１１と、チャンバコントローラ１２、タッチパネル１３、ワイヤレス受信機１４との通信は、例えばＲＳ−２３２Ｃによって行うことができる。また、メインコントローラ１１と各駆動ユニット２１との通信は、駆動ユニット２１にＣＰＵを設けてＲＳ−４８５等によって行うこともできるし、ＣＰＵを設けず接点やＴＴＬ等の制御信号のみで行うこともできる。
【００３９】
図４に示すように、恒温槽であるチャンバ２０内には、複数のＦＰＤモジュールＤを複数段に載置するモジュールラック３０が設置されている。図４の例では、モジュールラック３０は、表側と裏側にそれぞれ２０枚のＦＰＤモジュールＤを４枚ずつ５段に載置できる。
【００４０】
図５に示すように、上記モジュールラック３０には、載置したＦＰＤモジュールＤの後方に駆動ユニット２１が配設されている。ＦＰＤモジュールＤは、駆動ユニット２１と各種の接続ケーブル３４によって接続される。また、ＦＰＤモジュールＤは、チャンバ２０内において、背面を角度調節棒３１に、底辺を滑り止め３２に当てて立てかけられた状態で、上記モジュールラック３０に載置される。この角度調節棒３１は、角度調整ゲージ３３での係止位置を変更することで、ＦＰＤモジュールＤの表示面を作業者が見易いように、ＦＰＤモジュールＤの表示面の角度を調整できる。なお、図５では、駆動ユニット２１の切替回路２３とコネクタ２４とを接続するケーブルは省略されている。
【００４１】
図３に示すように、上記バーンイン装置１には、チャンバ２０を開けることなくＦＰＤモジュールＤの表示面を観察できるように、引き戸のガラス扉１５が設けられている。これにより、全面がガラス扉１５であるため、多数のＦＰＤモジュールＤ…の表示状態が一目で確認できる。また、チャンバ２０内のＦＰＤモジュールＤがガラス扉１５のもっとも近い位置に設置されるため、微妙な不具合も目視確認できる。
【００４２】
また、このガラス扉１５には、ＦＰＤモジュールＤの正面近傍にコネクタ２４（図２）が、ＦＰＤモジュールＤごとに配設されている。なお、コネクタ２４は、チャンバ２０内で対応する駆動ユニット２１の切替回路２３（図２）に接続されている。
【００４３】
また、上記バーンイン装置１には、作業者が操作するためのタッチパネル１３（図２）が設けられている。加えて、上記バーンイン装置１には、ワイヤレス受信機１４が設けられており、タッチパネル１３より離れた位置からでも作業者がリモコン装置Ｒ（図２）によって操作できるようになっている。
【００４４】
そして、作業者がタッチパネル１３あるいは上記リモコンで行った操作は、メインコントローラ１１を介して制御信号として、バーンイン装置１の各所に伝送される。これにより、作業者は、例えば以下のような操作が可能である。▲１▼すべてのＦＰＤモジュールＤの点灯／消灯、▲２▼すべてのＦＰＤモジュールＤの黒表示表示、▲３▼パターンの切り替え（先送り／後戻り）、▲４▼表示パターンの自動送り機能の一時停止／解除、▲５▼表示パターンの自動送り機能／手動送り機能の切り替え、▲６▼バックライトのみ点灯。さらに、タッチパネル１３では、電源制御条件、表示パターン（図柄）、エージング温度／時間などを、ＦＰＤモジュールＤごとに詳細に設定および確認できる。
【００４５】
つづいて、図１を参照しながら、チャンバ２０に収納したＦＰＤモジュールＤに駆動信号を供給するための構成について詳述する。
【００４６】
図１は、図２に示すようにＦＰＤモジュールＤごとに設けられた駆動ユニット２１…のうちの1つのコネクタ２４と解析用信号供給装置５１のコネクタ５３とを接続した状態を示すブロック図である。
【００４７】
第一に、駆動ユニット２１は、簡易検査用信号発生器（第１の駆動信号供給手段）２２、切替回路２３を備えて構成されている。
【００４８】
上記簡易検査用信号発生器２２は、パターン発生器４１、駆動回路４２、クロック信号発生器４３、電源４４を備えて構成されている。
【００４９】
上記パターン発生器４１は、メインコントローラ１１（図２）からの制御信号に応じて、上記クロック信号発生器４３が発生するクロック信号のタイミングに従って、上記制御信号で指定された表示パターンの画像信号を生成し、上記駆動回路４２へ出力する。
【００５０】
上記駆動回路４２は、上記パターン発生器４１から入力された画像信号に基づき、上記クロック信号発生器４３が発生するクロック信号のタイミングに従って、電源４４の電圧を用いて、ＦＰＤモジュールＤの駆動信号（簡易検査用信号（第１の駆動信号））を生成し、上記切替回路２３へ出力する。
【００５１】
ここで、上記パターン発生器４１には、ＦＰＤモジュールＤの製造ラインの検品工程で使用する、各色（ＲＧＢ）のベタ画像等の簡易な表示パターンがあらかじめ格納されている。
【００５２】
第二に、解析用信号供給装置５１は、解析用信号発生器５２を少なくともを備えている。そして、上記解析用信号発生器５２は、ＣＰＵ（central processing unit）６１、メモリ６２、パターン発生器６３、パターン発生用メモリ６４、駆動回路６５、クロック信号発生器６６、分周器６７、電源６８を備えて構成されている。
【００５３】
上記解析用信号供給装置５１は、メモリ６２に展開した所定のプログラムをＣＰＵ６１が実行することによって制御される。なお、ＣＰＵ６１は、上記クロック信号発生器６６が発生するクロック信号のタイミングに従って動作する。
【００５４】
上記パターン発生器６３は、ＣＰＵ６１からの制御信号に応じて、上記クロック信号発生器６６が発生するクロック信号に基づき上記分周器６７が発生するタイミング信号に従って、上記制御信号で指定された表示パターンの画像信号を生成し、上記駆動回路６５へ出力する。
【００５５】
上記駆動回路６５は、上記パターン発生器６３から入力された画像信号に基づき、上記分周器６７が発生するタイミング信号に従って、電源６８の電圧を用いて、ＦＰＤモジュールＤの駆動信号（解析用信号）を生成し、コネクタ５３へ出力する。
【００５６】
ここで、上記パターン発生器６３には、ＦＰＤモジュールＤの製造ラインの検品工程で発見された欠陥の原因を特定するための、十字カーソル等の精細な表示パターンがあらかじめ格納されている。なお、パターン発生器６３は、出力に先立って表示パターンの画像信号を生成してパターン発生用メモリ６４に格納しておき、出力時にはパターン発生用メモリ６４より読み出すことで画像信号を出力してもよい。
【００５７】
つぎに、上記駆動ユニット２１の切替回路２３は、コネクタ２４から解析用信号が入力されていなければ、駆動回路４２から入力された簡易検査用信号をＦＰＤモジュールＤへ出力し、一方、コネクタ２４から解析用信号が入力されていれば、この解析用信号をＦＰＤモジュールＤへ出力する回路である。すなわち、切替回路２３は、第２の駆動信号の入力を検知した時、当該第２の駆動信号をＦＰＤモジュールＤに入力する回路である。
【００５８】
よって、図１に示すように、コネクタ２４とコネクタ５３とが接続された状態では、上記切替回路２３は、チャンバ２０外部の解析用信号発生器５２からの入力解析用信号をＦＰＤモジュールＤへ出力する。
【００５９】
なお、切替回路２３における出力信号の解析用信号への切り替えは、例えばコネクタ５３の所定のピンを短絡するなどにより、信号の切り替えを指定する特別な信号を解析用信号に含めることによっても可能となる。すなわち、解析用信号を検知して出力信号を切り替える切替回路２３は、公知の技術に基づいて種々に実現できるものである。
【００６０】
これにより、コネクタ５３をコネクタ２４に接続するだけで、簡易検査用信号発生器２２で生成した簡易検査用信号に代えて、外部の解析用信号発生器５２で生成した解析用信号をＦＰＤモジュールＤに供給することができる。
【００６１】
つづいて、図６を参照しながら、上記解析用信号供給装置５１についてさらに説明する。
【００６２】
上記解析用信号供給装置５１は、解析用信号発生器５２による表示パターンの表示を、ピクセル・サブピクセル単位で制御できる。具体的には、例えば十字カーソルを表示する場合、交差点の座標を表示パネル５４に表示させながら、交差点の位置を操作ボタン５５で移動させることができる。
【００６３】
また、上記解析用信号供給装置５１は、複数種（ＳＶＧＡ、ＸＧＡ、ＳＸＧＡ、ＵＸＧＡ等）のＦＰＤモジュールＤの解析が行えるように、画面サイズ、駆動クロック、および表示パターン等の設定をあらかじめパターン発生器６３に格納しておいてもよい。
【００６４】
また、図６に示すように、上記解析用信号供給装置５１は、ＤＣ電源装置５６やコンピュータ５７とともにキャスタ付きラック５８に搭載されて、可搬式の解析装置５０を構成してもよい。
【００６５】
上記ＤＣ電源装置５６は、駆動するＦＰＤモジュールＤに供給する電源であり、複数のＦＰＤモジュールに対応可能な容量を備えている。
【００６６】
上記コンピュータ５７は、▲１▼複雑な表示パターン（図柄）の編集・作成、▲２▼解析用信号供給装置５１やＤＣ電源装置５６の設定の変更、▲３▼検出したＦＰＤモジュールＤの不良情報（不良箇所、不良内容等）の入力・保管を行うことができる。なお、上記コンピュータ５７で編集・作成した表示パターンは、解析用信号発生器５２で利用できる。
【００６７】
以上より、上記バーンイン装置１および解析用信号供給装置５１を含む表示装置の検査システムによれば、チャンバ２０にＦＰＤモジュールＤを複数枚収納し、パネル表面の温度分布を高精度で維持しながら、各ＦＰＤモジュールＤに駆動信号を入力して表示パターンを表示させ、表示状態をガラス扉１５を通して観察できる。上記駆動信号としては、内部の簡易検査用信号発生器２２で生成した簡易検査用信号と、外部の解析用信号発生器５２で生成してコネクタ５３・２４を介して入力された解析用信号とが利用できる。
【００６８】
ここで、上記バーンイン装置１は、コネクタ２４および切替回路２３がＦＰＤモジュールＤごとに設けられており、簡易検査用信号と解析用信号との切り替えをＦＰＤモジュールＤごとに行うことができる。
【００６９】
よって、スクリーニング試験で欠陥が発見されたＦＰＤモジュールに対してのみに、さらに不良内容を特定するための解析用信号を入力して詳細な検査を行うことが可能となる。
【００７０】
このように、上記表示装置の検査システムは、従来の分配方式の欠点を補う１対１方式であって、かつ、簡易検査用信号で欠陥が発見されたＦＰＤモジュールにのみ選択的に解析用信号を入力することで、従来の１対１方式の欠点を解決したものである。それゆえ、恒温槽内のＦＰＤモジュールに簡易検査用信号と解析用信号とを印加できる恒温目視装置を、低コストで実現できる。
【００７１】
なお、本実施の形態では、検査対象をＦＰＤモジュールとし、高温のチャンバ内で簡易検査用信号あるいは解析用信号を印加できる恒温目視検査装置について説明した。しかし、本実施の形態は本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能であり、例えば、以下のように構成することができる。
【００７２】
検査対象はＦＰＤモジュールに限定されず、ＣＲＴ（cathode ray tube）を含む表示装置全般の目視検査に広く適用できる。また、チャンバ２０内の環境は、チャンバコントローラ１２によって、低温、高湿、振動などの高温以外の状態に制御されていてもよい。また、信号印加時には、表示状態の目視検査とともに、出力信号波形をモニタしてもよい。
【００７３】
また、簡易検査用信号と解析用信号との切り替えは、ＦＰＤモジュールＤの直前で行ってもよいし、駆動回路４２の直前で行ってもよいし、解析用信号をパターン発生器４１に入力して簡易検査用信号の発生を停止させることで行ってもよい。
【００７４】
また、解析用信号供給装置５１を搬送可能としたが、解析用信号供給装置５１（および作業者）の位置を固定して、チャンバ２０すなわちＦＰＤモジュールＤを解析用信号供給装置５１の位置まで移動可能に構成してもよい。
【００７５】
また、一般にバーンイン装置は製造ラインの検査工程において使用されるため、複数台が同時に使用される。この点、上記解析用信号発生器５２は外部接続であるため、１台か２台程度の解析用信号発生器５２ですべてのバーンイン装置１に収納されているＦＰＤモジュールＤの解析用信号による検査を行うことができる。もちろん、解析用信号発生器５２の台数は、バーンイン装置１で確認される不良発生数に応じて検討される。なお、１台の解析用信号発生器５２が解析用信号発生器５２を複数備え、複数のＦＰＤモジュールＤ…に解析用信号を独立に入力可能に構成してもよい。
【００７６】
また、外部の解析用信号発生器５２と切替回路２３とをチャンバ２０内の環境を乱すことなく接続する構成としては、例えば、図７〜図１０に示すような構成が可能である。なお、図７〜図１０に示す構成は一例であり、ＦＰＤモジュールＤおよびコネクタ２４の数や位置あるいはガラス扉１５の形状などを限定するものではない。
【００７７】
図７では、バーンイン装置１（図３参照）のガラス扉１５が、横方向に並べて載置された４枚のＦＰＤモジュールＤごとに、４枚の表示状態を同時に観察可能に横長形状で設けられている。このガラス扉１５は、下端辺が回転軸であり、上端部に配設された開閉用つまみ１５ａによって、上端辺が操作者側へ引き出されるように開放される。そして、各ＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４は、ガラス扉１５の下端辺の下方位置においてガラス扉１５と隣接して配設されている。
【００７８】
図８では、バーンイン装置１（図３参照）のガラス扉１５が、縦方向に並べて載置された５枚のＦＰＤモジュールＤごとに、５枚の表示状態を同時に観察可能に縦長形状で設けられている。このガラス扉１５は、右端辺が回転軸であり、左端部に配設された開閉用つまみ１５ａによって、左端辺が操作者側へ引き出されるように開放される。そして、各ＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４は、ガラス扉１５の右端辺の右方位置においてガラス扉１５と隣接して配設されている。
【００７９】
このように、図７および図８の構成例では、コネクタ２４が対応するＦＰＤモジュールＤに近接して配設されている。よって、簡易検査用信号による表示状態を観察しながら解析用信号を入力すべきＦＰＤモジュールＤを特定し、その特定したＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４に解析用信号供給装置５１のコネクタ５３を確実に接続することが容易である。
【００８０】
図９では、バーンイン装置１（図３参照）のガラス扉１５が、横に２枚ずつ５段並べて載置された１０枚のＦＰＤモジュールＤごとに、１０枚の表示状態を同時に観察可能に縦長形状で設けられている。このガラス扉１５は、隣接する２枚１組で左右引き違いの引き戸を構成する。そのため、各ガラス扉１５には、右端辺あるいは／および左端辺に沿って開閉用引手１５ｂが配設されている。そして、各ＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４は、１組のガラス扉１５・１５が構成する引き戸ごとに、引き戸の額縁に配設されている。すなわち、図９では、右の組の引き戸９１内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応する２０個のコネクタ２４…が右方の額縁９３に配設され、左の組の引き戸９２内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応する２０個のコネクタ２４…が左方の額縁９４に配設されている。
【００８１】
また、図１０では、図９と同様に、バーンイン装置１のガラス扉１５が、隣接する２枚１組で左右引き違いの引き戸を構成する。そして、１組のガラス扉１５・１５が構成する引き戸ごとに、コネクタ２４と当該コネクタ２４から解析用信号を入力するＦＰＤモジュールＤを設定する切り替えスイッチ２４ａとが１個ずつ引き戸の額縁に配設されている。すなわち、図１０では、右の組の引き戸９１内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４とその切り替えスイッチ２４ａが右方の額縁９３に配設され、左の組の引き戸９２内に収納される２０枚のＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４とその切り替えスイッチ２４ａが左方の額縁９４に配設されている。なお、切り替えスイッチ２４ａは信号ラインの切り替えを機械的に行っても、電気的に行ってもよい。また、コネクタ２４を何枚のＦＰＤモジュールＤで共用するかは、コネクタ２４からＦＰＤモジュールＤまでの信号線の限界に基づいて決定できる。
【００８２】
このように、図９および図１０の構成例では、複数のＦＰＤモジュールＤに対応するコネクタ２４が１カ所にまとめて配設されている。よって、解析用信号供給装置５１のコネクタ５３をつなぎ換える際、作業者は移動する必要がない。なお、簡易検査用信号による表示状態を観察しながら解析用信号を入力すべきＦＰＤモジュールＤを決定し、コネクタ５３をつなぎ換える場合、このようなコネクタ２４の配置は小型のバーンイン装置１に適している。
【００８３】
さらに、コネクタ２４をチャンバ２０の外部に露出して設ける以外にも、チャンバ２０の外壁（ガラス扉１５を含む）にケーブルを通す孔や作業者が手を挿入する隙間を開閉自在に設けてもよい。
【００８４】
また、ＦＰＤモジュールＤに切り替えて入力する駆動信号を簡易検査用信号および解析用信号として説明したが、これら信号の用途は限定されない。すなわち、簡易検査用信号発生器２２で生成する信号は、信号発生器をバーンイン装置（チャンバ内を含む）に設けることが、信号発生器をバーンイン装置の外部に複数のＦＰＤモジュールに対して１つ設けるよりも望ましい信号であればよい。一方、解析用信号発生器５２で生成する信号は、信号発生器をバーンイン装置の外部に複数のＦＰＤモジュールに対して１つ設けることが、信号発生器をバーンイン装置に設けるよりも望ましい信号であればよい。
【００８５】
【発明の効果】
以上のように、本発明の表示装置の検査装置は、複数の表示装置に駆動信号を入力して表示状態を提示する表示装置の検査装置であって、第１の駆動信号を生成する第１の駆動信号供給手段を備え、かつ、第２の駆動信号を外部より入力する入力手段、および、上記第１の駆動信号供給手段が生成した第１の駆動信号と上記入力手段を介して入力された第２の駆動信号との何れか一方を選択して上記表示装置に入力する切替手段を、上記表示装置ごとに備える構成である。
【００８６】
それゆえ、外部からの第２の駆動信号の入力を表示装置ごとに行うことができるとともに、内部の第１の駆動信号供給手段で生成した第１の駆動信号と、外部から入力手段を介して入力された第２の駆動信号との切り替えを、表示装置ごとに行うことができる。
【００８７】
よって、第２の駆動信号の供給は表示装置を選択して行うことが可能であるため、第２の駆動信号を生成する駆動信号供給装置は複数の表示装置に対して１台でよい。また、１台の駆動信号供給装置からの入力信号を複数の表示装置に分配する必要がないため、分配回路や波形成形回路を省略できる。また、上記駆動信号供給装置は上記表示装置の検査装置とは別体に設けることができるため、故障した場合でも交換が容易である。
【００８８】
したがって、上記表示装置の検査装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。それゆえ、内部で生成した駆動信号を用いた検査と、外部で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査装置を、低コストで実現できるという効果を奏する。
【００８９】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記切替手段は、上記第２の駆動信号の入力を検知した時、当該第２の駆動信号を上記表示装置に入力するものである。
【００９０】
それゆえ、さらに、上記表示装置の検査装置によれば、第２の駆動信号を入力手段に入力するだけで、内部で生成した第１の駆動信号から外部で生成した第２の駆動信号に自動的に切り替えて、表示装置に供給することができるという効果を奏する。
【００９１】
さらに、本発明の表示装置の検査装置は、上記表示装置を収納する内部の環境を制御可能なチャンバを備えるとともに、上記入力手段が上記チャンバの外部に露出して設けられている構成である。
【００９２】
それゆえ、さらに、入力手段がチャンバの外部に露出して設けられているため、チャンバ内の状態を乱すことなく、外部から第２の駆動信号を入力できるという効果を奏する。
【００９３】
また、本発明の駆動信号供給装置は、上記の表示装置の検査装置に上記第２の駆動信号を供給する駆動信号供給装置であって、上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能である。
【００９４】
それゆえ、上記駆動信号供給装置が上記表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易であるという効果を奏する。
【００９５】
また、本発明の表示装置の検査システムは、上記の表示装置の検査装置と、上記の駆動信号供給装置と、を含む構成である。
【００９６】
それゆえ、上記表示装置の検査装置および駆動信号供給装置によれば、第１の駆動信号と第２の駆動信号とをそれぞれ確実に供給できる。したがって、表示装置の検査装置で生成した駆動信号を用いた検査と、駆動信号供給装置で生成した駆動信号を用いた検査とを確実に行うことができる表示装置の目視検査システムを、低コストで実現できるという効果を奏する。また、駆動信号供給装置が表示装置の検査装置とは独立して搬送可能であるため、第１の駆動信号で欠陥が発見された表示装置の位置まで駆動信号供給装置を移動させて、第２の駆動信号による検査を行うことが容易であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２に示したバーンイン装置および解析用信号供給装置における駆動信号を生成する回路構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るバーンイン装置および解析用信号供給装置の構成の概略を示すブロック図である。
【図３】図２に示したバーンイン装置の外観を示す斜視図である。
【図４】図２に示したバーンイン装置のチャンバ内にＦＰＤモジュールが収納された状態を示す説明図である。
【図５】図２に示したバーンイン装置のチャンバ内におけるＦＰＤモジュールと駆動ユニットとの接続状態を示す説明図である。
【図６】図２に示した解析用信号供給装置を搭載した解析装置の概略を示す説明図である。
【図７】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタの一構成例を示す説明図である。
【図８】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタの他の構成例を示す説明図である。
【図９】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタのさらに他の構成例を示す説明図である。
【図１０】図３に示したバーンイン装置のガラス扉およびコネクタのさらに他の構成例を示す説明図である。
【図１１】従来の技術に係る分配方式のバーンイン装置の概略を示すブロック図である。
【図１２】従来の技術に係る１対１方式のバーンイン装置の概略を示すブロック図である。
【符号の説明】
Ｄ ＦＰＤモジュール（表示装置）
１ バーンイン装置（表示装置の検査装置）
２０ チャンバ
２２ 簡易検査用信号発生器（第１の駆動信号供給手段）
２３ 切替回路（切替手段）
２４ コネクタ（入力手段）
５１ 解析用信号供給装置（駆動信号供給装置）
Claims (4)
- 複数の表示装置に駆動信号を入力して表示状態を提示する表示装置の検査装置であって、
簡易検査信号である第１の駆動信号を生成する第１の駆動信号供給手段と、解析用信号である第２の駆動信号を外部より入力する入力手段と、上記第１の駆動信号供給手段が生成した第１の駆動信号と上記入力手段を介して入力された第２の駆動信号との何れか一方を選択して上記表示装置に入力する切替手段とを、上記表示装置ごとに備えることを特徴とする表示装置の検査装置。 - 上記切替手段は、上記第２の駆動信号の入力を検知した時、当該第２の駆動信号を上記表示装置に入力するものであることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の検査装置。
- 上記表示装置を収納する内部の環境を制御可能なチャンバを備えるとともに、
上記入力手段が上記チャンバの外部に露出して設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の表示装置の検査装置。 - 請求項１から３の何れか１項に記載の表示装置の検査装置と、上記検査装置に上記第２の駆動信号を供給する駆動信号供給装置と、を含むことを特徴とする表示装置の検査システム。
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